JPS6240704A - 密着性に優れた超低鉄損一方向性けい素鋼板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 一方向性けい素鋼板の電気・磁気的特性の改善、なかで
も、鉄損の低減に係わる極限的な要請を満たそうとする
近年来の目覚ましい開発努力は、逐次その実を挙げつつ
あるが、その実施に伴う重大な弊害として、一方向性け
い素鋼板の使用に当たっての加工、組立てを経たのち、
いわゆるひずみ取り焼鈍が施された場合に、特性劣化の
随伴を不可避に生じて、使途についての制限を受ける不
利が指摘される。

この明細書では、ひずみ取り焼鈍のような高温の熱履歴
を経ると否とに拘わらず、上記要請を有利に充足し得る
新たな方途を拓くことについての開発研究の成果に関連
して以下に述べる。

さて一方向性けい素鋼板は、よく知られているとおり製
品の２次再結晶粒を（１１０）　〔００１）　、すなわ
ちゴス方位に、高度に集積させたもので、主として変圧
器その他の電気機器の鉄心として使用され電気・磁気的
特性として製品の磁束密度（ｅ、。

値で代表される）が高く、鉄損（Ｗ１１５０値で代表さ
れる）の低いことが要求される。

この一方向性けい素鋼板は複雑多岐にわたる工程を経て
製造されるが、今までにおびただしい発明・改善が加え
られ、今日では板厚０．３０ｍｍの製品の磁気特性がＢ
＋ｏ’１．９０Ｔ以上、Ｌｔ／ｓｏ：１．０５１’ｉ／
　ｋｇ以下、また板厚０．２３＋ｎｍの製品の磁気特性
がＢＩＧ’１、８９Ｔ以上、Ｌｔ７ｓｏ：０．９０Ｗ／
　ｋｇ以下の超低鉄損一方向性けい素鋼板が製造される
ようになって来ている。

特に最近では省エネの見地から電力損失の低減を特徴と
する請が著しく強まり、欧米では損失の少ない変圧器を
作る場合に鉄損の減少分を金額に換算して変圧器価格に
上積みする。「ロス・エバリュージョン」　（鉄損評価
）制度が普及している。

（従来の技術） このような状況下において最近、一方向性けい素鋼板の
仕上げ焼鈍後の鋼板表面に圧延方向にほぼ直角方向での
レーデ照射により局部微小ひずみを導入して磁区を細分
化し、もって鉄損を低下させることが提案された（特公
昭５７−２２５２号、特公昭５７−５３４１９号、特公
昭５８−２６４０５号及び特公昭５８−２６４０６号各
公報参照）。

この磁区細分化技術はひずみ取り焼鈍を施さない、積鉄
心向はトランス材料としては効果的であるが、ひずみ取
り焼鈍を施す、主として巻鉄心トランス材料にあっては
、レーザー照射によって折角に導入された局部微小ひず
みが焼鈍処理により解放されて磁区幅が広くなるため、
レーザー照射効果が失われるという欠点がある。

一方これより先に特公昭５２−２４４９９号公報におい
ては、一方向性けい素鋼板の仕上げ焼鈍後の鋼板表面を
鏡面仕上げするか又はその鏡面仕上げ面上に金属薄めっ
きやさらにその上に絶縁被膜を塗布焼付けすることによ
る、超低鉄損一方向性けい素鋼板の製造方法が提案され
ている。

しかしながらこの鏡面仕上げによる鉄損向上手法は、工
程的に採用するには、著しいコストアップになる割に鉄
損低減への寄与が充分でない上、とくに鏡仕上げ後に不
可欠な絶縁被膜を塗布焼付した後の密着性に問題がある
ため、現在の製造工程において採用されるに至ってはい
ない。また特公昭５６−４１５０号公報においても鋼板
表面を鏡面仕上げした後、酸化物系セラミックス薄膜を
蒸着する方法が提案されている。しかしながらこの方法
も６００℃以上の高温焼鈍を施すと鋼板とセラミックス
層とが剥離するため、実際の製造工程では採用できない
。

