JPH04113228A - 複合型流量計 - Google Patents

複合型流量計

Info

Publication number
JPH04113228A
JPH04113228A JP2230614A JP23061490A JPH04113228A JP H04113228 A JPH04113228 A JP H04113228A JP 2230614 A JP2230614 A JP 2230614A JP 23061490 A JP23061490 A JP 23061490A JP H04113228 A JPH04113228 A JP H04113228A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flow
flow sensor
microcomputer
heater
flow rate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2230614A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2562078B2 (ja
Inventor
Yasuharu Oishi
安治 大石
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Azbil Corp
Original Assignee
Azbil Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Azbil Corp filed Critical Azbil Corp
Priority to JP2230614A priority Critical patent/JP2562078B2/ja
Publication of JPH04113228A publication Critical patent/JPH04113228A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2562078B2 publication Critical patent/JP2562078B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、低流量域を測定するフローセンサ(マイクロ
フローセンサともいう)と高流量域を測定するのに好適
なカルマン流量計等の流量計を組み合わせた複合型流量
計に関し、特にそのフローセンサの故障診断機能をもつ
複合型流量計に関するものである。
〔従来の技術〕
従来、複合型流量計としては、例えば低流量域を測定す
るフローセンサと、大流量域を測定するカルマン流量計
を設け、これらフローセンサ、流量計からの流量信号を
マイクロコンピュータ(以下マイコンと略す)に入力し
て流量を測定するようにしたガスメータがある。
この場合、フローセンサは、例えばシリコンの基台上に
発熱用ヒータと該ヒータを挟んで両側に独立して配置さ
れた上流及び下流側感温抵抗からなり、発熱ヒータをオ
ンしたとき、被測定ガスの流れがあると上流側感温抵抗
は冷却されて抵抗値が減少するのに対し、下流側感温抵
抗は加熱されて抵抗値が増加することを利用し、その差
が流量に比例した特性をもっている。
一方、マイコンは、フローセンサの出力をディジタルに
変換したパルス信号を入力して、フローセンサの発熱ヒ
ータをオフとしたときのパルス出力P1と該ヒータをオ
ンとしたときのパルス出力P2を読み込み、その差P2
−p、を演算して流量信号として認識するものとなって
いる。ここで、前記P1はある出力パルス数の許容範囲
をもっており、フローセンサの感温抵抗、検出部の固定
抵抗及び差動増幅器のオフセント電圧を考慮しである値
(例えば360パルス)になるように調整されている。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかし、このような従来の複合型流量計では、フローセ
ンサを構成する感温抵抗、検出部の固定抵抗及び差動増
幅器のオフセント電圧の変化が大きくなると、フローセ
ンサの発熱ヒータをオフとシタトきのパルス出力P、が
そのパルス範囲を越える戊があり、正確な流量が得られ
なくなる。また、フローセンサの発熱ヒータ、感温抵抗
はショートモードはないが、オープン状態つまり断線に
なることがあり、それらがオーブン状態になるとフロー
センサの出力信号が不定となり、その本来の機能を果た
さなくなるという問題があった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その
目的は、フローセンサの故障及び故障診断としてその状
態を容易に判別できるようにした複合型流量計を提供す
ることにある。
〔課題を達成するための手段〕
上記の目的を達成するために、本発明に係る複合型流量
計は、基台上に発熱ヒータと該ヒータの両側に独立して
配置された上流及び下流側感温抵抗からなり低流量域を
測定するフローセンサと、大流量域を測定する流量計と
、これらフローセンサ、流量計からの流量信号を入力し
その信号に基づき流量計測の演算処理を行なうとともに
、前記フローセンサの故障診断を行なうマイコンとを備
えたものである。
このとき、前記マイコンは、フローセンサの故障診断を
行なうのに、流量の有無にかかわりなくフローセンサの
発熱ヒータをオフとしたときの出力信号が許容範囲を越
えた場合に異常信号を出すものとし、あるいは流量計か
らの流量信号があり、かつフローセンサからの出力信号
が発熱ヒータをオフとしたときの出力信号および該発熱
ヒータをオンとしたときの出力信号が零の時、上流側感
温抵抗の断線故障と判断するものとする。
また、前記マイコンは、流量計からの流量信号がなく、
しかもフローセンサからの出方信号が発熱ヒータをオフ
としたときの出力信号及び発熱ヒータをオンとしたとき
の出力信号が各々許容値を越えたときに、下流側感温抵
抗の断線故障と判断するものとし、さらに流量計からの
流量信号がある際、フローセンサからの出力信号が発熱
ヒータをオフとしたときの出力信号と該ヒータをオフと
したときの出力信号が等しい時に発熱ヒータの断線故障
と判断するものとする。
〔作用〕
本発明においては、フローセンサの流量信号と流量計の
流量信号とをマイコンに入力して、この両信号を比較す
ることにより、フローセンサに特有の故障モーとを適確
に判断することができる。
〔実施例〕
