JPS62128968A - 窒酸化物セラミック材料およびその製造方法 - Google Patents
窒酸化物セラミック材料およびその製造方法Info
- Publication number
- JPS62128968A JPS62128968A JP60266817A JP26681785A JPS62128968A JP S62128968 A JPS62128968 A JP S62128968A JP 60266817 A JP60266817 A JP 60266817A JP 26681785 A JP26681785 A JP 26681785A JP S62128968 A JPS62128968 A JP S62128968A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxide
- silicon nitride
- sintering
- silicon
- mol
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、高密度、高抗折力で、焼結時の重要減少か少
なく、しかも焼結体表面に生じろ不均一層が極めて少な
い窒酸化物セラミック+tiおよびその製造方法に関す
るものである。
なく、しかも焼結体表面に生じろ不均一層が極めて少な
い窒酸化物セラミック+tiおよびその製造方法に関す
るものである。
「従来の技術およびその問題点」
窒化珪素焼結体は、強度、耐食性、耐摩耗性等に優れ、
高温度においてら高強度を保ら、化学的に安定な材料で
あるので、諸種の高温用部品や高強度を要する構造用材
料あるいは軸受用材料等として注目されている。
高温度においてら高強度を保ら、化学的に安定な材料で
あるので、諸種の高温用部品や高強度を要する構造用材
料あるいは軸受用材料等として注目されている。
しかし、周知のように、窒化珪素は共育拮合性が強く難
焼結性であるため、焼結方法としては(イ)焼結助剤の
添加、(ロ)高圧の印加、()X)反応焼結、等の手法
が利用されている。現在、高密度で高強度の優れた焼結
体を得る手法として(イ)(ロ)の2手法を合量つせた
ホットプレス(HP)、ホットアイソスタティックプレ
ス(HIP)等の加圧焼結方法が一般に行なわれている
。しかし、近年、複雑形状製品の製造が求められつつあ
るが、上記HP法やHIP法では、単純形状の焼結体を
製造した後に接合して複雑形状としなければならなかっ
たり、ダイス成形により焼結体表面か劣化を受けやすく
、またイニシャルコストおよびランニングコストともに
かさむ等の制約、問題点が多く、複雑形状製品を容易に
効率よく、経済的に得るという目的に対応し錐い。
焼結性であるため、焼結方法としては(イ)焼結助剤の
添加、(ロ)高圧の印加、()X)反応焼結、等の手法
が利用されている。現在、高密度で高強度の優れた焼結
体を得る手法として(イ)(ロ)の2手法を合量つせた
ホットプレス(HP)、ホットアイソスタティックプレ
ス(HIP)等の加圧焼結方法が一般に行なわれている
。しかし、近年、複雑形状製品の製造が求められつつあ
るが、上記HP法やHIP法では、単純形状の焼結体を
製造した後に接合して複雑形状としなければならなかっ
たり、ダイス成形により焼結体表面か劣化を受けやすく
、またイニシャルコストおよびランニングコストともに
かさむ等の制約、問題点が多く、複雑形状製品を容易に
効率よく、経済的に得るという目的に対応し錐い。
これに対し、常圧下における焼結においては、形状の複
堆さには対応し易いが、多量の焼結助剤と、より高温の
焼成温度を必要とする。そのため、窒化珪素の分解蒸発
が活発となり、そのガス圧により完全な緻密化が阻害さ
れる傾向にあり、高密度、高強度を何する焼結体を得が
たい。
堆さには対応し易いが、多量の焼結助剤と、より高温の
焼成温度を必要とする。そのため、窒化珪素の分解蒸発
が活発となり、そのガス圧により完全な緻密化が阻害さ
れる傾向にあり、高密度、高強度を何する焼結体を得が
たい。
「問題点を解決するための手段」
本発明においては、窒化珪素の分解蒸発を抑制すること
によって上記問題点を解決しようとするものである。
によって上記問題点を解決しようとするものである。
すなイつち、下記(1)式に示すように、窒化珪素の分
