JPS6372295A - 超音波共振装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は共振装置と超音波変換器に関するものであり、
さらに具体的にいえば超音波頭載の胛波数を有する周期
的振動を効率的に発生する変換器に関するものである。

〔従来の技術〕

最小の回転ファンよりずっと小さく、電子機器を冷却す
るのに用いられる圧電羽根送風機が知られている。これ
らの送風機は、非常に効率的で、寿命が長く、雑音また
は磁気的妨害を殆ど発生せず、寸法が約ｓ、　ｏ　５Ｃ
１ｒＬ（２ｉｎ）　Ｘ　２．５４儂（ｔｉｎ）Ｘｌ、９
０ｃＴＬ（％ｚｎ）である、しかし、それらはまた欠点
をもっている。それらは、印刷回路板に直接取付けるほ
ど十分に小さくなく、回路板内に電気的雑音を生じ、さ
らに回路板で１１５ボルトの電源が利用できるようにさ
れることを必要としている。音響流れによって空気を直
接ポンプするのに圧電結晶を用いる試みもまた、生産物
の形で得ることが難しく、かつ高うである大きな結晶を
必要とするのであまりうまくいかなかった。音響流れは
、振動している表面によって加速される空気が、表面を
逆にしても、慣性と圧縮性のためにその方向を逆にしな
いという事実から生ずるとともに、さらに高い振幅では
、乱流と渦が生成することによってさらに複雑になる。

水のような流体を蒸発させるために超音波エネルギーを
用いることは、当該技術において公知である。例えば、
家庭用加湿器は、水を水蒸気に変えるのに超音波周波数
で１駆動される変換器を用い、水蒸気は、導度を大きく
するためにファンによって室内に吹込まれる。超音波エ
ネルギーを芯要素に加えることによって、種々の香料な
どの液体を霧化させるのに超音波エネルギーを用いるこ
とも公知であシ、芯要素はタンクから芯部材に加えられ
た超音波振動を発生する超音波変換器に適邑に少量の液
体を送出するようになっている。しかし、従来の超音波
変換器によって容易に霧化させられるほど十分に揮発性
でない液体を蒸発させる改良された噴霧器が必要とされ
ている。なお、９ボルトの電池のような低い電圧源を用
い種々の香料などの液体を霧化する非常に効率的な噴霧
装置を作ることも望ましい。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従って本発明の目的は、改良された超音波共撮部材を提
供することである。

本発明の目的はまた改良された小形で、非常に効率的で
高速度の音響ポンプを提供することである。

本発明のこのほかの目的は、印刷回路板に直接取付けで
き、かつ寸法が、冷却の対象の構成要素に匹敵するよう
なポンプを提供することである。

本発明のほかの目的は、低電圧で動作する上述のような
ポンプを提供することである。

本発明のそのほかの目的は、超音波範囲において事実上
聞えないように振動なしに動作する上記のようなポンプ
を提供することである。

本発明のこのほかの目的は、非常に高い空気流れを発生
する上記のようなポンプを提供することである。

本発明のこのほかの目的は、事実上無制限の使用寿命を
有し、磁気的妨害を受けず、熱発生がなく、高い起動電
流を引出さない上記のようなポンプを提供することであ
る。

本発明のこのほかの目的は、印刷回路板に取付は可能で
印刷回路板と平行にポンプする上記のようなポンプを提
供することである。

本発明のこのほかの目的は、音響流れを利用できる上記
のようなポンプを提供することである。

本発明のなおこのほかの目的は、従来の超音波変換器に
よって高効率に容易に気化されるのに十分に揮発性でな
い液体香料を霧化するのに特に適当でかつ９ボルト電池
のような低電圧で安い電源を用いる噴霧器を提供するこ
とである。

〔問題点を解決するだめの手段〕

内部での減衰が小さく、薄い縁に向かって先細になって
おシ、その薄い縁がその縁に交わる開いた節線模様で共
振する共振部材を用いることによって、真に有効で小さ
く、高速度で高い音量の共振装置を作ることができるこ
とを実現することに基づいている。

