JPH01219062A - 炭化珪素焼結体の製造方法 - Google Patents
炭化珪素焼結体の製造方法Info
- Publication number
- JPH01219062A JPH01219062A JP63047275A JP4727588A JPH01219062A JP H01219062 A JPH01219062 A JP H01219062A JP 63047275 A JP63047275 A JP 63047275A JP 4727588 A JP4727588 A JP 4727588A JP H01219062 A JPH01219062 A JP H01219062A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- powder
- silicon carbide
- sintered body
- metal
- sintering
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 10
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 title abstract 4
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 title 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims abstract description 33
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims abstract description 17
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 8
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims abstract description 3
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 29
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 23
- 229910001512 metal fluoride Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 claims description 5
- KLZUFWVZNOTSEM-UHFFFAOYSA-K Aluminium flouride Chemical compound F[Al](F)F KLZUFWVZNOTSEM-UHFFFAOYSA-K 0.000 abstract description 5
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 5
- 238000002156 mixing Methods 0.000 abstract description 2
- -1 e.g. Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 abstract 1
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 8
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- IRPGOXJVTQTAAN-UHFFFAOYSA-N 2,2,3,3,3-pentafluoropropanal Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C=O IRPGOXJVTQTAAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 3
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 3
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052580 B4C Inorganic materials 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 229940105963 yttrium fluoride Drugs 0.000 description 2
- RBORBHYCVONNJH-UHFFFAOYSA-K yttrium(iii) fluoride Chemical compound F[Y](F)F RBORBHYCVONNJH-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- INAHAJYZKVIDIZ-UHFFFAOYSA-N boron carbide Chemical compound B12B3B4C32B41 INAHAJYZKVIDIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001639 boron compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000011362 coarse particle Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 150000002222 fluorine compounds Chemical group 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000000462 isostatic pressing Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001272 pressureless sintering Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、炭化珪素焼結体の製造方法に関する。
