JPH03296808A - 圧力制御装置 - Google Patents
圧力制御装置Info
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- JPH03296808A JPH03296808A JP9920490A JP9920490A JPH03296808A JP H03296808 A JPH03296808 A JP H03296808A JP 9920490 A JP9920490 A JP 9920490A JP 9920490 A JP9920490 A JP 9920490A JP H03296808 A JPH03296808 A JP H03296808A
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- pressure
- sensor
- gas
- pressure control
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- Pending
Links
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 10
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- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
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- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、圧力制御および圧力表示を行なう圧力制御装
置に係り、特に高速な圧力制御と高精度な圧力表示が可
能とされた圧力制御装置に関するものである。
置に係り、特に高速な圧力制御と高精度な圧力表示が可
能とされた圧力制御装置に関するものである。
この種の装置に関しては、特開昭５７−２５００８号公
報に記載のものが知られている。これによる場合、複数
の圧力センサの中から何れかが切換え選択されることに
よって、標準圧力が多レンジなものとして得られるよう
になっており、高精度に圧力制御を行なう場合には、圧
力センサとして水晶式センサが用いられるようになって
いる。
報に記載のものが知られている。これによる場合、複数
の圧力センサの中から何れかが切換え選択されることに
よって、標準圧力が多レンジなものとして得られるよう
になっており、高精度に圧力制御を行なう場合には、圧
力センサとして水晶式センサが用いられるようになって
いる。
しかしながら、高精度に圧力検出を行なうべく、圧力セ
ンサとして水晶式のものが用いられる場合には、その圧
力検出精度は高精度であるものの、圧力検出応答速度が
比較的遅いばかりか、圧力制御処理にも時間が要されて
いたことから、いきおいその圧力制御速度は小さく抑え
られたものとなっている。
ンサとして水晶式のものが用いられる場合には、その圧
力検出精度は高精度であるものの、圧力検出応答速度が
比較的遅いばかりか、圧力制御処理にも時間が要されて
いたことから、いきおいその圧力制御速度は小さく抑え
られたものとなっている。
本発明の目的は、圧力検出精度を低下せしめることなく
、しかも高速な圧力制御が可能とされた圧力制御装置を
供するにある。
、しかも高速な圧力制御が可能とされた圧力制御装置を
供するにある。
上記目的は、圧力制御用圧力センサとして半導体式のも
のを、圧力表示用としては水晶式圧力センサを用いるこ
とで達成される。
のを、圧力表示用としては水晶式圧力センサを用いるこ
とで達成される。
圧力制御１装置に具備せしめられる圧力検出器として、
圧力制御用には半導体式圧力センサを、また、圧力表示
用には水晶式圧力センサを用い、それぞれの検出特性を
活かそうというものである。
圧力制御用には半導体式圧力センサを、また、圧力表示
用には水晶式圧力センサを用い、それぞれの検出特性を
活かそうというものである。
即ち、半導体式圧力センサはその出力形式がアナログ電
流、または電圧とされ、圧力の検出は瞬時に可能とされ
ているも、精度は０．２％が限界となっている。一方、
水晶式圧力センサは通常０．０１％以下のフルスケール
精度を有しているが、その出力は数１０ＫＨｚの周期的
信号とされていることから、そのカウントに０．２〜０
６３秒程度の時間が要されるものとなっている。したが
って、圧力制御用には検出応答が良好とされた半導体式
圧力センサを、圧力表示用には水晶式のものを用いれば
よいというものである。
流、または電圧とされ、圧力の検出は瞬時に可能とされ
ているも、精度は０．２％が限界となっている。一方、
水晶式圧力センサは通常０．０１％以下のフルスケール
精度を有しているが、その出力は数１０ＫＨｚの周期的
信号とされていることから、そのカウントに０．２〜０
６３秒程度の時間が要されるものとなっている。したが
って、圧力制御用には検出応答が良好とされた半導体式
圧力センサを、圧力表示用には水晶式のものを用いれば
よいというものである。
以下、本発明を添附した図により説明する。
図は本発明による圧力制御装置を圧力制御対象とともに
示したものである。図示のように、例えばガス管７の途
