JPH11153641A - 半導体デバイス試験装置 - Google Patents
半導体デバイス試験装置Info
- Publication number
- JPH11153641A JPH11153641A JP9321808A JP32180897A JPH11153641A JP H11153641 A JPH11153641 A JP H11153641A JP 9321808 A JP9321808 A JP 9321808A JP 32180897 A JP32180897 A JP 32180897A JP H11153641 A JPH11153641 A JP H11153641A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体デバイスの正確な交流特性を得ること
ができる半導体デバイス試験装置を得ること。 【解決手段】 本発明は、電源入力用の電源入力端子１
ａおよび信号入力用の信号入力端子１ｂを有する被測定
デバイス１と、その反転入力端子が入力抵抗３を介して
入力端子４に接続され、電源入力端子１ａへ入力すべき
電源電流を増幅する電流増幅器２と、電源入力端子１ａ
と電流増幅器２の反転入力端子との間に介挿された帰還
抵抗５と、電流増幅器２の出力端子と電源入力端子１ａ
との間に介挿された電流検出抵抗６と、電流検出抵抗６
の両端の電位差に比例した電圧を出力する差動増幅器７
と、電流検出抵抗６に並列接続されたスイッチ８とを有
し、信号入力端子１ｂに信号を入力して行う交流特性試
験時には、スイッチ８がオンとされる。
ができる半導体デバイス試験装置を得ること。 【解決手段】 本発明は、電源入力用の電源入力端子１
ａおよび信号入力用の信号入力端子１ｂを有する被測定
デバイス１と、その反転入力端子が入力抵抗３を介して
入力端子４に接続され、電源入力端子１ａへ入力すべき
電源電流を増幅する電流増幅器２と、電源入力端子１ａ
と電流増幅器２の反転入力端子との間に介挿された帰還
抵抗５と、電流増幅器２の出力端子と電源入力端子１ａ
との間に介挿された電流検出抵抗６と、電流検出抵抗６
の両端の電位差に比例した電圧を出力する差動増幅器７
と、電流検出抵抗６に並列接続されたスイッチ８とを有
し、信号入力端子１ｂに信号を入力して行う交流特性試
験時には、スイッチ８がオンとされる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体デバイスの
直流および交流特性試験に用いられる半導体デバイス試
験装置に関する。
直流および交流特性試験に用いられる半導体デバイス試
験装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は、従来の半導体デバイス試験装置
の構成を示す回路図である。この図において、１は、半
導体デバイス等の被測定デバイスであり、電源入力用の
電源入力端子１ａおよび信号入力用の信号入力端子１ｂ
を有している。２は、電源入力端子１ａへ入力すべき電
源電流を増幅する電流増幅器である。この電流増幅器２
は、一定の出力電圧を保持しつつ、出力電流を変化させ
る一種の電圧源である。電流増幅器２の反転入力端子
は、入力抵抗３を介して入力端子４に接続されている。
この入力端子４には、電流増幅器２の出力電圧を決定す
る設定電圧が印加される。また、電流増幅器２の非反転
入力端子は、接地されている。
の構成を示す回路図である。この図において、１は、半
導体デバイス等の被測定デバイスであり、電源入力用の
電源入力端子１ａおよび信号入力用の信号入力端子１ｂ
を有している。２は、電源入力端子１ａへ入力すべき電
源電流を増幅する電流増幅器である。この電流増幅器２
は、一定の出力電圧を保持しつつ、出力電流を変化させ
る一種の電圧源である。電流増幅器２の反転入力端子
は、入力抵抗３を介して入力端子４に接続されている。
この入力端子４には、電流増幅器２の出力電圧を決定す
る設定電圧が印加される。また、電流増幅器２の非反転
入力端子は、接地されている。
【０００３】５は、電源入力端子１ａと電流増幅器２の
反転入力端子との間に介挿された帰還抵抗である。６
は、電流増幅器２の出力端子と電源入力端子１ａとの間
に介挿された電流検出抵抗であり、電源入力端子１ａに
入力される電源電流の検出に用いられる。７は、電流検
出抵抗６の両端の電位差に比例した電圧を出力する差動
増幅器であり、その反転端子が電流検出抵抗６の一端に
接続されており、非反転端子が電流検出抵抗６の他端に
