JPS62245312A - サ−ボモ−タ制御装置 - Google Patents
サ−ボモ−タ制御装置Info
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- JPS62245312A JPS62245312A JP61087211A JP8721186A JPS62245312A JP S62245312 A JPS62245312 A JP S62245312A JP 61087211 A JP61087211 A JP 61087211A JP 8721186 A JP8721186 A JP 8721186A JP S62245312 A JPS62245312 A JP S62245312A
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- Japan
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- servo motor
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
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- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Control Of Electric Motors In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の属する分野1
本発明は、デジタルエンコーダを用いてサーボモータの
位置や速度の制御を行なうサーボモータ制御装置に関し
、特に制御方式に応じて速度フィードバックゲインおよ
び位置制御フィードバックゲインを選択的に切換えるこ
とにより高速時から低速時に至るまでの動作を安定にし
たサーボモータ制御装置に関する。
位置や速度の制御を行なうサーボモータ制御装置に関し
、特に制御方式に応じて速度フィードバックゲインおよ
び位置制御フィードバックゲインを選択的に切換えるこ
とにより高速時から低速時に至るまでの動作を安定にし
たサーボモータ制御装置に関する。
[従来の技vil
従来のサーボモータ制御装置として、例えば次の2種類
のものがある。
のものがある。
第1の例は、速度制御で目標地まで駆動し目標地におい
て位置制御に切り換える方式で、目標地までの速度の指
令および目標地での位置の指令をそれぞれ個別に行なう
ものひある。、−なお、この明細書において、「目標地
」とは「目標地から所定の精度で定まる範囲内」の意味
で用いるものとする。また、所定の精度とは速度811
11時であれば速度制御の精度に応じた相対的に粗い精
度を意味し、位置制御時であれば位置制御の精度を意味
する。
て位置制御に切り換える方式で、目標地までの速度の指
令および目標地での位置の指令をそれぞれ個別に行なう
ものひある。、−なお、この明細書において、「目標地
」とは「目標地から所定の精度で定まる範囲内」の意味
で用いるものとする。また、所定の精度とは速度811
11時であれば速度制御の精度に応じた相対的に粗い精
度を意味し、位置制御時であれば位置制御の精度を意味
する。
第4図は、この方式のサーボモータ制御装置のブロック
図を示す。同図において、1は指令速度データ、目標値
データおよび制御モード切換用のコントロール信号を発
生するシステムコントローラである。目標値データとし
てはモータ駆動用開始時の地点から目標地までのモータ
移動量すなわち駆1jl ffiを出力する。2は偏差
カウンタ、3は偏差カウンタ2の出力を電圧に変換する
デジタル・アナログコンバータ(以下、[)/Aコンバ
ータ)、4はドライバ、5はサーボモータ、6はデジタ
ルエンコーダ、7はデジタルエンコーダ6からの2相位
号よりアップおよびダウンのパルス列を出力する波形成
形回路、8は帰還パルス列を電圧に変換する周波数/電
圧コンバータ(以下、F/Vコンバータ)、9はコント
ローラ1からの指令速度データを指令速度電圧に変換す
るD/Aコンバータ、10はコントローラ1からの目標
値データを記憶する目標値レジスタ、11は制御モード
を切換えるアナログスイッチ、12はD/Aコンバータ
3から出力される位置偏差電圧を増幅する位置偏差アン
プ、13はF/Vコンバータ8およびD/Aコンバータ