以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。
第1図は本発明の一実施例による複合型流量計の基本的
なブロック構成図で、第2図及び第3図は第1図のフロ
ーセンサのヒータ駆動回路およびそのフローセンサの信
号をマイコンに入力するインターフェイス回路を示すも
のであり、ここではガスメータに通用した場合を示す。
第1図において、■はガスの流路4内の上流側に配設さ
れて例えば150 I!/h以下の低流量域を測定する
フローセンサ、2はこの流路4内のフローセンサ1に近
接して配設されて例えば1501/h以上の大流量領域
を測定するカルマン流量計、3はこれらフローセンサ1
.カルマン流量計2からの流量信号が入力されるマイコ
ンであり、このマイコン3は、それら信号に基づき流量
計測の演算処理を行なうとともに、フローセンサlの故
障診断を行なうものとなっている。
このとき、フローセンサ1は、従来例と同様に、シリコ
ンなどの基台上に発熱用のヒータと該ヒータの両側に独
立して配置された上流及び下流側感温抵抗からなる。そ
して発熱ヒータ11は、第2図に示すように、電圧源1
2からスイッチ13を介して供給される一定の電流によ
り所定の温度に加熱される。また、上流及び下流側感温
抵抗21゜22は、第3図に示すように、固定抵抗23
及び24を含むブリッジ回路20の各辺にそれぞれ接続
されており、その検出点a−b間に生じる差電圧を差動
増幅器25で増幅したのち、A/D変換器26でディジ
タル信号に変換して、流量に比例したパルス信号をマイ
コン3に人力するものとなっている。
また、マイコン3は、フローセンサ1の発熱ヒータ11
がオフ(スイッチ13が開)したときのパルス出力P1
 とそのヒータ11がオン(スイッチ13が閉)したと
きのパルス出力P2を読み込み、その差P z  P 
+を演算して流量信号として認識する。ここで、前記パ
ルス出力P1はある出力パルス数の範囲、例えば0〜6
40パルスをもっており、同じ<P2は例えばO〜13
90パルスをもっており、フローセンサ1の各感温抵抗
21.22と固定抵抗23.24及び差動増幅器25の
オフセント電圧のとき、ある値(例えば360パルス)
になるように調整されている。なお、第3図中VBは駆
動電源の電圧を示す。
ところで、従来では、フローセンサ1を構成する上流及
び下流側感温抵抗21.22と固定抵抗23.24およ
び差動増幅器25のオフセット電圧の変化が大きくなる
と、その出力P1はパルス範囲を越える虞れがあり、正
確な流量が得られなくナル。また、フローセンサ1の発
熱ヒータ11゜上流及び下流側感温抵抗21.22はシ
ョートモードはないが、オープン状態になることがある
そのため、この上流側感温抵抗21がオープンになると
、フローセンサ1の出力P+、Pzは常にO(零)とな
り、従って、流れがあっても0となる。
また、下流側感温抵抗22がオープンになると、フロー
センサ1の出力P、は最大の640パルス、同じく出力
P2は1390パルスとなり、その差P2−P、は75
0パルスとなって、流れがなくても流量信号が出る。さ
らに、発熱ヒータ11がオープンになると、各パルス出
力P1及びP2は、流れの有無にかかわらずP、=P2
となり、流量信号が0となるような不具合が生していた
しかるに、本発明は、このようなフローセンサの故障の
状態を容易に判別するようになされたものである。すな
わち、本実施例は、第1図〜第3図の構成において、フ
ローセンサ1の各上流及び下流側感温抵抗2L22と固
定抵抗23.24の経年変化および差動増幅器25のオ
フセットドリフトにより、その出力P、が予め設定され
た初期値(例えば360パルス)から変化すると、マイ
コン3によってこのP、を監視することにより、それが
ある動作範囲を越えたとき、故障前として警報Aを出力
するものとなっている。
また、マイコン3は、カルマン流量計2からの流量信号
があり、しかもフローセンサ1の出力P。
及びP2が共にOのとき(出力オーバー)、上流側感温
抵抗21のオープン故障として警報を出すものとなって
いる。このとき、前記警報Aはリセットする。
また、マイコン3は、カルマン流量計2からの流量信号
がなく、しかもフローセンサ1の出力P1が許容値とし
て例えば640パルス、出力P2が1390パルスを越
えたとき(出力オーハーになったとき)、下流側感温抵
抗22のオープンとして警報を出すものとなっている。
このときも前記警報Aはリセフトする。
さらに、マイコン3は、カルマン流量計2からの流量信
号があるにもかかわらず、フローセンサ1の各出力P、
及びP2がP + =P zのとき、発熱ヒータ11の
オープン故障として警報を出すものとなっている。
このように、かかる実施例によると、フローセンサ1の
故障および故障予知が正しく診断でき、ガスメータにお
いてメインテナンス上の修理箇所の明確化、修理のスピ
ードアンプが計れる利点を有する。
なお、本発明における大流量域の測定はカルマン流量計
を用いたが、これはフルイブインク流量計、大流量用フ
ローセンサ等において代用することも可能である。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば、低流量域を測定
するフローセンサと大流量域を測定する流量計からの流
量信号を入力しその流量計測の演算処理を行なうマイコ
ンを搭載した複合型流量計において、フローセンサの故
障及び状態を診断するようにしたので、フローセンサに
特有な故障モードを適確に判断することができる。これ
によって、フローセンサの動作状態がはっきり分かるよ
うになる。これは、特にガスメータのメインテナンス上
の修理箇所の明確化、また修理のスピードアップが計れ
る点で有効である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による複合型流量計の一実施例を示す基
本的なブロック構成図、第2図は第1図のフローセンサ
のヒータ駆動回路図、第3図はそのフローセンサの信号
をマイコンに入力するインターフェイス回路図である。 1・・・フローセンサ、2・・・カルマン流量計、3・
・・マイコン(マイクロコンピュータ)、4・・・ガス
流路、11・・・発熱ヒータ、12・・・電圧源、13
・・・スイッチ、21・・・上流側感温抵抗、22・・
・下流側感温抵抗、23.24・・・固定抵抗、25・
・・差動増幅器、26・・・A/D変換器。 第1図

