JPH03152029A - ウエハの搬送機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、ウェハを検査するために、ウエハをカセッ
トからチャックに搬送し、検査後チャックからカセット
にウェハを搬送するウェハ搬送機構についてのものであ
る。

［従来の技術］ ウエハプローバ（以下、プローバという。）とは、半導
体ウェハ上に形成される多数のＩＣチップの電気的特性
を測定するためにＩＣテスタと接続して用いられる装置
である。

プローバは、ローダ・アンローダ部と、Ｘ−Ｙステージ
部から構成される。

ローダ・アンローダ部は、ウェハを供給したり、収容し
たりする部分であり、Ｘ−Ｙステージ部は、ウェハを載
せて測定をする部分である。

次に、従来技術によるウェハ搬送機構を第１２図により
説明する。

第１２図の１はウェハ、２Ａはウェハを複数枚収納した
カセット、２Ｂは空のカセット、３１はウェハ１を搬送
するベルトコンベ乙　３２は昇降と回転をするロードピ
ンで、ベルトコン・ベア３１で搬送されたウェハ１をベ
ルトコンベア３１から浮上させて保持する。３３は時計
方向と反時計方向に回転する回転アーム、３４はウェハ
１を搬送するベルトコンベ乙　３５は昇降するアンロー
ドピン、３６はウェハ１を裁せるチャック、３７はチャ
ック３６の内外を昇降する３本の・ピン、３８はピン３
７を内蔵したチャック３６を載せてＸ方向とＹ方向とに
移動するＸ−Ｙステージ部である。

次に、第１２図の作用を説明する。

カセット２Ａは図示を省略したカセット台３Ａにより昇
降し、カセット２Ｂは図示を省略したカセット台３Ｂに
より昇降する。

まず、カセット台３Ａとカセット台３Ｂを上限まで上昇
させておき、カセット台３Ａにはウェハ１を収納したカ
セット２Ａを載せ、カセット台３Ｂには空のカセット２
Ｂを載せる。

次に、カセット２Ａの最下位に収納されているウェハ１
がベルトコンベア３１に接するまでカセット台３Ａを降
下させ、カセット２Ｂの最上位のウェハ収納位置にベル
トコンベア３４が位置するまでカセット台３Ｂを降下さ
せる。

次に、ベルトコンベア３１を駆動させてウェハ１の中心
がロードピン３２の中心にくるまでウェハ１を移動させ
てベルトコンベア３１を停止させる。次に、ロードピン
３２を上昇させて、ウェハ１をベルトコンベア３１から
浮上させる。

次に、ロードピン３２の構造を第１３図により説明する
。

ロードピン３２には第１３図に示すように穴３２Ａがあ
けられており、吸着により穴３２Ａ上のウェハ１を保持
する。

なお、ロードピン３２のような構造は、実公昭６２−２
５４６９号公報にも記載されている。

次に、ウェハ１を保持した状態でロードピン３２を回転
させて、図示を省略したセンサによりウェハ１の外周を
抽出して、ウェハ１の中心とロードピン３２の中心とを
位置合わせし、また、ウェハ１の向きを指定方向にする
。

ウェハ１とロードピン３２とのずれを抽出する方法は、
プリアライメントといい、特公昭６３−５９０１号公報
にも記載されている。

次に、回転アーム３３を反時計方向に回転して３３Ａの
位置まで移動する。このときの回転アーム３３の寓さは
、上昇したロードピン３２で保持されているウェハ１の
下面とベルトコンベア３上の上面との間に位置している
。

次に、ロードピン３２の吸着を止め、ロードピン３２を
降下させ、ウェハ１を回転アーム３３に載せる。回転ア
ーム３３には口、−ドピン３２と同じように吸着用の穴
が設けられており、吸着によリウエハ１を保持する。

