JPS621789B2 - - Google Patents

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JPS621789B2
JPS621789B2 JP56162436A JP16243681A JPS621789B2 JP S621789 B2 JPS621789 B2 JP S621789B2 JP 56162436 A JP56162436 A JP 56162436A JP 16243681 A JP16243681 A JP 16243681A JP S621789 B2 JPS621789 B2 JP S621789B2
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JP
Japan
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atomization
vibrator
electric vibrator
section
atomization device
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Application number
JP56162436A
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JPS5862411A (ja
Inventor
Naoyoshi Maehara
Katsuhiko Yamamoto
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP16243681A priority Critical patent/JPS5862411A/ja
Publication of JPS5862411A publication Critical patent/JPS5862411A/ja
Publication of JPS621789B2 publication Critical patent/JPS621789B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B17/00Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
    • B05B17/04Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
    • B05B17/06Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
    • B05B17/0607Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
    • B05B17/0638Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers spray being produced by discharging the liquid or other fluent material through a plate comprising a plurality of orifices

Landscapes

  • Pressure-Spray And Ultrasonic-Wave- Spray Burners (AREA)
  • Special Spraying Apparatus (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は灯油、軽油などの液体燃料、水、薬液
などの液体を微粒化するための霧化装置に関し、
さらに詳しくは、圧電素子などに代表される超音
波振動を利用した霧化装置に関するものである。
第1の目的は、構成が簡単でコンパクトであ
り、したがつて極めて低価格な霧化装置を提供す
ることである。第2の目的は、低消費電力でかつ
微粒化特性の優れた霧化装置を提供することであ
る。
従来、液体の霧化装置には種々のものが提案さ
れているが、その中で特に超音波を利用した霧化
装置には、以下に述べるような霧化装置が提案さ
れている。第1の霧化装置は振幅増幅用ホーン形
振動子を備えた振幅増幅型超音波霧化装置であ
る。これはランジユバン型圧電振動子やフエライ
トコアを用いた磁歪振動子をジユラルミン等で作
られたホーン型振幅増幅器に取り付け、前記振動
子の振動振幅を増幅するとともに、その最大振幅
器にポンプなどの液体供給手段により液体を供給
して霧化するものである。周知のごとく、前記ホ
ーン形振幅増幅器は振動子の機械的安定振動を保
証するために、極めて高い加工精度が要求され、
かつ、機器への取付上の精度も高いものにする必
要があつた。このため、高価になるとともに機器
への実装上の取り扱いも極めて面倒なものであつ
た。さらに、微粒化特性も十分なものではなく、
とりわけ、霧化粒径の均一化の点で好ましいもの
