JPH0296619A - マスフローコントローラ - Google Patents
マスフローコントローラInfo
- Publication number
- JPH0296619A JPH0296619A JP63250076A JP25007688A JPH0296619A JP H0296619 A JPH0296619 A JP H0296619A JP 63250076 A JP63250076 A JP 63250076A JP 25007688 A JP25007688 A JP 25007688A JP H0296619 A JPH0296619 A JP H0296619A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- gas
- display device
- bypass
- detection
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 14
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 abstract description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 3
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
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- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Details Of Flowmeters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体製造用ガス流量を検知制御するマスフロ
ーコントローラに関する。
ーコントローラに関する。
従来、この種のマスフローコントローラは、ガスを流す
ガスラインに１ラインのバイパスを設け、このバイパス
からの信号によりガスラインを流れるガス流量を制御し
ていた。
ガスラインに１ラインのバイパスを設け、このバイパス
からの信号によりガスラインを流れるガス流量を制御し
ていた。
上述した従来のマスフローコントローラは、流量検出用
のバイパスが１ラインしがなく、このバイパスからの信
号によりガスラインを流れるガス流量を制御していたの
で、バイパスに異常が生じた時、ガスラインを流れるガ
ス流量が制御できなくなるし、異常の発見も困難である
という欠点がある。
のバイパスが１ラインしがなく、このバイパスからの信
号によりガスラインを流れるガス流量を制御していたの
で、バイパスに異常が生じた時、ガスラインを流れるガ
ス流量が制御できなくなるし、異常の発見も困難である
という欠点がある。
本発明は、バイパスを流れるガス流量を検知し、ガスラ
インを流れるガス流量を制御するマスフローコントロー
ラにおいて、ガス流量検知用のバイパスを２ライン設け
ることにより、より正確なガス流量制御と逸早い異常の
発見を可能にしたことを特徴とする。
インを流れるガス流量を制御するマスフローコントロー
ラにおいて、ガス流量検知用のバイパスを２ライン設け
ることにより、より正確なガス流量制御と逸早い異常の
発見を可能にしたことを特徴とする。
次に、本発明について図面を参照して説明する。第１図
は本発明の第１の実施例の回路構成図である０本発明の
マスフローコントローラは、流量検出用バイパス２ａを
流れる流量を測定用自己発熱抵抗体３と検出及び増幅回
路５ａにより電気信号に変換する。この電気信号と流量
設定装置７から入力される信号とを比較制御回路６で比
較しサーマルバルブ４を駆動することによりガスライン
１を流れる流量を制御する。このとき検出及び増幅回路
５ａから流量表示装置８にも信号が送られ流量を知るこ
とができる。これとは別の流量検出用バイパス２ｂを流
れる流量を検出し、モニター用流量表示装置９により表
示させる。流量表示装置８とモニター用流量表示装置９
の表示流量を比較することでガスライン１を流れる正確
な流量及びマスフローコントローラの異常を知ることが
できる。
は本発明の第１の実施例の回路構成図である０本発明の
マスフローコントローラは、流量検出用バイパス２ａを
流れる流量を測定用自己発熱抵抗体３と検出及び増幅回
路５ａにより電気信号に変換する。この電気信号と流量
設定装置７から入力される信号とを比較制御回路６で比
較しサーマルバルブ４を駆動することによりガスライン
１を流れる流量を制御する。このとき検出及び増幅回路
５ａから流量表示装置８にも信号が送られ流量を知るこ
とができる。これとは別の流量検出用バイパス２ｂを流
れる流量を検出し、モニター用流量表示装置９により表
示させる。流量表示装置８とモニター用流量表示装置９
の表示流量を比較することでガスライン１を流れる正確
な流量及びマスフローコントローラの異常を知ることが
できる。
第２図は本発明の第２の実施例の回路構成図である。本
実施例では常に流量検出用バイパス２ａ及び流匿検出用
バイパス２ｂを流れる流量を検出信号比較制御回路１０
で比較しながらサーマルバルブ４を制御してガスライン
１を流れる流量を調整するのでより正確な制御ができる
。
実施例では常に流量検出用バイパス２ａ及び流匿検出用
バイパス２ｂを流れる流量を検出信号比較制御回路１０
で比較しながらサーマルバルブ４を制御してガスライン
１を流れる流量を調整するのでより正確な制御ができる
。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明のマスフローコントローラは
、流量検出用バイパスを２ラインもつことによりガスラ
インを流れる流量をより正確に制御できる効果がある。
、流量検出用バイパスを２ラインもつことによりガスラ
インを流れる流量をより正確に制御できる効果がある。