9の出力の差分である速度偏差電圧を増幅する速度偏差
アンプである。
図を示す。同図において、1は指令速度データ、目標値
データおよび制御モード切換用のコントロール信号を発
生するシステムコントローラである。目標値データとし
てはモータ駆動用開始時の地点から目標地までのモータ
移動量すなわち駆1jl ffiを出力する。2は偏差
カウンタ、3は偏差カウンタ2の出力を電圧に変換する
デジタル・アナログコンバータ(以下、[)/Aコンバ
ータ)、4はドライバ、5はサーボモータ、6はデジタ
ルエンコーダ、7はデジタルエンコーダ6からの2相位
号よりアップおよびダウンのパルス列を出力する波形成
形回路、8は帰還パルス列を電圧に変換する周波数/電
圧コンバータ(以下、F/Vコンバータ)、9はコント
ローラ1からの指令速度データを指令速度電圧に変換す
るD/Aコンバータ、10はコントローラ1からの目標
値データを記憶する目標値レジスタ、11は制御モード
を切換えるアナログスイッチ、12はD/Aコンバータ
3から出力される位置偏差電圧を増幅する位置偏差アン
プ、13はF/Vコンバータ8およびD/Aコンバータ
9の出力の差分である速度偏差電圧を増幅する速度偏差
アンプである。
以上の構成において、システムコントローラ1はアナロ
グスイッチ11をBに設定し、指令速度を出力する。D
/Aコンバータ9はこの指令速度をD/A変換し指令速
度電圧を発生させ、またF/■コンバータ8はサーボモ
ータ5に取り付けられたデジタルエンコーダ(パルスエ
ンコーダ)6から出力される帰還パルス列をF/V!換
しモータ速度電圧を発生させる。この指令速度電圧とモ
ータ速度電圧との差分(速度偏差電圧)をさらに速度偏
差アンプ13で増幅し、この出力をモータ電圧としてド
ライバ4を介して目標地までサーボモータ5の駆動を行
なう。
グスイッチ11をBに設定し、指令速度を出力する。D
/Aコンバータ9はこの指令速度をD/A変換し指令速
度電圧を発生させ、またF/■コンバータ8はサーボモ
ータ5に取り付けられたデジタルエンコーダ(パルスエ
ンコーダ)6から出力される帰還パルス列をF/V!換
しモータ速度電圧を発生させる。この指令速度電圧とモ
ータ速度電圧との差分(速度偏差電圧)をさらに速度偏
差アンプ13で増幅し、この出力をモータ電圧としてド
ライバ4を介して目標地までサーボモータ5の駆動を行
なう。
目標地に到達後、コントローラ1はコントロール信号を
出力してアナログスイッチ11をAに切換え、位置側6
$1を行なう。この位置制御では、コントローラ1によ
って目標値レジスタ10に設定された位置に正確に停止
するように偏差カウンタ2およびD/Aコンバータ3が
動作する。すなわち、偏差カウンタ2は波形成形回路7
を介して得られるデジタルエンコーダ6の帰還パルス列
を計数してサーボモータ5の位置情報を得ると同時に目
標値レジスタ10の停止位置との偏差を検出し、この1
iii差分をD/Aコンバータ3によりD/A変換して
位置偏差電圧とした後、さらに位置偏差アンプ12で増
幅し、この出力をモータ電圧としてサーボモータ5を駆
動する。
出力してアナログスイッチ11をAに切換え、位置側6
$1を行なう。この位置制御では、コントローラ1によ
って目標値レジスタ10に設定された位置に正確に停止
するように偏差カウンタ2およびD/Aコンバータ3が
動作する。すなわち、偏差カウンタ2は波形成形回路7
を介して得られるデジタルエンコーダ6の帰還パルス列
を計数してサーボモータ5の位置情報を得ると同時に目
標値レジスタ10の停止位置との偏差を検出し、この1
iii差分をD/Aコンバータ3によりD/A変換して
位置偏差電圧とした後、さらに位置偏差アンプ12で増
幅し、この出力をモータ電圧としてサーボモータ5を駆
動する。
この時、速度偏差電圧も位置制御系を安定化させるため
に加算する。これは位置制御系に粘性(位相余裕)を持
たせる役目をする。通常、速度のループゲインが、位置
のループゲインの1/3程度となるように速度偏差アン
プ13および位置偏差アンプ12を調整すれば安定な位
置制御系を設計できる。
に加算する。これは位置制御系に粘性(位相余裕)を持
たせる役目をする。通常、速度のループゲインが、位置
のループゲインの1/3程度となるように速度偏差アン
プ13および位置偏差アンプ12を調整すれば安定な位
置制御系を設計できる。
しかし、このような制御方式では目標地までの駆動を行