解反応において最も活発に反応する酸化珪素を酸化イツ
トリウム、酸化エルビウムと反応させ、YSiO,Nと
Er5iOtNとの窒酸化物完全固溶体を生成し、窒化
珪素の分解を抑制するととらに粒成長を抑え、これらに
よって密度の向上と粗大な欠陥(ボア、粒界相領域、粗
大粒)生成の抑制を図り、高強度の焼結体を得るもので
ある。
解反応において最も活発に反応する酸化珪素を酸化イツ
トリウム、酸化エルビウムと反応させ、YSiO,Nと
Er5iOtNとの窒酸化物完全固溶体を生成し、窒化
珪素の分解を抑制するととらに粒成長を抑え、これらに
よって密度の向上と粗大な欠陥(ボア、粒界相領域、粗
大粒)生成の抑制を図り、高強度の焼結体を得るもので
ある。
5i3Rh + 3SiO2→6SIO+ 2N2・・
・・・・・・・(1)「発明の概要」 本発明者らは、本願に先立って窒化珪素の粒界相をYS
iOJで結晶化したSi3N、 −YSiOJ複合材料
に注目し、焼結助剤として酸化アルミニウム、酸化イツ
トリウムを使用した高密度で高強度の焼結体を得た(特
願昭60−48186号)。そして、本発明者らは、実
験をさらに重ねる過程でYSiOJにEr5iLNを加
えることにより生成する完全固溶体で窒化珪素の粒子を
強固に被覆・結合できるという新たな相乗効果を得るこ
とを見出だし、本発明をなすに至ったものである。
・・・・・・・(1)「発明の概要」 本発明者らは、本願に先立って窒化珪素の粒界相をYS
iOJで結晶化したSi3N、 −YSiOJ複合材料
に注目し、焼結助剤として酸化アルミニウム、酸化イツ
トリウムを使用した高密度で高強度の焼結体を得た(特
願昭60−48186号)。そして、本発明者らは、実
験をさらに重ねる過程でYSiOJにEr5iLNを加
えることにより生成する完全固溶体で窒化珪素の粒子を
強固に被覆・結合できるという新たな相乗効果を得るこ
とを見出だし、本発明をなすに至ったものである。
すなわち、本発明においては、窒化珪素への各配合量を
、酸化イツトリウムと酸化エルビウムとが合量で6〜1
2uoff%で、かつこれら酸化イツトリウムと酸化エ
ルビウムとの比がI : 0.5〜1.5、酸化アルミ
ニウムが3〜8 nor1%および酸化珪素が4〜8
moQ%とすることにより焼結時の重量減少が1重量%
以下と少なく、高密度、高強度の焼結体を得るものであ
る。
、酸化イツトリウムと酸化エルビウムとが合量で6〜1
2uoff%で、かつこれら酸化イツトリウムと酸化エ
ルビウムとの比がI : 0.5〜1.5、酸化アルミ
ニウムが3〜8 nor1%および酸化珪素が4〜8
moQ%とすることにより焼結時の重量減少が1重量%
以下と少なく、高密度、高強度の焼結体を得るものであ
る。
本発明において、焼結助剤として酸化イツトリウムと酸
化エルビウムとを用いるのは以下の理由による。
化エルビウムとを用いるのは以下の理由による。
すなわち、窒化珪素の焼結助剤として一般に使用されて
いる酸化マグネシウム、酸化ランタン、酸化セリウム、
酸化ジルコニウム等を使用した場合は、焼結時に分解昇
華しやすく、また分解により生じた酸素により下記(2
)式に示すように窒化珪素は酸化分解し、これらの分解
ガス圧により完全な緻密化が阻害され、破壊の起源とな
る粗大ボア生成の原因となり、強度劣化をもたらしてし
まう。これに対し、酸化イツトリウムと酸化エルビウム
の両酸化物は、焼結温度内においては分解昇華による問
題は生じず、重量減少も1重量%以下と極めて少ないか
らである。
いる酸化マグネシウム、酸化ランタン、酸化セリウム、
酸化ジルコニウム等を使用した場合は、焼結時に分解昇
華しやすく、また分解により生じた酸素により下記(2
)式に示すように窒化珪素は酸化分解し、これらの分解
ガス圧により完全な緻密化が阻害され、破壊の起源とな
る粗大ボア生成の原因となり、強度劣化をもたらしてし
まう。これに対し、酸化イツトリウムと酸化エルビウム
の両酸化物は、焼結温度内においては分解昇華による問
題は生じず、重量減少も1重量%以下と極めて少ないか
らである。
23i3N4 + 30z−6SIO+ 4Nt・・・
・・・・・・(2)また、酸化イツトリウムに加え、さ
らに酸化エルビウムを添加するのは、側々の単体添加の
場合に比較して組織を微細化することができ、それによ