（発明が解決しようとする問題点） 発明者らは、上記した鏡面仕上げにより目指した鉄損向
上の実効をより有利に引き出すに当たって、特に今日の
省エネ材料開発の観点では上記のごときコストアップの
不利を凌駕する特性、なかでも、高温処理での特性劣化
を伴うことなくして絶縁層の密着性、耐久性の問題を克
服することが肝要と考え、この基本認識に立脚し、仕上
げ焼鈍済みの方向性けい素鋼板表面上の酸化物を除去し
た後に研磨を施して鏡面状態にする場合も含め、該酸化
物除去後における鋼板処理方法の抜本的な改善によって
とくに有利な超低鉄損化を達成することが、この発明の
目的である。

（問題点を解決するための手段） さて発明者らは、上記の目的を達成すべく種々検討した
結果、方向性けい素鋼板の仕上げ焼鈍板表面上の酸化物
を除去したのち、表面を化学研磨または電解研磨によっ
て中心線平均粗さで０．４μｍ以下の鏡面状態とし、つ
いでかかる鏡面仕上げ表面上に、たとえば蒸着によって
ＴｉをのぞくｒＶａ族、Ｖａ族、ＶＩａ族、ＶＩＩａ族
、ＦｅをのぞくＶＩＩＩ族、ＩＩＩｂ族およびＣをのぞ
くＩＶｂ族元素のうちから選んだいずれか一種の表面層
を、好ましくは０．１〜２．０μｍ厚に被成したのち、
該表面層を炭化および窒化させることより、鋼板表面上
に炭化物および窒化物よりなる混合薄膜を形成させるこ
とが、所期した目的の達成に極めて有効であることの知
見を得た。

ここに上記の表面層を炭化および窒化させる手段として
は、 仕上げ焼鈍後の一方向性けい素鋼板中にＣ：０．００１
〜０．０１ｗｔ％（以下車に％で示す）およびＮ：０．
０００５〜０．０１％を含有させておき、かかる鋼板の
鏡面仕上げ表面上に表面層を被成してから、非酸化性雰
囲気中で焼鈍を施すことにより、鋼板中のＣおよびＮの
純化促進を図ること（第１発明）、また同じくＣとＮを
所定量含有させた仕上げ焼鈍済みの一方向性けい素鋼板
の表面に、鏡面処理後、表面層を被成してから、炭化性
ガスおよび／または窒化性ガス雰囲気中で焼鈍を施すこ
とにより、鋼板中のＣおよびＮの純化促進と共に該雰囲
気からの浸炭および／まはた浸窒を図ること（第２発明
）、 さらに同じくＣおよびＮを所定量含有させた仕上げ焼鈍
済みの一方向性けい素鋼板の表面に、鏡面処理後、表面
層を被成してから、非酸化性雰囲気中で焼鈍を施して鋼
板中のＣおよびＮの純化促進を図り、引続き炭化性およ
び／または窒化性ガス雰囲気中で焼鈍を施して該雰囲気
からの浸炭および／または浸窒作用を加味すること（第
３発明）、がとりわけ有効であることも合わせて見出し
、この発明を完成させるに至ったのである。

上記各発明の成功が導かれた具体的実験に従って、以下
説明を進める。

Ｃ：０．０４２％、Ｓｉ：３．３６％、Ｍｎ　：　０．
０６６％、Ｓｅ：０．０２１％、Ｍｏ　：　０．０２５
％ふよびＳｂ　：　Ｏ，、０２５％を含み、かつＮを０
．００２〜０．０１５％の範囲において含有する種々の
けい素鋼スラブに、熱間圧延を施して２．４ｍｍ厚の熱
延板としたのち、９００℃で３分間の均一化焼鈍を施し
、ついで９５０℃、２分間の中間焼鈍を挟んで２回の冷
間圧延を施して最終板厚二０．２３ｍｍの冷延板とした
。その後露点を５０〜１０℃の範囲で種々に変化させた
８２０℃の湿水素中で脱炭を兼ねる１次再結晶焼鈍を施
したのち、鋼板表面上にＡｌ２Ｏ３’６０％、ＭｇＯ：
　２５％、Ｚｒ口２：１０％およびＴｉＯ２：５％の配
合割合になる焼鈍分離剤を塗布してから、８５０℃、５
０時間の２次再結晶焼鈍、ついで吃水素中で１２００℃
、８時間の純化焼鈍を施した。

