JPS6269502A - 超低鉄損一方向性けい素鋼板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、一方向性けい素鋼板の電気・磁気的特性の
有利な改善を実現しようとするものである。

さて一方向性けい素鋼板は、よく知られているとおり製
品の２次再結晶粒を（１１０）　Ｉ：００１）　、すな
わちゴス方位に、高度に集積させたもので、主として変
圧器その他の電気機器の鉄心として使用され電気・磁気
的特性として製品の磁束密度（Ｂ＋。

値で代表される）が高く、鉄損（Ｗ１７１５０値で代表
される）の低いことが要求される。

この一方向性けい素鋼板は複雑多岐にわたる工程を経て
製造されるが、今までにおびただしい発明・改善が加え
られ、今日では板厚０．３０ｍｍの製品の磁気特性がＬ
ｏ’ｌ、９０Ｔ以上、Ｌ７／ｓａ　：　１．０５Ｗ／ｋ
ｇ以下、また板ＦＪ０．２３ｍｍの製品の磁気特性がＢ
ＩＤ’１．８９Ｔ以］−１Ｌｔｚｓｏ　０．９０Ｗ／ｋ
ｇ以下の超低鉄損一方向性けい素鋼板が製造されるよう
になって来ている。

特に最近では省エネの見地から電力損失の低減を特徴と
する請が著しく強まり、欧米では損失の少ない変圧器を
作る場合に鉄損の減少分を金額に換算して変圧器価格に
上積みする「ロス・エバリユエーション」　（鉄損評価
）制度が普及している。

（従来の技術） このような状況下において最近、特公昭５２−２４４９
９号公報において、一方向性けい素鋼板の仕上げ焼鈍後
の鋼板表面を鏡面仕上げするか又はその鏡面仕上げ面上
に金属薄めっきやさらにその上に絶縁被膜を塗布焼付す
ることによる、超低鉄損一方向性けい素鋼板の製造方法
が提案されている。

しかしながらこの鏡面仕上げによる鉄損向上手法は、工
程的に採用するには、著しいコストアップになる割りに
鉄損低減への寄与が充分でない上、とくに鏡面仕上げ後
に不可欠な絶縁被膜を塗布焼付した後の密着性に問題が
あるため、現在の製造工程において採用されるに至って
はいない。

また特公昭５６−４１５０号公報においても鋼板表面を
鏡面仕上げした後、酸化物系セラミックス薄膜を蒸着す
る方法が提案されている。しかしながらこの方法は６０
０℃以上の高温焼鈍を施すと鋼板とセラミック層とが剥
離するため、実際の製造工程では採用できない。

（発明が解決しようとする問題点） 発明者らは、上記した鏡面仕上げにより目指した鉄損向
上の実効をより有利に引き出すに当たって、特に今日の
省エネ材料開発の観点では上記のごときコストアップの
不利を凌駕する特性、なかでも、特性劣化を伴うことな
くして絶縁層の密着性、耐久性の問題を克服することが
肝要と考え、この基本認識に立脚し、仕上げ焼鈍済みの
方向性けい素鋼板表面」−の酸化物を除去した後に研磨
を施して鏡面状態にする場合も含め、該酸化物除去後に
おける鋼板処理方法の抜本的な改善によってとくに有利
な超低鉄損化を達成することが、この発明の目的である
。

（問題点を解決するための手段） さて発明者らは、」１記の目的を達成すべく種々検討を
加えた結果、Ｃ：　Ｏ，Ｑ１ｗｔ％　（以下単に％で示
す）以下、Ｓｉ　：２，０〜４．（１％、Ｍｎ　：　０
．０１〜０．２％、ｓｏｌ八ｌへ　０．００５〜０．０
６％およびＮ　：ｏ、ｏｏｉ　〜０．旧％を含有する組
成になるけい素鋼スラブを、１３００℃以下の温度に加
熱してから、熱間圧延を施して熱延板とし、ついで均一
化焼鈍後、１同辺」−の冷延圧延を施して最終冷延板と
したのち、１次再結晶焼鈍ついで最終仕上げ焼鈍を施し
てゴス方位の２次再結晶粒を発達させたのち、鋼板表面
上の酸化物を除去してから、研磨を施して鏡面状態に仕
−Ｌげたのぢ、あるいはさらに該鏡面仕上げ表面上に、
局所的に微小歪を導入後、再結晶焼鈍を施したのちに、
ＣＶＤ　、イオンプレーティングまたはイオンインプラ
ンテーションにより、Ｔｉ、　ｈ、　Ｈｆ、　Ｖ。

