JP2696455B2 - 超音波霧化装置 - Google Patents
超音波霧化装置Info
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- JP2696455B2 JP2696455B2 JP4108616A JP10861692A JP2696455B2 JP 2696455 B2 JP2696455 B2 JP 2696455B2 JP 4108616 A JP4108616 A JP 4108616A JP 10861692 A JP10861692 A JP 10861692A JP 2696455 B2 JP2696455 B2 JP 2696455B2
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- Japan
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- piezoelectric vibrator
- intermittent
- atomizing
- circuit
- thin plate
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
- B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
- B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
- B05B17/0638—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers spray being produced by discharging the liquid or other fluent material through a plate comprising a plurality of orifices
- B05B17/0646—Vibrating plates, i.e. plates being directly subjected to the vibrations, e.g. having a piezoelectric transducer attached thereto
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- Special Spraying Apparatus (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、小電力で小霧化量の吸
入器等の用途に適した超音波霧化装置に関する。
入器等の用途に適した超音波霧化装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、図５に示すように、振動体 (ホー
ン）３０の先端面に網状薄板３１を載置し、振動体３０
と網状薄板３１の隙間に広がった液体を振動体３０の超
音波振動で霧化する構成が、本出願人提案の実開平３−
１５６７４号で示されている。この場合、振動体３０の
振動周波数は２０乃至２００kＨzであり (ランジュバン
型振動子と類似の構造であるため）、網状薄板３１がな
い場合の理論発生粒径は約２０〜４０μｍであるが、そ
の網状薄板３１に形成された穴３２の穴径を前記理論発
生粒径よりも小さく５〜３０μｍとして当該網状薄板３
１を発生粒径の小径化に利用していた。なお、理論発生
粒径ｄは次式(１)で示される。 ｄ＝０.３４×(８πＴ／ρＦ2)1/3 …(１) (但し、Ｔ：液体の表面張力、ρ：液体の密度、Ｆ：駆動周波数)
ン）３０の先端面に網状薄板３１を載置し、振動体３０
と網状薄板３１の隙間に広がった液体を振動体３０の超
音波振動で霧化する構成が、本出願人提案の実開平３−
１５６７４号で示されている。この場合、振動体３０の
振動周波数は２０乃至２００kＨzであり (ランジュバン
型振動子と類似の構造であるため）、網状薄板３１がな
い場合の理論発生粒径は約２０〜４０μｍであるが、そ
の網状薄板３１に形成された穴３２の穴径を前記理論発
生粒径よりも小さく５〜３０μｍとして当該網状薄板３