り焼結体の強度を増加させることができるからである。
・・・・・・(2)また、酸化イツトリウムに加え、さ
らに酸化エルビウムを添加するのは、側々の単体添加の
場合に比較して組織を微細化することができ、それによ
り焼結体の強度を増加させることができるからである。
さらに、本発明において、酸化イツトリウムと酸化エル
ビウムとの合計を6〜12mo(!%とするのは、6
xoQ%未満では液相債が少ないため組織が充分に緻密
化されず、逆に12ηoi2%より多い場合は粒界層が
厚くなりすぎ強度が減少するためである。
ビウムとの合計を6〜12mo(!%とするのは、6
xoQ%未満では液相債が少ないため組織が充分に緻密
化されず、逆に12ηoi2%より多い場合は粒界層が
厚くなりすぎ強度が減少するためである。
また、酸化アルミニウムを3〜8にσ%とするのは、3
ytro(1%未満では液相生成温度が上昇するため
充分に緻密化されず、逆に8mol%以上では粒界が結
晶化されにくくガラス化し、ともに強度か低下してしま
うからである。
ytro(1%未満では液相生成温度が上昇するため
充分に緻密化されず、逆に8mol%以上では粒界が結
晶化されにくくガラス化し、ともに強度か低下してしま
うからである。
また、酸化珪素を4〜8 mo(1%としたのは、以下
の理由による。
の理由による。
すなわち、下記(3X4 )に示すYS+OtNとEr
SiO2Nの生成反応から明らかなように、酸化珪素は
、酸化イツトリウムと酸化エルビウムとの合計量の17
2であるが、前記(1)式等の反応による酸化珪素の減
少を考慮し、315程度が好ましい。この酸SiJ++
SiO,+ 2YtO3→4YSiO2N・・・・・
・(3)Si3N4 + Sin、 + 2ErtOi
−4ErSiO1N−・・・(4’)化珪素量が多くな
ると、Y4SiNzOtとErtSiJtO7の固溶体
もしくはガラス化が進み、逆に少なくなると、S+sN
4・YtO3と5LL4r20sの固溶体を粒界相に析
出する。5iJ4’Y2O3と5IJa’ErtOsり
固溶体では、前記(1)式の分解反応を抑制できず、ま
た、粗大な粒界相領域を生成するため強度が減少する。
SiO2Nの生成反応から明らかなように、酸化珪素は
、酸化イツトリウムと酸化エルビウムとの合計量の17
2であるが、前記(1)式等の反応による酸化珪素の減
少を考慮し、315程度が好ましい。この酸SiJ++
SiO,+ 2YtO3→4YSiO2N・・・・・
・(3)Si3N4 + Sin、 + 2ErtOi
−4ErSiO1N−・・・(4’)化珪素量が多くな
ると、Y4SiNzOtとErtSiJtO7の固溶体
もしくはガラス化が進み、逆に少なくなると、S+sN
4・YtO3と5LL4r20sの固溶体を粒界相に析
出する。5iJ4’Y2O3と5IJa’ErtOsり
固溶体では、前記(1)式の分解反応を抑制できず、ま
た、粗大な粒界相領域を生成するため強度が減少する。
さらに、上記Y a、 S i N t O7とEr5
itN20tの固溶体も粗大な粒界相領域を生成する。
itN20tの固溶体も粗大な粒界相領域を生成する。
これらの諸要素を勘案した結果、酸化珪素の添加量は4
〜8 mo(1%が本発明の範囲である。なお、この場
合、窒化珪素中に含まれる不純物としての酸化珪素はこ
の4〜811o(1%の範囲内に含まれるもので、当然
のことながらその分を差し引いたものが窒化珪素の配合
量(72〜87xo(1%)である。
〜8 mo(1%が本発明の範囲である。なお、この場
合、窒化珪素中に含まれる不純物としての酸化珪素はこ
の4〜811o(1%の範囲内に含まれるもので、当然
のことながらその分を差し引いたものが窒化珪素の配合
量(72〜87xo(1%)である。
上記酸化イツトリウムと酸化エルビウムとの比が1+0
.5〜1.5以外ではYSiOtNとErSiO2Nと
の完全固溶体は生成せず、酸化イツトリウムと酸化エル
ビウムのいずれかの単体添加に比較しても強度の向上は
認められない。焼結過程で焼成雰囲気を当初真空とし、
800〜1200℃の温度範囲で10分間以上焼成する
理由は、第1に窒化珪素粒子表面を浄化し、YStOt
NとEr5iOtNの生成を促進するためである。また
、第2として、窒化珪素の焼結において、バインダー等
