JPS6222407A - 超低鉄損一方向性珪素鋼板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 一方向性珪素鋼板の電気・磁気的特性の改善、なかでも
、鉄損の低減に係わる極限的な要請を満たそうとして近
年来目覚ましい開発努力が傾けられているが、実効を挙
げつつあるものでもその実施に伴う重大な弊害として、
一方向性珪素鋼板の使用に当たっての加工、組立てを経
たのち、いわゆるひずみ取り焼鈍がほどこされた場合に
、特性劣化の随伴を不可避に生じて、使途についての制
限を受ける不利が指摘される。

この明細書では、ひずみ取り焼鈍のような高温の熱履歴
を経ると否とに拘わらず、上記要請を有利に充足し得る
新たな方途を拓くことについての開発研究の成果に関連
して以下に述べる。

ところで一方向性珪素鋼板は、よく知られているとおり
製品の２次再結晶粒を（１１０）　（００１）、すなわ
ちゴス方位に、高度に集積させたもので、主として変圧
器その他の電気機器の鉄心として使用され電気・磁気的
特性として製品の磁束密度（Ｂ、。値で代表される）が
高く、鉄損（Ｗ＋？／Ｓｆｌ値で代表される）の低いこ
とが要求される。

この一方向性珪素鋼板は複雑多岐にわたる工程を経て製
造されるが、今までにおびただしい発明・改善が加えら
れ、今日では板厚０．３０ｎの製品の磁気特性がＢｏｏ
　１．９０Ｔ以上、Ｗ＋？ｚｓｏ　１．０５Ｗ／ｋｇ以
下、また板厚０．２３ｍｍの製品の磁気特性がＢ、。１
．８９Ｔ以上、ＷＩＴ／Ｓ。０．９０讐／ｋｇ以下程度
の低鉄損一方向性珪素鋼板の製造はむしろ一般化して来
ている。

特に最近では省エネの見地から電力損失の低減を特徴と
する請が著しく強まり、欧米では損失の少ない変圧器を
作る場合に鉄損の減少分を金額に換算して変圧器価格に
上積みする「ロス・エバリユエーション」　（鉄損評価
）制度が普及し、これがはじめに述べた極限的要請にほ
かならない。

（従来の技術） 最近、一方向性珪素鋼板の仕上焼鈍後の鋼板表面に圧延
方向にほぼ直角方向でのレーザ照射により局部微小ひず
みを導入して磁区を細分化し、もって鉄損を低下させる
ことが提案された（特公昭５７−２２５２号、特公昭５
７−５３４１９号、特公昭５８−２６４０５号及び特公
昭５Ｂ　−２６４０６号各公報参照）されたがこの磁区
細分化技術はひずみ取り焼鈍を施さない、積鉄心向はト
ランス材料として効果的ではあっても、ひずみ取り焼鈍
を施す、主として巻鉄心トランス材料にあっては、レー
ザー照射によって折角に導入された局部微小ひずみが焼
鈍処理により解放されて磁区幅が広くなるため、レーザ
ー照射効果が失われるという欠点がある。

一方これより先に特公昭５２−２４４９９号公報におい
ては、一方向性珪素鋼板の仕上げ焼鈍後の鋼板表面を鏡
面仕上げするか又はその鏡面仕上げ面上に金属薄めっき
やさらにその上に絶縁被膜を塗布焼付けすることによる
、超低鉄損一方向性珪素鋼板の製造方法が提案されてい
る。

しかしながらこの鏡面仕上げによる鉄損向上手法は、工
程的に採用するには、著しいコストアップになる割りに
鉄損低減への寄与が充分でない上、とくに鏡面仕上後に
不可欠な絶縁被膜を塗布焼付した後の密着性に問題があ
るため、現在の製造工程において採用されるに至っては
いない。また特公昭５６−４１５０号公報においても鋼
板表面を鏡面仕上げした後、酸化物系セラミックス薄膜
を蒸着する方法が提案されている。しかしながらこの方
法も６００℃以上の高温焼鈍を施すと鋼板とセラミック
層とがはく離するため、実際の製造工程では採用できな
い。