ではなかつた。また、ポンプ等の液体供給手段を
必要とし、霧化量も前記液体供給手段によつて決
定されるため、霧化装置全体としては大型化し、
一層高価なものにならざるを得ないものであつ
た。
第2の霧化装置は加湿器等に実用化されている
もので、液槽の底面に超音波振動子を取りつけ、
超音波を液面に集中して液柱を液面に形成し、液
面での一種のキヤビテーシヨン(キヤピラリー
波)と表現される場合もある)を利用して霧化す
るものである。この霧化装置は液槽の液面から直
接霧化するものであるから、ポンプなどの液体供
給手段を必要としないが、液面と振動子との相対
距離、液温などにより、振動子の動作が著しい影
響を受け、霧化量の安定化が困難であるという欠
点を有していた。また、良好な霧化動作を得るた
めには1〜2MHz,20〜50Wattsという極めて高
い周波数で、大きな電力を必要とするものであ
り、極めて小さい粒径の霧化粒子が得られる利点
を有する反面、霧化粒径のバラツキが大きいとい
う欠点を有していた。さらに、その動作周波数域
の問題から、ラジオ等の種々の機器への電波障害
が発生しやすいという重大な欠点を有するもので
あつた。また駆動回路は前述のような高周波大電
力を発生させる必要から、極めて高価なものにな
らざるを得ず、さらに電波障害抑制用のフイルタ
装置などを必要とするため、一層高価なものとな
つていた。
本発明は、このような点に鑑みてなされたもの
であつて、超音波を利用した霧化装置の比較的小
型で、低騒音であり、しかも電気的制御が溶易な
ため制御性に優れているという利点を生かしつ
つ、前述の欠点を一掃した霧化装置を提供せんと
するものであり、極めてコンパクト、低価格、低
消費電力である上に、霧化特性の優れた霧化装置
を実現せんとするものである。
以下、本発明を液体燃料燃焼機に適用した一実
施例について図面とともに説明する。
第1図は本発明の霧化装置の一実施例を適用し
た温風暖房機の構成断面図である。第1図におい
て、1は温風機ケースであつて、上面には操作部
2が設けられ、制御器3に制御指令を与えるもの
である。
制御器3に運転指令が操作部2より与えられる
とバーナモータ4が起動され、同軸に取付けられ
た燃焼フアン5、吸引用フアン6が起動する。し
たがつて燃焼空気は吸気口7からオリフイス8を
通り、スワラ9により矢印のように旋回気流とな
つて混合室10に送り込まれる。
一方、灯油はタンク11からパイプ12を経て
レベラ13に供給され、運転停止時の液面はパイ
プ14内の液面15の位置に制御されている。前
述したようにバーナモータ4の運転により燃焼フ
アン5、吸引用フアン6が運転されると、オリフ
イス8により結合部16は負圧力P1が発生する。
さらに吸引用フアン6により結合部16とと吸引
部17との間には差圧力P2が発生する。したがつ
て、吸引部17は大気圧に対して、P0=P1+P2
け負圧状態になる。この負圧力P0により灯油の液
面15は上昇し、霧化部18内は灯油で充満さ
れ、液面はパイプ19内の液面20の位置になつ
てつりあい、図のようになるのである。前記霧化
部18は混合室10の壁面21に図のように傾め
に取付けられている。
前記霧化部18は制御器3内の駆動回路により
後述するように付勢され、霧化粒子22を吐出す
る。霧化粒子22は混合室10で空気と混合し、
気化部23を経て、主炎口24、副炎口25から
噴出される。この混合気は点火器26にて点火さ
れ、主火炎27補助炎28を形成する。補助炎2
8は気化部23の温度を十分高めるためのもので
ある。したがつて、火炎27,28は点火初期は
完全な青火燃焼炎ではないが、気化部23が十分
加熱されると完全な青火炎となる。29は2次空
気噴出口であり、火炎27の燃焼速度を低く押
え、排気パイプ30から排出される排ガス中の有
害物質の低減をかかるものであり、また、1次空
気は少なくてよいから主炎口24から噴出される
混合気の霧化粒子濃度を高くすることができ、点
火器26による点火を良好にする効果を有するも
のである。31は炎検知手段であり着火、失火、
空燃比等の炎状態信号を制御器3に送るものであ
る。
また、32は対流フアンであり、熱交換器33
に室内空気を送り、温風を室内に吐出するもので
ある。
ここで、本実施例の霧化装置の動作について、
第2図a,bを参照して説明する。第2図a,b
は第1図における霧化部18に相当する。
第2図aにおいて、基体34は直径40mm程度の
円柱状であり、その軸方向断面図から明らかなよ
うに、ホーン状の加圧室35を内部に有してい
る。加圧室35の先端には直径30〜80μm程度の
ノズル36が設けられたノズル部37が、パツキ
ン38によりシールされて、押え板39にて固定
されている。
一方、加圧室35の後端には振動板40と直径
10〜20mm程度の円板状圧電素子41とより成る電
気的振動子42が設けられ、固定部43は振動板
40と一体に作られており、基体34に0リング
44によりシールされて取り付けられている。連