回転アーム３３はウェハ１を保持したまま、さらに、反
時計方向に回転してチャック３６の上空位置３３Ｂまで
移動して回転アーム３３によるウェハ１の吸着を止める
。

次に、ピン３７がチャツク３６内部より上昇して、ウェ
ハ１を回転アーム３３より浮上させて保持する。ウェハ
１を離した回転アーム３３は時計方向に回転して元の位
置に移動して停止する。ピン３７はウェハ１を保持した
ままチャツク３６内部まで降下して、ウェハ１をチャッ
ク３６の上面に設置する。チャツク３６上面には吸着用
の溝が複数設けられており、吸着によりウェハ１を完全
に固定する。ウェハ１を載せたチャック３６はＸ−Ｙス
テージ部３８により測定部に移動されて、ウェハ１の電
気的特性が測定される。

ウェハ１上に形成されたすべてのＩＣチップの測定が終
ると、チャック３６は回転アーム３３への受渡し位置に
移動し、ウェハ１の吸着を止める。

吸着を解除されたウェハ１はピン３７の上昇により浮上
させられ、チャック３６の上で保持される。

次に、回転アーム３３が反時計方向に回転して、ウェハ
１上面とチャツク３６上面との間の３３Ｂの位置に移動
する。次に、ピン３７がチャック３６の内部に降下して
ウェハ１を回転アーム３３に載せる。回転アーム３３は
吸着によりウェハ１を保持し時計方向に回転して、アン
ロードピン３５の位置３３Ｃまで移動し、吸着を止める
。

次に、アンロードピン３５が上昇して、ウェハ１を回転
アーム３３から浮上させる。ウェハ１を離した回転アー
ム３３は、さらに、時計方向に回転してウェハ１の降下
に支障のない位置まで移動して停止する。

次に、アンロードピン３５が降下して、ウェハ１をベル
トコンベア３４の上面に載せる。ウェハ１を受は取った
ベルトコンベア３４はカセット２Ｂの方向に駆動して、
ウェハ１をカセット２Ｂに収納する。カセット台３Ｂは
、ウェハ１がカセソ）２Ｂに収納されると、カセット２
Ｂ内の収納スロットの１ピッチ分上昇して、次のウェハ
１の収納準備をする。

次に、カセット台３Ａがカセット２Ａ内の収納スロット
の１ピッチ分降下して、次のウェハ１をベルトコンベア
３１によりロードピン３２まで移動する。以下、同じ動
作を繰り返して、カセット２Ａに収納されているウェハ
１を順次測定していく。

〔発明が解決しようとする課題］ 第１２図のローダ・アンローダでは、ウェハ１をチャッ
ク３６からアンロードピン３５まで搬送するときに、回
転アーム３３の回転を利用しているので、回転アーム３
３にウェハ１が載っている状態での回転領域が必要とな
り、ローダ・アンローダ部が大型化してしまうという問
題がある。

この発明は、ロードピンと、アンロードピンと。

回転アームと、アンロードピンとロードピンとの間に設
けるベルトコンベアと、カセット２Ａからウェハ１を抜
き差しする第１の前後進アームと、カセット２Ｂからウ
ェハ１を抜き差しする第２の前後進アームとを備え、ロ
ードピンからチャックへウェハ１を搬送するときは、回
転アームを反時計方向に回転させ、チャックからアンロ
ードピンヘウエハ１を搬送するときは回転アームを時計
方向に回転させ、アンロードピンからロードピンへはベ
ルトコンベアでウェハを搬送することにより、回転アー
ムがウェハを保持した状態で回転する領域を最少限にお
さえ、前後進アームでウェハを抜き差しするカセットを
２個設け、ローダ・アンローダ部を小型化することを目
的とする。