接続されている。
反転入力端子との間に介挿された帰還抵抗である。６
は、電流増幅器２の出力端子と電源入力端子１ａとの間
に介挿された電流検出抵抗であり、電源入力端子１ａに
入力される電源電流の検出に用いられる。７は、電流検
出抵抗６の両端の電位差に比例した電圧を出力する差動
増幅器であり、その反転端子が電流検出抵抗６の一端に
接続されており、非反転端子が電流検出抵抗６の他端に
接続されている。
【０００４】次に、上述した従来の半導体デバイス試験
装置を用いた直流特性試験および交流特性試験の手順に
ついて説明する。まず、直流特性試験を行う場合、図示
しない電源から入力端子４に設定電圧が印加されると、
電流増幅器２の非反転入力端子には、入力抵抗３を介し
て電圧が印加される。そして、上記電圧は、電流増幅器
２により増幅された後、電流検出抵抗６を介して電源入
力端子１ａに印加される。ここで、被測定デバイス１に
電流が流れると、電流検出抵抗６に電圧降下が生じるた
め、電源入力端子１ａに印加されている電源電圧が変化
する。
装置を用いた直流特性試験および交流特性試験の手順に
ついて説明する。まず、直流特性試験を行う場合、図示
しない電源から入力端子４に設定電圧が印加されると、
電流増幅器２の非反転入力端子には、入力抵抗３を介し
て電圧が印加される。そして、上記電圧は、電流増幅器
２により増幅された後、電流検出抵抗６を介して電源入
力端子１ａに印加される。ここで、被測定デバイス１に
電流が流れると、電流検出抵抗６に電圧降下が生じるた
め、電源入力端子１ａに印加されている電源電圧が変化
する。
【０００５】しかしながら、帰還抵抗５を介して帰還電
流が電流増幅器２の反転入力端子にフィードバックされ
るため、電流増幅器２の応答時間経過後に、電源入力端
子１ａに印加されている電源電圧は、上述した設定電圧
に補正される。ここで、上記応答時間とは、電流増幅器
２の反転入力端子に直流電圧が印加されてから、電源入
力端子１ａの電源電圧が設定電圧になるまでの時間をい
う。
流が電流増幅器２の反転入力端子にフィードバックされ
るため、電流増幅器２の応答時間経過後に、電源入力端
子１ａに印加されている電源電圧は、上述した設定電圧
に補正される。ここで、上記応答時間とは、電流増幅器
２の反転入力端子に直流電圧が印加されてから、電源入
力端子１ａの電源電圧が設定電圧になるまでの時間をい
う。
【０００６】そして、差動増幅器７の出力端には、電流
検出抵抗６の両端の電位差に比例した電圧が出力され、
図示しない演算部は、該電圧を電流検出抵抗６の抵抗値
で除算した結果を電源入力端子１ａに入力されている電
源電流として求める。
検出抵抗６の両端の電位差に比例した電圧が出力され、
図示しない演算部は、該電圧を電流検出抵抗６の抵抗値
で除算した結果を電源入力端子１ａに入力されている電
源電流として求める。
【０００７】一方、交流特性試験時においては、図示し
ない電源から入力端子４に設定電圧が印加された後、被
測定デバイス１に電流が流れると、電流増幅器２の応答
時間経過後、電源入力端子１ａの電源電圧が設定電圧に
補正される。また、入力端子４に設定電圧が印加される
と同時に、被測定デバイス１の信号入力端子１ｂには、
図示しない信号発生器より信号が入力される。そして、
被測定デバイス１の図示しない出力端子から出力される
出力信号が測定され、所望の波形であるか等の交流特性
試験が行われる。
ない電源から入力端子４に設定電圧が印加された後、被
測定デバイス１に電流が流れると、電流増幅器２の応答
時間経過後、電源入力端子１ａの電源電圧が設定電圧に
補正される。また、入力端子４に設定電圧が印加される
と同時に、被測定デバイス１の信号入力端子１ｂには、
図示しない信号発生器より信号が入力される。そして、
被測定デバイス１の図示しない出力端子から出力される
出力信号が測定され、所望の波形であるか等の交流特性
試験が行われる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の半導
体デバイス試験装置においては、一般に電流増幅器２の
応答時間に比して信号入力端子１ｂに入力される信号の
周期が短い。従って、従来の半導体デバイス試験装置に
おいては、電源入力端子１ａに印加されている電源電圧
が変動している状態で交流特性試験が行われることか
ら、正確な交流特性を得ることができないという問題が
あった。本発明はこのような背景の下になされたもの
で、半導体デバイスの正確な交流特性を得ることができ
る半導体デバイス試験装置を提供することを目的とす
る。
体デバイス試験装置においては、一般に電流増幅器２の
応答時間に比して信号入力端子１ｂに入力される信号の
周期が短い。従って、従来の半導体デバイス試験装置に
おいては、電源入力端子１ａに印加されている電源電圧
が変動している状態で交流特性試験が行われることか
ら、正確な交流特性を得ることができないという問題が
あった。本発明はこのような背景の下になされたもの
で、半導体デバイスの正確な交流特性を得ることができ
る半導体デバイス試験装置を提供することを目的とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、半導体デバイスの電源入力端子へ電源電流を供給
し、前記電源電流の変動にかかわらず、一定の出力電圧
を出力する電流供給手段と、交流特性試験時に前記半導
体デバイスの信号入力端子へ信号を供給する信号供給手
段と、前記電流供給手段と前記電源端子との間に介挿さ
れ、前記電源電流を検出する電流検出抵抗と、前記電流
検出抵抗に並列接続されたスイッチと、前記交流特性試
験時に前記スイッチをオンにする制御手段とを具備する
ことを特徴とする。請求項２に記載の発明は、請求項１
に記載の半導体デバイス試験装置において、直流特性試
験時に前記電流検出抵抗の両端の電位差を求めた後、該
電位差に基づいて前記電源電流を求める電源電流算出手
段を具備し、前記制御手段は、前記直流特性試験時に前
記スイッチをオフにすることを特徴とする。
は、半導体デバイスの電源入力端子へ電源電流を供給
し、前記電源電流の変動にかかわらず、一定の出力電圧
を出力する電流供給手段と、交流特性試験時に前記半導
体デバイスの信号入力端子へ信号を供給する信号供給手
段と、前記電流供給手段と前記電源端子との間に介挿さ
れ、前記電源電流を検出する電流検出抵抗と、前記電流
検出抵抗に並列接続されたスイッチと、前記交流特性試
験時に前記スイッチをオンにする制御手段とを具備する
ことを特徴とする。請求項２に記載の発明は、請求項１
に記載の半導体デバイス試験装置において、直流特性試
験時に前記電流検出抵抗の両端の電位差を求めた後、該
電位差に基づいて前記電源電流を求める電源電流算出手
段を具備し、前記制御手段は、前記直流特性試験時に前
記スイッチをオフにすることを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態について説明する。図１は本発明の第一実施形態
による半導体デバイス試験装置の構成を示す回路図であ
る。この図において、図２の各部に対応する部分には同
一の符号を付けその説明を省略する。図１においては、
スイッチ８が新たに設けられている。図１に示すスイッ
チ８は、電流検出抵抗６に並列接続されており、図示し
ない制御部によりオン／オフ制御される。
施形態について説明する。図１は本発明の第一実施形態
による半導体デバイス試験装置の構成を示す回路図であ
る。この図において、図２の各部に対応する部分には同
一の符号を付けその説明を省略する。図１においては、
スイッチ８が新たに設けられている。図１に示すスイッ
チ８は、電流検出抵抗６に並列接続されており、図示し
ない制御部によりオン／オフ制御される。
【００１１】次に、上述した一実施形態による半導体デ
バイス試験装置を用いた直流特性試験および交流特性試
験の手順について説明する。まず、直流特性試験を行う
場合、図示しない制御部によりスイッチ８がオフとされ
た後、図示しない電源から入力端子４に設定電圧が印加
されると、電流増幅器２の非反転入力端子には、入力抵
抗３を介して電圧が印加される。そして、前述した動作
と同様にして、電源入力端子１ａに入力されている電源
電流が測定される。
バイス試験装置を用いた直流特性試験および交流特性試
験の手順について説明する。まず、直流特性試験を行う
場合、図示しない制御部によりスイッチ８がオフとされ
た後、図示しない電源から入力端子４に設定電圧が印加
されると、電流増幅器２の非反転入力端子には、入力抵
抗３を介して電圧が印加される。そして、前述した動作
と同様にして、電源入力端子１ａに入力されている電源
電流が測定される。
【００１２】一方、交流特性試験時においては、制御部
によりスイッチ８がオンとされる。これにより、電流検
出抵抗６は、短絡状態とされる。そして、図示しない電
源から入力端子４に設定電圧が印加されると、電流増幅
器２の非反転入力端子には、入力抵抗３を介して電圧が
印加される。そして、上記電圧は、電流増幅器２により
増幅された後、スイッチ８を介して電源入力端子１ａに
入力される。ここで、電流検出抵抗６に電圧降下が生じ
ないため、電源入力端子１ａに印加される電源電圧は変
化しない。
によりスイッチ８がオンとされる。これにより、電流検
出抵抗６は、短絡状態とされる。そして、図示しない電
源から入力端子４に設定電圧が印加されると、電流増幅
器２の非反転入力端子には、入力抵抗３を介して電圧が
印加される。そして、上記電圧は、電流増幅器２により
増幅された後、スイッチ８を介して電源入力端子１ａに
入力される。ここで、電流検出抵抗６に電圧降下が生じ
ないため、電源入力端子１ａに印加される電源電圧は変
化しない。
【００１３】また、入力端子４に設定電圧が印加される
と同時に、被測定デバイス１の信号入力端子１ｂには、
図示しない信号発生器より信号が入力される。ここで、
電源入力端子１ａに入力されている電源電流が変化した
場合であっても、電流増幅器２の出力電圧が変化しない
ため、電源入力端子１ａに印加されている電源電圧は、
一定に保持される。そして、被測定デバイス１の図示し
ない出力端子から出力される出力信号が測定され、所望
の波形であるか等の交流特性試験が行われる。
と同時に、被測定デバイス１の信号入力端子１ｂには、
図示しない信号発生器より信号が入力される。ここで、
電源入力端子１ａに入力されている電源電流が変化した
場合であっても、電流増幅器２の出力電圧が変化しない
ため、電源入力端子１ａに印加されている電源電圧は、
一定に保持される。そして、被測定デバイス１の図示し
ない出力端子から出力される出力信号が測定され、所望
の波形であるか等の交流特性試験が行われる。
【００１４】以上説明したように、上述した一実施形態
による半導体デバイス試験装置によれば、交流特性試験
時にスイッチ８をオンとしているので、交流特性試験時
に電源電流の変化があっても電源電圧が変化しない。従
って、上述した一実施形態による半導体デバイス試験装
置によれば、半導体デバイスの正確な交流特性を得るこ
とができる。
による半導体デバイス試験装置によれば、交流特性試験
時にスイッチ８をオンとしているので、交流特性試験時
に電源電流の変化があっても電源電圧が変化しない。従
って、上述した一実施形態による半導体デバイス試験装
置によれば、半導体デバイスの正確な交流特性を得るこ
とができる。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
制御手段によりスイッチがオンとされると、電流検出抵
抗が短絡状態とされるため、電流検出抵抗の電圧降下に
よる電源電圧の変動が生じない。従って、本発明によれ
ば、電源入力端子に印加される電源電圧が安定した状態
で交流特性試験が行われるので、半導体デバイスの正確
な交流特性を得ることができるという効果が得られる。
制御手段によりスイッチがオンとされると、電流検出抵
抗が短絡状態とされるため、電流検出抵抗の電圧降下に
よる電源電圧の変動が生じない。従って、本発明によれ
ば、電源入力端子に印加される電源電圧が安定した状態
で交流特性試験が行われるので、半導体デバイスの正確
な交流特性を得ることができるという効果が得られる。
【図１】 本発明の一実施形態による半導体デバイス試
験装置の構成を示す回路図である。
験装置の構成を示す回路図である。
【図２】 従来の半導体デバイス試験装置の構成を示す
回路図である。
回路図である。
１ 被測定デバイス １ａ 電源入力端子 １ｂ 信号入力端子 ２ 電流増幅器 ３ 入力抵抗 ４ 入力端子 ５ 帰還抵抗 ６ 電流検出抵抗 ７ 差動増幅器 ８ スイッチ
Claims (2)
- 【請求項１】 半導体デバイスの電源入力端子へ電源電
流を供給し、前記電源電流の変動にかかわらず、一定の
出力電圧を出力する電流供給手段と、 交流特性試験時に前記半導体デバイスの信号入力端子へ
信号を供給する信号供給手段と、 前記電流供給手段と前記電源端子との間に介挿され、前
記電源電流を検出する電流検出抵抗と、 前記電流検出抵抗に並列接続されたスイッチと、 前記交流特性試験時に前記スイッチをオンにする制御手
段とを具備することを特徴とする半導体デバイス試験装
置。 - 【請求項２】 直流特性試験時に前記電流検出抵抗の両
端の電位差を求めた後、該電位差に基づいて前記電源電
流を求める電源電流算出手段を具備し、 前記制御手段は、前記直流特性試験時に前記スイッチを
オフにすることを特徴とする請求項１に記載の半導体デ
バイス試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9321808A JPH11153641A (ja) | 1997-11-21 | 1997-11-21 | 半導体デバイス試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9321808A JPH11153641A (ja) | 1997-11-21 | 1997-11-21 | 半導体デバイス試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11153641A true JPH11153641A (ja) | 1999-06-08 |
Family
ID=18136655
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9321808A Withdrawn JPH11153641A (ja) | 1997-11-21 | 1997-11-21 | 半導体デバイス試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11153641A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001052012A1 (fr) * | 2000-01-12 | 2001-07-19 | Advantest Corporation | Circuit d'alimentation en tension constante, substrat de circuit d'alimentation en tension constante et procede d'application d'une tension constante |
| CN109564262A (zh) * | 2016-08-12 | 2019-04-02 | 东京毅力科创株式会社 | 器件检查电路、器件检查装置和探针卡 |
-
1997
- 1997-11-21 JP JP9321808A patent/JPH11153641A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001052012A1 (fr) * | 2000-01-12 | 2001-07-19 | Advantest Corporation | Circuit d'alimentation en tension constante, substrat de circuit d'alimentation en tension constante et procede d'application d'une tension constante |
| US6756774B2 (en) | 2000-01-12 | 2004-06-29 | Advantest Corporation | Constant voltage source, a constant voltage source circuit board and a method for applying a constant voltage |
| CN109564262A (zh) * | 2016-08-12 | 2019-04-02 | 东京毅力科创株式会社 | 器件检查电路、器件检查装置和探针卡 |
| KR20190035815A (ko) * | 2016-08-12 | 2019-04-03 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 디바이스 검사 회로, 디바이스 검사 장치 및 프로브 카드 |
| US10859601B2 (en) | 2016-08-12 | 2020-12-08 | Tokyo Electron Limited | Device inspection circuit, device inspection device, and probe card |
| CN109564262B (zh) * | 2016-08-12 | 2021-03-05 | 东京毅力科创株式会社 | 器件检查电路、器件检查装置和探针卡 |
| TWI738842B (zh) * | 2016-08-12 | 2021-09-11 | 日商東京威力科創股份有限公司 | 元件檢查電路、元件檢查裝置及探針卡 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050201 |