JPS62284073A - スパツタ装置 - Google Patents
スパツタ装置Info
- Publication number
- JPS62284073A JPS62284073A JP12781786A JP12781786A JPS62284073A JP S62284073 A JPS62284073 A JP S62284073A JP 12781786 A JP12781786 A JP 12781786A JP 12781786 A JP12781786 A JP 12781786A JP S62284073 A JPS62284073 A JP S62284073A
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- Japan
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- sputtering
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- circuit
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- Granted
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- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 title claims abstract description 46
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims abstract description 21
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 claims description 15
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 11
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 abstract description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
［産業上の利用分野〕
本発明は、スパッタ装置におけるプラズマ発光スペクト
ル強度をモニターして、前記プラズマ状態を制御する機
構に関する。
ル強度をモニターして、前記プラズマ状態を制御する機
構に関する。
本発明は、スパッタ装置におけるプラズマ発光スペクト
ル強度をモニターして、前記プラズマ状態を一定に保つ
機構において、予め設定したスパッタガス流量値とスパ
ッタ電源電流値の制御範囲の上限と下限を感知して、ス
ペクトル設定回路の設定値を自動的に変化させる回路を
備えることにより、ターゲットのエロージョン表面積が
広くなっても常時一定したプラズマ発光スペクトル強度
値を得られるようにしたものである。
ル強度をモニターして、前記プラズマ状態を一定に保つ
機構において、予め設定したスパッタガス流量値とスパ
ッタ電源電流値の制御範囲の上限と下限を感知して、ス
ペクトル設定回路の設定値を自動的に変化させる回路を
備えることにより、ターゲットのエロージョン表面積が
広くなっても常時一定したプラズマ発光スペクトル強度
値を得られるようにしたものである。
従来、第２図に示すようにプラズマ発光スペクトル強度
を一定に保つために、スペクトル強度設定回路１の設定
値とスペクトル強度測定回路２の出力値の差に応じて、
スパッタガス流量２０とスパッタ電源電流２１を自動制
御して成膜する方法が知られていた。
を一定に保つために、スペクトル強度設定回路１の設定
値とスペクトル強度測定回路２の出力値の差に応じて、
スパッタガス流量２０とスパッタ電源電流２１を自動制
御して成膜する方法が知られていた。
しかし、従来のスパッタ装置はターゲットのエロージョ
ン表面積が広くなるにつれ、スパッタガス流量２０とス
パッタ電源電流２１の増減変動が激しくなり、プラズマ
発光スペクトル強度が不安定となる問題点を有していた
。
ン表面積が広くなるにつれ、スパッタガス流量２０とス
パッタ電源電流２１の増減変動が激しくなり、プラズマ
発光スペクトル強度が不安定となる問題点を有していた
。
そこで、本発明は従来のこのような問題点を解決し、タ
ーゲットのエロージョン表面積が広くなっても、安定な
プラズマ発光スペクトル強度値を得ることを目的として
いる。
ーゲットのエロージョン表面積が広くなっても、安定な
プラズマ発光スペクトル強度値を得ることを目的として
いる。
〔問題点を解決するための手段〕
上記問題点を解決するために、本発明のスパッタ装置は
、 （ａｌ プラズマ発光スペクトル強度値の測定回路と
、ｆｂｌ 前記スペクトル強度値とスパッタ電源電流
値とスパッタガス流量値とを予め設定する回路と、（ｃ
） 前記スペクトル強度値を一定に保つため、前記ス
ペクトル強度設定値と前記スペクトル強度値の測定回路
の出力値との差に応じて、スパッタガス流量とスパッタ
電源電流を制御する回路と、（ｄ） 前記ガス流量を
制御する回路には、流量の制御範囲に上限と下限が設け
られ、前記ガス流量が上限または下限に達した時に、前
記スペクトル強度の設定値を自動的に変化させる制御回
路と、ｔｅｌ 前記スパッタ電源電流を制御する回路
には、電流の制御範囲に上限と下限が設けられ、前記ス