本発明は、一つの実施例において内部での減衰が小さく
、かつ非対称に先細になって先が薄い縁になっている共
振部材を備えた音響空気ポンプを特徴としている。圧電
駆動装置が共振部材に取付けられ、脈動電圧を圧電駆動
装置に共振部材の共振範囲において加えて共振部材を振
動させ、流体を薄い縁から振り離す手段が設けられてい
る。

もう一つの実施例によれば、本発明は、液体を効率の高
いやり方で蒸気に変換する噴霧器を特徴としている。液
体は、共振部材の薄い縁に隣接した共振部材の一部分に
液体の霧を発生させる流量で送られる。電池で作動する
電圧駆動回路が士約９ボルトの電圧パルスを有するパル
ス列を発生し、そのパルス列は、共振部材に付けられ、
かつ共振部材より十分に小さな質量を有する薄い圧電素
子に加えられて、圧電素子が低い電圧で動作できるよう
にしている。パルス列は２０　ｋＨｚと８０　ｋＨｚの
間の周波数で帰引共振部材の機械的負荷の変動にかかわ
らず共振部材をその共振周波数で駆動することを確実に
することが好ましい。

音響送風機ポンプ及び気化器の両方の好ましい実施例に
おいて、薄い圧電駆動素子によって駆動される共振部材
は、３００より大きいＱをもっており、焼戻しアルミニ
ウム合金、炭素鋼、ガラスまたはセラミックのいずれか
であるのが好ましい。

好ましい材料は、１０００もの高いＱを有してもよく、
また少なくとも２　ｘ　１ｏ　ｄｙｎ−ｃｍ／１１とい
う高いこわさ対密度比をもっている。

好ましい実施例において、圧電駆動装置は駆動部材に取
付けられて駆動部材に薄い縁と交差する節線模様で撮動
させる。節線は、開いた節線模様であってもよいし、は
ぼ円形であってもよく、薄い縁との交差点近くで、二つ
の変曲点をもっていてもよい、駆動素子を薄い縁から離
れて取付け、穴あき板を変曲点の上方で共振部材に取付
けてもよい。穴あき板は、また先細表面の下に取付けて
もよく、平面であるかまたは逆Ｖ形溝のような他の形状
のものであってもよい。

穴あき板を先細表面の上方に間隔をあげて配置すること
もできる。この穴あき板は、前記表面から離れる方向に
働く音響圧力と前記先細表面の方に向って働く反動圧力
との間の動的平衡の位置に置かれる。この穴あき板を先
細表面の上方にゆるく取付けて、その板が先細表面から
離れる方向に働く音響圧力と先細表面の方に向って働く
反動圧力との間の動的平衡の位置を求めることができる
ようにしてもよい。

共振部材は、非対称に先細になって二つの薄い縁になっ
ていてもよく、それは先細部分が伸び出しているほぼ平
面の断面を備えていてもよい。圧電駆動装置は共振部材
の底、上面または側面に取付けることができる。パルス
列を加える前記手段は圧電駆動装置の反対側に一つの電
極を備えていてもよい。穴あき板は金属で作ることがで
き、ＩＣａ当り約４２個の穴を含んでいてもよく、これ
らの穴は直径が約０．０１８ないし０．０２５ｆｆｉで
あってもよい。これらの穴は、先細表面から離れるよう
に収れんするほぼ円錐形の壁で形成してもよい。

〔実施例〕

他の目的、特徴及び利点は好ましい実施例の以下の説明
及び添付図面かられかるであろう。

第１図にはだんだん薄くなって薄い縁１Ｇになっている
非対称に先細のセクション１４をもった共振部材１２を
有する超音波送風機の形をしだ音響ポンプ１０が示され
ている。共振部材１２はまだ、はぼ平面のセクション１
８（第２図）を備えている。圧電駆動子２０が薄い縁】
６から離れたところに共振部材に取付けられているが、
それは薄い縁の近くで作動する。第１図に示したように
圧電駆動子を底に取付けてもよいし、１ｆｔ：、は側面
２０ａの一方に、もしくは上面２０ａａに第１図の仮想
線で示したように取付けてもよい。電極２２が圧電駆動
子２０の外表面に設けられて、十分に導電性であれば、
共振部材は、撮動電流を圧電駆動子２０に交流電流源２
４によって加える他方の電極として作用できる。振動電
流を加えると、先細表面２６は、振動して、圧縮波面２
８によって例示されているように空気を薄い縁１６から
離す方向へ振動させる音響流れ効果を生ずる。共振部材
１２の全体の大きさはｆｉｇ　２．７３０　ｃｎ′Ｌ（
１，０７５ｉｎ）巾、３．２３８ＣＩ′ｎ（１，２７ｓ
　１ｎ）長さ及び０６３５ｃｍ　（０，２ｓ　ｉｎ）厚
さまたは高さであってもよい。