その後、各鋼板表面上の酸化物を酸洗により除去したの
ち、化学研磨より中心線平均粗さ：０．０１μｍの鏡面
状態に仕上げ、ついで蒸着装置を用いて該鏡面仕上げ表
面上に０．７μｍ層のＳｉの蒸着層を被成し、しかるの
ち非酸化性ガス雰囲気ならびに炭化性および／または窒
化性ガス雰囲気中で、８００℃、５時間の焼鈍を施して
、鋼板表面にＳｉＣおよび５Ｌ３Ｎ４からなる混合薄膜
を形成した。

かくして得られた製品板の鋼中Ｃ，Ｎ量および磁気特性
について調べた結果を、仕上げ焼鈍段階における鋼中Ｃ
，Ｎ量および磁気特性と比較して表１に示す。

また表１には、非酸化性ガス雰囲気中での焼鈍後、さら
に炭化性および／または窒化性ガス雰囲　　　　　　ｌ
気中で８００℃、４時間の焼鈍を施した後の、鋼中Ｃ，
Ｎ量および磁気特性について調べた結果も併せて示す。

さらに各製品板の密着性についての調査結果も併記する
。

表１に示した結果から明らかなように、仕上げ焼鈍時に
おけるＣおよびＮ量がそれぞれ１１００ｐｐ以下の試料
を、鏡面研磨後、Ｓｉを蒸着してから、非酸化性ガス雰
囲気中、炭化性ガスおよび／または窒化性ガス雰囲気中
、さらには非酸化性ガスついで炭化性および／または窒
化性ガス雰囲気中で焼鈍した場合に、磁束密度Ｂ１゜が
１．８９Ｔ以上で、かつ鉄損Ｗ１ｑ７ｓｏが０．８３Ｗ
／ｋｇ以下の優れた特性が得られた。

ここに最終製品中のＣ，Ｎ量はいずれも、仕上げ焼鈍後
に比べて大幅に低減していることが注目される。

なお磁気特性が良好な製品はいずれも、密着性にも優れ
ていた。

（作　用） 上に述べた磁気特性の向上は、鏡面仕上げ表面にＳｉの
蒸着層を被成したのち、非酸化性ガス雰囲気や炭化性お
よび／または窒化性ガス雰囲気中で焼鈍を施すことによ
って、Ｓｉ蒸着履中に、鋼中Ｃ９Ｎが拡散してくると共
に、雰囲気ガスからの浸炭や浸窒も生じることから、鋼
板表面にはＳｉＣやＳｉ、Ｎ、などの炭化物や窒化物か
らなる混合薄膜が形成され、この混合薄膜が鋼板に対し
て効果的に張力を付与することによる。