なう速度制御ループゲインをあまり高くできないために
、応答の遅れが大きくなり、また外乱の影響も受けやす
い。
なう速度制御ループゲインをあまり高くできないために
、応答の遅れが大きくなり、また外乱の影響も受けやす
い。
また、低周波におけるF/Vコンバータ8の出力はリッ
プルが大きく出力が不安定となるために、速度偏差アン
プ13のゲインが高すぎる場合、目標地で停止している
際に撮動が大きくなってしまう恐れがある。
プルが大きく出力が不安定となるために、速度偏差アン
プ13のゲインが高すぎる場合、目標地で停止している
際に撮動が大きくなってしまう恐れがある。
第2の例は、指令パルス列で速度および位置を制御づる
デジタルサーボ方式である。
デジタルサーボ方式である。
第5図は、この方式のサーボモータ制御装置のブロック
図を示す。同図において、1は指令パルス列を出力する
システムコントローラ、14は指令パルス列を電圧に変
換するF/Vコンバータである。この装置では、コント
ローラ1は指令パルス列を発生して偏差カウンタ2に入
力する。偏差カウンタ2はこの指令パルス列を計数する
と同時に、サーボモータ5に取り付けたパルスエンコー
ダ6から出力される帰還パルス列を計数して指令パルス
数から減算し、指令位置からの位@偏差を検出する。こ
の偏差カウンタ2の値はサーボモータ5の位置制御指令
としてD/Aコンバータ3により位置偏差電圧に変換侵
、さらに位置偏差アンプ12で増幅してモータ電圧にし
て、ドライバ4を介してサーボモータ5を駆動する。
図を示す。同図において、1は指令パルス列を出力する
システムコントローラ、14は指令パルス列を電圧に変
換するF/Vコンバータである。この装置では、コント
ローラ1は指令パルス列を発生して偏差カウンタ2に入
力する。偏差カウンタ2はこの指令パルス列を計数する
と同時に、サーボモータ5に取り付けたパルスエンコー
ダ6から出力される帰還パルス列を計数して指令パルス
数から減算し、指令位置からの位@偏差を検出する。こ
の偏差カウンタ2の値はサーボモータ5の位置制御指令
としてD/Aコンバータ3により位置偏差電圧に変換侵
、さらに位置偏差アンプ12で増幅してモータ電圧にし
て、ドライバ4を介してサーボモータ5を駆動する。
このときも制御系を安定化させるために、指令パルス列
と帰還パルス列をF/Vコンバータ8および9により電
圧に変換し、その偏差電圧をさらに速度偏差アンプ13
で増幅して位置制御のフィードバックループに加えてい
る。
と帰還パルス列をF/Vコンバータ8および9により電
圧に変換し、その偏差電圧をさらに速度偏差アンプ13
で増幅して位置制御のフィードバックループに加えてい
る。
このような制御方式においては指令パルス列だけでサー
ボモータの位置および速度の制御を行なうが、指令パル
ス列が高周波になった場合、偏差カウンタ2およびD/
△コンバータ3等のハードウェアが追従できず、誤動作
を起こしてしまうという欠点がある。
ボモータの位置および速度の制御を行なうが、指令パル
ス列が高周波になった場合、偏差カウンタ2およびD/
△コンバータ3等のハードウェアが追従できず、誤動作
を起こしてしまうという欠点がある。
[発明の目的]
本発明の目的は、上述従来例の欠点に鑑み、制御方式に
応じて速度のフィードバックループゲインおよび位置の
フィードバックループゲインを切換えることにより、移
動時の追従性がよく、静止時にも安定した応答を得るこ
とができるサーボモータ制御方式を提供することにある
。
応じて速度のフィードバックループゲインおよび位置の
フィードバックループゲインを切換えることにより、移
動時の追従性がよく、静止時にも安定した応答を得るこ
とができるサーボモータ制御方式を提供することにある
。
E発明の概要]
本発明は、具体例を挙げて説明すると、指令速度電圧と
サーボモータに取付けられたデジタルエンコーダから出
力される帰還パルス列をF/V変換して求めたモータの
速度電圧との速度偏差電圧および指令パルス列と帰還パ
ルス列とを偏差カウンタにより計数し、その差分をD/
Aコンバータにより電圧に変換した位置偏差電圧とを作
成し、目標位置まではゲインを高めた速度偏差電圧とゲ
インを下げた位置偏差電圧とを加算したものをモータ電
圧として駆動を行ない、目標位置到達後は、ゲインを高
めた位置偏差電圧とゲインを下げた速度電圧とを加算し
たものをモータ電圧とし位置決め制御を行なうことを特