１を発生粒径の小径化に利用していた。なお、理論発生
粒径ｄは次式(１)で示される。 ｄ＝０.３４×(８πＴ／ρＦ2)1/3 …(１) (但し、Ｔ：液体の表面張力、ρ：液体の密度、Ｆ：駆動周波数)
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、超音波霧化
装置を医療用吸入器として使用する場合、体の部位によ
り到達できる霧径が異なるが、従来の超音波霧化装置に
よる霧径は、振動体の振動周波数あるいは網状薄板の穴
径で固定的に決まってしまうため、要求される霧径が異
なる時は装置を変更又は交換する必要があった。
装置を医療用吸入器として使用する場合、体の部位によ
り到達できる霧径が異なるが、従来の超音波霧化装置に
よる霧径は、振動体の振動周波数あるいは網状薄板の穴
径で固定的に決まってしまうため、要求される霧径が異
なる時は装置を変更又は交換する必要があった。
【０００４】本発明は、上記の点に鑑み、小電力で液体
の霧化が可能で、霧化粒子の粒径を可変制御可能な、吸
入器等の用途に適した超音波霧化装置を提供することを
目的とする。
の霧化が可能で、霧化粒子の粒径を可変制御可能な、吸
入器等の用途に適した超音波霧化装置を提供することを
目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の超音波霧化装置は、板状圧電磁器の両面に
電極を形成してなり厚さ方向の共振による超音波振動を
生じる圧電振動子の片面を霧化作用面とし、該霧化作用
面側に多孔乃至網状薄板を配し、少なくとも前記薄板の
一部分と前記霧化作用面間に微小間隙が形成されるよう
にし、前記微小間隙に霧化すべき液体を供給する手段を
設け、前記圧電振動子をデューティー７０％以下で間欠
に励振する励振回路を設けて前記霧化作用面と前記薄板
間の前記微小間隙に広がった液体を前記圧電振動子の間
欠的な超音波振動によって霧化するとともに、前記励振
回路の間欠周波数を可変とする制御回路を設けた構成と
している。
に、本発明の超音波霧化装置は、板状圧電磁器の両面に
電極を形成してなり厚さ方向の共振による超音波振動を
生じる圧電振動子の片面を霧化作用面とし、該霧化作用
面側に多孔乃至網状薄板を配し、少なくとも前記薄板の
一部分と前記霧化作用面間に微小間隙が形成されるよう
にし、前記微小間隙に霧化すべき液体を供給する手段を
設け、前記圧電振動子をデューティー７０％以下で間欠
に励振する励振回路を設けて前記霧化作用面と前記薄板
間の前記微小間隙に広がった液体を前記圧電振動子の間
欠的な超音波振動によって霧化するとともに、前記励振
回路の間欠周波数を可変とする制御回路を設けた構成と
している。
【０００６】
【作用】本発明の超音波霧化装置においては、板状圧電
磁器の両面に電極を形成してなり厚さ方向の共振による
超音波振動を生じる圧電振動子を励振回路によってデュ
ーティー７０％以下で間欠励振するので、圧電振動子の
霧化作用面と多数の小径穴が開口した薄板との間の微小
間隙に広がった水等の液体を霧化するのに必要十分な振
幅の高周波電圧で圧電振動子を駆動できる。また、間欠
駆動であるため、単位時間当たりの圧電振動子への入力
電力を削減でき、圧電振動子の発熱による劣化を回避す
ることができる。さらに、制御回路で前記励振回路の間
欠周波数（例えば数Ｈｚ乃至数１０ｋＨｚの範囲）を変
化させることで霧化粒子の粒径を変えることができる。
なお、本発明で用いる圧電振動子はホーンを用いないの
で、小型、軽量で小電力駆動に適した超音波霧化装置を
実現できる。
磁器の両面に電極を形成してなり厚さ方向の共振による
超音波振動を生じる圧電振動子を励振回路によってデュ
ーティー７０％以下で間欠励振するので、圧電振動子の
霧化作用面と多数の小径穴が開口した薄板との間の微小
間隙に広がった水等の液体を霧化するのに必要十分な振
幅の高周波電圧で圧電振動子を駆動できる。また、間欠
駆動であるため、単位時間当たりの圧電振動子への入力
電力を削減でき、圧電振動子の発熱による劣化を回避す
ることができる。さらに、制御回路で前記励振回路の間
欠周波数（例えば数Ｈｚ乃至数１０ｋＨｚの範囲）を変
化させることで霧化粒子の粒径を変えることができる。
なお、本発明で用いる圧電振動子はホーンを用いないの
で、小型、軽量で小電力駆動に適した超音波霧化装置を
実現できる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明に係る超音波霧化装置の実施例
を図面に従って説明する。
を図面に従って説明する。
【０００８】図１は本発明の実施例の回路構成を示し、
図２はこの実施例にて用いる圧電振動子の構造を示す。
これらの図において、１は圧電振動子ＴＤを間欠的に励
振する励振回路としての間欠発振回路、２はＤＣ−ＤＣ
コンバータであり、該ＤＣ−ＤＣコンバータ２は３Ｖ乃
至６Ｖ程度の電池電源である直流電源Ｅの電圧を数十Ｖ
(例えば３０Ｖ）程度に昇圧し、正側ラインＰ及び負側
ラインＮを介して前記間欠発振回路１に供給するもので
ある。３は間欠発振回路の間欠周波数を可変とするため
の制御回路である。
図２はこの実施例にて用いる圧電振動子の構造を示す。
これらの図において、１は圧電振動子ＴＤを間欠的に励
振する励振回路としての間欠発振回路、２はＤＣ−ＤＣ
コンバータであり、該ＤＣ−ＤＣコンバータ２は３Ｖ乃
至６Ｖ程度の電池電源である直流電源Ｅの電圧を数十Ｖ
(例えば３０Ｖ）程度に昇圧し、正側ラインＰ及び負側
ラインＮを介して前記間欠発振回路１に供給するもので
ある。３は間欠発振回路の間欠周波数を可変とするため
の制御回路である。
【０００９】前記間欠発振回路１はコレクタ接地型のト
ランジスタ発振回路であって、発振用トランジスタＱ１
と、該トランジスタのベースバイアス電流を流すための
抵抗Ｒ１、可変抵抗ＶＲ及びスイッチ用トランジスタＱ
２と、ＤＣ−ＤＣコンバータ２の負側ラインＮとトラン
ジスタＱ１のエミッタとを結ぶインダクタＬ１,Ｌ２
と、正側及び負側ラインＰ,Ｎ間に接続されたコンデン
サＣ１と、インダクタＬ１,Ｌ２の接続点とトランジス
タＱ１のコレクタ間に接続されたコンデンサＣ２と、イ
ンダクタＬ１,Ｌ２の接続点とトランジスタＱ１のベー
ス間に接続されたコンデンサＣ３とを備え、圧電振動子
ＴＤはコンデンサＣ４を介しトランジスタＱ１のコレク
タ、ベース間に接続されている。
ランジスタ発振回路であって、発振用トランジスタＱ１
と、該トランジスタのベースバイアス電流を流すための
抵抗Ｒ１、可変抵抗ＶＲ及びスイッチ用トランジスタＱ
２と、ＤＣ−ＤＣコンバータ２の負側ラインＮとトラン
ジスタＱ１のエミッタとを結ぶインダクタＬ１,Ｌ２
と、正側及び負側ラインＰ,Ｎ間に接続されたコンデン
サＣ１と、インダクタＬ１,Ｌ２の接続点とトランジス
タＱ１のコレクタ間に接続されたコンデンサＣ２と、イ
ンダクタＬ１,Ｌ２の接続点とトランジスタＱ１のベー
ス間に接続されたコンデンサＣ３とを備え、圧電振動子
ＴＤはコンデンサＣ４を介しトランジスタＱ１のコレク
タ、ベース間に接続されている。
【００１０】前記制御回路３は、前記スイッチ用トラン
ジスタＱ２に方形波のゲートパルスＧＰを印加するゲー
トパルス発生回路４、ゲートパルスＧＰのデューティー
を変化させるデューティー可変回路５及びゲートパルス
ＧＰの周波数を変化させる周波数可変回路６を具備して
いる。この制御回路３は、前記周波数可変回路６の設定
を変化させることによって数Ｈz乃至数１０Ｈzの周波数
のゲートパルスＧＰを発生でき、前記デューティー可変
回路５の設定を変化させることで数％乃至７０％範囲で
前記ゲートパルスＧＰのデューティーを変化させること
ができる。
ジスタＱ２に方形波のゲートパルスＧＰを印加するゲー
トパルス発生回路４、ゲートパルスＧＰのデューティー
を変化させるデューティー可変回路５及びゲートパルス
ＧＰの周波数を変化させる周波数可変回路６を具備して
いる。この制御回路３は、前記周波数可変回路６の設定
を変化させることによって数Ｈz乃至数１０Ｈzの周波数
のゲートパルスＧＰを発生でき、前記デューティー可変
回路５の設定を変化させることで数％乃至７０％範囲で
前記ゲートパルスＧＰのデューティーを変化させること
ができる。
【００１１】前記間欠発振回路１は、前記制御回路３か
らのゲートパルスＧＰで前記スイッチ用トランジスタＱ
２が導通している期間中、該スイッチ用トランジスタＱ
２、可変抵抗ＶＲ及び抵抗Ｒ１の経路でベースバイアス
電流が発振用トランジスタＱ１に流れ、圧電振動子ＴＤ
の共振点近傍の圧電振動子が誘導性となる周波数（例え
ば１.６ＭＨzや２.４ＭＨz）で自励発振可能なものであ
る。
らのゲートパルスＧＰで前記スイッチ用トランジスタＱ
２が導通している期間中、該スイッチ用トランジスタＱ
２、可変抵抗ＶＲ及び抵抗Ｒ１の経路でベースバイアス
電流が発振用トランジスタＱ１に流れ、圧電振動子ＴＤ
の共振点近傍の圧電振動子が誘導性となる周波数（例え
ば１.６ＭＨzや２.４ＭＨz）で自励発振可能なものであ
る。
【００１２】図３は前記間欠発振回路１の間欠発振波形
の１例を示す。この図において、間欠周期Ｄに対する発
振期間Ｄonの比がデューティー (Ｄon／Ｄ）となり、間
欠周波数 (１／Ｄ）をｆ、発振の振幅をＡとしたとき、
圧電振動子ＴＤへの入力電力Ｐは、理論的には ｆ・ (Ｄon／Ｄ）・Ａ に正比例する。従って、間欠周波数ｆ、デューティー
(Ｄon／Ｄ）、入力電力Ｐを適切に設定することで、入
力電力Ｐを小さくし、かつ霧化に必要な振幅Ａを確保す
ることができる。なお、前記制御回路３のゲートパルス
ＧＰの周波数が間欠発振回路１の間欠発振波形の間欠周
波数（１／Ｄ）となり、ゲートパルスのデューティーと
Ｄon／Ｄとが一致する。
の１例を示す。この図において、間欠周期Ｄに対する発
振期間Ｄonの比がデューティー (Ｄon／Ｄ）となり、間
欠周波数 (１／Ｄ）をｆ、発振の振幅をＡとしたとき、
圧電振動子ＴＤへの入力電力Ｐは、理論的には ｆ・ (Ｄon／Ｄ）・Ａ に正比例する。従って、間欠周波数ｆ、デューティー
(Ｄon／Ｄ）、入力電力Ｐを適切に設定することで、入
力電力Ｐを小さくし、かつ霧化に必要な振幅Ａを確保す
ることができる。なお、前記制御回路３のゲートパルス
ＧＰの周波数が間欠発振回路１の間欠発振波形の間欠周
波数（１／Ｄ）となり、ゲートパルスのデューティーと
Ｄon／Ｄとが一致する。
【００１３】前記圧電振動子ＴＤは、図２に示すよう
に、圧電磁器の厚さ方向の共振による超音波振動を利用
するもので、円板状圧電磁器１０の主面１１及び反対面
１２にそれぞれ電極１３,１４を形成したものである。
該圧電振動子ＴＤはホルダ１５に固定された弾性環状支
持体１６で弾性支持される。圧電振動子ＴＤの霧化作用
面 (主面上に電極を形成した面）２０上には多数の微小
穴２３が開口した多孔乃至網状薄板２１が配設され、該
多孔乃至網状薄板２１の端部は取付具２２を介してホル
ダ１５に固定されている。多数の微小穴２３を有する多
孔乃至網状薄板２１は少なくとも部分的に前記霧化作用
面２０に対して微小間隙で対向するように湾曲した部分
で圧電振動子ＴＤの前記霧化作用面２０に接している。
このような多孔乃至網状薄板２１は厚さ数１０μｍ乃至
１００μｍのステンレス等の金属薄板であり、微小穴２
３の穴径は数μｍ乃至５０μｍである。なお、薄板２１
の厚みが２００μｍを越えると、微小穴の加工が面倒で
あるし、霧化効率の点でも望ましくない。また、微小穴
２３の径が８０μｍを越えると、霧化効率が低下すると
ともに霧化状態が不安定となり好ましくない。
に、圧電磁器の厚さ方向の共振による超音波振動を利用
するもので、円板状圧電磁器１０の主面１１及び反対面
１２にそれぞれ電極１３,１４を形成したものである。
該圧電振動子ＴＤはホルダ１５に固定された弾性環状支
持体１６で弾性支持される。圧電振動子ＴＤの霧化作用
面 (主面上に電極を形成した面）２０上には多数の微小
穴２３が開口した多孔乃至網状薄板２１が配設され、該
多孔乃至網状薄板２１の端部は取付具２２を介してホル
ダ１５に固定されている。多数の微小穴２３を有する多
孔乃至網状薄板２１は少なくとも部分的に前記霧化作用
面２０に対して微小間隙で対向するように湾曲した部分
で圧電振動子ＴＤの前記霧化作用面２０に接している。
このような多孔乃至網状薄板２１は厚さ数１０μｍ乃至
１００μｍのステンレス等の金属薄板であり、微小穴２
３の穴径は数μｍ乃至５０μｍである。なお、薄板２１
の厚みが２００μｍを越えると、微小穴の加工が面倒で
あるし、霧化効率の点でも望ましくない。また、微小穴
２３の径が８０μｍを越えると、霧化効率が低下すると
ともに霧化状態が不安定となり好ましくない。
【００１４】なお、前記圧電振動子ＴＤの霧化作用面２
０と多孔乃至網状薄板２１間の微小間隙に霧化すべき液
体を適量供給するために給液手段 (液体を滴下する細管
や液体を毛細管現象で吸い上げて供給する吸液部材等）
２５が設けられている。
０と多孔乃至網状薄板２１間の微小間隙に霧化すべき液
体を適量供給するために給液手段 (液体を滴下する細管
や液体を毛細管現象で吸い上げて供給する吸液部材等）
２５が設けられている。
【００１５】以上の実施例の構成において、前記間欠発
振回路１のベースバイアス回路の可変抵抗ＶＲを適切な
値に設定し、ＤＣ−ＤＣコンバータ２の正、負側ライン
Ｐ,Ｎ間の出力直流電圧を、霧化動作が可能となるよう
な発振電圧波形の振幅Ａを確保できる値にする (振幅Ａ
がある程度以下では圧電振動子の霧化作用面での霧化が
全然行われなくなる）。このように間欠発振回路１の動
作状態を適切に設定し、制御回路３からデューティー７
０％以下のゲートパルスＧＰを印加すれば、間欠発振回
路１はゲートパルスで規定された間欠周波数及びデュー
ティーで間欠発振を行い、これにより圧電振動子ＴＤの
圧電磁器１０は厚み方向の共振による超音波振動を間欠
的に起こし、給液手段２５から供給されて霧化作用面２
０と多孔乃至網状薄板２１間の微小間隙に広がりさらに
各微小穴２３に入った液体は、霧化作用面２０の間欠的
な超音波振動にて霧化されて (微粒子となって）空中に
放出される。
振回路１のベースバイアス回路の可変抵抗ＶＲを適切な
値に設定し、ＤＣ−ＤＣコンバータ２の正、負側ライン
Ｐ,Ｎ間の出力直流電圧を、霧化動作が可能となるよう
な発振電圧波形の振幅Ａを確保できる値にする (振幅Ａ
がある程度以下では圧電振動子の霧化作用面での霧化が
全然行われなくなる）。このように間欠発振回路１の動
作状態を適切に設定し、制御回路３からデューティー７
０％以下のゲートパルスＧＰを印加すれば、間欠発振回
路１はゲートパルスで規定された間欠周波数及びデュー
ティーで間欠発振を行い、これにより圧電振動子ＴＤの
圧電磁器１０は厚み方向の共振による超音波振動を間欠
的に起こし、給液手段２５から供給されて霧化作用面２
０と多孔乃至網状薄板２１間の微小間隙に広がりさらに
各微小穴２３に入った液体は、霧化作用面２０の間欠的
な超音波振動にて霧化されて (微粒子となって）空中に
放出される。
【００１６】その際、間欠周波数（１／Ｄ）と空中に放
出された霧化粒子の平均粒径との関係は、実験の結果、
以下の表１の如くなった（但し、多孔乃至網状薄板２１
の厚さ：４０μｍ、穴径３０μｍ）。
出された霧化粒子の平均粒径との関係は、実験の結果、
以下の表１の如くなった（但し、多孔乃至網状薄板２１
の厚さ：４０μｍ、穴径３０μｍ）。
【００１７】 このように、制御回路３のゲートパルスＧＰの周波数を
変化させて圧電振動子ＴＤの間欠周波数を可変すること
で、発生する霧化粒子の粒径を可変制御できる。
変化させて圧電振動子ＴＤの間欠周波数を可変すること
で、発生する霧化粒子の粒径を可変制御できる。
【００１８】図４は間欠発振回路１の出力波形のデュー
ティーと霧化動作中の圧電振動子ＴＤの温度との関係を
示す。デューティーが７０％以下であれば、圧電振動子
ＴＤの温度は常に１００℃を下まわるが、デューティー
が７０％を越えると１００℃に接近乃至これを上まわる
ようになり、圧電振動子ＴＤの劣化現象が発生する恐れ
がでてくる。
ティーと霧化動作中の圧電振動子ＴＤの温度との関係を
示す。デューティーが７０％以下であれば、圧電振動子
ＴＤの温度は常に１００℃を下まわるが、デューティー
が７０％を越えると１００℃に接近乃至これを上まわる
ようになり、圧電振動子ＴＤの劣化現象が発生する恐れ
がでてくる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の超音波霧
化装置によれば、板状圧電磁器の両面に電極を形成して
なり厚さ方向の共振による超音波振動を生じる圧電振動
子を励振回路によってデューティー７０％以下で間欠励
振して、圧電振動子と多孔乃至網状薄板間の微小間隙に
広がった液体を霧化する構成としたので、圧電振動子を
劣化させない程度の小さな入力電力とした場合でも、圧
電振動子に印加する間欠発振出力電圧の振幅は霧化動作
をするのに充分な大きさとすることが可能となり、小電
力で効率的な霧化動作が可能である。また、励振回路の
間欠発振の間欠周波数を可変制御するための制御回路を
設けて、励振回路の間欠周波数を変化させることによ
り、発生する霧化粒子の粒径を可変制御可能であり、医
療用吸入器等に使用すれば効果が大きい。
化装置によれば、板状圧電磁器の両面に電極を形成して
なり厚さ方向の共振による超音波振動を生じる圧電振動
子を励振回路によってデューティー７０％以下で間欠励
振して、圧電振動子と多孔乃至網状薄板間の微小間隙に
広がった液体を霧化する構成としたので、圧電振動子を
劣化させない程度の小さな入力電力とした場合でも、圧
電振動子に印加する間欠発振出力電圧の振幅は霧化動作
をするのに充分な大きさとすることが可能となり、小電
力で効率的な霧化動作が可能である。また、励振回路の
間欠発振の間欠周波数を可変制御するための制御回路を
設けて、励振回路の間欠周波数を変化させることによ
り、発生する霧化粒子の粒径を可変制御可能であり、医
療用吸入器等に使用すれば効果が大きい。
【図１】本発明に係る超音波霧化装置の実施例の回路構
成を示す回路図である。
成を示す回路図である。
【図２】実施例における圧電振動子及び多孔乃至網状薄
板の配置を示す正断面図である。
板の配置を示す正断面図である。
【図３】間欠発振波形の１例を示す説明図である。
【図４】間欠発振波形のデューティーと霧化動作中の圧
電振動子の温度との関係を示すグラフである。
電振動子の温度との関係を示すグラフである。
【図５】従来の超音波霧化装置の要部構成を示す断面図
である。
である。
１ 間欠発振回路 ２ ＤＣ−ＤＣコンバータ ３ 制御回路 ４ ゲートパルス発生回路 ５ デューティー可変回路 ６ 周波数可変回路 １０ 圧電磁器 ２０ 霧化作用面 ２１ 多孔乃至網状薄板 ２３ 微小穴 ２５ 給液手段 Ｃ１乃至Ｃ４ コンデンサ Ｌ１,Ｌ２ インダクタ Ｑ１，Ｑ２ トランジスタ Ｒ１ 抵抗 ＶＲ 可変抵抗 ＴＤ 圧電振動子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−227860（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−137320（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−50512（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−62411（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−15674（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭53−108613（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】 板状圧電磁器の両面に電極を形成してな
り厚さ方向の共振による超音波振動を生じる圧電振動子
の片面を霧化作用面とし、該霧化作用面側に多孔乃至網
状薄板を配し、少なくとも前記薄板の一部分と前記霧化
作用面間に微小間隙が形成されるようにし、前記微小間
隙に霧化すべき液体を供給する手段を設け、前記圧電振
動子をデューティー７０％以下で間欠に励振する励振回
路を設けて前記霧化作用面と前記薄板間の前記微小間隙
に広がった液体を前記圧電振動子の間欠的な超音波振動
によって霧化するとともに、前記励振回路の間欠周波数
を可変とする制御回路を設けたことを特徴とする超音波
霧化装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4108616A JP2696455B2 (ja) | 1992-04-01 | 1992-04-01 | 超音波霧化装置 |
| EP92420449A EP0546964B1 (en) | 1991-12-10 | 1992-12-07 | An ultrasonic wave nebulizer |
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