［課題を解決するための手段］ この目的を達成するため、この発明では、ウェハ１を収
容する第１のカセット２Ａを載せて昇降する第１のカセ
ット台３Ａと、ウェハ１を収容する第２のカセット２Ｂ
を載せて昇降する第２のカセット台３Ｂと、吸着用の第
１の穴４Ｃがあけられ、前後進してカセット２Ａに収容
されているウェハ１を抜き差しする第１の前後進アーム
４Ａと、吸着用の第２の穴４Ｄがあけられ、前後進して
カセット２Ｂに収容されているウェハ１を抜き差しする
第２の前後進アーム４Ｂと、吸着用の第３の穴があけら
れ、第１のカセット２Ａの前方に設置され、回転と昇降
をするロードピンＳＡと、吸着用の第４の穴があけられ
、第２のカセット２Ｂの前方に設置され、昇降するアン
ロードピン５Ｂと、ウェハ１をアンロードピン５Ｂとロ
ードピン５Ａの間で搬送し、昇降するベルトコンベア６
と、ロードピン５Ａに対する切欠き７Ａと、アンロード
ピン５Ｂに対する切欠き７Ｂと、ウェハ１の吸着用穴７
Ｃがあけられ、回転と昇降をする回転アーム７と、昇降
するチャック８と、チャック８内を昇降するピン９とを
備え、回転アーム７をロードピンＳＡとチャック８の位
置に回転してロードピン５Ａ上のウェハ１をピン９上に
搬送し、回転アーム７をチャック８とアンロードピン５
Ｂの位置に回転してピン９上のウェハ１をアンロードピ
ン５Ｂ上に搬送する。

次に、この発明によるウェハの搬送機構の構成図を第１
図により説明する。

第１図の４Ａはカセット２Ａからウェハ１を出し入れす
るために移動する前後進アーム、５Ａは昇降と回転をす
るロードピン、７は回転と昇降をする回転アーム、６は
ベルトコンベア、４Ｂはカセット２Ｂからウェハ１を出
し入れするために移動する前後進アーム、５Ｂは昇降す
るアンロードピン、８はウェハを載せるチャック、“９
はチャック８に埋設されている３本のピン、１１はチャ
ック８を載せてＸ方向に移動するＸステージ、１２はＸ
ステージ１１を載せてＹ方向に移動するＸステージ、１
３はＸステージ１１を移動させるボールねし、１４はボ
ールネジ１３を回転させるモータ、ＩＳはＸステージ１
２を移動させるボールねじ、１６はボールねじ１５を回
転させるモータである。

ロードピン５Ａとアンロードピン５Ｂは、第１３図のロ
ードピン３２と同じ構造のものを使用することができる
。

次に、この発明によるローダ・アンローダ部の構造を第
２図から第５図により説明する。

第２図は、第１図の平面図である。

第２図の２１はベース、２２はベース２１に回転自在に
取り付けられるプーリ、２３はベース２１に取り付けら
れるモータ、２４はモータ２３に取り付けられるプーリ
、２５はプーリ２２・２４に掛けられるベルト、２６は
ベース２１に取り付けられるレール、４Ｃは前後進アー
ム４Ａに設けられる吸着用人、４Ｄは前後進アーム４Ｂ
に設けられる吸着用人である。

前後進アーム４Ａはベルト２Ｓの一部に連結され、レー
ル２６により案内されモータ２３の回転によりカセット
２Ａに向かって前後進する。

前後進アーム４Ｂ側も同じような構造になっている。

次に、回転アーム７の平面図を第３図により説明する。

回転アーム７には、切欠き７Ａ、切欠き７Ｂおよび穴７
Ｃが形成される。

切欠き７Ａは、回転アーム７がロードピンＳＡの位置に
きたとき、回転アーム７がロードピン５Ａをふさがない
ようにするためと、回転アーム７がロードピン５Ａ上か
ら回転してチャック８の位置にきたとき、回転アーム７
がピン９をふさがないようにするためのものである。

切欠き７Ａの反対側に形成される切欠け７Ｂは、回転ア
ーム７がアンロードピン５Ｂの位置にきたとき、回転ア
ーム７がアンロードピン５Ｂをふさがないようにするた
めと、回転アーム７がアンロードピン５Ｂ側から回転し
てチャック８の位置にきたとき、回転アーム７がピン９
をふさがないようにするためのものである。

穴７Ｃは、回転アーム７にウェハ１を載せたとき、ウェ
ハ１を回転アーム７に吸着するためのものである。

次に、回転アーム７の回転と昇降の手段を第４図により
説明する。

第４図は、ボールねじ１３軸上から切断した断面図であ
る。

回転アーム７はシャフト７Ｄ取りけられ、シャフト７Ｄ
はプレー）７Ｅに回転自在に取り付けられ、同じくプレ
ート７Ｅに取り付けられているモータ７Ｆと連結されて
いる。