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)基台上に発熱ヒータと該ヒータの両側に独立して
    配置された上流及び下流側感温抵抗からなり低流量域を
    測定するフローセンサと、大流量域を測定する流量計と
    、これらフローセンサ、流量計からの流量信号を入力し
    その信号に基づき流量計測の演算処理を行なうとともに
    、前記フローセンサの故障診断を行なうマイクロコンピ
    ュータとを備えたことを特徴とする複合型流量計。
  2. (2)請求項1において、マイクロコンピュータは、流
    量の有無にかかわりなくフローセンサの発熱ヒータをオ
    フとしたときの出力値が許容範囲を越えた場合に異常信
    号を出す手段を有することを特徴とする複合型流量計。
  3. (3)請求項1において、マイクロコンピュータは、流
    量計からの流量信号があり、かつフローセンサからの出
    力信号が発熱ヒータをオフとしたときの出力信号および
    該発熱ヒータをオンとしたときの出力信号が零の時、上
    流側感温抵抗の断線故障と判断する手段を有することを
    特徴とする複合型流量計。
  4. (4)請求項1において、マイクロコンピュータは、流
    量計からの流量信号がなく、しかもフローセンサからの
    出力信号が発熱ヒータをオフとしたときの出力信号およ
    び発熱ヒータをオンとしたときの出力信号が各々許容値
    を越えたときに、下流側感温抵抗の断線故障と判断する
    手段を有することを特徴とする複合型流量計。
  5. (5)請求項1において、マイクロコンピュータは、流
    量計からの流量信号がある際、フローセンサからの出力
    信号が発熱ヒータをオフとしたときの出力信号と該ヒー
    タをオフとしたときの出力信号が等しい時に発熱ヒータ
    の断線故障と判断する手段を有することを特徴とする複
    合型流量計。
JP2230614A 1990-09-03 1990-09-03 複合型流量計 Expired - Lifetime JP2562078B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2230614A JP2562078B2 (ja) 1990-09-03 1990-09-03 複合型流量計

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2230614A JP2562078B2 (ja) 1990-09-03 1990-09-03 複合型流量計

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04113228A true JPH04113228A (ja) 1992-04-14
JP2562078B2 JP2562078B2 (ja) 1996-12-11