通部45により加圧室35と連通された供給室4
6は電気的振動子42の全周をとり囲むように構
成され、この供給室に加圧室35内の気体を排出
する排出部47と、液体の供給される供給部48
が設けられ、それぞれ、パイプ19、パイプ14
が取り付けられている。
前記電気的振動子42に交流電圧(交番電力)
が供給されると、第2図a,bに示すような鼓状
の歪を生じじノズル36により微小液滴22を吐
出する。
今、正の半サイクル電圧が電気的振動子42に
印加されると第2図aの状態となり、図の矢印の
ように、電気的振動子42に生じた歪により発生
する圧力上昇により、ノズル36から、微小粒径
で、かつ均一な粒径の液滴22が吐出される。逆
に負の半サイクル電圧が電気的振動子42に印加
されると、第2図b状態となり、電気的振動子4
2の近傍には、その歪により負圧力が発生する。
したがつて、灯油は図の矢印のように供給室46
から吸い込まれ、供給室46にはパイプ14を介
してレベラ13より灯油が供給される。この時、
ノズル36は図のように灯油の表面張力効果によ
つて密閉された状態を保ち、したがつて、ノズル
36からの空気の流入はない。すなわち自給作用
を有するものである。
以上の動作を繰り返すことによつて、灯油はレ
ベラ13から自動的に加圧室35に吸い込まれ、
同時にノズル36からは粒径が小さく、かつ均一
であり、しかも飛散距離が大きく、飛散パターン
の安定した霧化粒子が噴出される。
前記電気的振動子42の駆動電力は液体(灯
油)を加圧するのみでよいので、従来のような大
きな機械的振動エネルギを得る必要がなく、この
ため極めて小さい電力であり、0.5〜2Watts程度
であつて従来の超音波霧化装置の1/10〜1/100程
度とすることが可能である。
第3図a〜dは第2図a,bに示した霧化装置
の特性図である。第3図aは周波数=に一
定に保つた時の駆動電圧Voと霧化粒子の粒径d
の関係を示すものであり、Voが小さい程、小さ
い粒径の霧化粒子が得られることを示している。
したがつて第3図bに示すように、霧化量qを一
定(q=q1)に保つた時、駆動周波数が高い
程、粒径dが小さい霧化粒子が得られるのであ
る。
また、第3図cに示すように、加圧室35内の
灯油に対して電気的振動子42によつて加えられ
る加速度αと、加圧室35内に発生する圧力波の
絶対値Pとは比例関係にあり、一方で、加速度α
と駆動周波数との関係は第3図dに示すよう
に、 α≒K・ K:定数 の関係となる。
圧力(負圧力)Pがある圧力Pcに達するとキ
ヤビテーシヨンによる気泡が発生し、この気泡が
成長して過大な気泡となると霧化動作が不安定と
なり、ついには、ノズル36がふさがれてしまつ
て霧化動作が停止してしまう。すなわち、駆動周
波数=cに達すると前述した霧化動
作不安定状態に陥るのである。したがつて、
≧cのような周波数にて、第4図aのよう
な連続波形で駆動すると、前述した霧化動作の不
安定さと生じてしまう。
第5図a,bは前述したキヤビテーシヨンによ
る気泡の発生状態を示すものである。第4図aの
ような連続波形の交流電圧(>c)により
電気的振動子42を駆動すると、第5図aに示す
ように加圧室35内に微小気泡49,50,51
が発生する。そして、この微小気泡49〜51は
前記電気的振動子42の振動が続いている間は発
生した場所近傍にとどまつているか、もしくはノ
ズル36の方向に徐々に移動していく。そして一
定の時間が経過すると第5図bのようになり、微
小気泡は成長し、気泡49′,50′,51′とな
り、それらの気泡は図中の矢印のように移動して
結合し、過大気泡52となる。このような状態
(第5図b)になると、電気的振動子42の発生
する歪は有効な圧力を発生することができなくな
り、微小液滴22の吐出方向が図のように不安定
になつたり、ほとんど吐出不可能になつたりす
る。
したがつて、<cなる周波数で電気的振
動子42を駆動することが必要であり、このこと
は吐出液滴22の微粒化に限界があり、さらに小
さい粒径の液滴吐出が不可能であることを意味す
るものである。
第6図は上記不都合を防止し、キヤビテーシヨ
ン気泡により霧化動作が不安定になることを防止
しつつ、高い周波数c)で駆動す
ることができ、したがつて、極めて微小な液滴の
吐出を可能とすることができる振動子駆動部5
3、間欠制御部54を示すブロツク図である。
振動子駆動部53は電源部55、第1の発振器
56、増幅器57より構成され、電気振動子42
に交番電圧を供給する。一方、間欠制御部54は
第2の発振器58と、それにより駆動されるスイ
ツチ回路59より成つている。第1の発振器56
の出力は第2の発振器58の出力によりオンオフ
されるスイツチ回路59により断続されるように
構成されており、したがつて電気的振動子42に
は、第1の発振器56の断続波形の出力電圧を、
増幅器57により増幅した電圧が供給される。第
4図b,cは前述の動作を示すものであり、第4
図bは増幅器57の出力波形、同図cは第2の発