Ｎｂ、　Ｔａ、　Ｃｒ、　Ｍｏ、　Ｗ、　Ｍｎ、　Ｃｏ
、　Ｎｉ、　Ａｌ、　Ｂ、　Ｓｉの窒化物および／また
は炭化物、Ｓｉ、　Ｔｉ、　Ｎｂ、　Ｔａ、　Ａｌ、　
Ｚｒ、　ｌｌｆ、　Ｖ、　Ｗのほう化物、Ｍｏ、　Ｗ、
　Ｔｉ、　Ｚｒ、　Ｖのけい化物、Ｂ、Ｓｉのりん化物
ならびにＦｅ、　２ｎの硫化物のうちから選んだ少なく
とも一種からなる極薄張力被膜を被成することが、所期
した目的の達成に極めて有効であることの知見を得て、
この発明を完成させるに至ったのである。

以下この発明の成功が導かれた具体的実験に従って説明
を進める。

Ｃ：０．００５％、Ｓｉ：３．２９％、Ｍｎ　：　０．
０６０％、ｓｏｌＡｌ：０、０３０％およびＮ　＋　０
．００６０％を含有する組成になるけい素鋼スラブを、
１２５０℃に加熱後熱間圧延を施して２．Ｏｍｍ厚の熱
延板とした。ついで１０５０℃で均一化焼鈍後、急冷処
理を施した。その後３００℃の温度で温間圧延を施しな
がら０．２３ｍｍＦＪの最終冷延板としたのち、８３０
℃で１次再結晶焼鈍を施した。

その後鋼板表面」二にＡ］２０３ニア０％、Ｍｇ１ｌ：
２５％、ＺｒＯ２：５％から成る焼鈍分離剤をスラリー
塗布してから、８３０℃から５℃／ｈの速度で１０５０
ｔまで昇温しでゴス方位の２次再結晶粒を発達させたの
ち、乾１１゜中で１２００℃、６時間の純化焼鈍を施し
た。

その後鋼板表面」−の酸化物を酸洗により除去したのち
、化学研磨により鏡面状態に仕上げた。ついでイオンプ
レーティング装置を用いて（イオン化電圧：２００Ｖで
１０分間処理）　ＴｉＮの被膜（約０．８μｍ厚）を形
成させた。

その後りん酸塩とコロイダルシリカを主成分とするコー
ティング処理を施して絶縁被膜を形成させた。

また一部の試料については、鏡面状態とした鋼板表面に
、レーザー照射（レーザー照射条件はＹＡＧ　レーザー
を使用し、鋼板単位面積当たりのエネルギ２．５ｍＪ／
ｍｍ２、照射列間隔β＝７ｍｍ、パルス間隔Ｄ−０．５
ｍｍ、スポット直径０．１５ｍｍ）によって局所的な微
小歪を導入してから再結晶焼鈍を施し、しかるのちＴｉ
Ｎをイオンプレーティングした後、コーティング処理を
施して絶縁被膜を形成させた。

かくして得られた各製品の磁気特性および密着性につい
て調べた結果を表１に示す。

表１から明らかなように、鏡面研磨後にＴｉＮ薄膜のブ
レーティング処理を施して得た製品（鋼板ａ）の磁気特
性は、Ｂｌｏが１．９４Ｔ　、　ＷＢｚｓｏが０．７３
Ｗ／ｋｇときわめて良好であった。

さらに鏡面仕上げ面にレーザー照射を行ってから再結晶
焼鈍を施した製品（鋼板ｂ）の磁気特性は、Ｂ、。が１
．９３Ｔで細粒を形成させたために鋼板ａより若干ＢＩ
Ｇが低下したが、Ｌｉ７ｓｏは０．６８Ｗ／ｋｇと従来
材（鋼板Ｃ）に比較して鉄損が大幅に低減していること
が注目される。また鋼板ａ、ｂは密着性も良好であった
。

（作　用） 上述したような出発素材を用いて高級一方向性けい素鋼
板を製造する方法は、特公昭５８−１４８５２号公報お
よび特開昭５７−１３４５１９号公報に開示されている
ように、熱間加工時のスラブ加熱温度が非常に低い条件
下で、磁束密度の高い製品を安価に得るところに特徴が
ある。