Family

ID=16910526

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2230614A Expired - Lifetime JP2562078B2 (ja) 1990-09-03 1990-09-03 複合型流量計

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2562078B2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004093175A (ja) * 2002-08-29 2004-03-25 Tokyo Gas Co Ltd 熱式流量計
JP2009243958A (ja) * 2008-03-28 2009-10-22 Yamatake Corp 熱式流量計
JP2012173004A (ja) * 2011-02-17 2012-09-10 Azbil Corp 流量計
JP2015197324A (ja) * 2014-03-31 2015-11-09 アズビル株式会社 異常判断装置及び異常判断方法

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5510311B2 (ja) * 2010-12-27 2014-06-04 株式会社デンソー 発熱抵抗式流量センサ及びその自己診断方法
JP7034854B2 (ja) * 2018-07-13 2022-03-14 アズビル株式会社 異常判定装置および方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6066116A (ja) * 1983-09-21 1985-04-16 Hitachi Ltd 内燃機関用吸入空気計量装置
JPS6255519A (ja) * 1985-09-04 1987-03-11 Nippon Denso Co Ltd 内燃機関の制御に用いられる空気流量検出装置
JPS63128425U (ja) * 1987-02-16 1988-08-23
JPH01308921A (ja) * 1988-06-07 1989-12-13 Tokyo Gas Co Ltd 気体流量計
JPH02161313A (ja) * 1988-12-15 1990-06-21 Yamatake Honeywell Co Ltd 複合流量計

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6066116A (ja) * 1983-09-21 1985-04-16 Hitachi Ltd 内燃機関用吸入空気計量装置
JPS6255519A (ja) * 1985-09-04 1987-03-11 Nippon Denso Co Ltd 内燃機関の制御に用いられる空気流量検出装置
JPS63128425U (ja) * 1987-02-16 1988-08-23
JPH01308921A (ja) * 1988-06-07 1989-12-13 Tokyo Gas Co Ltd 気体流量計
JPH02161313A (ja) * 1988-12-15 1990-06-21 Yamatake Honeywell Co Ltd 複合流量計

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004093175A (ja) * 2002-08-29 2004-03-25 Tokyo Gas Co Ltd 熱式流量計
JP2009243958A (ja) * 2008-03-28 2009-10-22 Yamatake Corp 熱式流量計
JP2012173004A (ja) * 2011-02-17 2012-09-10 Azbil Corp 流量計
JP2015197324A (ja) * 2014-03-31 2015-11-09 アズビル株式会社 異常判断装置及び異常判断方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2562078B2 (ja) 1996-12-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2000065315A1 (fr) Detecteur de flux thermal, procede et appareil d'identification de fluide, detecteur de flux, et procede et appareil de mesure de flux
JPH04113228A (ja) 複合型流量計
EP0324620B1 (en) Angular velocity sensor
JP2003106886A (ja) 熱式流量計
JP4641359B2 (ja) フローセンサの異常判定装置
US6086251A (en) Process for operating a thermocouple to measure velocity or thermal conductivity of a gas
JPH11258022A (ja) ガスメータ
JPH06109506A (ja) 発熱抵抗体式空気流量計
JP2007192775A (ja) 流量計
JPH1019626A (ja) 流速検出装置
JPH075009A (ja) エンジンの空気流量測定装置、燃料噴射制御装置及びこれらに用いる流量センサ
JP4907959B2 (ja) フローセンサ用補正ユニット、流体判別装置、及び、流量計測装置
JP2003097990A (ja) 熱式流量計
JPH05157759A (ja) サーミスタを用いた風速検知方法
JP2006275540A (ja) 空気流量計測装置の異常検出装置、及びエンジン制御システム
JP3274564B2 (ja) 気体用流量計
JP4820017B2 (ja) フローセンサを用いた流量計測装置
JP6537566B2 (ja) 感温素子の駆動方法、駆動装置、および渦流量計
JPH0663800B2 (ja) ヒータ温度制御回路
JP2002048615A (ja) 熱フローセンサを用いた流量計
JP3734025B2 (ja) 熱式流量計
JP2588790B2 (ja) 複合型流量計
JP3758033B2 (ja) 熱式流量計
JPS63206616A (ja) 熱式流量計の流体温度測定方法
JP3519464B2 (ja) 熱感知器

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070919

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080919

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080919

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090919

Year of fee payment: 13

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100919

Year of fee payment: 14

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100919

Year of fee payment: 14

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

EXPY Cancellation because of completion of term