徴とする。
サーボモータに取付けられたデジタルエンコーダから出
力される帰還パルス列をF/V変換して求めたモータの
速度電圧との速度偏差電圧および指令パルス列と帰還パ
ルス列とを偏差カウンタにより計数し、その差分をD/
Aコンバータにより電圧に変換した位置偏差電圧とを作
成し、目標位置まではゲインを高めた速度偏差電圧とゲ
インを下げた位置偏差電圧とを加算したものをモータ電
圧として駆動を行ない、目標位置到達後は、ゲインを高
めた位置偏差電圧とゲインを下げた速度電圧とを加算し
たものをモータ電圧とし位置決め制御を行なうことを特
徴とする。
[実施例]
第1図は、本発明の一実施例に係るサーボモータ制御装
置のブロック図である。なお、従来例と共通または対応
する部分については同一の符号で表す。同図の装置は、
第4図または第5図のものに対し、位置偏差アンプ12
の代わりに第1の位置偏差アンプ12′ と第2の位置
偏差アンプ15を、また速度偏差アンプ13の代わりに
第1の速度偏差アンプ13′ と第2の速度偏差アンプ
16を使用するもので、第1の速度偏差アンプ12′の
ゲインを第4および5図の位置偏差アンプより高め、第
2の位置偏差アンプ15のゲインを下げ、また第1の速
度偏差アンプ13′のゲインを第4および5図の速度偏
差アンプより高め、第2の速度偏差アンプ16のゲイン
を下げて設定しておき、制御方式に応じて速度のフィー
ドバックループゲインおよび位置のフィードバックルー
プゲインを切換えるようにしたものである。
置のブロック図である。なお、従来例と共通または対応
する部分については同一の符号で表す。同図の装置は、
第4図または第5図のものに対し、位置偏差アンプ12
の代わりに第1の位置偏差アンプ12′ と第2の位置
偏差アンプ15を、また速度偏差アンプ13の代わりに
第1の速度偏差アンプ13′ と第2の速度偏差アンプ
16を使用するもので、第1の速度偏差アンプ12′の
ゲインを第4および5図の位置偏差アンプより高め、第
2の位置偏差アンプ15のゲインを下げ、また第1の速
度偏差アンプ13′のゲインを第4および5図の速度偏
差アンプより高め、第2の速度偏差アンプ16のゲイン
を下げて設定しておき、制御方式に応じて速度のフィー
ドバックループゲインおよび位置のフィードバックルー
プゲインを切換えるようにしたものである。
次に、第1図の装置の動作を説明する。
目標地まではコントローラ1はコントロール信号により
アナログスイッチ11を8に設定して速度t11制御を
行なう。つまり、制御系が不安定となる直前までゲイン
を高めた第1の速度偏差アンプ13′とゲインを下げた
第2の位置偏差アンプ15とを使用して速度偏差電圧お
よび位置偏差電圧を増幅し、その出力を加算した電圧に
てサーボモータ5の駆動を行なう。このように速度制御
時に位置のフィードバック電圧もわずかながらも加える
ことで移動時の追従性はかなり改善できる。
アナログスイッチ11を8に設定して速度t11制御を
行なう。つまり、制御系が不安定となる直前までゲイン
を高めた第1の速度偏差アンプ13′とゲインを下げた
第2の位置偏差アンプ15とを使用して速度偏差電圧お
よび位置偏差電圧を増幅し、その出力を加算した電圧に
てサーボモータ5の駆動を行なう。このように速度制御
時に位置のフィードバック電圧もわずかながらも加える
ことで移動時の追従性はかなり改善できる。
目標地に到達後はコントロール信号によりアナログスイ
ッチ11をΔに切換え、制御系が不安定となる直前まで
ゲインを高めた第1の位置偏差アンプ12′ と、この
位置のループゲインの1/3程度にゲインを下げた第2
の速度偏差アンプ16とを使用して位置偏差電圧および
速度偏差電圧を増幅して加算した電圧により位置制御を
行なう。このように、速度のフィードバックも第2の速
度偏差アンプ16によりゲインを下げて位置のフィード
バックループに加えてやることにより、位置制御系を安
定化させることができる。
ッチ11をΔに切換え、制御系が不安定となる直前まで
ゲインを高めた第1の位置偏差アンプ12′ と、この
位置のループゲインの1/3程度にゲインを下げた第2
の速度偏差アンプ16とを使用して位置偏差電圧および
速度偏差電圧を増幅して加算した電圧により位置制御を
行なう。このように、速度のフィードバックも第2の速
度偏差アンプ16によりゲインを下げて位置のフィード
バックループに加えてやることにより、位置制御系を安
