JPH01296447A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は光磁気記録媒体に関し、さらに詳しくは書き換
え可能な光磁気ディスク等に用いられ、磁気カー回転効
果あるいはファラデー効果などの磁気光学効果を用いて
読み出すことのできる光磁気記録媒体に関するものであ
る。

［従来の技術ｄ３よびその課題」 従来、情報を熱磁気的に記録し、磁気光学的に再生ずる
光磁気記録媒体としては、透明な樹脂基板上あるいはガ
ラス基板上に誘電体からなる保護層、垂直磁化膜からな
る記録層、金属膜からなる反射層等を種々の組合わせで
、スパッタ法あるいは蒸着法により成膜したものが用い
られている。

このうち垂直磁化膜としてはＧｄＴｂＦｅ、　ＤｙＦｅ
。

ＧｄＣｏ、　ＴｂＣｏ、　ＴｂＤｙＦｅ、　ＴｂＦｅＣ
ｏ等の希土類−３ｄｉｌ移金属の非晶質合金薄膜が量産
に適し、かつ読み出しノイズが少ないこと等から有望と
されている。

ディスク基板は、カラス基板および樹脂基板の２種類に
大別できる。このうち、ガラス基板は破損しやすく、か
つ高価であることから、主として樹脂基板か用いられて
いる。樹脂基板としては、量産性および価格の点から、
ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリメチルメタクリレ−１
〜（ＰＭＭＡ）等が用いられている。

基板と記録層の間の中間層は、記録層である垂直磁化膜
の酸化保護と、カーエンハンス効果の双方を目的として
形成され、ＭＮ　、　　ｓｖ等の窒化物、Ｓ！０．　５
ｉ０２等の酸化物のほか、ＺｎＳ、　　ＭｇＦ２　。

ＳｉＣ等の種々の誘電体か用いられている。記録層に用
いられる希土類−３ｄ遷移金属非晶質合金は非常に酸化
されやすく、空気中に数日放置するだけで表面酸化によ
りカー回転角は大きく低下する。

中間層はこの酸化を防ぐ目的で形成されているもので、
通常、記録層を誘電体保護膜で挟み込むことが行われて
あり効果をあげている。

第２図は上記のような従来用いられてきた光磁気記録媒
体の一例の内外周部の概略断面図を示したもので、ポリ
カーボネート基板２１の表面に中間層２２、光磁気記録
層２３および保護層２４が順次成膜されて成膜領域を形
成している。また、ポリカーボネート基板２１表面の成
膜領域との接触面内には、光ヘットを案内するためのグ
ルーブ２５か形成されている。

しかしながら上記構造において、樹脂基板と誘電体保護
膜の付着力は、必ずしも十分でなく、高温高湿下での環
境試験により低下し、時間の経過に伴い、成膜領域の樹
脂基板からの剥離か発生するという欠点かあった。

本発明は以上）小べたような従来の問題点を解決するた
めになされたもので、樹脂基板と成膜領域との剥離が生
じることがなく、長期信頼性の優れた光磁気記録媒体を
提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、樹脂基板表面にはグルーブが形成されたグル
ーブ領域か設【プられ、該グルーブ領域上には少なくと
も光磁気記録層が形成された成膜領域が設けられてなる
光磁気記録媒体において、成膜領域の基板との接触面は
その全面かグルーブ領域に含まれることを特徴とする光
磁気記録媒体である。

［作用］ 高温高湿条件の環境試験による光磁気記録媒体の樹脂基
板からの剥離は、その剥離形状から線状剥離と円型剥離
に大別できる。線状剥離は、環境試験の初期に基板表面
のグルーブ領域外の平坦部から発生し、その後試験時間
の増加に伴いグルーブ領域に成長する。一方、円型剥離
は、線状剥離が発生した後に、記録膜の全域にほぼ均一
に発生する。従って線状剥離の発生が防止できれば、光
磁気ディスクの長期信頼性を向上させることかできる。