圧電駆動子２０は、ピエゾエレクトリックプロダクツ社
によって販売されているＰＴＳ−１５１２圧電セラミツ
クまたは等価品で、約２．４８９ｃｒｆＬ（０，９ｓ　
１ｎ）の直径で０．０２５４ｃｒＩＬ（ｏ、ｏ　ｔ　１
ｎ）の厚さのもので作ることができる。圧電１駆動子は
、両側面にニッケルメッキをして、片方の側面に電極２
２とアルミニウム共振部材１２ヘロツクタイトの４０４
型セメントまたは等価品を用いて取付けるための結合表
面を形成してもよい。

第３図の穴３４をもった穴あき板３０である増幅膜を、
それが先細表面２６の上に最適高さで浮動するように増
幅膜をたわみヒンジ３２で共振部材１２へ取付けること
によって適用できる。この高さは、穴あき板３０がゆる
く所定の場所に保持されているとき、それが先細表面２
６から離れる方へ働く音響圧力と先細表面２６に向って
働く反動圧力との間の動的平衡の位置に達するまで穴あ
き板が振動先細表面２６の上方に自動的に浮揚するよう
に自動調整式になっている。増幅膜は、先細表面の上方
に示されて、はぼ平面形のものになっているが、これは
、本発明の必要な限定ではない。例えば、増幅膜を先細
表面の底から間隔を離して取付けてもよいし、空気の動
く方向に向けて穴３４をもった逆Ｖ形の溝３０の形をと
ってもよい。フランジ３５は、先細表面２６′に固着さ
れてもよいが、他の構成におけるように穴３４をもった
穴あき部分が先細表面の上方に間隔をあけて配置されて
いてもよい。増幅膜の効果は、完全には詳細に理解され
ていないが、増幅膜の浮揚は、説明したように噴射され
る空気による下向き圧力が増幅膜の下に連行される空気
の流れによる上向き圧力と丁度釣合を保つ高さで起ると
思われる。穴あき板３０は、ｏ、　０１７７〜０．０２
５４ｃＴＬ（ｏ、ｏｏ７〜０．０１　ｉｎ）の直径を有
する１ｃｄ当り約４２の穴で十分に作動することがわか
っている。穴は、厚さｏ、　ｏ　ｏ　５ｃＴＬ（ｏ、　
ｏ　Ｏ２ｉｎ）長さ２．７３　ｃｍ　（１，０７５ｘｎ
）、巾１．６５ｃｌｒＬ（ｏ６ｓ　１ｎ）の真中板を打
抜いて構成した。第４図の打抜いた穴３４ａが先細表面
２６から離れる方向に収束し、ぎざぎざの縁３８に終る
円錐形突起３６を有するとき、良好な結果が見出された
。第１図の音響ポンプ１０は、良好な性能を与えるが、
その結果は、穴あき板３ｏがそれと組合せて用いられる
ときさらにすばらしい。