（発明が解決しようとする問題点） 発明者らは上記した鏡面仕上による鉄損向上を目指した
の実効をより有利に引き出すに当って、特に今日の省エ
ネ材料開発の観点では上記のごときコストアンプの不利
を凌駕する特性、なかでも、高温処理での特性劣化を伴
うことなくして絶縁層の密着性、耐久性の問題を克服す
ることが肝要と考え、この基本認識に立脚し、仕上焼鈍
済みの方向性珪素鋼板表面上の酸化物を除去した後に研
磨を施して鏡面状態にする場合も含め、該酸化物除去後
における鋼板処理方法の抜本的な改善によってとくに有
利な超鉄損化を達成することが発明の目的である。

（問題点を解決するための手段） 種々検討した結果、方向性珪素鋼板の仕上げ焼鈍板表面
上の酸化物を除去した後、ＣＶＤ法によりＳｉｔ　Ｔｉ
＋　Ｎｂ＋　Ｔａ＋　八１２．　Ｚｒ、　Ｈｆ、　Ｖ、
−のほう化物、Ｍｏ＋　Ｗ、　Ｔｉ＋　Ｚｒ、　Ｖのけ
い化物、Ｂ、　Ｓｉのりん化物、Ｆｅ’、　Ｚｎの硫化
物のうちから選んだ少なくとも１種から成る極薄張力被
膜を形成させること（第１発明）を基本構成としで、こ
の極薄張力被膜を形成した上で、りん酸塩とコロイダル
シリカを主成分とする絶縁被膜を形成させること（第２
発明）、また上記基本構成の極薄張力被膜の形成に先立
つて鋼板の酸化物除去面に研磨を施して中心線平均粗さ
を０．４μｍ以下の鏡面状態に仕上げておくこと（第３
発明）、この場合において第２発明と同様に絶縁被膜を
形成させること（第４発明）、そして第２発明、第４発
明に従う絶縁被膜の形成に次いで該鋼板の圧延方向を横
切る向きに微少の塑性ひずみを導入しさらに低温絶縁コ
ーティング被膜を形成させること（第５．第６各発明）
の各付加構成を加える場合とともに、それぞれ上記目的
を有効に充足することがたしかめられた。

上記各発明の成功が導かれた具体的実験に従って説明を
進める。

Ｃ：　０．０４３重景重量以下単に％で示す）、Ｓｉ　
：　３．３６Ｍｎ　：　０．０６３％、　Ｓｅ　：　０
．０２３％、Ｓｂ　：　０．０２５％及び、Ｍｏ　：　
０．０２６％を含有する珪素鋼連鋳スラブを１３４０℃
で４時間加熱後熱間圧延して２．０１厚の熱延板とした
。

その後９００℃で３分間の均−化焼鈍後、９５０℃で３
分間の中間焼鈍をはさむ２回の冷間圧延を施して０．２
３ｍｍ厚の最終冷延板とした。

その後８２０℃の湿水素雰囲気中で脱炭・１次再結晶焼
鈍を施した後、鋼板表面に不活性Ａ　Ｉ！２０３（８０
％）とＭｇＯ（２０％）からなる焼鈍分離剤を塗布し、
ついで８５０℃で５０時間の２次再結晶焼鈍と１２００
℃で軟水素中で５時間の純化焼鈍を施した。

かくして得られた仕上げ焼鈍済みの方向性珪素鋼板コイ
ルを１０区分しそれぞれについて表１に示す処理条件に
て処理した。

％、 酸洗は３０χの１１□ＳＯ４で処理した後１１（ｌ液中
に浸漬した。

この酸洗にて鋼板表面の酸化物を除去した後ＣＶＤ装置
を用いて鋼板表面に０．５μｍ厚のＴｉＢｚを張力被膜
として形成させた（表１−（ａ））。

次に張力被膜を形成した鋼板の表面上にりん酸塩とコロ
イダルシリカを主成分とする絶縁被膜を形成させた（表
１−（ｂ））。

また仕上焼鈍済みの鋼板を酸洗したあと、３％１１Ｆと
Ｈ，Ｏ□混合液中で化学研磨して鋼板表面を中心線平均
粗さ０．０５μｍに鏡面仕上げしついでＣｖＤ装置を用
いて鋼板表面に０．５μｍ厚のＴｉＢｚ張力被膜を形成
させた（表１−（ｃ））。