定化させることができる。
第2図は、指令速度波形の一例であるF/Vコンバータ
9の出力波形を示す。速度制御時は、一般に同図のよう
な加減速制御が行なわれる。本発明においては目標位置
Cにて速度制御から位置制御に切換え、速度および位置
のループゲインをそれぞれ切換える。
9の出力波形を示す。速度制御時は、一般に同図のよう
な加減速制御が行なわれる。本発明においては目標位置
Cにて速度制御から位置制御に切換え、速度および位置
のループゲインをそれぞれ切換える。
第3図は、本発明の他の実施例に係るサーボモータ制御
装置のブロック図を示す。同図の装置は、第1図の装置
に対し、指令速度データおよび目標値データを個別に設
定するコントローラ1を有し、指令速度データはD/A
コンバータ9により指令速度電圧に変換し、また目標値
データは目標値レジスタ10に設定し、該目4ffil
lレジスタ10と偏差力・クンタ2により指令駆動量と
サーボモータの動作量との偏差を検出するようにしてい
る。その他の制御方法および動作については第1図のも
のと全く同じである。
装置のブロック図を示す。同図の装置は、第1図の装置
に対し、指令速度データおよび目標値データを個別に設
定するコントローラ1を有し、指令速度データはD/A
コンバータ9により指令速度電圧に変換し、また目標値
データは目標値レジスタ10に設定し、該目4ffil
lレジスタ10と偏差力・クンタ2により指令駆動量と
サーボモータの動作量との偏差を検出するようにしてい
る。その他の制御方法および動作については第1図のも
のと全く同じである。
[実施例の変形例]
上述においては、デジタルエンコーダを用いてサーボモ
ータの移動量および速度を検出しているが、回転型のサ
ーボモータの場合、タコジェネを使用することもできる
。
ータの移動量および速度を検出しているが、回転型のサ
ーボモータの場合、タコジェネを使用することもできる
。
また、指令速度が低速の場合、目標地まで位置のフィー
ドバックのみにてサーボモータの駆動を行なった方が追
従性がよくなる場合がある。このような場合、指令速度
が所定値以下では目標地までのモータ駆動を位置のフィ
ードバックのみにて行なうようにしてもよい。
ドバックのみにてサーボモータの駆動を行なった方が追
従性がよくなる場合がある。このような場合、指令速度
が所定値以下では目標地までのモータ駆動を位置のフィ
ードバックのみにて行なうようにしてもよい。
[発明の効果]
以上説明したように本発明によれば、制御方式に応じて
速度フィードバックゲインおよび位置フィードバックゲ
インを切換えることにより加速時に追従性がよくまた静
止時の振動を小さくすることができる。
速度フィードバックゲインおよび位置フィードバックゲ
インを切換えることにより加速時に追従性がよくまた静
止時の振動を小さくすることができる。
一般に、回転型の号−ボモータの場合、タコジェネを使
用しモータ速度を検出することもできるが、リニアサー
ボモータの場合、高精度で安価な速度検出器が市販され
ていないため、デジタルエンコーダを使用して安定した
制御を行なうことができる本発明は特に有効である。
用しモータ速度を検出することもできるが、リニアサー
ボモータの場合、高精度で安価な速度検出器が市販され
ていないため、デジタルエンコーダを使用して安定した
制御を行なうことができる本発明は特に有効である。
第1図は、本発明の一実施例に係るサーボモータ制御装
置のブロック図、 第2図は、第1図の装置の指令速度波形の一例を示す図
、 第3図は、本発明の伯の実施例に係るサーボモータ制御
装置のブロック図、 第4および5図は、従来のサーボモータ制御装置のブロ
ック図である。 1ニジステムコントローラ、2:偏差カウンタ、3.9
:D/Aコンバータ、4:ドライバ、5:サーボモータ
、6:デジタルエンコーダ、7:波形成形回路、8,1
4: F/’JJンl<−タ、10:目標値レジスタ、
11:アナログスイッチ、12’:第1の位置偏差アン
プ、13′:第1の速度偏差アンプ、15:第2の速度
偏差アンプ、16:第2の位置偏差アンプ。
置のブロック図、 第2図は、第1図の装置の指令速度波形の一例を示す図
、 第3図は、本発明の伯の実施例に係るサーボモータ制御
装置のブロック図、 第4および5図は、従来のサーボモータ制御装置のブロ
ック図である。 1ニジステムコントローラ、2:偏差カウンタ、3.9