第１図は本発明の第１の実施例の回路構成図、第２図は
本発明の第２の実施例の回路構成図である。 １・・・ガスライン、２ａ、２ｂ・・・流量検出用バイ
パス、３・・・測定用自己発熱抵抗体、４・・・サーマ
ルバルブ、５ａ、５ｂ・・・検出及び増幅回路、６・・
・比較制御回路、７・・・流量設定装置、８・・・流量
表示装置、９・・・モニター用流量表示装置、１０・・
・検出信号比較制御回路。
本発明の第２の実施例の回路構成図である。 １・・・ガスライン、２ａ、２ｂ・・・流量検出用バイ
パス、３・・・測定用自己発熱抵抗体、４・・・サーマ
ルバルブ、５ａ、５ｂ・・・検出及び増幅回路、６・・
・比較制御回路、７・・・流量設定装置、８・・・流量
表示装置、９・・・モニター用流量表示装置、１０・・
・検出信号比較制御回路。
Claims (1)
- バイパスを流れるガス流量を検知し、ガスラインを流れ
るガス流量を制御するマスフローコントローラにおいて
、前記バイパスを２ライン有することを特徴とするマス
フローコントローラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63250076A JPH0296619A (ja) | 1988-10-03 | 1988-10-03 | マスフローコントローラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63250076A JPH0296619A (ja) | 1988-10-03 | 1988-10-03 | マスフローコントローラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0296619A true JPH0296619A (ja) | 1990-04-09 |
Family
ID=17202453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63250076A Pending JPH0296619A (ja) | 1988-10-03 | 1988-10-03 | マスフローコントローラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0296619A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100508488B1 (ko) * | 2001-08-14 | 2005-08-17 | 마이크로 인스펙션 주식회사 | 열량형 질량유량 측정센서 및 그의 오차보정 방법 |
| KR100559440B1 (ko) * | 2004-09-02 | 2006-03-10 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 배관내 연료가스의 유량 측정장치 및 방법 |
| WO2011002662A1 (en) * | 2009-06-30 | 2011-01-06 | Advanced Energy Industries, Inc. | Thermal flow sensor with zero drift compensations |
| JP2015194421A (ja) * | 2014-03-31 | 2015-11-05 | 日立金属株式会社 | 質量流量計、及び当該質量流量計を使用する質量流量制御装置 |
| CN110945325A (zh) * | 2017-07-20 | 2020-03-31 | 恩德莱斯+豪瑟尔韦泽尔有限商业两合公司 | 热式流量计 |
-
1988
- 1988-10-03 JP JP63250076A patent/JPH0296619A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100508488B1 (ko) * | 2001-08-14 | 2005-08-17 | 마이크로 인스펙션 주식회사 | 열량형 질량유량 측정센서 및 그의 오차보정 방법 |
| KR100559440B1 (ko) * | 2004-09-02 | 2006-03-10 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 배관내 연료가스의 유량 측정장치 및 방법 |
| WO2011002662A1 (en) * | 2009-06-30 | 2011-01-06 | Advanced Energy Industries, Inc. | Thermal flow sensor with zero drift compensations |
| US8196601B2 (en) | 2009-06-30 | 2012-06-12 | Hitachi Metals, Ltd | Thermal flow sensor with zero drift compensation |
| JP2015194421A (ja) * | 2014-03-31 | 2015-11-05 | 日立金属株式会社 | 質量流量計、及び当該質量流量計を使用する質量流量制御装置 |
| CN110945325A (zh) * | 2017-07-20 | 2020-03-31 | 恩德莱斯+豪瑟尔韦泽尔有限商业两合公司 | 热式流量计 |
| CN110945325B (zh) * | 2017-07-20 | 2021-09-03 | 恩德莱斯+豪瑟尔韦泽尔有限商业两合公司 | 热式流量计 |
| US11480456B2 (en) | 2017-07-20 | 2022-10-25 | Endress+Hauser Wetzer Gmbh+Co. Kg | Thermal flowmeter |
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