その後この表面上にりん酸塩とコロイダルシリカを主成
分とする絶縁被膜を形成させた。（表１−（ｄ））。。

さらにその後一部の試料はレーザー照射（レーザー照射
条件はＹＡＧ　レーザーを使用し、スポット当りのエネ
ルギー４　Ｘｌ０−’Ｊ　、スポット直径０．１５龍、
スポットの中心間隔０．４ｓ＊、レーザー走査痕間隔ｊ
！＝８ｍｍ）ｌ、た後、低温絶縁コーティング被膜を施
した（表１−　（ｅ）、　（ｆ）　）。

また比較のため酸洗あるいは酸洗後化学研磨ままのもの
、またその後りん酸塩とコロイダルシリカを主成分とす
るコーティング被膜を施した（表１−（ｇ）〜（ｊ））
。

これらの種々の条件で処理したときの製品の磁気特性も
表１にあわせ示した。

表１から製品の磁気特性は仕上焼鈍後の酸洗処理と酸洗
後化学研磨による鏡面仕上げ処理とを比較すると鋼板表
面を鏡面状態にした場合磁気特性がきわめて良好となる
。またその後ＣＶＤ法による張力被膜を形成したときの
磁気特性がきわめて優れていることが注目される。

さらにその上にレーザー照射を施した場合においてもそ
の効果を充分に発揮させ得る。

（作　用） 上に述べた磁気特性の向上は鋼板と熱膨張係数の異なる
極薄被膜の存在により鋼板面上に弾性張力が働いて効果
的に超低鉄損が実現され、とくに鋼板の表面状態に大き
く依存するにしても、鋼板表面が酸洗又は研磨などによ
る酸化物除去状態、又は鋼板表面が鏡面状態の何れにお
いても効果的に低鉄損化が可能である。

次に、一方向性珪素鋼板の製造工程について一般的な説
明を含めてより詳しく述べる。

まず出発素材は従来公知の一方向性珪素鋼素材成分、例
えば ■Ｃ：　０．０３〜０．０５０％、　Ｓｉ　：　２．５
０〜４．５％、Ｍｎ　：　０．０１〜０．２％、　Ｍｏ
　：　０．００３〜０．１％、Ｓｂ　：　０．００５〜
０．２％、　　ＳあるいはＳｅの１種あるいは２種合計
で、ｏ、ｏｏｓ〜０．０５％を含有する組成 ■Ｃ：　０．０３〜０．０８％、　Ｓｉ　：　２．０〜
４．０％、Ｓ　：　０．００５〜０．０５％、Ｎ　：　
０．００１〜０．０１％、Ａｌ　７０．０１〜０．０６
％、　Ｓｎ　：　０．０１＝０．５％、Ｃｕ　：　０．
０１〜０．３％、 Ｍｎ　：　０．０１〜０．２％を含有する組成■Ｃ：　
０．０３〜０．０６％、　Ｓｉ　：　２．０〜４．０％
、Ｓ　：　０．００５〜０．０５％、Ｂ　：　０．００
０３〜０．００４０％、Ｎ　：　０．００１〜０．０１
％、Ｍｎ　：　０．０１〜０．２％を含有する組成 の如きにおいて適用可能である 次に熱延板は８００〜１１００℃の均一化焼鈍を経て１
回の冷間圧延で最終板厚とする１回冷延法か又は、通常
８５０℃から１０５０℃の中間焼鈍をはさんでさらに冷
延する２回冷延法にて、後者の場合最初の圧下率は５０
％から８０％程度、最終の圧下率は５０％から８５％程
度で０．１５ｍｍから０．３５＋ｎ厚の最終冷延板厚と
する。

最終冷延を終わり製品板厚に仕上げた鋼板は・表面脱脂
後７５０℃から８５０℃の湿水素中で脱・炭・１次再結
晶焼鈍処理を施す。

その後は通常、鋼板表面にＭｇＯを主成分とする焼鈍分
離剤を塗布する。この際、一般的には仕上げ焼鈍後の形
成を不可欠としていたフォルステライトをとくに形成さ
せない方がその後の鋼板の鏡面処理を簡便にするのに有
効であるので、焼鈍分離剤として八ｌ−ｚ（ｈ　＋　Ｚ
ｒ０ｚ　＋　ＴｉＯ２等を５０％以上　　　　　　ゞを
ＭｇＯに混入して使用するのが好ましい。