エアシリンダ７Ｇは基板１０に取り付けられ、エアシリ
ンダ７Ｇのピストンロンドがプレート７Ｅに連結される
。

すなわち、モータ７Ｆを回転すると回転アーム７が回転
し、エアシリンダ７Ｇを駆動すると回転アーム７が昇降
する。

第４図は、回転アーム７がベルトコンベア６上にいる状
態を示している。

次に、第４図の変化図を第５図により説明する。

第５図では、ウェハ１を吸着した回転アーム７が上昇し
回転し、チャック８のピン９上に移動している状態図で
ある。

チャック８は昇降する構造になっており、第５図では、
最下位置に降下していてピン９が突出している状態を示
している。

次に、ベルト６と、カセット２Ａ・２Ｂに平行な面の断
面図を第６図により説明する。

第６図の５Ｅはロードピン５Ａを連結し、プレー）！５
Ｆに回転自在に取り付けられているシャフト、５Ｇはプ
レート５Ｆに取り付けられ、シャツ）５Ｅに連結されて
いるモータ、５Ｈは基板１０に取り付けられるエアシリ
ンダであり、エアシリンダ５Ｈのピストンロッドがプレ
ー）５Ｆに連結される。すなわち、モータ５Ｇを回転す
るとロードピンＳＡが回転し、エアシリンダ５Ｈを駆動
するとロードピンＳＡが昇降する。

ロードピン５Ｂ側は、昇降動作だけで、回転はしない構
造になっている。

次に、ベルトコンベア６の構造を説明する。

第６１１１（７）６Ａはベルトコンベア６を回転自在に
保持しているハウジング、６Ｂと６０とはハウジング６
Ａの両端に取り付けられているピンで、ベルトコンベア
６の下面とピン６Ｂ・６Ｃの先端とは同じ高さになって
いる。

ピン６Ｂ・６Ｃは、ベルトコンベア６で搬送されたウェ
ハ１がベルトコンベア６の端部まで移動したときにウェ
ハ１がベルトコンベア６から落ちるのを防ぐためのもの
である。

６Ｄ・６Ｅはハウジング６Ａとプレー）６Ｆを接続する
シャフト、６Ｇはプレート６Ｆに取り付けられ、ベルト
６Ｈでベルトコンベア６と連結されるモータ、６には基
板１０に取り付けられるエアシリンダで、エアシリンダ
６にのピストンロッドがプレート６Ｆに連結される。

すなわち、モータ６Ｇを回転するとベルトコンベア６が
駆動され、シリンダ６に＠駆動するとベルトコンベア６
が昇降する。

次に、第６図の変化図を第７図により説明する。

第７図は、ロードピンＳＡとアンロードピン５Ｂが上昇
した位置と、ベルトコンベア６と回転アーム７が上昇し
た位置を示している。

第７図から、ロードピン５Ａとアンロードピン５Ｂは、
前後進アーム４Ａ・４Ｂと回転アーム７の上昇位置より
高い位置にある。

ベルトコンベア６の上昇位置は、前後進アーム４Ａ・４
Ｂより高く、回転アーム７の降下位置より低い位置にあ
る。

前後進アーム４Ａ・４Ｂの高さは、ロードピン５Ａ、ベ
ルトコンベア６、アンロードピン５Ｂの各降下位置より
高く、回転アーム７の降下位置より低い位置にある。

次に、前後進アーム４Ａとカセット２Ａの関係と、カセ
ット台３Ａを昇降させる構造を第８図により説明する。

第８図は、第２図のカセット２Ａ部分の断面図である。

第８図の４Ｃはフレーム、４Ｄはプレート、４Ｅ・４Ｆ
はアーム、４Ｇ・４Ｈはシャフト、４にはボールネジ、
４Ｌはモータである。

カセット２Ａ３Ａは、アーム４Ｅ・４Ｆによりプレート
４Ｄに接続されている。プレー）４Ｄはフレーム４Ｃに
取り付けられているシャフト４Ｇ・４Ｈにより案内され
、昇降するときの姿勢を保持される。また、プレー）４
Ｄは、フレーム４Ｃに回転自在に取り付けられているボ
ールネジ４Ｋに連結されている。モータ４Ｌはフレーム
４Ｃに取り付けられ、ボールネジ４Ｋに連結される。