振器58の動作波形であり、図中の周期Ttotol中
のTONの期間だけ、スイツチ回路59により、第
1の発振器56の出力が増幅器57に伝達される
ことを示している。したがつて、電気的振動子4
2はTtotelの期間においてTONの期間のみ動作
し、TOFFの期間は動作停止状態である。第5図
cは前記TOFF期間中の気泡49〜51の移動状
態を示すもであり、図中の矢印のように上昇し、
結合して気泡60となり排気部47より排気され
る。
すなわち、一定のTOFF期間だけ、電気的振動
子42の動作を停止することにより、気泡49〜
51が成長して霧化動作の不安定性が発生する前
に、気泡49〜〜51を排出することができ、高
い周波数c)でも安定な霧化動作
を維持することができる。
もとより、TONは気49〜51が成長する以前
にTOFF期間となるような十分短い(気泡の成長
に比べて)時間であることが必要であり、また、
OFFも気泡49〜51が加圧室35から外に上
昇していくのに十分な長い時間であることが必要
である。
したがつて、この間欠制御手段を、霧化量制御
手段と兼用して回路構成の簡略化、低コスト化を
実現する場合には、第4図b,cを限界のTON
OFFであるとすれば、霧化量を調節する場合、
第4図d,eのようにすることが必要である。す
なわち、霧化量調節時のTON(TOFF)は限界値
よりも短い時間(長い時間)であることが必要で
あり、このようにすることにより、霧化量調節時
における霧化動作の安定性を確保しつつ、簡単な
構成で、しかも微粒化特性のすぐれた霧化装置と
することができる。
第7図は、第6図に示した振動子駆動部53、
間欠制御部54のさらに詳しい一実施例である。
図において、電源部55は直流電源61,62
から成り、これらは商用電源から必要により、ト
ランスを介して容易に得られる。
第1の発振器56はトランジスタ63,64、
コンデンサ65,66、抵抗器67〜70より成
り、いわゆるマルチバイブレータにて構成されて
いる。トランジスタ64のコレクタ出力は電界効
果トランジスタ(以下FETと称す)71、トラ
ンジスタ72,73、コンデンサ74、抵抗器7
5〜78より成るスイツチ回路59を介して、増
幅器57に供給される。増幅器57はトランジス
タ79〜81、コンデンサ82,83、抵抗器8
4〜87、出力トランス88より構成され、前記
出力トランス88の出力な電気的振動子42に供
給されるよう構成されている。一方、第2の発振
器58はトランジスタ89,90、コンデンサ9
1,92、抵抗器93〜97、連動形可変抵抗器
98,99より構成され、その出力はスイツチ回
路59のトランジスタ72,73を介して、
FET71をオン・オフ制御する。すなわち、第
2の発振器を構成する第2のマルチバイブレータ
の出力によりFET71がオン・オフするため、
第1の発振器56を構成する第1のマルチバイブ
レータの出力が間欠的に増幅器57に供給される
ことになる。
したがつて、電気的振動子42には前記可変抵
抗器98,99の設定値に応じて生じる第4図
c,eのようなFET71のオン・オフにしたが
つて第4図b,dのような電圧が供給されるた
め、第5図a,cのような動作を、それぞれTON
およびTOFF期間に応じてくり返すものである。
このように、電気的振動子42を加振するため
の第1の発振器56のオン・オフを第2の発振器
58で行う構成にすることにより、高い周波数
>c)で駆動することが可能となり、
キヤビテーシヨン気泡の影響を受けず安定で、し
かも微粒化特性のすぐれた霧化装置とすることが
できる。
可変抵抗器98,99は連動構成になつてい
て、調節によるそれぞれの抵抗値の増減が相反す
るように接続されている。よつて、本実施例にお
いては、可変抵抗器98,99を調節することに
よりTtotalが一定で、TON,TOFFが増減するよ
うな霧化量制御を行うものであり、第4図b,d
のような駆動波形になる。
抵抗器95はTOFFの最小値を制限する最小停
止時間規制手段であり、同時に、可変抵抗器9
8,99、抵抗器94とともに、TONの最大値を
規制する最大駆動時間規制手段の役割も果してい
る。
このように、最小停止時間規制手段、最大駆動
時間規制手段を設けることにより、前述したよう
に、安定なキヤビテーシヨン気泡の加圧室35か
らの排出を保証することができ霧化動作の安定持
続を実現できるものである。
以上に述べたように本発明によれば、加圧室を
有する基体にノズルを有するノズル部と電気的振
動子とを装着し、振動子駆動部により電気的振動
子を駆動するよう構成するとともに、間欠制御部
を設け、前記電気的振動子を間欠的に駆動するよ
う構成すると共に、前記基体に加圧室の液体を排
出する排出部を設ける構成としたから、構成が簡
単でコンパクトであり、その上低消費電力である
とともに液体の自給作用をも有しているので極め
て低価格な霧化装置を実現することができ、さら
に均一で極めめて小さい粒径の霧化粒子を大量
に、しかも安定に発生することが可能な霧化装置