パッタ電源電流が上限または下限に達した時に、前記ス
ペクトル強度設定値を自動的に変化させる制御回路とを
有してなることを特徴とする。
、 （ａｌ プラズマ発光スペクトル強度値の測定回路と
、ｆｂｌ 前記スペクトル強度値とスパッタ電源電流
値とスパッタガス流量値とを予め設定する回路と、（ｃ
） 前記スペクトル強度値を一定に保つため、前記ス
ペクトル強度設定値と前記スペクトル強度値の測定回路
の出力値との差に応じて、スパッタガス流量とスパッタ
電源電流を制御する回路と、（ｄ） 前記ガス流量を
制御する回路には、流量の制御範囲に上限と下限が設け
られ、前記ガス流量が上限または下限に達した時に、前
記スペクトル強度の設定値を自動的に変化させる制御回
路と、ｔｅｌ 前記スパッタ電源電流を制御する回路
には、電流の制御範囲に上限と下限が設けられ、前記ス
パッタ電源電流が上限または下限に達した時に、前記ス
ペクトル強度設定値を自動的に変化させる制御回路とを
有してなることを特徴とする。
上記のように制御されたスパッタ装置では、ターゲット
のエロージョン表面積が広くなるにつれて、プラズマ発
光スペクトル強度が不安定になる傾向を、スパッタガス
流量値とスパッタ電源電流値の変動量で感知し、前記ス
パッタガス流量とスパッタ電源電流の制御範囲の上限及
び下限に達した時、スペクトル強度設定値を自動的に変
化させるので、プラズマ発光スペクトル強度を一定に保
たせることができるのである。
のエロージョン表面積が広くなるにつれて、プラズマ発
光スペクトル強度が不安定になる傾向を、スパッタガス
流量値とスパッタ電源電流値の変動量で感知し、前記ス
パッタガス流量とスパッタ電源電流の制御範囲の上限及
び下限に達した時、スペクトル強度設定値を自動的に変
化させるので、プラズマ発光スペクトル強度を一定に保
たせることができるのである。
以下本発明のスパッタ装置の一実施例を第１図に示す。
第１図に示すスパッタ装置の制御ｌ１図はスペクトル強
度設定回路１と、スペクトル強度を測定する測定回路２
、スペクトル強度を一定に保つためのコントロール回路
３、流量コントロール回路４、電源コントロール回路５
からできている。
度設定回路１と、スペクトル強度を測定する測定回路２
、スペクトル強度を一定に保つためのコントロール回路
３、流量コントロール回路４、電源コントロール回路５
からできている。
予め、スペクトル設定回路１でプラズマ発光スペクトル
強度と、流量コントロール回路４でスパッタガス流量と
、電源コントロール回路５でスパッタ電源電流を設定す
る。
強度と、流量コントロール回路４でスパッタガス流量と
、電源コントロール回路５でスパッタ電源電流を設定す
る。
測定回路２はプラズマ発光スペクトル強度を測定しその
値を出力する。この出力値をコントロール回路３に入力
し、スペクトル強度設定値との差に応じてスパッタガス
流量とスパッタ電源電流を制御する信号を出力する。第
１図に示すコントロール回路３は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、Ｒ
ＯＭおよび入出力ボート等からなるマイクロコンピュー
タである。測定回路２の出力信号を流量コントロール回
路４と電源コントロール回路５に入力し、スパッタガス
流量とスパッタ電源電流を制御する。ガス流量コントロ
ール回路４と電源コントロール回路５の各制御範囲に上
限と下限を設け、上限及び下限に達した時に、スペクト
ル強度設定値を自動的に変化させて、スペクトル強度設
定値をスパッタガス流量基準と電源電流基準により重複
コントロールさせる。
値を出力する。この出力値をコントロール回路３に入力
し、スペクトル強度設定値との差に応じてスパッタガス
流量とスパッタ電源電流を制御する信号を出力する。第
１図に示すコントロール回路３は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、Ｒ
ＯＭおよび入出力ボート等からなるマイクロコンピュー
タである。測定回路２の出力信号を流量コントロール回
路４と電源コントロール回路５に入力し、スパッタガス
流量とスパッタ電源電流を制御する。ガス流量コントロ
ール回路４と電源コントロール回路５の各制御範囲に上
限と下限を設け、上限及び下限に達した時に、スペクト
ル強度設定値を自動的に変化させて、スペクトル強度設
定値をスパッタガス流量基準と電源電流基準により重複
コントロールさせる。
第３図は、本発明によるガス流量変化検出部６の一実施
例の波形図である。１１はガス流量の上限、１２はガス
流量の下限であり、上限または下限を超える８、９．１
０のａ −ｂ間の時間だけスペクトル設定回路１の設定
値を自動的に変化させる。前記設定値の変化スピードは
自由に設定できるようになっている。
例の波形図である。１１はガス流量の上限、１２はガス
流量の下限であり、上限または下限を超える８、９．１
０のａ −ｂ間の時間だけスペクトル設定回路１の設定
値を自動的に変化させる。前記設定値の変化スピードは
自由に設定できるようになっている。
第４図は、本発明による電流変化検出部７の一実施例の
波形図である。１６は電流の上限、１７は電流の下限で
あり、上限または下限を超える１３．１４．１５のａ
ｙ ｂ間の時間だけスペクトル設定回路１の設定値を自
動的に変化させる。前記設定値の変化スピードは自由に
設定できるようになっている。
波形図である。１６は電流の上限、１７は電流の下限で
あり、上限または下限を超える１３．１４．１５のａ
