JPS62285252A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS62285252A JPS62285252A JP12846586A JP12846586A JPS62285252A JP S62285252 A JPS62285252 A JP S62285252A JP 12846586 A JP12846586 A JP 12846586A JP 12846586 A JP12846586 A JP 12846586A JP S62285252 A JPS62285252 A JP S62285252A
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- Japan
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- layer
- recording medium
- silicon nitride
- substrate
- magneto
- Prior art date
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- Pending
Links
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の詳細な説明
（産業上の利用分野）
本発明は、書換え可能な光磁気ディスクなどに用いられ
、磁気カー回転効果、あるいはファラデー効果などの磁
気光学効果を用いて読み出すことのできる光磁気記録媒
体に関するものである。
、磁気カー回転効果、あるいはファラデー効果などの磁
気光学効果を用いて読み出すことのできる光磁気記録媒
体に関するものである。
（従来の技術）
従来、情報を熱磁気的に記録し、磁気光学的に再生する
光磁気記録媒体は、透明な有機物基板あるいは、ガラス
基板上に誘電体からなる保護層、垂直磁化膜の記録層、
金属膜からなる反射層などの種々の組み合せで、スパッ
タ法あるいは蒸着法により成膜されてきた。垂直磁化膜
としては、ＧｄＴｂＦｅ、ＤｙＦｅ、ＧｄＣｏ、ＴｂＣ
ｏ、ＴｂＤｙＦｅ、ＴｂＦｅＣｏなどの希土類−３ｄ遷
移金属の非晶質合金薄膜が量産に適し、かつ読み出しノ
イズが少ない等から有望とされている。
光磁気記録媒体は、透明な有機物基板あるいは、ガラス
基板上に誘電体からなる保護層、垂直磁化膜の記録層、
金属膜からなる反射層などの種々の組み合せで、スパッ
タ法あるいは蒸着法により成膜されてきた。垂直磁化膜
としては、ＧｄＴｂＦｅ、ＤｙＦｅ、ＧｄＣｏ、ＴｂＣ
ｏ、ＴｂＤｙＦｅ、ＴｂＦｅＣｏなどの希土類−３ｄ遷
移金属の非晶質合金薄膜が量産に適し、かつ読み出しノ
イズが少ない等から有望とされている。
ディスク基板としては、ガラス基板が破損しやすくかつ
高価であるためＰＣ（ポリカーボネイト）、ＰＭＭＡ、
エポキシ等の有機物基板が主に用いられる。
高価であるためＰＣ（ポリカーボネイト）、ＰＭＭＡ、
エポキシ等の有機物基板が主に用いられる。
基板と記録層の間の中間層には、記録層である垂直磁化
膜の酸化保護と、カーエンハンス効果をかねた目的をも
っており、ＡＩＮ、Ｓｉｎなどの窒化物、ＳｉＯ，５ｉ
０２などの酸化物、ＺｎＳ、ＭｇＦ２．ＳｉＣなどの種
々の誘電体が用いられている。この中で窒化ケイ素は、
屈折率が基板よりも大きく膜のち密性が高いことから特
に有望とされている。
膜の酸化保護と、カーエンハンス効果をかねた目的をも
っており、ＡＩＮ、Ｓｉｎなどの窒化物、ＳｉＯ，５ｉ
０２などの酸化物、ＺｎＳ、ＭｇＦ２．ＳｉＣなどの種
々の誘電体が用いられている。この中で窒化ケイ素は、
屈折率が基板よりも大きく膜のち密性が高いことから特
に有望とされている。
（発明が解決しようとする問題点）
記録層に用いられる希土類−３ｄ遷移金属非晶質合金は
、非常に酸化されやすく、空気中に数日放置するだけで
表面酸化によりカー回転角は大きく低下する。この酸化
を防ぐ目的で記録層を窒化ケイ素からなる保護膜ではさ
みこむことが行われており効果をあげている。
、非常に酸化されやすく、空気中に数日放置するだけで
表面酸化によりカー回転角は大きく低下する。この酸化
を防ぐ目的で記録層を窒化ケイ素からなる保護膜ではさ
みこむことが行われており効果をあげている。
しかし、有機物基板と窒化ケイ素の付着力は小さく、か
つ記録層、窒化ケイ素の内部応力が大きいため、高温・
高湿下での環境試験を行なった場合、光磁気記録媒体の
有機物基板からのはく離が発生した。
つ記録層、窒化ケイ素の内部応力が大きいため、高温・
高湿下での環境試験を行なった場合、光磁気記録媒体の
有機物基板からのはく離が発生した。
本発明の目的は、長期信頼性の優れた光磁気記録媒体を
提供することにある。
提供することにある。
（問題点を解決するための手段）
透明な有機物基板上に、誘電体からなる付着層を第１層
とし、第２層に窒化ケイ素、第３層に垂直磁化膜の記録
層、第４層に保護層の４層を積層することを特徴とする
。
とし、第２層に窒化ケイ素、第３層に垂直磁化膜の記録
層、第４層に保護層の４層を積層することを特徴とする
。
（作用）
有機物基板との付着力の大きな誘電体としては、ＭｇＦ
２．ＭｇＯ，Ａｌ２Ｏ３等がすテロ類られテイル。しか
しこれらの誘電体は、屈折率が小さくかつ、膜のち密性
が低いことから、これらの膜の単層では十分な保護効果
をあげることはできない。そこでＭｇＦ２等の付着層の
上に窒化ケイ素を積層することにより、窒化ケイ素の優
れた保護効果と、ＭｇＦ２等の有機物基板との大きな付
着力の２つを有する中間層を作成することができる。こ
の中間層を用いることにより光磁気記録媒体の長期信頼
性を高めることができる。
２．ＭｇＯ，Ａｌ２Ｏ３等がすテロ類られテイル。しか
しこれらの誘電体は、屈折率が小さくかつ、膜のち密性
が低いことから、これらの膜の単層では十分な保護効果
をあげることはできない。そこでＭｇＦ２等の付着層の
上に窒化ケイ素を積層することにより、窒化ケイ素の優
