JPS62256507A - 超音波遅延線の製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は超音波遅延線、特に帯域中心周波数が数十ＭＨ
ｚ以上の高周波超音波遅延線の製造法に関するものであ
る。

従来の技術 放送用、業務用ビデオカメラの画質を改善する輪郭補償
回路には、帯域中心周波数が数十ＭＨｚ以上の高周波超
音波遅延線が用いられている。

この高周波超音波遅延線の従来の製造法を第３図ム〜Ｄ
に示す。まず、第３図人に示すような形状に整形加工し
たガラス等の固体超音波遅延媒体ブロック１゛を数ｎの
厚さに切断する。この切断した第３図Ｂに示す固体超音
波遅延媒体２の超音波伝播主面に垂直な一面に電極３を
蒸着する。次いで、第３図Ｇに示すようにこの電極３を
蒸着した面に入出力用電気−機械変換子４（以下入出力
用変換子と呼ぶ）を貼り合せる。この入出力用変換子４
は所定の厚さまで研磨した後、その表裏の面に電極を蒸
着しである。この後、入出力用リード線５′ｆｔ：配し
、超音波伝播主面に垂直な他の面に不要反射信号を吸収
するための超音波吸収材６を塗布することにより完成品
としている。

発明が解決しようとする問題点 このような従来の高周波超音波遅延線の製造法において
は、切断した固体超音波遅延媒体の各々に入出力用変換
子を貼り合せているため、量産性に乏しいという問題点
がある。また、高周波超音波遅延線の帯域中心周波数は
一般に２βＭＨｚから１００ＭＨ２の高周波域に設定さ
れる。このため、入出力用変換子の厚さは６０１ｔｒｑ
から１０μｍとなる。このように薄く研磨された入出力
用変換子を固体超音波遅延媒体に貼り合せることは困難
であシ、入出力用変換子が割れることが多く、作業性が
悪いという問題点がある。

本発明は以上のような高周波超音波遅延線の爬造上の問
題点を解決するためのものである。

問題点を解決するための手段 以上のような問題点を解決するために本発明は、取扱い
の容易な厚みの圧電板を超音波遅延媒体に貼り合せてか
ら所要の厚みまで研磨して入出力用変換子とする手段を
とるものである。

作用 この構成によシ、入出力用変換子が割れるということも
なく、大きな圧電板を貼り合せることが可能になるため
、作業性も増大することとなる。

実施例 第１図人〜Ｄを用いて本発明の一実施例を説明する。ま
ず、第１図人に示すようにガラス等の固体超音波遅延媒
体ブロック７の超音波伝播主面に垂直な一面に、入出力
用変換子を貼り合せるために下地電極８をスパッタある
いは蒸着等の方法で作成する。ここで、例えば下地電極
８はＮｉ−０ｒを最下層とし、その上にＡｕ、人ｙの層
を設けた３層で構成した。また、入出力用変換子のアー
スを切るため、この下地電極８はマスクを用い、中央部
で電気的導通のないように作成した。次に、第１図Ｂに
示すようにこの下地電極８上に入出力用変換子となる圧
電板９を貼９合せる。この圧電板９としてはセラミクス
や圧電単結晶を用いる。この圧電板９は取扱いが容易で
あるよう厚さをほぼ０．５層１以上とし、固体超音波遅
延媒体ブロック７に貼り合きれる面にはその固体超音波
遅延媒体ブロック７と同様な電極が作成されている。ま
た、貼り合せには熱硬化性のエポキシ系樹脂を用いた。

次に、この固体超音波遅延媒体ブロック７に貼り合せた
圧電板９を所定の厚みまで研磨する。この研磨方法は後
述する。そして、この所定厚さは圧電板９の材質、遅延
線の設定中心周波数によυ変化するが、はぼ７０μｍ以
下１０μｍ以上である。

この後、第１図Ｃに示すように所定の厚さまで研磨した
圧電板９１Ｌに上電極１０を作成する。この上電極１０
の構成は上述のものと同様である。ここで、実施例では
上電極１０のパターンは楕円形としたが、特にこれに限
定されることはない。次に、この上電極１０を作成した
固体超音波遅延媒体ブロック７を超音波伝播主面に平行
に切断する。

第１図りはこのようにして作成された超音波遅延線を示
し、７２Ｌは切断された固体超音波遅延媒体、９ｂは入
出力用変換子である。また、実施例では３ｕの厚さに切
断を行った。次いで、この切断の終った超音波遅延媒体
７＆に従来と同様に配線し吸収剤を塗布する（ここで、
配線と吸収剤については図面上省略されている）。

ここで、本実施例では固体超音波遅延媒体ブロックを切
断してから吸収剤を塗布したが、固体超音波遅延媒体ブ
ローＩりの状態で吸収剤を塗布し、その後、切断しても
よい。

次に、圧電板９の研磨方法を第２図を用いて説明する。

今、圧電板９を貼υ合せた固体超音波遅延媒体ブロック
７をＶプローＩり１１上に熱可塑性接着剤（図示せず）
を用いて固定する。またＶブロック１１を研磨治具板１
２に取付ける。そして、研磨治具１３に取付け、定盤１
４に対して圧電板９が平行に研磨しうるように傾きを調
整する。この調整が終れば定盤１４上に研磨剤（図示せ
ず）を塗布し、定盤１４を回転させて研磨を開始する。

また、研磨治具１３はゴム輪１６により自由に回転する
ようになっている。この研磨装置を用い圧電板９を所定
寸法まで研磨することができる。

発明の効果 本発明によれば、取扱いの容易な厚さの圧電板を超音波
遅延媒体に貼シ合せてから所定の厚さまで研磨するため
作業性が良く、圧電板が割れるという不良が発生しない
こととなる。また、大きな圧電板を一度に貼り合せるた
め、作業能率が向上するという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図Ａ−Ｄは本発明に係わる超音波遅延線の製造法の
製造工程の一実施例を示す図、第２図は本発明において
圧電板の研磨方法を説明するための装置の一例を示す図
、第３図Ａ−Ｄは従来の製造法による製造工程を示す図
である。 ７・・・・・・固体超音波遅延媒体プロ・ンク、８・・
・・・・下地電極、９・・・・・・圧電板、９！Ｌ・・
・・・・所定の厚さの圧電板、９ｂ・・・・・・入出力
用電気−機械変換子（入出力用変換子）、１ｏ・・・・
・・上電極。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
ｒＸＵ 第２図 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　ガラス等の固体超音波遅延媒体の超音波伝播主面に垂
   直な一面に下地電極を作成し、この面に電気−機械変換
   子を構成するための圧電板を貼り合せ、この圧電板の厚
   さを所定の厚さまで研磨し、その上に上電極を作成した
   後、上記固体超音波遅延媒体ブロックを超音波伝播主面
   に平行に切断するようにした超音波遅延線の製造法。