:D/Aコンバータ、4:ドライバ、5:サーボモータ
、6:デジタルエンコーダ、7:波形成形回路、8,1
4: F/’JJンl<−タ、10:目標値レジスタ、
11:アナログスイッチ、12’:第1の位置偏差アン
プ、13′:第1の速度偏差アンプ、15:第2の速度
偏差アンプ、16:第2の位置偏差アンプ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、サーボモータと、 該サーボモータを駆動するドライバと、 上記サーボモータの駆動量および各時点の速度を表わす
指令信号を出力する指令信号発生手段と、上記サーボモ
ータの動作量に応じた帰還パルス列を発生する手段と、 上記帰還パルス列の周波数から上記サーボモータの速度
を検知し、この速度と上記指令速度との偏差に比例する
電圧を発生する速度偏差信号発生手段と、 上記指令駆動量と上記サーボモータの動作量との偏差に
比例する電圧を出力する位置偏差信号発生手段と、 上記サーボモータを高速駆動させるときは上記速度偏差
信号に上記位置偏差信号の所定割合を加算した第1の制
御信号を上記ドライバに供給し、かつ上記サーボモータ
を低速で駆動させるときは上記位置偏差信号に上記速度
偏差信号の所定割合を加算した第2の制御信号を上記ド
ライバに供給する切換手段と を具備することを特徴とするサーボモータ制御装置。 2、前記指令信号発生手段が、前記指令速度に比例する
周波数および前記指令駆動量に比例するパルス総数の指
令パルス列を出力するものである特許請求の範囲第1項
記載のサーボモータ制御装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61087211A JPH0646366B2 (ja) | 1986-04-17 | 1986-04-17 | サ−ボモ−タ制御装置 |
US07/039,019 US4810941A (en) | 1986-04-17 | 1987-04-16 | Control system for a servomotor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61087211A JPH0646366B2 (ja) | 1986-04-17 | 1986-04-17 | サ−ボモ−タ制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62245312A true JPS62245312A (ja) | 1987-10-26 |
JPH0646366B2 JPH0646366B2 (ja) | 1994-06-15 |
Family
ID=13908603
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61087211A Expired - Lifetime JPH0646366B2 (ja) | 1986-04-17 | 1986-04-17 | サ−ボモ−タ制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0646366B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1990001829A1 (en) * | 1988-08-02 | 1990-02-22 | Fanuc Ltd | Method of controlling synchronized operation of a machine tool |
JPH02183317A (ja) * | 1989-01-10 | 1990-07-17 | Fujitsu Ltd | サーボ回路の速度制御方法 |
JPH03128687A (ja) * | 1989-10-12 | 1991-05-31 | Yokogawa Electric Corp | モータの位置制御装置 |
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DE112009000680T5 (de) | 2008-03-28 | 2011-02-10 | Thk Co., Ltd. | Servomotor-Positions-Regelvorrichtung |
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