JPS6225469Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (a) 考案の技術分野 この考案は、ウエハ上のチツプを試験する場合
などに、ウエハを試験用のステージ上にセツトす
るまでの搬送機構についてのものである。

(b) 考案の目的 ウエハの搬送機構については種々の手段が発表
されているが、この考案はウエハをセツトするピ
ンと、先端がＵ字状で移動できるロードアームと
を採用し、ロードアームには斜め方向の穴を全体
にあけ、この穴から空気を吹き出したり吸い込ん
だりしてウエハをロードアームの先端まで移動さ
せ、このロードアームを移動してきたウエハをピ
ンの上にセツトするようにした搬送機構の提供を
目的とする。

(c) 考案の実施例 まず、この考案による実施例の構成図を第１図
に示し、第１図の側面図を第２図に示す。

第１図と第２図の１はロードアーム、２はピ
ン、３と４は駆動機構、５はストツパ、６はステ
ージ、７はウエハ、８ａ〜８ｂはローダ、９はモ
ータである。

ロードアーム１は、アーム１ａとアーム１ｂで
先端をＵ字状に形成されており、ロードアーム１
の全体に斜め方向の穴１ｃをあけられている。

図示を省略した空気供給機構により、穴１ｃか
ら空気を吹き出したり、吸い込んだりできるよう
になつている。１ｄは、空気供給管である。

ピン２には垂直方向に穴２ａをあけ、穴２ａか
ら空気を吸い込むことができるようになつてい
る。２ｂは、空気供給管である。

駆動機構３はロードアーム１を第２図の左右に
移動させ、駆動機構４はピン２を第２図の上下に
移動させる。

ストツパ５は、アーム１ａ，１ｂの中間に配置
され、ロードアーム１上を搬送されてきたウエハ
６の移動を停止させるものである。

ストツパ５は、図示を省略した駆動機構によ
り、第２図の上下に移動できるようになつてい
る。

モータ９は、ローダ８ａ，８ｂを同時に回転さ
せ、ウエハ７をロードアーム１の所まで搬送す
る。

次に、第１図、第２図の作用を説明する。

ウエハ７は、ローダ８ａ，８ｂによりロードア
ーム１の右側まで搬送されてくる。

ロードアーム１の所まで搬送されてきたウエハ
７は、穴１ｃから吹き出す空気によつてストツパ
５に接触するまでロードアーム１の上を移動す
る。

ストツパ５にウエハ７が接触すると、穴１ｃか
ら空気を吸い込むようにしてウエハ７をロードア
ーム１の上に吸着する。

この状態では、ウエハ７はロードアーム１のア
ーム１ａとアーム１ｂの部分にまたがるようにし
て停止する。

次に、ストツパ５をロードアーム１の面より下
に下げ、駆動機構３により、ロードアーム１をピ
ン２の上まで移動する。

ロードアーム１上のウエハ７がピン２の上まで
くると、駆動機構４によりピン２を上昇させ、ピ
ン２の上にウエハ７が載るようにする。この状態
で、穴２ａから空気を吸い込むようにしてウエハ
７をピン２の上に吸着する。

次に、駆動機構３によりロードアーム１を第１
図の位置になるまで右側に移動させ、次のウエハ
７がくるまで待機させる。

ピン２を駆動機構４で下に下げると、ステージ
７はウエハ６上にセツトされる。

ステージ６の上にセツトされたウエハ７は、光
学装置などで正確に位置決めされる。そして、ウ
エハ１上の各チツプに測定信号が供給され、チツ
プの特性が測定される。

第１図では図示を省略しているが、ロードアー
ム１とローダ８ａ〜８ｂと同じような、アンロー
ドアームとアンローダを配置し、測定が終つたウ
エハ７を別の場所に移動させる。この場合は、今
までの操作を逆にすればよい。ただし、アンロー
ドアームにはストツパ５は不要である。

(d) 考案の効果 この考案によれば、Ｕ字状のアームをもち、全
体に斜め方向の穴をあけ、この穴に空気を出入さ
せ、第１の駆動機構により前後進するロードアー
ムと、垂直方向にあけた穴から空気を吸い込み、
第２の駆動機構により上下に移動するピンとを設
けているので、ウエハを確実にステージの上に搬
送することができ、搬送機構を自動化することが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案による実施例の構成図。第２
図は第１図の側面図。 １……ロードアーム、１ａ……アーム、１ｂ…
…アーム、１ｃ……穴、２……ピン、２ａ……
穴、３……駆動機構、４……駆動機構、５……ス
トツパ、６……ステージ、７……ウエハ、８ａ…
…ローダ、８ｂ……ローダ、９……モータ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 先端をＵ字状に形成し、斜め方向の第１の穴を
   全体にあけ、第１の穴から空気を吹き出し又は吸
   い込むロードアームと、 垂直方向に第２の穴をあけ、第２の穴から空気
   を吸い込むピンと、 前記ロードアームを移動させる第１の駆動機構
   と、 前記ピンを上下に移動させる第２の駆動機構と
   を備え、 前記ロードアーム上に搬送されたウエハを第１
   の穴から吹き出す空気により前記先端まで移動さ
   せ、第１の穴から空気を吸い込み前記ウエハを前
   記ロードアーム上に吸着し、前記ロードアームを
   第１の駆動機構により前記ピンの上まで移動し、
   第２の駆動機構により前記ピンを上昇して前記ピ
   ンの上に前記ウエハを載せ、第２の穴から空気を
   吸い込み前記ウエハを前記ピン上に吸着すること
   を特徴とするウエハの搬送機構。