の炭素が充分に除去される以前に高温で焼結した場合は
、次に示す(5)(6)(7)の各式の反応に上り液相
の生成およびYSiOJとEr5iO2Nの生成に必要
な酸化珪素の分解およびガス発生に伴う粗大ボアが形成
されてしまうためである。
.5〜1.5以外ではYSiOtNとErSiO2Nと
の完全固溶体は生成せず、酸化イツトリウムと酸化エル
ビウムのいずれかの単体添加に比較しても強度の向上は
認められない。焼結過程で焼成雰囲気を当初真空とし、
800〜1200℃の温度範囲で10分間以上焼成する
理由は、第1に窒化珪素粒子表面を浄化し、YStOt
NとEr5iOtNの生成を促進するためである。また
、第2として、窒化珪素の焼結において、バインダー等
の炭素が充分に除去される以前に高温で焼結した場合は
、次に示す(5)(6)(7)の各式の反応に上り液相
の生成およびYSiOJとEr5iO2Nの生成に必要
な酸化珪素の分解およびガス発生に伴う粗大ボアが形成
されてしまうためである。
5iOz+ C−5iO+ Co・・・・・・・・・・
・・(5)SiOz+ 2C4SiC+ Co・・・・
・・・・・・・(6)SiOa+3C→3SiC+2N
t・・・・・・・・・(7)また、最゛終焼結温度を1
700〜1830℃とするのは、1700℃未満では充
分に緻密化されず、1830℃以上では下記の(8)式
に見られるような窒化珪素の分解が活発となるためであ
る。
・・(5)SiOz+ 2C4SiC+ Co・・・・
・・・・・・・(6)SiOa+3C→3SiC+2N
t・・・・・・・・・(7)また、最゛終焼結温度を1
700〜1830℃とするのは、1700℃未満では充
分に緻密化されず、1830℃以上では下記の(8)式
に見られるような窒化珪素の分解が活発となるためであ
る。
Si3N、→3Si+2Nt・・・・・・・・・・・・
(8)さらに、最終焼結における雰囲気は窒素雰囲気が
好ましいが、若干のH,ガスや不活性ガスの混入等は許
容される。最終焼結における圧力は常圧で行ない得るこ
とが本発明の特徴であるが、0.8気圧程度の減圧下で
も10気圧程度の加圧焼成雰囲気下においても可能であ
る。
(8)さらに、最終焼結における雰囲気は窒素雰囲気が
好ましいが、若干のH,ガスや不活性ガスの混入等は許
容される。最終焼結における圧力は常圧で行ない得るこ
とが本発明の特徴であるが、0.8気圧程度の減圧下で
も10気圧程度の加圧焼成雰囲気下においても可能であ
る。
次に、本発明の詳細な説明する。
「実施例」
(実施例)
α型窒化珪素91%を含む平均粒径1.2μmの窒化珪
素粉末、平均粒径0.5μmの酸化イツトリウム粉末、
平均粒径0.5μmの酸化エルビウム粉末、平均粒径0
.5μmの酸化アルミニウム粉末、平均粒径0.017
μmの酸化珪素粉末(窒素珪素中不純物の酸化珪素を計
算し含める)を表に示す組成比(no12%)に選び、
溶媒としてエチルアルコールを用いてアルミナ製ボール
ミルにより混合を行なった後、乾燥し、粉末を調製した
。
素粉末、平均粒径0.5μmの酸化イツトリウム粉末、
平均粒径0.5μmの酸化エルビウム粉末、平均粒径0
.5μmの酸化アルミニウム粉末、平均粒径0.017
μmの酸化珪素粉末(窒素珪素中不純物の酸化珪素を計
算し含める)を表に示す組成比(no12%)に選び、
溶媒としてエチルアルコールを用いてアルミナ製ボール
ミルにより混合を行なった後、乾燥し、粉末を調製した
。
上記のようにして得られた原料成形体を窒化珪素と窒化
硼素の埋粉で被覆し、炉内を当初真空として1000℃
で30分間熱処理した後、1750℃、1気圧の窒素ガ
ス雰囲気下で1時間焼結を行ない、焼結体を得た。
硼素の埋粉で被覆し、炉内を当初真空として1000℃
で30分間熱処理した後、1750℃、1気圧の窒素ガ
ス雰囲気下で1時間焼結を行ない、焼結体を得た。
得られた焼結体から寸法25mmX 8 mmX 4
mmの試料片を作成し、常温抗折力を求めた。ただし、
抗折試験はスパン20mmの3点曲げ、クロスヘッドス
ピードは0.5mm/分という条件で測定を行なった。
mmの試料片を作成し、常温抗折力を求めた。ただし、
抗折試験はスパン20mmの3点曲げ、クロスヘッドス
ピードは0.5mm/分という条件で測定を行なった。