その後２次再結晶焼鈍を行うが、この工程は（１１０）
　＜００１＞方位の２次再結晶粒を充分発達させるため
に施されるもので、通常箱焼鈍によって直ちに１０００
℃以上に昇温し、その温度に保持することによって行わ
れる。

この場合（１１０）　＜００１＞方位に、高度に揃った
２次再結晶粒組織を発達させるためには８２０℃から９
００℃の低温で保定焼鈍する方が有利であり、そのほか
例えば０．５〜ｂ 鈍でもよい。

２次再結晶焼鈍後の純化焼鈍は、飽水素中で１１００℃
以上で１〜２０時間焼鈍を行って、鋼板の純化を達成す
ることが必要である。

この純化焼鈍後に鋼板表面の酸化物被膜を公知の酸洗な
どの化学的除去法や切削、研削などの機械的除去法又は
それらの組合せにより除去する。

この酸化物除去処理の後、化学研磨、電解研磨などの化
学的研磨や、パフ研磨などの機械的研磨あるいはそれら
の組合せなど従来の手法により鋼板表面を鏡面状態つま
り中心線平均粗さ０．４μｍ以下に仕上げる。

酸化物除去後又は鏡面研磨後、ＣＶＤ法によりＳｉ。

Ｔｉ、　Ｎｂ、　Ｔａ＋　ＡＡ、　Ｚｒ、　ｌ！ｆ、　
Ｖ、−のほう化物、門。。

’＊　Ｔｔ＋　ｚｒ、　Ｖのけい化物、Ｂ、　Ｓｉのり
ん化物、Ｆｅ。

Ｚｎの硫化物のうちから選んだ少なくとも１種から成る
極薄張力被膜を形成させる。またこの極薄張力被膜は０
．１〜１μｍ程度の厚みを形成させる方が効果的である
。

さらにこのように生成した極薄張力被膜上に、りん酸塩
とコロイダルシリカを主成分とする絶縁被膜の塗布焼付
を行うことが、１００万ＫＶＡにも上る大容量トランス
の使途において当然に必要であり、この絶縁性塗布焼付
層の形成の如きは、従来公知の手法をそのまま用いて良
い。

さらに別途このような処理を施した後の鋼板に局所に微
少の塑性歪みを導入する。例えば、レーザー照射法の場
合使用するレーザーはＹＡＧ　レーザーが良好であり、
その使用条件はエネルギー１〜１０ＸＩＯ−３Ｊ　、ス
ポット直径０．０５〜０．２鶴、スポット中心間隔０．
１〜０．５龍、レーザー走査痕間隔３〜３０龍とするの
が適切である。

このようなレーザー照射をした後６００℃以下で低温絶
縁コーティングが施される。

このときの低温絶縁被膜はレーザー照射効果を生かすた
め低温で照射するものでこの絶縁コーティングは従来公
知の処理液で行って良い。なお、前記局所に微少の塑性
ひずみを導入する方法としては放電加工や線引きなどの
機械加工なども適用可能である。

（実施例） 実施例１ Ｃ−：　０．０４２％、Ｓｉ　：　３．４５％、Ｍｎ　
：　０．０６３％、Ｍｏ　：　０．０２５％、Ｓｅ　：
　０．０２４％、Ｓｂ　：　０．０２０％を含有する熱
延板を、９００℃で３分間の均一化焼鈍後、９５０℃の
中間焼鈍をはさんで２回の冷間圧延を行って０．２３ｍ
ｍ厚の最終冷延板とした。

その後８２０℃の湿水素中で脱炭焼鈍後鋼板表面にＡ　
ｅ　２０３　（８０％）　、　ＭｇＯ（２０９’ｆｉ）
　ヲ主成分トｔ　ル焼鈍分離剤を塗布した後８５０℃で
５０時間の２次再結晶焼鈍をし、１２００°Ｃで８時間
飽水素中で純化焼鈍を行った。

その後酸洗により酸化被膜を除去、１部の試料は酸化膜
除去後３％ＨＦとＨｚＯ□混合液中で化学研磨して鏡面
仕上げした。

その後９００℃で５ｉＣ１ｒ（６０χ）とＢＣｌ２（２
５χ）とＨ２ガス（１５χ）の混合ガス雰囲気中で焼鈍
して鋼板表面上に約０．６μｍ厚のＳｉＢの張力被膜を
形成させた。