共振部材１２は、内部減衰が低い、すなわち、３００以
上の範囲の高いｒＱＪを有する材料、例えば、焼戻しア
ルミニウムまたはマグネシウム合金、炭素鋼、ガラスま
たはセラミックなどで作られる。アルミニウム合金６０
６１−Ｔ６は、現在好ましい材料の一つである。寸た共
振材料は、材料の剛性率を材料の密度で割って得られる
少なくとも２　Ｘ　１０　　ｄｙｎ　−ｃＩＶ′ｆｉ　
　のこわさ対密度の比を有し、例えばアルミニウムの場
合、この比は、剛性率０．７　ｘ　１０　　ｄｙｎ／ｍ
　　をアルミニウムの密度２、７　Ｊ　／　ｃｙｄで割
って得られる。３４ｋＨｚ方形波をもった第１の高調波
で１駆動されるアルミニウム合金２０２４Ｔ−５６１共
撮部材と１２ポルトせん頭値の電源を用いて、送風機は
１．３ワツトの電力を消費し、１４４．７　ｓｙｙ＋／
ｍ（４７ｓ　ｆｔ／ｉ）の平均速度と４２６．７　ｚｍ
／ｍｍ（１４００ｒｔ／ｍ１ｙｔ）の最高速度で著しい
温度上昇な（ｏ、　ｏ　ｓ　ｓ　６ｒｒ／／ｍ１ｎ（２
ｒｔ　／馴）の空気の流れを送出する。これらの条件の
もとで、穴あき板３０は、先細表面２６の上方ｏ、ｏ　
Ｏ７６ｓｃｍ（ｏ、ｏ　ｏ　ｓ　ｉｎ）の高さで浮揚す
る。浮揚高さが既知のとき、第５図の板３０ａは、その
点で適所に取付は台４０．４２に示されているように板
をしつかりつかむ適当な取付台にクランプされることに
よって固定されてもよいし、または、板３０ａを穴あき
板３０ａの縁をゆるくしか囲まない取付台の中につかん
で、板がその高さを第３図のたわみヒンジ３２によって
可能にされたと同じ方法で自動調整できるようにするこ
とができる。

本発明は形が大体円形で薄い縁１６において開いておシ
、縁１６の近くで変曲点５２．５４を含む第６図の節線
模様５０を用いるのが好ましい。

穴あき板は、変曲点の上に覆うように置かれるのが好ま
しい、この薄い縁は、空気を音響流れ現象を介して動か
す高い振幅のポンピング作用をもたらす開いた節線模様
を作るために共振部材１２の形状において必要である。

共振部材１２を印刷回路板または他の環境構造に先細表
面２６と１６から遠い後側面６２に取付け７’ｉＪｉ！
６０によって取付けることができるし、またはそれを節
線模様５０の形に形成され、かつ節線模様の下に共振部
材１２の下側へ接着された半円のゴム要素などの第７図
にある節線模様支持体７０を用いることによって取付け
てもよい。

共振部材１２は、第１図及び第２図に示した特定の形に
限られない。例えば、それは第９図の薄い縁１６ａに向
かって先細にされ、同じ形式の先組表面２６ａをもって
いるとき同じ形式の節線模様５０ａを与える第８図のほ
ぼ楕円形１２ａをもっていてもよい。第９図の楕円共振
部材１２ａは余分の大体平らなセクション１８をもって
いないで、先細部分１４ａだけを含んでいる。楕円形共
振部材１２ａは、長軸が３．４２９ＣＴＬ（１，３ｓ　
ｉｎ）で短軸が３．１７５ｃ７ｒＬ（１，２ｓ　ｔｎ）
の厚さが０．３１７５ＣＴＬ（０，１２５ｉｎ）のもの
であってもよい。

共振部材は、単一の薄い縁と先細表面に限られず、例え
ば、第１０図に示すように共振部材１２ｂは、薄い縁１
６ｂ及び１６ｂｂに終る二つの先細表面２６１）及び２
６ｂｂを有する平らなセクションまたは厚板１８ｂを備
えていてもよく、これを同様の音響技術を用いて同様の
音響ボンピングに用いることができる。

第１１図は、容器７３の中に入った液体７２が共振部材
１２によって気化される本発明の実施例を示している。

芯部材７４は、容器７３の中の液体を共振部材の下側部
分７６に上向きに加えられる毛細管作用によって送らせ
、共振部材は、第１２図に略図で示されている電子回路
によって駆動されるようになっている。芯部材７４の大
部分が共振部材の下側縁に波腹で接触している。前に述
べたように、ループ模様の５０の二つの振動節７７及び
７８は、図示されたように共振部材の下側縁に存在し、
それによって下側縁部分の外側部分７６が最大振幅で共
振する。結果は芯部材７４によって供給される気化した
液体の広い分散を生じさせるゆらゆら動く蒸気８１の発
生であり、従ってこの装置は、液体噴霧器としてと同時
に送風機ファンを必要としないで香気を散布する送風機
装置として働く。

第１２図においては、普通の９ボルト電池８１がスイッ
チ８２を介してのこぎり歯状掃引発搗器８３に接続され
、電圧制御発振器８４の出力周波数を掃引し、電圧制御
発振器は、相補出力固体１駆動装置回路または１８０位
相反転器２４に接続されている。相補出力、駆動装置の
リード８Ｇと８８は、前述の薄い圧電素子２０に電気的
に接続されて、圧電素子２０は、共振部材１２を駆動す
る。

第１２図の電子駆動装置回路は２０　ｋＨｚ　８０　ｋ
Ｈｚの間で掃引される可変周波数パルス列を発生するた
めに用いられているので、負荷状態の変ることによる共
振部材１２の共振周波数の変動があるにもかかわらず、
共振部材を掃引発撮器８３の掃引周期の間のある時点で
その正礒な共振周波数で駆動する。駆動装置回路２４は
、リード８６と８８へ電池電圧を２極式に交互１て加え
る１８０位柑変換回路であるので、正の＋９ボルトの負
の一９ボルトのパルスが交互に圧電素子２０に加えられ
て、各振動サイクルの間１８ボルトのピークピーク電圧
スイングを発生し、結果として圧電駆動素子２０は、第
１の方向に曲げられ、そのあとで第２の方向に曲げられ
て共振部材１２に誘導される往復運動を発生する。駆動
装置としては、ＩＣ＃４０６９ＢＣＭＯ３，Ｈｅｘ反転
器を駆動装置として用いて３０ｍＡ実効僅のパルス列を
発生した。構成要素２４．８３及び８４は、当業者に周
知なので、その詳細は記載を簡潔にするために説明しな
かった。脈ｇｊ直流もまた利用できた。

本発明に従って構成された液体噴霧器は従来の超音波噴
霧器より小さく、消費電力が少なく、低い電圧で動作で
きる。前述のように用いた普通の９ボルト電池が優れた
結果を与えることがわかった。発生した蒸気の体積は、
和尚のもので、水、アルコール及び水−アルコールー油
の混合物などの比較的低い揮発性の液体をうまく、依発
させたし、意外にも送風機ファンを必要としない。共振
部材に加えられる液体の流景は、多過ぎる必要はなく、
液体を共振部材に送るために毛細管作用を用いる芯が良
い結果を生んでいる。現在の好才しい共振部材１２は、
０．２　ｓ　４Ｃｒｎ（０，１ｉｎ）の厚さで１２７Ｌ
：ｒｆｔ（０，５ｉｎ）の長さで１．２７ｃ！ｒＬ（０
，ｓ　ｔｎ）の巾のものであり、アルミニウム合金６０
６１−Ｔ６で作られている。

印刷回路板などの種々の装置を冷却する音響空気送風機
ポンプとして及び非常に効率的な噴霧器として働くほか
に、共振部材１２を洗浄槽に沈めて超音波エネルギーを
洗浄のために液体槽に効率的に導入する。

本発明の特定の特徴を幾つかの図面に示しほかのものＫ
は示さなかったが、これは各特徴が本発明による他の特
徴のどれかまたはすべてと結合できるので便宜上のため
だけである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による音響ポンプの略側面図、第２図は
第１図のポンプの共振部材部分の平面図、 第３図は増幅膜が先細表面の上に取付けられた共振部材
を示す第１図と同様の図、 第３Ａ図は増幅膜の別の形の軸側投影ス、第４図は第３
図の増幅膜の一部分にある穴を示す拡大断面図、 第５図は増幅膜のための別の取付台の一部断面の端面図
、 第６図は共振部材のだめの取付技術と共振部材によって
作られた開いた節線模様を示す平面図、第７図は第１図
の共振部材を取付けるための別の節線取付部材、 第８図は節線模様を示す楕円共振部材の平面図、　　　
′第９図は第８図の楕円形部材の側面図、第１０図は薄
いふちに向って非対称に先細になった二つのセクション
を有する共振部材の図、第１１図は本発明に従って構成
された噴霧器の好ましい実施例の軸側投影図、 第１２図は共振部材に取付けた圧電素子を駆動するため
の電子電池作動駆動装置回路を示す略図である。 図面の浄書（内；こ２更なし） ＦＩＧ、３Ａ ＦＩＧ、　６ ＦＩＧ、７ ム ＦＩＧ８ ＦＩＧ９ ＦＩＧ、　／２ 手　　続　　補　　正　　書（方式） ％式％ １、事件の表示 昭和６２年　特　　許　　　願第　１６９９５３号３、
補正する者 事件との関係　特許出願人 ４、代理人