すなわち通常磁束密度の高い一方向性けい素鋼板を製造
するためには鋼板の２次再結晶粒をゴス１　υ 方位に揃えることが不可欠であり、そのために通常イン
ヒビターと呼ばれるＭｎＳ、　ＭｎＳｅ等の析出分散相
を利用する方法が採用されていて、これらλｌｎｓある
いはＭｎＳｅの析出分散相は高温のスラブ加熱を行って
鋼中に解離・固溶させた後熱延中に微細に析出させるこ
とを基本とするが、この点上記の製造方法は高温加熱を
必要としない。

ところでかかる製造方法になる製品特性は、表１中、従
来材Ｃの磁気特性であって、磁束密度Ｂｌ。

が１．９３Ｔ　、鉄損Ｌｔ／ｓｏが０．９６Ｗ／Ｊ程度
にすぎない。

これに対してかかる出発素材を用いて鏡面研磨後にＴｉ
Ｎの張力被膜を形成させた製品（表１中鋼板ａ）および
鏡面研磨機微小歪を導入したのち再結晶焼鈍を施してか
らＴｉＮの張力被膜を形成させた製品（表１中鋼板ｂ）
では、鉄損Ｗ＋７１５Ｇが０．７３〜０．６８Ｗ／に＝
と格段に低減していることが注目される。

以上の実験例から明らかなように、スラブ加熱温度が非
常に低い条件下の素材成分を用いてゴス方位２次再結晶
粒を発達させたけい素鋼板に、鏡面仕上げ後ＴｉＮの極
薄張力被膜を形成させることによって密着性の良好な超
低鉄損一方向性けい素鋼板が得られることの知見に基い
てこの発明は完成されたのであって、この発明による鉄
損向」―効果は従来の公知の文献あるいは特許の予想を
はるかに超えるものである。

次に、この発明の一方向性けい素鋼板の製造工程につい
て一般的な説明を含めてより詳しく述べる。

まずこの発明において素材の成分組成を前記の範囲に限
定した理由について説明する。

Ｃ：０．旧％以下 Ｃは、０．旧％以下にして加熱を軽減するのがこの発明
の特徴であり、高温スラブ加熱を行わないため熱延集合
組織を制御する必要がなく、このためＣは０．旧％以下
の範囲に限定した。なお好ましい下限は０．００１％で
ある。

Ｓｉ：２．Ｏ〜４．０％ Ｓｌは、２．０％より少ないと電気抵抗が低く渦電流損
失増大に基づく鉄損値の増大を招き、一方４．０％より
多いと冷延の際にぜい性割れを生じ易くなるため、２．
０〜４．０％の範囲に限定した。

Ｍｎ：Ｏ，旧〜０．２％ Ｍｎは、一方向性けい素鋼板において析出分散相として
ＭｎＳあるいはＭｎＳｅを利用する場合はインヒビター
形成元素として寄与するが、この発明ではインヒビター
として！、ｌｎｓやＭｎＳｅを用いないのでＭｎの役割
は加工性の改善のみであり、そのために０．０１〜０．
２％の範囲で添加することとした。

ｓｏｌ　Ａｌ　：０，００５〜０．０６％Ａ１は、ＡＩ
Ｎをインヒビターとして利用するための重要な元素であ
り、効果的な１次粒成長抑制を行うには０．００５〜０
．０６％の範囲で添加する必要がある。

Ｎ：０．００１〜０．旧％ Ｎは、ＡＩＮのインヒビターの利用に用いられる重要元
素であり、前記＾１との兼合いから０．００１〜０、旧
％の範囲で含有させることとした。

その他一般的にインヒビターとして利用されているＳｂ
、　Ｎｏ、　Ｓｎ、　ＣｕおよびＢ等を少量添加しても
よいが、添加する場合には０．５％以下に制限すること
が肝要である。

次にこの発明に従う一連の製造工程について具体的に説
明する。

まず素材を溶製するだには、ＬＤ転炉、電気炉、平炉そ
の他公知の製鋼炉を用いて行い得ることは勿論、真空処
理、真空溶解を併用することができる。

次にこのように溶製されたけい素鋼の溶鋼は、連続鋳造
法または造塊−分塊法によってスラブとされる。通常の
一方向性けい素鋼はＭｎＳあるいはＭｎＳｅの解離固溶
のため１３５０℃以上の高温に加熱されるが、この発明
ではインヒビターとしてＡＩＮを利用するのでその必要
はなく　１３００℃以下の温度で加熱後公知の方法で熱
間圧延に付される。熱延板の厚みは後続の冷延工程の支
配を受けるが通常１．２〜３．Ｏｍｍ厚程度とすること
は有利である。