すなわち、モータ４Ｌを回転すると、カセット台３Ａが
昇降する。

第８図は、前後進アーム４Ａがカセット２Ａから出てい
る状態を示す。

次に、第８図の変化図を第９図により説明する。

第９図は、前後進アーム４Ａがカセット２Ａの内部に移
動している状態であり、カセット２Ａに収納されている
複数のウェハ１の間に前後進アーム４Ａが挿入されてい
る状態を示している。

前後進アーム４Ｂとカセット２Ｂとの関係と、カセット
台３Ｂを昇降させるの構造は、第７図と同じである。

［作用コ 次に、第１図の作用を第１０図と第１１図により説明す
る。

第１０図はカセット２Ａに収納されている複数のウェハ
１を搬送する動作を順に示したものである。

まず、第１０図（ア）のようにカセット台３Ａ・３Ｂを
上限まで上昇させ、カセット２Ａをカセット台３Ａ！：
載せ、カセット２Ｂをカセット台３Ｂに載せる。

次に、カセット２Ａの最下位に収納されているウェハ１
が前後進アーム４Ａの上面に接する手前に位置するまで
カセット台３Ａを降下させる。

次に、前後進アーム４Ａを第１０図（イ）に示す位置ま
で移動させ、ウェハ１が前後進アーム４Ａに載るまでカ
セット台３Ａを降下させ停止する。

ウェハ１を載せた前後進アーム４Ａは穴４Ｃから吸着に
よりウェハ１を・保持し、第１０図（つ）に示す位置ま
で移動して吸着を止める。

次に、ロードピン５Ａを上昇させ、ウェハ１を前後進ア
ーム４Ａから浮上させる。ウェハ１を載せたロードピン
５Ａは第１３図の穴３２Ａのように穴により吸着し、回
転してウェハ１をプリアライメントする。

ウェハ１のプリアライメントが終ると、回転アーム７が
上昇後、反時計方向に回転して第１０図（１）に示す位
置まで移動する。

次に、ロードピン５Ａが吸着を止めた後、降下してウェ
ハ１を回転アーム７に載せる。

回転アーム７は穴７Ｃでウェハ１を吸着し、さらに、反
時計方向に回転して第１０図（オ）に示す位置まで移動
する。

次に、チャック８が降下して３本のピン９が突出する。

ウェハ１を吸着している回転アーム７は吸着を止めた後
、ゆっくり降下してウェハ１をピン９に載せ、チャック
８の手前で停止する。

その後、回転アーム７は時計方向に回転して第１０図（
ア）の位置まで移動して停止する。

ピン９に載っているウェハ１はチャック８が上昇してチ
ャック８の上面に設置される。チャック８の上面には吸
着溝が複数設けられており、吸着によりウェハ１を完全
に固定する。このときピン９はチャック８に埋設してい
る。

ウェハ１を載せたチャック８はＸステージ１１とＸステ
ージ１２により図示を省略した画定部に移動され、ウェ
ハ１が測定される。

チャック８に載せられたウェハ１を測定中、ローダ・ア
ンローダ部は第１０図（力）・（キ）に示すように、第
１０図（ア）〜（つ）のように移動し、次のウェハ１の
プリアライメントまで終了させておく。

チャック８に載せられたウェハ１の測定が終ると、チャ
ック８はＸステージ１１とＸステージ１２により第１０
図（杓の位置まで移動させられ、チャック８の吸着を止
めて、チャック８が降下してウェハ１をピン９により保
持する。