線状剥離が平坦部で発生する理由としては次の２点が考
えられる。即ち、第１には温湿度の変化に対応した基板
内の水分の不均一性により、単板では反りが発生するか
、全面密着で貼合せた場合には基板の反りは発生せず、
それに対応した記録膜を含む成膜領域を剥離させようと
する応力が生じる。この応力は、特に基板の内外周部で
大きく、この内外周部は基板の平坦部に対応する。

第２には発生しはじめの微小な剥離が成長する場合、平
坦部では抵抗なく拡大できるが、グルーブ部では溝の段
差により成長が阻害され、線状剥離にまで至ることが少
ない。

上記の理由のうち、第１の理由は平坦部の有無に関係し
ないか、第２の理由は平坦部上に記録膜がなければ、線
状剥離の発生を防止できることを意味する。従って、グ
ルーブ領域を記録媒体の成−「− 股領域以上に広くすることにより、線状剥離の発生を防
止でき、光磁気記録媒体の長期信頼性を高めることがで
きる。

［実施例］ 次に本発明の実施例について図面を参照して詳細に説明
する。

第１図は本発明の一実施例を示す光磁気記録媒体の内外
周部の概略断面図である。図中、１はポリカーボネート
基板、２は中間層、３は光磁気記録層、４は保護層、５
はグルーブである。

上記の如く構成された光磁気記録媒体を作製するには、
まずポリカーボネート基板１表面にグルーブ５を形成す
る。このグルーブ５を形成する領域は、後工程における
成膜領域を少なくとも全て含むものとする。次いで中間
層２としてＳｉ多結晶体ターゲットを用いたＡｒ十Ｎ２
ガスによるスパッタ法によって、スパッタガス圧２．５
ｘ　１０−Ｉ　Ｐａ、投入電力４００Ｗで窒化ケイ素膜
を８００人の膜厚で成膜する。次に、光磁気記録層３と
してＦｅＣｏ合金ターゲット上にＴｂチップをのせた複
合ターグツ１〜を用いたＡＩ’カスによるスパッタ法に
よって投入電力１０　（ｌ　Ｗ、スバッタノｊスＥＥ　
９　Ｘ　１０−２　ＰａでｒｂＦｅｃｏ膜を膜厚８０　
Ｃ＞入て成膜４る。最後に保護層４として上記したスパ
ッタ法による窒化々イ素膜を膜厚８００人−で成膜する
。

上記の方ｄ（て作製された光磁気記録媒体を、８０°Ｃ
１９０％ＲＨの温湿度条イ１で環境試験を行ったところ
、８００時間経過後においても線状剥離は発生しなかっ
た。一方、第２図に示したような基板の平坦部にも光磁
気記録層か成膜された従来の光磁気記録媒体を、上記と
同様の条件で環境試験を行ったところ、５００時間経過
後に線状剥離が発生しｌこ　。

また、本実施例におりるポリカーボネート基板に代えて
Ｐ　Ｎ　ＨＡ基板を用いた場合も、環境試験による基板
と成膜領域間の線状剥Ｈの発生は上記と同様に防止され
、長期信頼性か向上した。

［発明の効果１ 以上説明したように、本発明による光磁気記録媒体は基
板からの剥離か生じ難いので、従来の光磁気記録媒体に
比べて長期信頼性が大幅に改善されるという効果を有す
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の内外周部の概略断面図、第
２図は従来の光磁気記録媒体の内外周部のｉ略語面図で
ある。 １．２１・・・ポリカーボネート基板 ２．２２・・・中間層 ３．２３・・・光磁気記録層 ４．２４・・・保護層 ５．２５・・・グルーブ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）樹脂基板表面にはグルーブが形成されたグルーブ
   領域が設けられ、該グルーブ領域上には少なくとも光磁
   気記録層が形成された成膜領域が設けられてなる光磁気
   記録媒体において、成膜領域の基板との接触面はその全
   面がグルーブ領域に含まれることを特徴とする光磁気記
   録媒体。