また同時に高温抗折強度(3点抗折、35×4X 3
mm、スパン長30mm、 1200℃)を測定した。
mm、スパン長30mm、 1200℃)を測定した。
その他にビッカース硬度、X線回折等による測定を行な
った。結果を表に示した。
った。結果を表に示した。
(比較例I)
酸化イツトリウム、酸化エルビウムをそれぞれ単独に添
加し、他は前記実施例と同様の条件下に調整して焼結し
、実施例と同様の項目について測定を行なった。その結
果を上記と同じ表に示した。
加し、他は前記実施例と同様の条件下に調整して焼結し
、実施例と同様の項目について測定を行なった。その結
果を上記と同じ表に示した。
(比較例2)
最初の焼結過程を真空とせず、他は組成配合、本焼成工
程、性能測定とも実施例と同様に行なった。その測定結
果を上記と同じ表に示した。゛「発明の効果」 以上説明したように、本発明によれば、生成したYSi
O,NとEr5tO7Nとの完全固溶体により窒化珪素
の粒子を被覆・結合する構造を有し、表面不均一層の厚
さが0.1mm以下で、相対密度98%を越え、極めて
緻密の焼結体が複雑な工程を必要とすることなく得られ
る。また、従来の方法では焼結前のグリーン(未焼成原
料)成形体の密度を最終焼結体の密度の約50%にまで
高めておく必要があり、それに伴う曵雑な操作を余儀な
くされたが、本発明によればグリーンの密度が約40%
でもほぼ同等以上の高密度な焼結体をその焼結時の重量
減少力q%以下と少ない状態で得られる。さらに、その
結果、金型成形、ラバープレス、鋳込み、押し出し、射
出等による窒酸化物セラミヅク材料の成形が容易になる
。
程、性能測定とも実施例と同様に行なった。その測定結
果を上記と同じ表に示した。゛「発明の効果」 以上説明したように、本発明によれば、生成したYSi
O,NとEr5tO7Nとの完全固溶体により窒化珪素
の粒子を被覆・結合する構造を有し、表面不均一層の厚
さが0.1mm以下で、相対密度98%を越え、極めて
緻密の焼結体が複雑な工程を必要とすることなく得られ
る。また、従来の方法では焼結前のグリーン(未焼成原
料)成形体の密度を最終焼結体の密度の約50%にまで
高めておく必要があり、それに伴う曵雑な操作を余儀な
くされたが、本発明によればグリーンの密度が約40%
でもほぼ同等以上の高密度な焼結体をその焼結時の重量
減少力q%以下と少ない状態で得られる。さらに、その
結果、金型成形、ラバープレス、鋳込み、押し出し、射
出等による窒酸化物セラミヅク材料の成形が容易になる
。
Claims (3)
- (1)窒化珪素、酸化イットリウム、酸化エルビウム、
酸化アルミニウムおよび酸化珪素の混合物を焼成して、
生成されたYSiO_2NとErSiO_2Nとの完全
固溶体により窒化珪素の粒子が被覆・結合されている構
造を有することを特徴とする窒酸化物セラミック材料。 - (2)混合物中の各材料の配合比率が、窒化珪素72〜
87mol%、酸化イットリウムと酸化エルビウムとが
合量で6〜12mol%かつ前者と後者との比率が1:
0.5〜1.5の範囲、酸化アルミニウム3〜8mol
%、酸化珪素4〜8mol%であることを特徴とする特
許請求の範囲第1項に記載の窒酸化物セラミック材料。 - (3)窒化珪素、酸化イットリウム、酸化エルビウム、
酸化アルミニウムおよび酸化珪素を混合・成形し、この
成形体を真空中で800〜1200℃の温度範囲で少な
くとも10分間焼成したあと、常圧の窒素雰囲気中で1
700〜1830℃の温度範囲で焼結することによって
、YSiO_2NとErSiO_2Nとの完全固溶体に
より窒化珪素の粒子が被覆・結合されている構造を有す
る焼結体を得ることを特徴とする窒酸化物セラミック材
料の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60266817A JPS62128968A (ja) | 1985-11-27 | 1985-11-27 | 窒酸化物セラミック材料およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60266817A JPS62128968A (ja) | 1985-11-27 | 1985-11-27 | 窒酸化物セラミック材料およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62128968A true JPS62128968A (ja) | 1987-06-11 |