ｙ ｂ間の時間だけスペクトル設定回路１の設定値を自
動的に変化させる。前記設定値の変化スピードは自由に
設定できるようになっている。
第５図は、本発明によるスペクトル設定回路１の一実施
例のスペクトル設定回路の自動可変機構平面図である。
例のスペクトル設定回路の自動可変機構平面図である。
１８はスペクトル設定値ダイヤルでステップモーター１
９によって回転させ増減させる。ステップモーターは、
流量変化検出部６と電流変化検出部７で８．９．１０．
１３．１４．１５のａ ｙ ｂ間の時間だけ回転し自動
可変させる。
９によって回転させ増減させる。ステップモーターは、
流量変化検出部６と電流変化検出部７で８．９．１０．
１３．１４．１５のａ ｙ ｂ間の時間だけ回転し自動
可変させる。
本発明は、以上説明したように、予め設定したプラズマ
発光スペクトル強度とスパッタガス流量とスパッタ電源
電流の条件によってプラズマ発光スペクトル強度がコン
トロールされている状態において、スパッタガス流量と
スパッタ電源電流の変化に応じ、プラズマ発光スペクト
ル強度設定値を自動可変修正させる機構を備えることに
よって、ターゲットのエロージョン表面積が広くなって
プラズマ発光スペクトル強度が不安定にならないように
する効果がある。
発光スペクトル強度とスパッタガス流量とスパッタ電源
電流の条件によってプラズマ発光スペクトル強度がコン
トロールされている状態において、スパッタガス流量と
スパッタ電源電流の変化に応じ、プラズマ発光スペクト
ル強度設定値を自動可変修正させる機構を備えることに
よって、ターゲットのエロージョン表面積が広くなって
プラズマ発光スペクトル強度が不安定にならないように
する効果がある。
第１図は本発明のスパッタ装置の制御図、第２図は従来
のスパッタ装置の制御図、第３図は本発明によるスパッ
タガス流量変化検出部の波形図、第４図は本発明による
スパッタ電源電流変化検出部の波形図、第５図は本発明
によるスペクトル設定回路の自動可変機構平面図である
。 １・・・・・・スペクトル設定回路 ２・・・・・・測定回路 ３・・・・・・コントロール回路 ４・・・・・・流量コントロール回路 ５・・・・・・電源コントロール回路 ６・・・・・・流量変化検出部 ７・・・・・・電源変化検出部 葎４図
のスパッタ装置の制御図、第３図は本発明によるスパッ
タガス流量変化検出部の波形図、第４図は本発明による
スパッタ電源電流変化検出部の波形図、第５図は本発明
によるスペクトル設定回路の自動可変機構平面図である
。 １・・・・・・スペクトル設定回路 ２・・・・・・測定回路 ３・・・・・・コントロール回路 ４・・・・・・流量コントロール回路 ５・・・・・・電源コントロール回路 ６・・・・・・流量変化検出部 ７・・・・・・電源変化検出部 葎４図
Claims (1)
- （１）（ａ）プラズマ発光スペクトル強度値の測定回路
と、 （ｂ）前記スペクトル強度値とスパッタ電源電流値とス
パッタガス流量値を予め設定する回路と、 （ｃ）前記スペクトル強度値を一定に保つため、前記ス
ペクトル強度設定値と前記スペクトル強度値の設定回路
の出力値との差に応じて、スパッタガス流量とスパッタ
電源電流を制御する回路と、 （ｄ）前記ガス流量を制御する回路には、流量の制御範
囲に上限と下限が設けられ、前記ガス流量が上限または
下限に達した時に、前記スペクトル強度の設定値を自動
的に変化させる制御回路と、 （ｅ）前記スパッタ電源電流を制御する回路には、電流
の制御範囲に上限と下限が設けられ、前記スパッタ電源
電流が上限または下限に達した時に、前記スペクトル強
度設定値を自動的に変化させる制御回路とを有してなる
ことを特徴とするスパッタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12781786A JPH0816268B2 (ja) | 1986-06-02 | 1986-06-02 | スパツタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12781786A JPH0816268B2 (ja) | 1986-06-02 | 1986-06-02 | スパツタ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62284073A true JPS62284073A (ja) | 1987-12-09 |
| JPH0816268B2 JPH0816268B2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=14969395
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12781786A Expired - Lifetime JPH0816268B2 (ja) | 1986-06-02 | 1986-06-02 | スパツタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0816268B2 (ja) |
-
1986
- 1986-06-02 JP JP12781786A patent/JPH0816268B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0816268B2 (ja) | 1996-02-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |