JPS62268136A - ウエハキヤリア移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体製造工程における、例えば半導体ウェ
ハキャリアの自ｒｆＩＪ搬送システムと半導体製造装置
間において、ウェハキャリアの移載を行うウェハキャリ
ア移載装置に関するものである。

〔従来の技術〕

一般に半導体製造工程におけろウェハキャリアのＬη送
は、発塵源たる作業者の介在を排除するために自動搬送
車に↓すｔｑ＞送する形態へと移行しっつある。

この自動搬送技術において、特に自動搬送車と半導体製
造装置の間におけるウェハキャリアのローディングアン
ローディングを自動化して同作業におけろ作業者の介在
を完全に排除するために、本発明者による実願昭６０−
１７０９４５　ｒ自動搬送システムにおけるウェハキャ
リアの移載装置」が提供されている。第２図（ま同装置
を示す外観斜視図であり、同図に示すように、ウェハキ
ャリア１は、工場の天井部分に吊設された軌道２を走行
する自動搬送車のアーム３に載置されて所定のステーシ
ョンまで搬送される。そしてアーム３が回動し、ウェハ
キャリア１のフランジ部１ａと係合してこれを支持する
フォーク型のアーム４に移載される。さらにこのアーム
４はリフタ５により下降し、半導体製造装置（図示せず
。）のテーブル６に設けられた移送台７よりも下方に下
降することにより、ウェハキャリア１が移送台７上に戯
コ遠れろと共に、アーム４が移送台７の下方の逃げ間隙
に位置することになる。この状態で移送台７が矢印方向
に移送されることによりウェハキャリア】の半導体製造
装置へのローディングが行われろ。また以上の動作を逆
に行うことによりアンローディングが行われる。

このようにこの移載装置によれば、自動搬送車から半導
体製造装置へのローディング・アンローディングを自動
化できろものである。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら上記の移載装置ては、例えばアンローディ
ング時に、アーム４が下降する前にウェハキャリア１を
載置された移送台７がセットされた場合、アーム４がウ
ェハキャリア１めフランジ部１ａに悶えてしまうので、
アーム４を下降することができず、このため連続してア
ンローディングを行う場合に、アーム４の所定位置まで
の下降を待って移送台７を移送させる必要があり、長時
間を要するという問題点があった。

本発明は、このような問題点に鑑み、短時間で連続した
移送を行うことができるウニへキャリア移送装置を提供
することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、ウェハキャリアのフランジ部と係合してこれ
を支持する一対あアームが昇降材に付設されるウェハキ
ャリア移載装置において、Ｍ記アームを対向方向につい
て移動させる移動機構が付設されているものである。

〔作用〕

本発明によれば、移動機構を動作させてアームを対向方
向について移動させることにより、ウェハキャリアを支
持し得ろ対向幅及びウェハキャリアのフランジ部を跨い
て通過し得る対向幅にアームを選択制御することができ
ろ。

〔実施例］ 第１図１．ｆ本発明の一実施例の要部を示す斜視図、第
３図は同実施例を示す全体♀１視図、第４図［ａ）　ｆ
ｂ）は同実施例の動作を示す説明図及び第５図は本発明
の他の実施例の要部を示す部分断面図である。

まず本発明の一実施例の移載装置を説明する。

第１図及び第３図に示すように、半導体製造装置（図示
せず。）へのローディング・アンローディングためのテ
ーブル８には、リフタ５が立設されており、昇降動作を
行う昇降部９には取付板１０が固定されている。そして
この取付板１０には一対のスライドブロック１１が固定
されており、このスライドブロック１１によりアーム１
２がスライド自在に支持されている。このスライドブロ
ック１１の対向側面には、アーム１２に当接してその対
向方向へのスライドを拘束するストッパ板１３が付設さ
ねている。さらにアーム１２間には、基部１２ａにおい
て引張りコイルバネ１４が張架されている。さらに取付
板１０には長孔１０ａが形成されており、この長孔１０
ａの上方に位置するように回転ローラ１５がアーム１２
の基部１２ａにおいて軸支されている。

また上記のアーム１２に（よ、ウェハキャリア１のフラ
ンツ部１ａと係合する係合部１２ｂがそれぞれ２つずつ
形設されてＬ）ろ。

一方すフク５の立設個所の近傍（Ｃは、昇降機構（図示
せず。）によす昇降自在に支持される開閉板１６が設け
られている。この開閉板１６の上部には斜辺１６ａが形
成されており、上記の取付板１０の長孔１０ｇに挿入し
、回転ローラ１５と当接してこれを押圧し、アーム１２
を外側の方向にスライドさせるものである。

またテーブル８には、ウェハキャリア１の半導体製造装
置へのローダ又はアンローブを行うための移送台１７が
設けられており、この移送台１７の上面には、ウェハキ
ャリア１を位置決めするための位置決めコマ１７ａが形
成さｎている。

以上の構造において、自動搬送車からウェハキャリア１
が移載される際（第２図５照。）は、まずリフタ５が作
動して昇降部９が所定の位置まで上昇する。このときウ
ェハキャリア１を支持した自動搬送車のアーム３は回動
してアーム１２の上方に位置している。またアーム〕２
は引張りニイルバネ１４の付勢力により対向方向に移動
した位置にあり（以下、閉状態という。第４図ｔａ＋参
照。）、この閉状態で上昇することにより、係合部１２
）＋によりウェハキャリア１のフランジ部１ａに下方か
ら係合してこれを支持する。

モしてリフタ５が下降駆動して昇降部９が下降し、下方
に位置する移送台１７上にウェハキャリア１が載置され
、さらに若干下降した位置で停止する。しかる後、開閉
板１６が上昇し、その上部が取付板１０の長孔１０ａに
挿入させられろことにより、その斜辺１．６　ａが回転
ローラ１５に当接し、アーム１２は押し広げられる（以
下、開状態という。第４図（ｂｌ参照。）。そしてこの
開状態てリフタ５を上昇駆動して昇降部９を上昇させれ
ば、ウェハキャリア１のフランジ部１ａに悶左ろことな
くアーム１２を上昇させることができろ。なお移載途中
に誤動作によりアーム１２が開いてウェハキャリア１が
落下する等の事故を防ぐｔこめに、開閉数１６の上昇駆
動の上限を必要最小限の高さに設定する態様が望ましい
。この後、移送台１７の駆動により、半導体製造装置へ
のウェハキャリアのローディングが行われろ。モしてウ
ェハキャリア１の移送を連続して行う場合には、引き続
きアーム１２を上昇させて上記の動作を繰り返す。

さらに移送台１７から自動附送車ヘウエハキャリア１が
移送される際は、まず、移送台１７の駆動によりウェハ
キャリア１がアンローディングされて所定の位置まで移
送される。モしてリフタ５の駆動により上方からアーム
１２が下降してくる。

このとき開閉板１６は上昇した位置にあり、アーム１２
は下降に伴い開状態をとることになるので、ウェハキャ
リア１のフランジ部１ａに悶えろことなく、フランジ部
１ａの下方まで下降することができろ。

そして開閉板１６が下降し、アーム１２は開状態となり
、しかろ後リフタ５の上昇駆動によりアーム１２は上昇
して係合部１２ｂによりウェハキャリアｌのフランジ部
１ａを保持し、さらに上昇して自動搬送車のアーム３よ
り若干高い位置に至る。そしてアーム３がウェハキャリ
ア１の下方まで回動し、リフタ５の下降駆動によりアー
ム１２が下降し、ウェハキャリア】のアーム３への移動
が行われろ。なおウェハキャリア１のアンローディング
を連続して行う場合には、引き続きアーム１２を下降さ
せて上記の動作を繰す遅す。

次に本発明の他の実施例を説明する。第５図においてス
ライドブロック１１、アーム１２、引張りコンルバネ１
４、回転ローラ１５は第１図と同しである。本実施例で
は、アーム１２を移動させるための機構として、取付板
１８にモータ１９を付設し　その回転軸にカム２０を取
り付けている。

引’！リコイルバネ１４によりアーム１２は対向方向に
付勢されているので、回転ローラ１５：ま常にカム２０
に当接しており、モータ１９をす動してカム２０を所定
角度回転させることにより、アーム１２の移動が行われ
、開状態又は閉状態の選択制御が行われろものである。

なお本実施例の場合、第１図のストンバ仮１３及び開閉
板１６に相当するものは必要としないという利点がある
。

また上記２実施例において：よ、アームはスライド自在
に支持されるものであったが、アームを取付板に枢支し
、これを回転させる（１構を付設する態様をとることも
てきろ。つまりアームの移動はスライ１：によろもの：
こ限らず、回転によるものであって右上い。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、移動（虚構を動
作させてアームを対向方向について移動させることによ
り、ウェハキャリアを支持し得ろ対向幅及びウェハキャ
リアのフランジ部を跨いて通過し得ろ対向幅にアームを
選択制御することができるので、ウニへキャリアを載置
された移送台がセットされている場合でもアームの昇降
が自在であるから、アームの昇降を待って移送台を駆動
し又は逆に移送台の駆動を待ってアームの昇降を行うよ
うなロス時間を省くことがてき、それゆえ移載工程の効
率を向上させることができろ。特に連続した移載を行う
場合の効率の向上にｔｊめて効］！がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の要部を示す斜視図、第２図
は従来の移載装置を示す外賎？′４視図、第３図は同実
施例を示す全体斜視図、第４図ｊａｉ　４ｂ）は同実施
鋼の動作を示す説明図及び第５図は本発明の他の実施例
の要部を示す部分断面図である。 １：ウェハキャリア、１ａ：フランジ部、３：自Ｗｌ　
１２送車のアーム、５：　リフタ、８：テーブル、１０
：取付板、１０ａ：長孔、１１ニスライドブロツク、１
２：アーム、１２ｂ：係合部、１３：ストッパ板、１４
：引張りコイルバネ、１５一回転ローラ、１６：開閉板
、１６ａ：斜辺、１７：移送台、１９：モーフ、２０；
　カム。 特許出願人　沖雷気工業株式会社　− 代　　理　　人　　角　　　１）　仁　之　助　　、、
−・実施例の要部を示す斜視図 第１図 従来の移載装置を示す外観斜視図 第　２　図 実施例を示す全体斜視図 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　ウェハキャリアのフランジ部と係合してこれを支持す
   る一対のアームが昇降材に付設されるウェハキャリア移
   載装置において、前記アームを対向方向について移動さ
   せる移動機構が付設されていることを特徴とするウェハ
   キャリア移載装置。