JPS6243133A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法Info
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- JPS6243133A JPS6243133A JP18443085A JP18443085A JPS6243133A JP S6243133 A JPS6243133 A JP S6243133A JP 18443085 A JP18443085 A JP 18443085A JP 18443085 A JP18443085 A JP 18443085A JP S6243133 A JPS6243133 A JP S6243133A
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- etching
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18443085A JPS6243133A (ja) | 1985-08-20 | 1985-08-20 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18443085A JPS6243133A (ja) | 1985-08-20 | 1985-08-20 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6243133A true JPS6243133A (ja) | 1987-02-25 |
JPH051977B2 JPH051977B2 (zh) | 1993-01-11 |
Family
ID=16153012
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18443085A Granted JPS6243133A (ja) | 1985-08-20 | 1985-08-20 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6243133A (zh) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01194327A (ja) * | 1988-01-29 | 1989-08-04 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
JPH02213129A (ja) * | 1989-02-14 | 1990-08-24 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JPH0383064A (ja) * | 1989-07-28 | 1991-04-09 | American Teleph & Telegr Co <Att> | 集積回路半導体デバイスのエッチング法 |
US5567270A (en) * | 1995-10-16 | 1996-10-22 | Winbond Electronics Corp. | Process of forming contacts and vias having tapered sidewall |
JP2013122487A (ja) * | 2011-12-09 | 2013-06-20 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | 金属格子の製造方法、金属格子およびx線撮像装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5021679A (zh) * | 1973-06-25 | 1975-03-07 | ||
JPS5687666A (en) * | 1979-12-20 | 1981-07-16 | Toshiba Corp | Plasma etching method |
JPS56157025A (en) * | 1980-05-07 | 1981-12-04 | Nec Corp | Manufacture of semiconductor device |
-
1985
- 1985-08-20 JP JP18443085A patent/JPS6243133A/ja active Granted
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5021679A (zh) * | 1973-06-25 | 1975-03-07 | ||
JPS5687666A (en) * | 1979-12-20 | 1981-07-16 | Toshiba Corp | Plasma etching method |
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JPH02213129A (ja) * | 1989-02-14 | 1990-08-24 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JPH0383064A (ja) * | 1989-07-28 | 1991-04-09 | American Teleph & Telegr Co <Att> | 集積回路半導体デバイスのエッチング法 |
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JP2013122487A (ja) * | 2011-12-09 | 2013-06-20 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | 金属格子の製造方法、金属格子およびx線撮像装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH051977B2 (zh) | 1993-01-11 |
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