また鋼板中から拡散してきたＣやＮと蒸着元素とが化合
物を形成することによって、鋼板と被膜との接合度が高
まり、それ故被膜密着性のより一層の向上も図り得る。

次に、一方向性けい素鋼板の製造工程について一般的な
説明を含めてより詳しく説明する。

まず出発素材は、従来公知の一方向性けい素鋼素材、例
えば ■Ｃ：０．０３〜０．０５０％、Ｓｉ：２．５０〜４．
５％、Ｍｎ　：　０．０１〜０．２％、　Ｍｏ　：　０
．００３〜０．１％、Ｓｂ　：　０．００５〜０．２％
、Ｎ：０．００１〜０．００５％、ＳおよびＳｅの１種
あるいは２種合計で、０．００５〜０゜０５％を含有す
る組成、 ■Ｃ：０．０３〜０．０８％、　Ｓｉ：２．０〜４．０
％、Ａ１：０，０１〜０．０６％、　Ｓ：０．００５〜
０．０５％、Ｎ　：Ｏ，ＯＯｌ　〜０．０１％、Ｓｎ　
：　０．０１〜０．５％、Ｃｕ　：　０．０１〜０．３
％、　Ｍｎ　：　０．０１〜０．２％を含有する組成、 ■Ｃ：０．０３〜０．０６％、　Ｓｉ：２．０〜４．０
％、Ｓ：０．００５〜０．０５％、Ｂ　：　０．０００
３〜０．００４０％、Ｎ　：０．００１〜０．０１％、
Ｍｎ　：　０．０１〜０．２％を含有する組成、 ■Ｃ：０．０３〜０．０５％、　Ｓｉ：２．０〜４．０
％、Ｓｂ　：　０．００５〜０．２％、Ｎ：Ｏ，ＯＯ１
〜０．００５％、ＳおよびＳｅのうちいずれか１種また
は２種：０゜００５〜０．０５％を含有する組成、 ■Ｃ：０．０３〜０．０５％、　Ｓｉ：２．０〜４．０
％、Ｍｎ　：　０．０１〜０．２％、　Ｎ　：０．ＯＯ
ｌ　〜０．００５％、ＳおよびＳｅのうちいずれか１種
または２種＝０゜００５〜０．０５％を含有する組成、 の如きにおいて適用可能である。

次に熱延板は８００〜１１００℃の均一化焼鈍を経て１
回の冷間圧延で最終板厚とする１回冷延法か又は通常８
５０℃から１０５０℃の中間焼鈍をはさんでさらに冷延
する２回冷延法にて、後者の場合最初の圧下率は５０％
から８０％程度、最終の圧下率は５０％から８５％程度
で０．１５ｍｍから０．３５ｍｍ厚の最終冷延板厚とす
る。

最終冷延を終わり製品板厚に仕上げた鋼板は表面脱脂後
７５０℃から８５０℃の湿水素中で脱炭・１次再結晶焼
鈍処理を施す。

ここに脱炭処理は、通常後続の２次再結晶焼鈍において
ゴス方位に強く集積した２次再結晶粒を発達させると共
に、純化焼鈍における鋼中Ｃのより一層の低減のために
、Ｃ量をできる限り低くし、もって鉄損の低減を図るた
めに行われるものであるが、この発明ではすでに述べた
ように、Ｓｉ薄層を被成した後の焼鈍においてＮと共に
Ｃの純化が促進されることから、この脱炭焼鈍段階にお
いては従来はど厳しい脱炭を図る必要はなく、０．０１
％以下程度（好ましくは０．００１％以上）で充分であ
る。

その後は通常、鋼板表面にＭｇＯを主成分とする焼鈍分
離剤を塗布する。この際、一般的には仕上げ焼鈍後の形
成を不可欠としていたフォルステライトをとくに形成さ
せない方がその後の鋼板の鏡面処理を簡便にするのに有
効であるので、焼鈍分離剤としてはＡｌ２Ｏ３，ＺｒＯ
□、　ＴｌＯ２等を５０％以上ＭｇＯに混入したものを
使用するのが好ましい。

その後２次再結晶焼鈍を行うが、この工程は（１１０）
　＜ＯＯＤ方位の２次再結晶粒を充分発達させるために
施されるもので、通常箱焼鈍によって直ちに１０００℃
以上に昇温し、その温度に保持することによって行われ
る。

この場合（１１０）　＜００１＞方位に、硬度に揃った
２次再結晶粒組織を発達させるためには８２０℃から９
００℃の低温で保定焼鈍する方が有利であり、そのほか
例えば０．５〜ｂ 鈍でもよい。

ついで飽水素中で純化焼鈍を施すが、製品板に　、おけ
る被膜密着性の一層の改善のためには、鋼板中にＣ：Ｏ
，Ｑ０１〜０．０１％およびＮ　：　０．０００５〜０
．０１％を残存させることが肝要である。このためには
純化焼鈍において、１１００℃以上、１〜２０時間とい
う条件の中から適切な焼鈍条件を選択すればよい。

その後、鋼板表面の酸化物被膜を、公知の酸洗などの化
学的除去や切削、研削などの機械的除去法またはそれら
の組合せにより除去する。

この酸化物除去処理の後、化学研磨、電解研磨などの化
学的研磨や、パフ研磨などの機械的研磨あるいはそれら
の組合せなどの従来の手法により鋼板表面を鏡面状態つ
まり中心線平均粗さ０．４μｍ以下に仕上げる その後鏡面仕上げ表面上に厚み二０．１〜２．０μｍ程
度の表面層を被成するが、かかる元素としては、周期表
で、ＴｉをのぞくｒＶａ族、Ｖａ族、Ｔａ族、Ｔａ族、
ＦｅをのぞくＶＩＩＩ族、ＩＩＩｂ族およびＣをのぞく
Ｖｌｂニ属する元素、と＜　１．：２ｒ、　　Ｈｆ、　
　Ｖ、　　Ｎｂ、　Ｔａ。

Ｍｎ、　Ｃｒ、　Ｍｏ、　Ｗ、　Ｃｏ、　Ｎｉ、　ＡＩ
、　ＢおよびＳｉなどがとりわけ好適である。

なお上記表面層の被成方法は、これまで述べてきた蒸着
の他にＣＶＩｌ法、イオンブレーティング法あるいはイ
オンインプランテーション法などであっても良い。

ついで上記の如き表面層を被成した方向性けい素鋼板に
、非酸化性雰囲気、また炭化性および／または窒化性雰
囲気、さらには非酸化性雰囲気ついで炭化性および窒化
性雰囲気中で焼鈍を施すわけであるが、これらの焼鈍処
理は次の要領で行うｉ）非酸化性雰囲気中での焼鈍 雰囲気ガスとしては、Ｎ２ガスやＡｒガスがとりわけ有
利に適合し、かかる雰囲気中において５００℃以上の温
度で焼鈍し、鋼板中のＣ，Ｎの拡散を促進させ、もって
炭化物および窒化物からなる混合薄膜を形成させる。

ｉｉ）炭化性および／または窒化性ガス雲囲気中での焼
鈍 炭化性ガスとしては、ＣＨ４やＣ２Ｈ６などの炭化水素
系ガスおよびＣＯガス、さらにはこれらのガスとＮ２や
Ａｒガスとの混合ガスがまた窒化性ガスとしては、Ｎ２
やＮＨ３ガスならびにこれらのガスとＮ２やＡｒガスと
の混合ガスが有利に適合し、かかる雰囲気中において５
００℃以上の温度で焼鈍を施すことによって、鋼中Ｃ，
Ｈの純化促進ならびに雰囲気ガスからの浸炭および／ま
たは浸窒を図ることにより、鋼板表面に炭化物および／
または窒化物からなる混合薄膜を形成させる。

さらにこのように生成した被膜上に、りん酸塩とコロイ
ダルシリカを主成分とする絶縁被膜の塗布焼付を行うこ
とが、１００万にν八にも上る大容量トランスの使途に
おいては当然に必要であり、この絶縁性塗布焼付層の形
成の如きは、従来公知の手法をそのまま用いても良い。

（実施例） 実施例１ （Ａ）　　Ｃ：０．０４１　％、　　Ｓｉ：３，４８％
、Ｍｎ：　０．０６２％、　　Ｍｏ　：　０．０２５％
、Ｓｅ　：　０．０２２　％およびＳｂ　：　０．０２
５　％、（Ｂ）　　Ｃ：０．０５３％、　　Ｓｉ：３Ｊ
２％、Ｍｎ　：　０．０７２％、　　ｓ：ｏ、ｏｘｓ％
、Ａｌ　：　０．０２５％およびＮ　：　０．００６６
％、（Ｃ）　　Ｃ：０．０３９％、　　Ｓｉ：３．３１
％、Ｉｎ　：　０．０５９％、　　Ｓ：０．０３０％、
Ｂ　：　０．００１９％、　　Ｎ　：　０．００６８％
およびＣｕ：Ｑ、１５％、 （０）　Ｃ：０．０４６％、　　Ｓｉ：３．Ｑ９％、Ｍ
ｎ　　＋　０．０６３　　％、　　　　　Ｓｅ　　：　
０．０１９　　％およびＳｂ　：　０．０２５％、 （１３）　　Ｃ：０．０３８　　％、　　　Ｓｉ：３．
０８％、Ｍｎ　：　０．０７１％およびＳ：０．０１９
％、を含有する組成になるけい素鋼熱延板を用いた。