次に、回転アーム７が降下した状態で時計方向に回転し
て第１０図（り）に示す位置まで移動する。

次に、回転アーム７が上昇してウェハ１をピン９から浮
上させ、吸着によりウェハ１を保持する。

ウェハ１を保持した回転アーム７を反時計方向に回転し
て第１０図（ケ）の位置まで移動させ、吸着を止める。

次に、アンロードピン５Ｂが上昇してウェハ１を回転ア
ーム７より浮上させる。

ウェハ１を離した回転アーム７は、さらに、反時計方向
に回転して第１０図（コ）に示す位置まで移動する。第
１０図（コ）〜（ｆ）は回転アーム７が次のウェハ１を
チャック８に搬送する動作であり、第１０図（１）〜（
１）の動作と同じである。

第１０図（シ）はベルトコンベア６が上昇し、アンロー
ドピン５Ｂが降下してウェハ１がベルトコンベア６に載
っている状態である。

次に、第１０図（ス）に示すようにベルトコンベア６を
駆動してウェハ１をロードピン５Ａの位置まで搬送し、
第１０図（七）に示すようにベルトコンベア６を降下し
てウェハ１を前後進アーム４Ａに載せる。

ウェハ１を載せた前後進アーム４Ａは吸着によりウェハ
１を保持し、第１０図（ソ）に示すようにカセット２Ａ
の内部まで移動してウェハ１を元の位置まで搬送して吸
着を止める。

次に、カセット台３Ａがカセット２Ａのウェハ収納スロ
ットの１／２ピッチ分上昇して前後進アーム４Ａからウ
ェハ１を浮上させる。ウェハ１を離した前後進アーム４
Ａは第１０図（り）に示す位置まで移動してウェハ１の
収納を完了する。

以下、第１０図（ア）〜（夕）の動作を順次繰り返しカ
セット２Ａに収納されているウェハ１を測定する。

第１１図はカセット２Ｂに収納されている複数のウェハ
１を搬送する動作を順に示したものである。

まず、第１１図（ア）のようにカセット台３Ａ・３Ｂを
上限まで上昇させ、カセット２Ａをカセット台３Ａに載
せ、カセット２Ｂをカット台３Ｂに載せる。

次に、カセット２Ｂの最下位に収納されているウェハ１
が前後進アーム４Ｂの上面に接する手前に位置するまで
カセット台３Ｂを降下させる。

次に、前後進アーム４Ｂを第１１図（イ）に示す位置ま
で移動させ、ウェハ１が前後進アーム４Ｂに載るまでカ
セット台３Ｂを降下させ停止する。

ウェハ１を載せた前後進アーム４Ｂは穴４Ｄから吸着に
よりウェハ１を保持し、第１１図（つ）に示す位置まで
移動して吸着を止める。

次に、第１１図（つ）に示すようにベルトコンベア６を
上昇させ、ウェハ１を前後進アーム４Ｂから浮上させる
。

次に、第１１図（１）に示すようにベルトコンベア６を
駆動してウェハ１をロードピン５Ａの位置まで搬送する
。第１１図（１）〜（告）は、第１０図（つ）〜（ｉ）
と同じ動作である。

先に搬送したウェハ１を測定中、ローダ・アンローダ部
は第１１図（ケ）に示すように、第１１図（イ）〜（オ
）までのように移動し、次のウェハ１のプリアライメン
トまで終了させておく。

第１１図（ケ）〜（ス）は測定終了後のウェハ１のチャ
ック８からアンロードピン５Ｂまでの搬送動作と、次の
ウェハ１のロードピンＳＡからチャック８までの搬送動
作を示しており、第１０図（〜）〜（す）の動作と同じ
である。

第１１図（セ）はアンロードピン５Ｂが降下してウェハ
１を前後進アーム４Ｂに載せた状態を示している。

次に、前後進アーム４Ｂは吸着によりウェハ１を保持し
、第１１図（ソ）に示すようにカセット２Ｂの内部まで
動じてウェハ１を元の位置まで搬送し、吸着を止める。

次に、カセット台３Ｂがカセット２Ｂのウェハ収納スロ
ットの１／２ピッチ分上昇して前後進アーム４Ｂからウ
ェハ１を浮上させる。ウェハ１を離した前後進アーム４
Ｂは第１１図（夕）に示す位置まで移動してウェハ１の
収納を完了する。