中には調整弁２が設けられているが、この調整弁２を圧
力制御装置が制御することによって、ガス管人口１から
のガスは、その圧力が調整弁２で所望圧力に調整された
うえ、ガス管出口４から供給対象に供給される場合が想
定されたものとなっている。圧力制御装置は圧力調整後
のガスの圧力が所望圧力にあるか否か、所望圧力にない
場合には所望圧力に調整すべく設けられているものであ
る。
示したものである。図示のように、例えばガス管７の途
中には調整弁２が設けられているが、この調整弁２を圧
力制御装置が制御することによって、ガス管人口１から
のガスは、その圧力が調整弁２で所望圧力に調整された
うえ、ガス管出口４から供給対象に供給される場合が想
定されたものとなっている。圧力制御装置は圧力調整後
のガスの圧力が所望圧力にあるか否か、所望圧力にない
場合には所望圧力に調整すべく設けられているものであ
る。
より具体的に説明すれば、圧力調整後のガスの圧力は圧
力制御装置の一部を構成している水晶式圧力センサ５お
よび半導体式圧力センサ６によって常時監視されるよう
になっている。これらセンサ５．６からの圧力検出信号
は圧力制御回路（例えばマイクロプロセッサとして構成
）８で所定に処理されることによって、調整弁２に対す
る制御と、圧力表示器９への圧力表示とが行なわれるも
のとなっている。即ち、水晶式圧力センサ５からの高精
度圧力検出信号は圧力制御回路８内でディジタル演算処
理され、処理結果は圧力値として圧力表示器９に表示さ
れることで、圧力調整後のガスの圧力が外部に表示され
ているものである。−方、半導体式圧力センサ６からの
圧力検出信号は所望圧力対応の信号との間でアナログ演
算され、この演算結果によって調整弁２が制御されてい
るものである。
力制御装置の一部を構成している水晶式圧力センサ５お
よび半導体式圧力センサ６によって常時監視されるよう
になっている。これらセンサ５．６からの圧力検出信号
は圧力制御回路（例えばマイクロプロセッサとして構成
）８で所定に処理されることによって、調整弁２に対す
る制御と、圧力表示器９への圧力表示とが行なわれるも
のとなっている。即ち、水晶式圧力センサ５からの高精
度圧力検出信号は圧力制御回路８内でディジタル演算処
理され、処理結果は圧力値として圧力表示器９に表示さ
れることで、圧力調整後のガスの圧力が外部に表示され
ているものである。−方、半導体式圧力センサ６からの
圧力検出信号は所望圧力対応の信号との間でアナログ演
算され、この演算結果によって調整弁２が制御されてい
るものである。
なお、排気管（圧力リミッタ−レリーフバルブ）３は圧
力調整後のガスを必要に応じ排気するためのものである
。
力調整後のガスを必要に応じ排気するためのものである
。
以上、説明したように本発明によれば、圧力制御が高速
に行なわれるとともに、検出された圧力は高精度に表示
され得、この結果、圧力基準器や自動圧力制御装置に組
込まれてシステムを構成することが可能となっている。
に行なわれるとともに、検出された圧力は高精度に表示
され得、この結果、圧力基準器や自動圧力制御装置に組
込まれてシステムを構成することが可能となっている。
図は、本発明による圧力制御装置の一例での構成を、圧
力制御対象とともに示す図である。 ５・・・水晶式圧力センサ、６・・・半導体式圧力セン
サ、８・・・圧力制御回路、９・・・圧力表示器。
力制御対象とともに示す図である。 ５・・・水晶式圧力センサ、６・・・半導体式圧力セン
サ、８・・・圧力制御回路、９・・・圧力表示器。
Claims (1)
- １、圧力検出器からの圧力検出信号にもとづき圧力制御
弁を制御するとともに、圧力表示を行なう圧力制御装置
において、圧力検出器として圧力表示用水晶式圧力セン
サと、圧力制御用半導体圧力センサとを具備してなる構
成の圧力制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9920490A JPH03296808A (ja) | 1990-04-17 | 1990-04-17 | 圧力制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9920490A JPH03296808A (ja) | 1990-04-17 | 1990-04-17 | 圧力制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03296808A true JPH03296808A (ja) | 1991-12-27 |
Family
ID=14241123
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9920490A Pending JPH03296808A (ja) | 1990-04-17 | 1990-04-17 | 圧力制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03296808A (ja) |
-
1990
- 1990-04-17 JP JP9920490A patent/JPH03296808A/ja active Pending
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