まず熱延板（Ａ）、　（Ｃ）〜（Ｂ）については、９０
０℃で均一化焼鈍を行った。また熱延板（Ｂ）について
は、１０５０℃で３分間の均一化焼鈍後、９００℃から
急冷した。その後（Ａ）、（Ｄ）および（Ｅ）　は、９
５０℃の中間焼鈍を挾む２回の冷間圧延を行って０．２
３ｍｍの最終板厚とし、一方（Ｂ）、（Ｃ）　は、１回
の強冷延によって０．２３［０［０厚の最終冷延板に仕
上げたが、冷延途中に３００℃の温間圧延を挾んだ。

ついでこれらの冷延板表面を脱脂したのち、８３０℃の
湿水素（露点２５℃）中で脱炭焼鈍後、Ａ１□０３ニア
０％、ＭｇＯ：２５％、ＺｒＯ□：　５％からなる焼鈍
分離剤を塗布した。

その後（Ａ）、　　（Ｄ）は、８５０℃で５０時間の２
次再結晶焼鈍を行ったのち、乾水素中で１２００℃、６
時間の純化焼鈍を施した。他方（Ｂ）、　（Ｃ）および
（Ｅ）　は、８５０℃から５℃／ｈで１０５０℃まで昇
温しで２次再結晶させたのち、乾水素中で１２００℃、
８時間の純化焼鈍を行った。

その後得られた各鋼板を酸洗処理し、表面の酸化被膜を
除去してから、化学研暦によって中心線平均粗さで０．
０３μｍ以下の鏡面に仕上げた。

ついで鏡面仕上げ表面上に、０．７μｍ厚の■の蒸着層
を被成した。

その後Ｎ２および／またはＣＨ４を含む雰囲気中で８０
０℃、５時間の焼鈍を施して、鋼板表面にＶＮおよびＶ
Ｃからなる混合薄膜を形成した。

その後さらにりん酸塩とコロイダルシリカを主成分とす
るコーティング被膜を被成した製品板の鋼中Ｃ，Ｎ量、
磁気特性および密着性について調べた結果を、仕上げ焼
鈍後の鋼中Ｃ，Ｎ量および磁気特性と比較して、表２に
整理して示す。

表２に示した成績から明らかなように、この発明に従い
、仕上げ焼鈍済みの方向性けい素鋼板の表面にＶＮおよ
びＶＣからなる混合被膜を被成することよって、仕上げ
焼鈍時に比べ、磁気特性は格段に向上し、また１憂れた
密着性も併せて得られた。

実施例２ Ｃ：０．０４３％、Ｓｉ：３，３６％、Ｍｎ　：　０．
０６３％、Ｍｏ二０、０２６％、Ｓｅ　：　０．０２１
％およびＳｂ　：　０．０２５％を含有する熱延板に、
９５０℃、３分間の中間焼鈍を挾む２回の冷間圧延を施
して０．２３＋ｎｍ厚の最終冷延板とした。その後８２
０℃の湿水素中で脱炭・１次再結晶焼鈍を施したのち、
表面にＡ＋２ｏ３；７０％、Ｍｇ［３：２５％、ＺｒＯ
２：　５％からなる焼鈍分離剤を塗布してから、８５０
℃、５０時間の２次再結晶焼鈍、ついで飽水素中で１２
００℃、７時間の純化焼鈍を施した。