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、薄い縁部分に向かつて先細になつており、３００よ
   り大きいＱと２×１０＾９ｄｙｎ−ｃｍ／ｇより大きい
   こわさ対密度比を有する共振部材と、 前記共振部材に機械的に結合されて電気的 に作動する共振部材駆動手段とを備えて成る超音波変換
   器。 ２、前記駆動手段が薄い圧電素子から成る特許請求の範
   囲第１項に記載の超音波変換器。 ３、前記圧電素子が前記先細部分から離れた前記共振部
   材の厚い部分で前記共振部材に取付けられている特許請
   求の範囲第２項に記載の超音波変換器。 ４、前記共振部材が前記薄い縁部分に向かつて非対称に
   先細になつている特許請求の範囲第１項に記載の超音波
   変換器。 ５、前記共振部材が前記薄い縁部分に向かつて非対称に
   先細になつている特許請求の範囲第２項に記載の超音波
   変換器。 ６、前記共振部材が焼戻しアルミニウム合金、焼戻しマ
   グネシウム合金、炭素鋼、ガラス及びセラミックから成
   る群から選択された一つの材料で作られている特許請求
   の範囲第１項に記載の超音波変換器。 ７、前記共振部材が焼戻しアルミニウム合金、焼戻しマ
   グネシウム合金、炭素鋼、ガラス及びセラミックから成
   る群から選択された一つの材料で作られている特許請求
   の範囲第３項に記載の超音波変換器。 ８、３００より大きいＱと２×１０＾９ｄｙｎ−ｃｍ／
   ｇより大きいこわさ対密度比を有する薄い縁部分向かつ
   て先細になつた共振部材と前記共振部材に機械的に結合
   された電気的に作動する共振部材駆動手段と、 ±２７ボルトより小さい電圧パルスを有す る脈動電気パルス列を前記、駆動手段に加えて前記共振
   部材を共振させる手段とを備えて成る超音波変換器。 ９、前記駆動手段が前記共振部材より著しく小さい質量
   を有する薄い圧電素子から成る特許請求の範囲第８項に
   記載の超音波変換器。 １０、前記圧電素子が前記先細部分から離れた前記共振
   部材の厚い部分で前記共振部材に取付けられている特許
   請求の範囲第９項に記載の超音波変換器。 １１、前記共振部材が前記薄い縁部分に向かつて非対称
   に先細になつている特許請求の範囲第８項に記載の超音
   波変換器。 １２、前記共振部材が前記薄い縁部分に向かつて非対称
   に先細になつている特許請求の範囲第９項に記載の超音
   波変換器。 １３、前記共振部材が焼戻しアルミニウム合金、焼戻し
   マグネシウム合金、炭素鋼、ガラス及びセラミックから
   成る群から選択された一つの材料で作られている特許請
   求の範囲第８項に記載の超音波変換器。 １４、前記共振部材が焼戻しアルミニウム合金、焼戻し
   マグネシウム合金、炭素鋼、ガラス及びセラミックから
   成る群から選択された一つの材料で作られている特許請
   求の範囲第９項に記載の超音波変換器。 １５、脈動電気パルス列を前記駆動手段に加える手段が
   前記パルス列を発生する電池で動作する回路から成る特
   許請求の範囲第８項に記載の超音波変換器。 １６、脈動電気パルス列を前記駆動手段に加える手段が
   前記パルス列を発生する電池で動作する回路から成る特
   許請求の範囲第９項に記載の超音波変換器。 １７、前記電圧パルスが約±９ボルトの振幅を有する特
   許請求の範囲第８項に記載の超音波変換器。 １８、前記電池で作動する回路が前記パルス列を２０ｋ
   Ｈｚと８０ｋＨｚの間の周波数で掃引させる手段を備え