次に熱延板は９００℃〜１２００℃の高温均一化焼鈍を
施されるが、この焼鈍後急冷処理を施すこと力ｊ好まし
い。その後１回以上の冷間圧延が施されるが、この成分
系では１００℃〜５００℃の温間圧延を施すのが最適で
ある。また２回以上の冷間圧延を施す場合、最終の圧下
率は５０％から８５％の高圧下とすることが望ましい。

このときの最終冷延板厚は０．１５０．３５ｍｍＦＪ程
度である。

最終冷延を終わり製品板厚に仕上げたＩＩＩ板は表面脱
脂後、７５０℃から８５０℃で１次再結晶焼鈍が施され
る。

その後は通常、鋼板表面にＭｇＯを主成分とする焼鈍分
離剤を塗布するが、この発明では、一般的には仕上げ焼
鈍後の形成を不可欠としたいたフォルステライトをとく
に形成させない方がその後の鋼板の鏡面処理を簡便にす
るのに有効であるので、焼鈍分離剤としてＡｌ２Ｏ３，
ＺｒＯ□、ＴｉＯ□等を５０％以上ＭｇＯに混入して使
用するのが好ましい。

その後２次再結晶焼鈍を行うが、この工程は（１１０）
　＜００１＞方位の２次再結晶粒を充分発達させるため
に施されるもので、通常箱焼鈍によって直ちに１０００
℃以上に昇温し、その温度に保持することによって行わ
れる。

この場合（１１０）　＜Ｑ旧ン方位に、高度に揃った２
次再結晶粒組織を発達させるためには８２０℃から９０
０℃の低温で保定焼鈍する方が有利であり、そのほか例
えば０．５〜ｂ 焼鈍でもよい。

２次再結晶焼鈍後の純化焼鈍は、吃水素中において１１
００℃以上で１〜２０時間にわたって焼鈍を行うことに
より、鋼板の純化を達成することが必要である。

この純化焼鈍後に鋼板表面のフォルテスライド被膜ない
し酸化物被膜を公知の酸洗などの化学的除去法や切削、
研削などの機械的除去法又はそれらの組合わせによって
除去する。

この酸化物除去処理の後、化学研磨、電解研磨などの化
学的研磨や、パフ研磨などの機械的研磨あるいはそれら
の組合わせなど従来の手法により鋼板表面を鏡面状態つ
まり中心線平均粗さ０．４μｍ以下に仕上げる。

その後鏡面仕上げ表面上に、ＣＶＤ　、イオンプレーテ
ィング又はイオンインプランテーションによす、Ｔｉ、
　Ｚｒ、　Ｈｆ、ν、　Ｎｂ、　Ｔａ、　　Ｃｒ、　Ｍ
ｎ、　Ｗ、　Ｍｎ、　Ｃｏ、　Ｎｉ、＾ｌ、ＢおよびＳ
ｉの窒化物および／又は炭化物、Ｓｉ、　Ｔｉ、　Ｎｈ
。

Ｔａ、　Ａｌ、　Ｚｒ、　Ｈｆ、νおよびＷのほう化物
、ｌＪｏ、　Ｗ、　Ｔｉ、　ＺｒおよびＶのけい化物、
ＢおよびＳｌのりん化物並びにＦｅおよび２ｎの硫化物
のうちから選んだ少なくとも一種からなる極薄張力被膜
を形成させるのである。

ここにかかる極薄張力被膜は０．１〜２μｍ程度の厚み
で形成させるのが効果的である。

そしてこのようにして生成した極薄張力被膜」―に、り
ん酸塩とコロイダルシリカを主成分とする絶縁被膜の塗
布処理を行うことは、１００万ＫＶＡにも上る大容量ト
ランスの使途においては当然に必要であり、この絶縁性
焼付層の形成の如きは、従来公知の手法をそのまま用い
ることができる。

さらにこの発明では、鏡面性」−げ後、極薄張力被膜の
被成処理に先立ち、鋼板表面に局所的に微小歪を導入す
ることもできる。

かかる微小歪をたとえばレーザー照射によって導入する
場合、レーザーとしてはＹ＾６レーザーが好適であり、
また照射条件は、エネルギーコ１〜１０ＸＩＯ−３Ｊ　
、スポット直径：　０．０５〜０．２ｍｍ、スポット中
心間隔：０．１〜０．５１＋１１０、レーザー走査痕間
隔：３〜３０ｎ＋ｍ程度とするのが好ましい。なおかか
るレーザー照射を行ったのちは好ましくは５００℃以上
、１０００℃以下の温度範囲で再結晶焼鈍を施す必要が
ある。