JPH0461830B2 JPH0461830B2 (ja) | 1992-10-02 |
Family
ID=17436078
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60266817A Granted JPS62128968A (ja) | 1985-11-27 | 1985-11-27 | 窒酸化物セラミック材料およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62128968A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63100066A (ja) * | 1986-06-02 | 1988-05-02 | トヨタ自動車株式会社 | 窒化ケイ素焼結体の製造方法 |
-
1985
- 1985-11-27 JP JP60266817A patent/JPS62128968A/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63100066A (ja) * | 1986-06-02 | 1988-05-02 | トヨタ自動車株式会社 | 窒化ケイ素焼結体の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0461830B2 (ja) | 1992-10-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0710637A (ja) | 二酸化ジルコニウム含有セラミック成形体およびその製造方法 | |
JPH07277814A (ja) | アルミナ基セラミックス焼結体 | |
Giachello et al. | Post-sintering of reaction-bonded silicon nitride | |
JPS6050750B2 (ja) | 窒化珪素質複合焼結体 | |
JP3230055B2 (ja) | セリウムを含む窒化珪素中のセラミック相 | |
JPS62128968A (ja) | 窒酸化物セラミック材料およびその製造方法 | |
JP3076682B2 (ja) | アルミナ系焼結体及びその製造方法 | |
JP2690571B2 (ja) | ジルコニア系切削工具とその製造法 | |
JPH0694390B2 (ja) | 窒化珪素焼結体 | |
JP3007732B2 (ja) | 窒化ケイ素−混合酸化物系焼結体およびその製造方法 | |
JPH0224789B2 (ja) | ||
JPH07315937A (ja) | 窒化ホウ素常圧焼結体及びその製造方法 | |
JPS6047228B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体 | |
JP3148559B2 (ja) | セラミックス繊維強化タービン翼及びその製造方法 | |
JPH01145380A (ja) | 窒化珪素質焼結体の製法 | |
JP2742620B2 (ja) | 硼化物―酸化アルミニウム質焼結体およびその製造方法 | |
JPS61136963A (ja) | 窒化ケイ素基焼結体の製造方法 | |
JPH05201771A (ja) | 窒化ホウ素含有反応焼結複合材料を製造し又この複合材料から成形体を製造する方法及びこの方法により製造可能な窒化ホウ素含有複合材料 | |
JPH01308871A (ja) | 導電性ジルコニア焼結体 | |
JPS62148369A (ja) | 窒酸化物セラミックス材料およびその製造方法 | |
JPH0559073B2 (ja) | ||
JPH01219062A (ja) | 炭化珪素焼結体の製造方法 | |
JPH0379308B2 (ja) | ||
JP3007731B2 (ja) | 炭化ケイ素−混合酸化物系焼結体およびその製造方法 | |
JPH05238829A (ja) | 窒化けい素セラミックス焼結体 |