を提供できるものである。また、間欠動作によつ
てキヤビテーシヨン気泡の成長を防止し、高周波
数での安定動作を実現できるから、微粒化特性が
一層優れた霧化装置を実現できるものであり、そ
の工業的価値は極めて大なるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を温風暖房機に適用
した断面図、第2図a,bは霧化部の動作を説明
する拡大断面図、第3図a,b,c,dは特性
図、第4図a,b,c,d,eは電気的振動子の
駆動方法を説明するための電圧波形図、第5図
a,b,cはキヤビテーシヨン気泡の状態を説明
する拡大断面図、第6図は振動子駆動部および間
欠制御部の一実施例を示すブロツク図、第7図は
振動子駆動部および間欠制御部のさらに詳しい一
実施例を示す回路図である。 34……基体、35……加圧室、36……ノズ
ル、37……ノズル部、42……電気的振動子、
53……振動子駆動部、54……間欠制御部。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 加圧室を有する基体と、前記基体に装着さ
    れ、ノズルが設けられたノズル部と、前記基体に
    装着され、前記加圧室内の液体を加振する電気的
    振動子と、前記電気的振動子に交番電力を供給す
    る振動子駆動部とを備え、前記交番電力の前記電
    気的振動子への供給を間欠制御する間欠制御部を
    設けると共に、前記基体に、前記間欠制御部によ
    る前記電気的振動子の動作停止時に前記加圧室内
    の気体を排出する前記排出部を設けた霧化装置。 2 間欠制御部は、霧化量の平均値を制御する平
    均霧化量制御部を兼用した構成とした特許請求の
    範囲第1項記載の霧化装置。 3 間欠制御部は、電気的振動子が連続して駆動
    される最大時間を規制する最大駆動時間規制手段
    と、前記電気的振動子が連続して駆動停止される
    最小時間を規制する最小停止時間規制手段とのう
    ち、少なくとも一方を備えた特許請求の範囲第2
    項記載の霧化装置。
JP16243681A 1981-10-12 1981-10-12 霧化装置 Granted JPS5862411A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01171844U (ja) * 1988-05-25 1989-12-05

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59201962A (ja) * 1983-04-28 1984-11-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd 霧化装置
JPS60105864U (ja) * 1983-12-24 1985-07-19 マツダ株式会社 デイ−ゼルエンジンの燃料供給装置
US5152456A (en) * 1989-12-12 1992-10-06 Bespak, Plc Dispensing apparatus having a perforate outlet member and a vibrating device
JP2696455B2 (ja) * 1992-04-01 1998-01-14 ティーディーケイ株式会社 超音波霧化装置
DE102008058725A1 (de) * 2008-11-14 2010-05-20 Ing. Erich Pfeiffer Gmbh Austragvorrichtung
JP5423813B2 (ja) * 2010-01-12 2014-02-19 株式会社村田製作所 霧化器
TWI548461B (zh) * 2014-02-21 2016-09-11 Double chamber full cover sealed piezoelectric atomization module

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5742368A (en) * 1980-08-28 1982-03-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd Atomizer

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5742368A (en) * 1980-08-28 1982-03-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd Atomizer

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01171844U (ja) * 1988-05-25 1989-12-05

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