しかるのち極薄張力被膜を被成してから、絶縁コーティ
ング処理を施すわけであるが、かかる絶縁コーティング
処理は、レーザー照射効果を生かすために低温で行うこ
とが望ましい。

なお、局所に微小の塑性ひずみを導入する方法としては
、放電加工や線引きなどの機械加工などを利用すること
もできる。

（実施例） 実施例Ｉ Ｃ：０．００５％、Ｓｉ：３Ｊ２％、Ｍｎ：０．０７３
％、Ａ１：０、０３６％およびＮ　：　０．００６７％
を含有する組成になるけい素鋼スラブを、１２５０℃に
加熱後、熱間圧延を施して、１．８ｍｎ＋厚の熱延板と
した。ついで１０５０℃で３分間の均一化焼鈍後、急冷
処理を行ったのち、３５０℃で温間圧延を施して０．２
３ａｕｎ厚の最終冷延板とした。その後８４０℃で３分
間の１次再結晶焼鈍を施したのち、八１２０３’６５％
、ＭｇＯ：３Ｑ％、ＺｒＯ２：３％、ＴｌＯ□：２％を
主成分とする焼鈍分離剤スラリーを塗布した。

ついで８５０℃から８℃／ｈの速度で１０５０℃まで昇
温しで２次再結晶させたのち、さらに吃水素中で１２０
０℃、８時間の純化焼鈍を施した。その後酸洗により鋼
板表面上の酸化物を除去し、ついで電解研磨により鋼板
表面を鏡面状態に仕上げたのち、Ｃシロ　（表２中無印
）、イオンプレーティング（表２中の○印）およびイオ
ンインプランテーション（表２中の△印）により種々の
薄膜（約０．７〜０．８μｍ厚）を被成した。しかるの
ちりん酸塩とコロイダルシリカとを主成分とするコーテ
ィング処理液を塗布・焼付けて絶縁被膜を形成させた。

得られた各製品の磁気特性について調べた結果を表２に
まとめて示す。

なお、上記の各製品板は、８００℃、１２Ｑｍｉｎのひ
ずみ取り焼鈍後においても特性の劣化はみられなかった
。

表　　　２ 実施例２ Ｃ：０．００２％、Ｓｉ：３．３６％、Ｍｎ　：　０．
０６２％、Ａ１：０、０２６’％およびＮ　：　０．０
０６５％を含有する組成になるけい素鋼スラブを、１２
００℃で加熱後、熱間圧延を施して１．６ｍｍ厚の熱延
板とした。ついで１０５０℃で３分間の均一化焼鈍後、
急冷処理を行ったのち、３００℃で温間圧延を施して０
．２０ｍ１Ｍｎ厚の最終冷延板とした。その後８５０℃
で３分間の１次再結晶焼鈍を施したのち、Ａｌ２Ｏ３：
６５％、ＭｇＯ：３０％Ｚｒ０ｚ’４％、Ｔ＋０２’１
％の配合割合になる焼鈍分離剤スラリーを塗布した。

ついで８５０　℃から１０℃／ｈで１０５０℃まで昇温
しで２次再結晶させたのち、さらに吃水素中で１２００
℃、１０時間の純化焼鈍を施し、ついで酸洗により鋼板
表面上の酸化物を除去してから、電解研磨により鋼板表
面を鏡面状態にした。その後、圧延方向に直角の向きに
８１１１１１１間隔にナイフで局所微小歪を導入してか
ら、６００℃で再結晶焼鈍を施したのち、イオンプレー
ティングにより０．８　μｍ厚のＴｉＮを被成した。

しかるのち低温コーティング処理を行った。

かくして（Ｍられた製品の磁気特性は次のとおりであっ
た。

Ｂｌｏ　＝　１．９３Ｔ、　　Ｊ７７ｓｏ　：　０．６
３Ｗ／ｋｇ実施例３ Ｃ：０．００３％、Ｓｉ：３．４２％、Ｍｎ　：　０．
０６９％、Ａｌ：０．０３１％およびＮ＋０．００７３
％を含有する組成になるけい素鋼スラブを、１２５０℃
で加熱後、熱間圧延を施して１．５ｍｍ厚の熱延板とし
た。ついで１１００℃で２分間の均一化焼鈍後、急冷処
理を行ったのち、３５０℃で温間圧延を施して０．２０
ｍｍ厚の最終冷延板とした。その後、８５０℃で３分間
の１次再結晶焼鈍を施シタノち、ＡＩ□０３ニア０％、
ＭｇＯ：２８％、ＴｉＯ２：２％の配合割合になる焼鈍
分離剤スラリーを塗布した。