その後、酸洗により鋼板表面上の酸化被膜を除去したの
ち、化学研磨を施して中心線平均粗さ＝０．０４μｍ以
下の鏡面に仕上げ、しかるのち表３に示す種々の金属ま
たは半金属を０．７〜０．８μｍ厚に蒸着した。

ついで、Ｎ２またはＣＨ４を含む言回気中で焼鈍し、種
々の炭化物および窒化物からなる混合薄膜を形成した。

その後さらにりん酸塩とコロイダルシリカを主成分とす
るコーティング被膜を被成した製品板の磁気特性および
密着性について調べた結果を、表３に併記する。

表３に示した結果から明らかなように、この発明に従い
得られた鋼板は、Ｂ、Ｏ≧１．９１ＴＳＩＬｔ７ｓ。

≦０．８１！！ｉ／ｋｇの優れた磁気特性を示すと共に
、良好な密着性を呈した。

（発明の効果） かくしてこの発明によれば、巻鉄心向はトランス材料と
しての使途におけるような高温でのひずみ取り焼鈍の如
き高温処理の適用の有無にかかわらず、磁気特性とくに
超低鉄損を、良好な絶縁層の密着性と共に１尋ることが
できる。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、Ｃ：０．００１〜０．０１ｗｔ％およびＮ：０．０
   ００５〜０．０１ｗｔ％ を含有する組成になる仕上げ焼鈍済みの一方向性けい素
   鋼板につき、その表面の酸化物を除去してから、研磨を
   施して中心線平均粗さ：０．４μｍ以下の鏡面状態に仕
   上げ、ついで該鏡面仕上げ表面上に、ＴｉをのぞくIVａ
   族、Ｖａ族、IVａ族、VIIａ族、ＦｅをのぞくVIII族、
   IIIｂ族およびＣをのぞくIVｂ族元素のうちから選んだ
   一種の表面層を被成したのち、非酸化性雰囲気中で焼鈍
   を施すことにより、鋼板表面上に炭化物および窒化物よ
   りなる混合薄膜を形成することを特徴とする、密着性に
   すぐれた超低鉄損一方向性けい素鋼板の製造方法。 ２、Ｃ：０．００１〜０．０１ｗｔ％およびＮ：０．０
   ００５〜０．０１ｗｔ％ を含有する組成になる仕上げ焼鈍済みの一方向性けい素
   鋼板につき、その表面の酸化物を除去してから、研磨を
   施して中心線平均粗さ：０．４μｍ以下の鏡面状態に仕
   上げ、ついで該鏡面仕上げ表面上に、ＴｉをのぞくIVａ
   族、Ｖａ族、IVａ族、VIIａ族、ＦｅをのぞくVIII族、
   IIIｂ族およびＣをのぞくIVｂ族元素のうちから選んだ
   一種の表面層を被成したのち、炭化性ガスおよび／また
   は窒化性ガス雰囲気中で焼鈍を施すことにより、鋼板表
   面上に炭化物および窒化物よりなる混合薄膜を形成する
   ことを特徴とする、密着性に優れた超低鉄損一方向性け
   い素鋼板の製造方法。 ３、Ｃ：０．００１〜０．０１ｗｔ％およびＮ：０．０
   ００５〜０．０１ｗｔ％ を含有する組成になる仕上げ焼鈍済みの一方向性けい素
   鋼板につき、その表面の酸化物を除去してから、研磨を
   施して中心線平均粗さ：０．４μｍ以下の鏡面状態に仕
   上げ、ついで該鏡面仕上げ表面上に、ＴｉをのぞくIVａ
   族、Ｖａ族、VIａ族、VIIａ族、ＦｅをのぞくVIII族、
   IIIｂ族およびＣをのぞくIVｂ族元素のうちから選んだ
   一種の表面層を被成したのち、非酸化性雰囲気中で焼鈍
   を施し、さらに炭化性ガスおよび／または窒化性ガス雰
   囲気中で焼鈍を施すことにより、鋼板表面上に炭化物お
   よび窒化物よりなる混合薄膜を形成することを特徴とす
   る、密着性に優れた超低鉄損一方向性けい素鋼板の製造
   方法。