その後１部の試料はこの表面上にりん酸塩とコロイダル
シリカを主成分とする絶縁被膜を形成させた。そのとき
の製品の磁気特性を各処理条件別に示す。

犬１１江λ Ｃ：　０．０６３　　％、Ｓｉ　　：　３．３６％、Ｍ
ｎ　：　０．０８６　　％、八１　　：　０．０２４　
　％、Ｓ　：　０．０２８　　％、Ｎ　：　０．００６
８％、を含有する熱延板を、１１５０℃で３分間の均−
化焼鈍後急冷処理を行い、その後３００°Ｃの温間圧延
を施して０．２３ｍｍ厚の最終冷延板とした。

その後８５０℃の湿水素中で脱炭焼鈍後、表面にＡｌ２
Ｏ：１（６０％）　、　Ｍｇｏ　（４０％）を主成分と
する焼鈍分離剤を塗布した後８５０°Ｃから１１５０℃
まで８°Ｃ／ｈｒで昇温しで２次再結晶させた後、１２
００℃で８時間軸水素中で純化焼鈍を行った。

その後酸洗により酸化被膜を除去し、１部の試料はつい
で３％ＩＩＰと８２０□混合液中で化学研碧して鏡面仕
上げした。

次ニＣＶＤ法によりＡｌＣ１３（６０χ）とＢｃｔ３（
３０χ）とＨ２（１０χ）混合ガス中で０．５μ厚の張
力被膜を形成させた。

その後この表面上にりん酸塩とコロイダルシリカを主成
分とするコーテイング液を塗布したあとレーザー照射に
より局部歪みの導入をした。このときのレーザー照射条
件は’／ＡＧ　レーザーを用い、スポット当りのエネル
ギーは３．８×１Ｏ−３Ｊ、スポット直径０．１５龍、
スポット中心間隔０．４鰭、レーザー走査痕間隔り２８
龍で行った。その後５００℃での低温コーティング処理
したときの製品の磁気特性を示す。

＾ 実画ａ（＋＋Ｉａ Ｃ：０．０４３χ、Ｓｉ　：３．３８χ、Ｍｎ：０．６
６％、Ｍｏ：０．０２５χ　、Ｓｅ：０．０２２Ｘ　、
Ｓｂ：０．０２５χを含有する熱延板を９００°Ｃで３
分間の均−化焼鈍後、９５０℃の中間焼鈍をはさんで２
回の冷間圧延を行って０．２０ｍ厚の最終冷延板とした
。