   ている特許請求の範囲第１５項に記載の超音波変換器。 １９、３００より大きいＱを有すると共に薄い縁部分に
   向かつて非対称に先細になつた共振部材と、 前記共振部材に取付けられて前記共振部材 を前記薄い縁部分と交差する開いた節線模様で共振させ
   るように前記共振部材の共振周波数範囲内で前記共振部
   材を駆動する電気的に作動する駆動装置を備えて成る超
   音波変換器。 ２０、前記駆動手段が前記共振部材より著しく小さい質
   量を有する薄い圧電素子から成る特許請求の範囲第１９
   項に記載の超音波変換器。 ２１、前記共振部材に穴あき板を前記先細表面から遠ざ
   かる音響圧力と前記先細表面に近づく反動圧力との間の
   動的平衡の位置に取付ける手段をさらに含む特許請求の
   範囲第２０項に記載の超音波変換器。 ２２、前記電気的に作動する駆動装置が前記圧電素子に
   ±２７ボルトより小さい振幅を有するパルスを加える電
   池で作動するパルス列発生器を備えている特許請求の範
   囲第２０項に記載の超音波変換器。 ２３、前記パルスが約±９ボルトの振幅を有する特許請
   求の範囲第２２項に記載の超音波変換器。 ２４、薄い縁部分に向かつて先細になり、３００より大
   きいＱと２×１０＾９ｄｙｎ−ｃｍ／ｇより大きいこわ
   さ対密度比を有する共振部材と、 前記共振部材に直接接続された駆動装置と、前記共振部
   材を共振させるために脈動電圧 を前記駆動装置に加える手段と、 液体を前記薄い縁部分に隣接した前記共振 部材に前記液体の霧を発生する流量で供給する供給手段
   とを備えた液体を霧に変換する噴霧器。 ２５、前記駆動手段が前記共振部材より著しく小さい質
   量を有する薄い圧電素子から成る特許請求の範囲第２４
   項に記載の噴霧器。 ２６、前記脈動電圧を加える前記手段が±２７ボルトよ
   り小さい電圧パルスを有するパルス列を発生する電池で
   動作する電圧駆動装置から成る特許請求の範囲第２５項
   に記載の噴霧器。 ２７、前記電圧パルスが約±９ボルトの振幅を有する特
   許請求の範囲第２６項に記載の噴霧器。 ２８、前記パルス列が２０ｋＨｚと８０ｋＨｚの間の周
   波数で掃引される特許請求の範囲第２６項に記載の噴霧
   器。 ２９、前記パルス列が２０ｋＨｚと８０ｋＨｚの間の周
   波数で掃引される特許請求の範囲第２７項に記載の噴霧
   器。 ３０、前記共振部材が前記薄い縁部分に向かつて非対称
   に先細になつている特許請求の範囲第２４項に記載の噴
   霧器。 ３１、前記共振部材が焼戻しアルミニウム合金、焼戻し
   マグネシウム合金、炭素鋼、ガラス及びセラミックから
   成る群から選択された一つの材料で作られている特許請
   求の範囲第２４項に記載の噴霧器。 ３２、前記供給手段が前記液体を前記共振部材に供給す
   る芯状部材から成る特許請求の範囲第２４項に記載の噴
   霧器。 ３３、薄い縁部分に向かつて先細になつており、３００
   より大きいＱと２×１０＾９ｄｙｎ−ｃｍ／ｇより大き
   いこわさ対密度比を有する共振部材と、 前記共振部材より著しく小さい質量を有し て前記共振部材に取付けられた薄い圧電駆動装置と、 前記共振部材を前記薄い縁部分と交差する 開いた節線模様で前記共振部材を振動させて空気の運動
   を誘導するように前記駆動装置に前記共振部材の共振範
   囲内の脈動電圧を加える手段を備えて成る超音波空気送
   風機。 ３４、前記共振部材が前記薄い縁に対して非対称に先細
   になつている特許請求の範囲第３３項に記載の空気送風
   機。