れた保護効果と、ＭｇＦ２等の有機物基板との大きな付
着力の２つを有する中間層を作成することができる。こ
の中間層を用いることにより光磁気記録媒体の長期信頼
性を高めることができる。
（実施例）
第１図は本発明の一実施例を示している。１はｐｃ基板
、２はスパッタによるＡ１２０３（膜厚２００人）、３
はスパッタによる窒化ケイ素（膜厚８００人）、４は光
磁気記録媒体層（スパッタによるＴｂＦｅＣｏ膜厚１０
００人、５はスパッタによる窒化ケイ素（膜厚１０００
人）である。なお、についても同様の効果を得た。
、２はスパッタによるＡ１２０３（膜厚２００人）、３
はスパッタによる窒化ケイ素（膜厚８００人）、４は光
磁気記録媒体層（スパッタによるＴｂＦｅＣｏ膜厚１０
００人、５はスパッタによる窒化ケイ素（膜厚１０００
人）である。なお、についても同様の効果を得た。
第１図２のＡｌ２Ｏ３が存在しない光磁気記録媒体を５
０°０９０％ＲＨの温湿度条件で環境試験をした場合、
媒体は８６時間後にｐｃ基板からはく離した。第１図の
構成の光磁気記録媒体を同一条件で環境試験した場合は
、３００時間後においてもはく離は生じなかった。なお
、Ａｌ２Ｏ３の代りにＭｇＦ２．ＭｇＯについても同様
の効果を得た。
０°０９０％ＲＨの温湿度条件で環境試験をした場合、
媒体は８６時間後にｐｃ基板からはく離した。第１図の
構成の光磁気記録媒体を同一条件で環境試験した場合は
、３００時間後においてもはく離は生じなかった。なお
、Ａｌ２Ｏ３の代りにＭｇＦ２．ＭｇＯについても同様
の効果を得た。
（発明の効果）
このように、本構成で作製した光磁気記録媒体の長期信
頼性は、従来のものよりも改善されている。
頼性は、従来のものよりも改善されている。
第１図は本発明の一実施例を示す光磁気ディスクの断面
図である。 １；ｐｃ基板 ２；付着層 ３；窒化ケイ素オ
１ 図
図である。 １；ｐｃ基板 ２；付着層 ３；窒化ケイ素オ
１ 図
Claims (2)
- （１）透明な有機物基板上に、誘電体からなる付着層を
第１層とし、第２層に窒化ケイ素、第３層に垂直磁化膜
の記録層、第４層に保護層の４層を積層することを特徴
とする光磁気記録媒体。 - （２）第１層の付着層として、ＭｇＦ＿２、ＭｇＯもし
くはＡｌ＿２Ｏ＿３を用いることを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12846586A JPS62285252A (ja) | 1986-06-02 | 1986-06-02 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12846586A JPS62285252A (ja) | 1986-06-02 | 1986-06-02 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62285252A true JPS62285252A (ja) | 1987-12-11 |
Family
ID=14985391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12846586A Pending JPS62285252A (ja) | 1986-06-02 | 1986-06-02 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62285252A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5667887A (en) * | 1989-03-28 | 1997-09-16 | Seiko Epson Corporation | Magneto-optical media |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61227243A (ja) * | 1985-03-30 | 1986-10-09 | Olympus Optical Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPS62192048A (ja) * | 1986-02-17 | 1987-08-22 | Nec Home Electronics Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPS62226449A (ja) * | 1986-03-27 | 1987-10-05 | Canon Inc | 光学的磁気記録媒体 |
-
1986
- 1986-06-02 JP JP12846586A patent/JPS62285252A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61227243A (ja) * | 1985-03-30 | 1986-10-09 | Olympus Optical Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPS62192048A (ja) * | 1986-02-17 | 1987-08-22 | Nec Home Electronics Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPS62226449A (ja) * | 1986-03-27 | 1987-10-05 | Canon Inc | 光学的磁気記録媒体 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5667887A (en) * | 1989-03-28 | 1997-09-16 | Seiko Epson Corporation | Magneto-optical media |
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