その後８２０℃の湿水素中で脱炭焼鈍後、鋼板表面にＡ
　１　ｚｏ：＋　（７０Ｘ）　、Ｚｒ０ｚ　（５χ）、
Ｔｉ０ｚ（１，０χ）、ｌ’１ｇ。

（２４χ）の組成になる焼鈍分離剤を塗布した後８５０
℃で５０時間の２次再結晶焼鈍をし、１２００℃でｌＯ
時間乾水素中で純化焼鈍を行った。

その後酸洗により酸化被膜を除去後、３χＩＩＦとＨ，
０□混合液中で化学研暦して鏡面仕上げした。

その後表２で示すような（１）ＳｉＢ、　ｆ２）ＮｂＢ
、　（３）ＴａＢｚ。

（４１Ｚ　ｒ　Ｂ　ｚのほう化物、（５１ＭｏＳｉｚ、
　（６１ＴｉＳｉ、　（７１ＺｒＳｉ。

ｆ８）　Ｖ　Ｓ　ｉのけい化物、ｆ９１８Ｐのりん化物
およびＱ（ＯＦｅＳの硫化物の薄膜をＣＶＤ法により形
成させた。

そのときの製品の磁気特性を表２に示す。

表　　　２ （発明の効果） 巻鉄心向はトランス材料としての使途におけるような高
温のひずみ取り焼鈍の如き高温処理の適用有無に拘らず
超低鉄損が上掲各発明によって確保され得る。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、仕上焼鈍済みの方向性珪素鋼板にその表面上の酸化
   物を除去した後、ＣＶＤ法でもってＳｉ、Ｔｉ、Ｎｂ、
   Ｔａ、Ａｌ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｗのほう化物、Ｍｏ、Ｗ
   、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｖのけい化物、Ｂ、Ｓｉのりん化物、Ｆ
   ｅ、Ｚｎの硫化物のうちから選んだ少なくとも１種から
   成る極薄張力被膜を形成することを特徴とする超低鉄損
   一方向性珪素鋼板の製造方法。 ２、仕上焼鈍済みの方向性珪素鋼板に、その表面上の酸
   化物を除去した後、ＣＶＤ法でもってＳｉ、Ｔｉ、Ｎｂ
   、Ｔａ、Ａｌ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｗのほう化物、Ｍｏ、
   Ｗ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｖのけい化物、Ｂ、Ｓｉのりん化物、
   Ｆｅ、Ｚｎの硫化物のうちから選んだ少なくとも１種か
   ら成る極薄張力被膜を形成し、ついでりん酸塩とコロイ
   ダルシリカを主成分とする絶縁被覆を形成させることを
   特徴とする超低鉄損一方向性珪素鋼板の製造方法。 ３、仕上焼鈍済みの方向性珪素鋼板に、その表面上の酸
   化物を除去した後、研磨を施して中心線平均粗さ０．４
   μｍ以下の鏡面状態に仕上げてから、ＣＶＤ法でもって
   Ｓｉ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｔａ、Ａｌ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｗの
   ほう化物、Ｍｏ、Ｗ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｖのけい化物、Ｂ、
   Ｓｉのりん化物、Ｆｅ、Ｚｎの硫化物のうちから選んだ
   少なくとも１種から成る極薄張力被膜を形成することを
   特徴とする超低鉄損一方向性珪素鋼板の製造方法。 ４、仕上焼鈍済みの方向性珪素鋼板に、その表面上の酸
   化物を除去した後、研磨を施して中心線平均粗さ０．４
   μｍ以下の鏡面状態に仕上げてから、ＣＶＤ法でもって
   Ｓｉ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｔａ、Ａｌ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｗ、
   のほう化物、Ｍｏ、Ｗ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｖのけい化物、Ｂ
   、Ｓｉのりん化物、ＦｅＺｎの硫化物のうちから選んだ
   少なくとも１種から成る極薄張力被膜を形成し、ついで
   りん酸塩とコロイダルシリカを主成分とする絶縁被膜を
   形成させることを特徴とする超低鉄損一方向性珪素鋼板
   の製造方法。 ５、仕上焼鈍済みの方向性珪素鋼板に、その表面上の酸
   化物を除去した後、ＣＶＤ法でもってＳｉ、Ｔｉ、Ｎｂ
   、Ｔａ、Ａｌ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｗのほう化物、Ｍｏ、
   Ｗ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｖのけい化物、Ｂ、Ｓｉのりん化物、
   Ｆｅ、Ｚｎの硫化物のうちから選んだ少なくとも１種か
   ら成る極薄張力被膜を、形成し、ついでさらにりん酸塩
   とコロイダルシリカを主成分とする絶縁被膜を形成させ
   、その後該鋼板の圧延方向を横切る向きにて微少の塑性
   歪を付与した後、さらにその上に低温絶縁コーティング
   被膜を形成させることを特徴とする超低鉄損一方向性珪
   素鋼板の製造方法。 ６、仕上焼鈍済みの方向性珪素鋼板に、その表面上の酸
   化物を除去した後、研磨を施して中心線平均粗さ０．４
   μｍ以下の鏡面状態に仕上げてから、ＣＶＤ法でもって
   Ｓｉ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｔａ、Ａｌ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｗの
   ほう化物、Ｍｏ、Ｗ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｖのけい化物、Ｂ、
   Ｓｉのりん化物、Ｆｅ＿１Ｚｎの硫化物のうちから選ん
   だ少なくとも１種から成る極薄張力被膜を形成し、つい
   でさらにりん酸塩とコロイダルシリカを主成分とする絶
   縁被膜を形成させ、その後該鋼板の圧延方向を横切る向
   きにて微少の塑性ひずみを付与した後、さらにその上に
   低温絶縁コーティング被膜を形成させることを特徴とす
   る超低鉄損一方向性珪素鋼板の製造方法。