以下、第１１図（ア）〜（り）の動作を順次繰り返し、
カセット２Ｂに収納されているウェハ１を測定する。

［発明の効果コ この発明によれば、次のような効果がある。

（ア）第１の切欠きと、第２の切欠きを回転アームに設
けており、ロードピンからチャックヘウエハを搬送し、
チャックからアンロードピンヘウエハを搬送する動作を
独立してできるので、回転アームがウェハを保持して回
転する領域を最少限にすることができる。

（イ）ロードピンとアンロードピン間をベルトコンベア
でウェハを搬送しているので、ローダ・アンローダ部内
では回転アームだけの回転領域を確保すればよい。

（つ）カセットから前後進アームでウェハな抜き差しし
ているので、カセットを２個同時に載せても装置の大き
さは変わらない。

（１）（ア）〜（つ）により装置を小型にすることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明によるウェハ搬送装置の構成図、第２
図は第１図の平面図、第３図は回転アームの平面図、第
４図は回転アーム７の回転と昇降の説明図、第５図は第
４図の変化図、第６図はベルト６と、カセット２Ａ・２
Ｂに平行な面の断面図、第７図は第６図の変化図、第８
図は第２図のカセット２Ａ部分の断面図、第９図は第８
図の変化図、第１０図と第１１図は第１図の作用説明図
、第１２図は従来技術によるウェハ搬送機構の構成図、
第１３図は第１２図のロードピン３２の構成説明図であ
る。 １・・・・・・ウェハ、２Ａ・２Ｂ・・・・・・カセッ
ト、３Ａ・３Ｂ・・・・・・カセット台、４Ａ・４Ｂ・
・・・・・前後進アーム、４Ｃ・４Ｄ・・・・・・穴、
　５Ａ・・・・・・ロードピン、５Ｂ・・・・・・アン
ロードピン、６・・・・・・ベルトコンベア７・・・・
・・回転アーム、８・・・・・・チャック、９・・・・
・・ピン。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ウェハ（１）を収容する第１のカセット（２Ａ）を
   載せて昇降する第１のカセット台（３Ａ）と、ウェハ（
   １）を収容する第２のカセット（２Ｂ）を載せて昇降す
   る第２のカセット台（３Ｂ）と、吸着用の第１の穴（４
   Ｃ）があけられ、前後進してカセット（２Ａ）に収容さ
   れているウェハ（１）を抜き差しする第１の前後進アー
   ム（４Ａ）と、吸着用の第２の穴（４Ｄ）があけられ、
   前後進してカセット（２Ｂ）に収容されているウェハ（
   １）を抜き差しする第２の前後進アーム（４Ｂ）と、吸
   着用の第３の穴があけられ、第１のカセ ット（２Ａ）の前方に設置され、回転と昇降をするロー
   ドピン（５Ａ）と、 吸着用の第４の穴があけられ、第２のカセ ット（２Ｂ）の前方に設置され、昇降するアンロードピ
   ン（５Ｂ）と、 ウェハ（１）をアンロードピン（５Ｂ）とロードピン（
   ５Ａ）の間で搬送し、昇降するベルトコンベア（６）と
   、 ロードピン（５Ａ）に対する切欠き（７Ａ）と、アンロ
   ードピン（５Ｂ）に対する切欠き（７Ｂ）と、ウェハ（
   １）の吸着用穴（７Ｃ）があけられ、回転と昇降をする
   回転アーム（７）と、 昇降してウェハ（１）を載せるチャック（８）と、 チャック（８）内を昇降するピン（９）とを備え、 回転アーム（７）をロードピン（５Ａ）とチャック（８
   ）の位置に回転してロードピン（５Ａ）上のウェハ（１
   ）をピン（９）上に搬送し、 回転アーム（７）をチャック（８）とアンロードピン（
   ５Ｂ）の位置に回転してピン（９）上のウェハ（１）を
   アンロードピン（５Ｂ）上に搬送することを特徴とする
   ウェハの搬送機構。