JPS62168693A - 真空レ−ザ溶接法 - Google Patents

真空レ−ザ溶接法

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JPS62168693A
JPS62168693A JP61008612A JP861286A JPS62168693A JP S62168693 A JPS62168693 A JP S62168693A JP 61008612 A JP61008612 A JP 61008612A JP 861286 A JP861286 A JP 861286A JP S62168693 A JPS62168693 A JP S62168693A
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JP
Japan
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welding
chamber
vacuum
ejector
air
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JP61008612A
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Inventor
Yoshiaki Arata
吉明 荒田
Tatsuharu Oda
小田　辰春
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Individual
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/12—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/12—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure
    • B23K26/127—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure in an enclosure

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ′従来レーザ溶接は大気中で行える特徴があって、この
溶接法ではレーザ照射点近傍にたとえば不活性ガスを吹
付けてレーザプラズマを抑止する等のプラズマコントロ
ールを行って深溶込み溶接ができることは周知の通りで
ある。しかしこの溶接法では電子ビーム溶接に比べ溶込
み深さは非常に小さいきらいがあった。また大気中のレ
ーザ溶接では深溶込みしようとするとルートポロシティ
が発生してこの欠陥を消失するには何らかの操作が必要
であった。
ここに提案する真空中溶接法は従来の方法と違って溶接
雰囲気を減圧することによるプラズマコントロール機能
を利用したもので、この溶接法によると例えばチャンバ
の圧力が７０　Ｔｏｒｒ前後に減圧された状態での溶接
では従来の溶接に比べ特に低速において深い溶込みが得
られ更に減圧すると更に溶込み深さの増加が見込まれる
。同時にこの真空溶接法ではルートポロシティ等の欠陥
の非常に少ない良好なる溶接ができるものである。
次にこの溶接を行なうための装置についてのべる。レー
ザビームは集束されている状態のものを大気の流入を防
止した、いわゆる「エアロダイナミックウィンドウ」を
通して溶接チャンバ内に導入し被溶接物に直接照射する
。「エアロダイナミックウィンドウ」は図に示すごとく
、溶接チャンバの天井中央部に下部ノズル、上部真空室
の天井部に」二部ノズルを配置し、溶接チャンバおよび
上部真空室はそれぞれ別の真空ポンプで排気をする。更
にエゼクタも多段とし、上部エゼクタおよび下部エゼク
タより圧縮ガス（又は空気）を噴出し外部空気のウィン
ドウを通しての侵入を防止する。更に下部エゼクタは上
部より侵入しようとしている空気の進行方向を換え、下
部ノズルを通じて被溶接物表面への動圧を減少させる。
従ってレーザはこれらノズル等によって構成される「エ
アロダイナミックウィンドウ」を通して被溶接物に照射
されるが、外部の空気は溶接チャンバにはほとんど入っ
て来なくて溶接チャン／へは真空が保たれる。
本溶接法は大気中のレーザ溶接に比較して装置が複雑で
あるが、従来大気中の溶接は出力が大きい程、また速度
がおそいほどプラズマの悪影響が甚大になるのにくらべ
、減圧によるプラズマコントロールが機能し低速度大出
力の溶接が良好に出来ることは評価に価する。また本装
置は光学的エレメントを使用しないので装置も比較的簡
単かつ安価で大出力レーザ溶接が可能であるのでその実
施効果は大きい。
【図面の簡単な説明】
図は本発明の溶接方法を示す概念図である。 １、真空溶接チャンバ ２、上部真空室 ３、　上部ノズル　　　の３．４．５．８．をエアロダ
イ４、下部ノズル　　　　ナミックウインドウと称５、
上部エゼクタ　　　する ６、下部エゼクタ ７、溶接用キャリッジ ８、　同上キャリッジの外部からの押棒９、被溶接物 １０、各種雰囲気ガス供給用パイプ １１、真空計 １２、圧縮ガス又は空気を吹き込む １３、真空溶接チャンバ用真空ポンプにて排気する１４
、上部真空室用真空ポンプにて排気する１５、集束した
レーザビームの通路を示す１８、各種ガスを供給する

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 本特許は低真空雰囲気中におけるレーザ溶接の方法に関
    するものである。気密溶接チャンバに空気窓を設けこの
    窓を通して外部よりレーザビームを伝送し、一方この空
    気窓に溶接チャンバ外の空気の流入を防止する機能を持
    たせることにより、チャンバ内部を低真空、あるいは各
    種ガスの低気圧雰囲気に保ち、この状態でレーザ溶接、
    熱加工等を行なうことを特徴とする。
JP61008612A 1986-01-18 1986-01-18 真空レ−ザ溶接法 Granted JPS62168693A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1978199A1 (de) * 2007-04-05 2008-10-08 Grenzebach Maschinenbau GmbH Vakuumisolierglas-Bauelement sowie Verfahren und Vorrichtung zu dessen Herstellung
JP2011143416A (ja) * 2010-01-12 2011-07-28 Ihi Corp レーザ溶接方法
CN105269152A (zh) * 2014-06-06 2016-01-27 通快激光有限责任公司 耦入光具、激光焊接头和具有真空室的激光焊接装置
JP2019076911A (ja) * 2017-10-20 2019-05-23 株式会社Ihi レーザ溶接装置及びレーザ溶接方法
GB2499594B (en) * 2012-02-21 2020-05-06 Aquasium Tech Limited Laser welding method and apparatus

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014128832A (ja) * 2012-11-28 2014-07-10 Toshiba Corp レーザー溶接装置およびレーザー溶接方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1978199A1 (de) * 2007-04-05 2008-10-08 Grenzebach Maschinenbau GmbH Vakuumisolierglas-Bauelement sowie Verfahren und Vorrichtung zu dessen Herstellung
JP2011143416A (ja) * 2010-01-12 2011-07-28 Ihi Corp レーザ溶接方法
GB2499594B (en) * 2012-02-21 2020-05-06 Aquasium Tech Limited Laser welding method and apparatus
CN105269152A (zh) * 2014-06-06 2016-01-27 通快激光有限责任公司 耦入光具、激光焊接头和具有真空室的激光焊接装置
JP2019076911A (ja) * 2017-10-20 2019-05-23 株式会社Ihi レーザ溶接装置及びレーザ溶接方法

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