JPS62158842U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62158842U JPS62158842U JP4675186U JP4675186U JPS62158842U JP S62158842 U JPS62158842 U JP S62158842U JP 4675186 U JP4675186 U JP 4675186U JP 4675186 U JP4675186 U JP 4675186U JP S62158842 U JPS62158842 U JP S62158842U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- epitaxial layer
- schottky barrier
- oxide film
- electrode portion
- semiconductor substrate
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案に係るシヨツトキーバリアダイ
オードの一実施例の断面図、第２図及び第３図は
それぞれ異なる従来例の断面図である。 １：シリコン基板、２：エピタキシヤル層、３
：酸化膜、４：シヨツトキーバリア用金属、６：
テスト、ワイヤーボンド用電極、８：酸素ドープ
半絶縁性ポリシリコン膜。
オードの一実施例の断面図、第２図及び第３図は
それぞれ異なる従来例の断面図である。 １：シリコン基板、２：エピタキシヤル層、３
：酸化膜、４：シヨツトキーバリア用金属、６：
テスト、ワイヤーボンド用電極、８：酸素ドープ
半絶縁性ポリシリコン膜。
Claims (1)
- 半導体基板上に、該半導体基板と同じ導電形の
エピタキシヤル層を備え、該エピタキシヤル層上
に電極部を除いたほぼ全面に酸化膜を有し、電極
部にはシヨツトキーバリアを形成する金属膜を有
し、該金属膜を電極部に隣接する一部の前記酸化
膜上に延長してテスト、ワイヤーボンド用電極と
してなるシヨツトキーバリアダイオードにおいて
、前記テスト、ワイヤーボンド用電極下の酸化膜
と前記エピタキシヤル層との間に酸素ドープ半絶
縁性ポリシリコン膜を介在させたことを特徴とす
るシヨツトキーバリアダイオード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4675186U JPS62158842U (ja) | 1986-03-28 | 1986-03-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4675186U JPS62158842U (ja) | 1986-03-28 | 1986-03-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62158842U true JPS62158842U (ja) | 1987-10-08 |
Family
ID=30866703
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4675186U Pending JPS62158842U (ja) | 1986-03-28 | 1986-03-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62158842U (ja) |
-
1986
- 1986-03-28 JP JP4675186U patent/JPS62158842U/ja active Pending