ついで８５０℃から１０℃／ｈの速度で１０５０℃まで
昇温しで２次再結晶させたのち、さらに吃水素中で１２
００℃、８時間の純化焼鈍を行った。その後酸洗により
鋼板表面上の酸化物を除去し、ついで電解研磨により鋼
板表面を鏡面状態に仕上げてから、イオンプレーティン
グにより０．９　μｍ原のＴｉＮを被成した。

かくして得られた製品の磁気特性は次のとおりであった
。

Ｂｏｏ　：１，９３Ｔ、　　Ｌｉ７ｓｏ：０．６０１’
ｌ／ｋｇ（発明の効果） かくしてこの発明によれば、従来材に比べ、磁気特性と
くに鉄損特性の大幅な改善を実現でき、とくに鏡面体」
−げ後に微小歪の導入を行わない場合にはひずみ取り焼
鈍の如き高温処理を施した場合においても特性劣化のお
それはない。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、Ｃ：０．０１ｗｔ％以下、 Ｓｉ：２．０〜４．０ｗｔ％、 Ｍｎ：０．０１〜０．２ｗｔ％、 ｓｏｌ　Ａｌ：０．００５〜０．０６ｗｔ％およびＮ：
   ０．００１〜０．０１ｗｔ％ を含有する組成になるけい素鋼スラブを、 １３００℃以下の温度に加熱してから、熱間圧延を施し
   て熱延板とし、ついで均一化焼鈍後、１回以上の冷間圧
   延を施して最終冷延板としたのち、１次再結晶焼鈍つい
   で最終仕上げ焼鈍を施してゴス方位の２次再結晶粒を発
   達させたのち、鋼板表面上の酸化物を除去してから、研
   磨を施して鏡面状態に仕上げ、ついで該鏡面仕上げ表面
   上に、ＣＶＤ、イオンプレーティングまたはイオンイン
   プランテーションにより、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ
   、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｂ
   、Ｓｉの窒化物および／または炭化物、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｎ
   ｂ、Ｔａ、Ａｌ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｗのほう化物、Ｍｏ
   、Ｗ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｖのけい化物、Ｂ、Ｓｉのりん酸物
   ならびにＦｅ、Ｚｎの硫化物のうちから選んだ少なくと
   も一種からなる極薄張力被膜を被成することを特徴とす
   る、超低鉄損一方向性けい素鋼板の製造方法。 ２、Ｃ：０．０１ｗｔ％以下、 Ｓｉ：２．０〜４．０ｗｔ％、 Ｍｎ：０．０１〜０．２ｗｔ％、 ｓｏｌ　Ａｌ：０．００５〜０．０６ｗｔ％およびＮ：
   ０．００１〜０．０１ｗｔ％ を含有する組成になるけい素鋼スラブを、１３００℃以
   下の温度に加熱してから、熱間圧延を施して熱延板とし
   、ついで均一化焼鈍後、１回以上の冷間圧延を施して最
   終冷延板としたのち、１次再結晶焼鈍ついで最終仕上げ
   焼鈍を施してゴス方位の２次再結晶粒を発達させたのち
   、鋼板表面上の酸化物を除去してから、研磨を施して鏡
   面状態に仕上げ、ついで該鏡面仕上げ表面上に、局所的
   に微小歪を導入後、再結晶焼鈍を施し、しかるのちＣＶ
   Ｄ、イオンプレーティングまたはイオンインプランテー
   ションにより、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃ
   ｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｂ、Ｓｉの窒
   化物および／または炭化物、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｔａ、
   Ａｌ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｗのほう化物、Ｍｏ、Ｗ、Ｔｉ
   、Ｚｒ、Ｖのけい化物、Ｂ、Ｓｉのりん化物ならびにＦ
   ｅ、Ｚｎの硫化物のうちから選んだ少なくとも一種から
   なる極薄張力被膜を被成することを特徴とする、超低鉄
   損一方向性けい素鋼板の製造方法。