[従来の技術〕
近年、耐熱性や機械強度に優れていることにより炭化珪
素(S i C)焼結体が自動車部品に使用されている
。この炭化珪素焼結体は、炭化珪素粉末と焼結助剤との
混合粉末を成形した後、約2000℃の高温で焼結する
ことにより製造されている。
素(S i C)焼結体が自動車部品に使用されている
。この炭化珪素焼結体は、炭化珪素粉末と焼結助剤との
混合粉末を成形した後、約2000℃の高温で焼結する
ことにより製造されている。
炭化珪素の常圧焼結には、通常焼結性を高めるため焼結
助剤としてホウ素系化合物やアルミニウム系化合物を用
いることが知られている。ホウ素系化合物の場合には、
ホウ素または炭化ホウ素を炭素と共に炭化珪素粉末に添
加して焼結する。炭化珪素およびホウ素系化合物は高温
での安定性が高いので2000℃以上という高温で焼結
が可能である。こ゛のような高温で焼結することにより
常圧でも緻密な焼結体が得られる。またアルミニウム系
化合物の場合には、高温時にアルミニウム系化合物が分
解して蒸散するのでこれに対する対策が必要とされてい
る。
助剤としてホウ素系化合物やアルミニウム系化合物を用
いることが知られている。ホウ素系化合物の場合には、
ホウ素または炭化ホウ素を炭素と共に炭化珪素粉末に添
加して焼結する。炭化珪素およびホウ素系化合物は高温
での安定性が高いので2000℃以上という高温で焼結
が可能である。こ゛のような高温で焼結することにより
常圧でも緻密な焼結体が得られる。またアルミニウム系
化合物の場合には、高温時にアルミニウム系化合物が分
解して蒸散するのでこれに対する対策が必要とされてい
る。
特公昭62−1346号公報には、焼結助剤にアルミナ
を用いて炭化珪素を焼結する場合に、より高密度な焼結
体とするためにAλ、A J! t Os△り0から選
ばれる一掃または二種以上をアルミナに添加する方法を
開示している。また炭化珪素の成形性、焼結性を向上さ
せるために特開昭57−205378号公報には、有機
物質のバインダーと共に焼結助剤として酸化イツトリウ
ム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウムの添加して成
形・加熱・焼結する旨の製造方法の開示がある。さらに
特開昭60−180961号公報には、炭化珪素の焼結
助剤として酸化イツトリウム、スピネルを特定量用いて
焼結する旨の開示がある。
を用いて炭化珪素を焼結する場合に、より高密度な焼結
体とするためにAλ、A J! t Os△り0から選
ばれる一掃または二種以上をアルミナに添加する方法を
開示している。また炭化珪素の成形性、焼結性を向上さ
せるために特開昭57−205378号公報には、有機
物質のバインダーと共に焼結助剤として酸化イツトリウ
ム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウムの添加して成
形・加熱・焼結する旨の製造方法の開示がある。さらに
特開昭60−180961号公報には、炭化珪素の焼結
助剤として酸化イツトリウム、スピネルを特定量用いて
焼結する旨の開示がある。
[発明が解決しようとする課題]
しかしながら、前記の焼結助剤ではまだ充分に緻密化し
た炭化珪素焼結体が得られにくい。本発明はこの焼結性
を改善する焼結助剤について検討した結果、緻密化し高
密度の焼結体が1!7られることを見出し本発明を完成
した。すなわち高密度の炭化珪素焼結体の製造方法を提
案することを目的とする。
た炭化珪素焼結体が得られにくい。本発明はこの焼結性
を改善する焼結助剤について検討した結果、緻密化し高
密度の焼結体が1!7られることを見出し本発明を完成
した。すなわち高密度の炭化珪素焼結体の製造方法を提
案することを目的とする。
[課題を解決するための手段]
本発明の炭化珪素焼結体の製造方法は、炭化珪素粉末と
焼結助剤粉末との混合粉末を焼結した炭化珪素焼結体を
得る炭化珪素焼結体の製造方法において、 前記焼結助剤粉末は少なくとも一種の金属酸化物と前記
金aR化物を構成する金属のフッ化物である金属フッ化
物とを含み、前記金属フッ化物の配合量は前記金属酸化
物を100重凸部としたとき1〜10重量部であること
を特徴とする。
焼結助剤粉末との混合粉末を焼結した炭化珪素焼結体を
得る炭化珪素焼結体の製造方法において、 前記焼結助剤粉末は少なくとも一種の金属酸化物と前記
金aR化物を構成する金属のフッ化物である金属フッ化
物とを含み、前記金属フッ化物の配合量は前記金属酸化
物を100重凸部としたとき1〜10重量部であること
を特徴とする。
この炭化珪素粉末は難焼結性であるため微粉であること
が好ましく、平均粒径が1μm以下であればα型あるい
はβ型または両者の混合物を用いることができる。
が好ましく、平均粒径が1μm以下であればα型あるい
はβ型または両者の混合物を用いることができる。
この焼結助剤粉末は少なくとも一種の金属酸化物と金属
フッ化物とを併用する。金属酸化物としてはアルミナ、
イツトリア、マグネシャ、スピネルなどが挙げられる。
フッ化物とを併用する。金属酸化物としてはアルミナ、
イツトリア、マグネシャ、スピネルなどが挙げられる。
金属フッ化物としてはフッ化アルミニウ、フッ化イツト
リウム、フッ化マグネシウムなどの前記金属酸化物を構
成する金属のフッ化物が用いられる。
リウム、フッ化マグネシウムなどの前記金属酸化物を構
成する金属のフッ化物が用いられる。
この焼結助剤粉末は平均粒径が主原料である炭化硅素粒
子の大きさより細かいことが焼結性を高めるのに好まし
い。
子の大きさより細かいことが焼結性を高めるのに好まし
い。
また金属フッ化物の配合量は金属酸化物を100重量部
としたとき1〜10重量部である。配合量が1重量部未
満の場合は添加効果が認められず、10重凹部を越えた
場合は理由は明確ではないが、却って焼結助剤の効果が
妨げられ焼結密度が低下する。すなわち、この金属フッ
化物は融点が1200〜1300℃であり焼結温度の2
000℃付近では液化ないしは気化状態となっていると
考えられる。そこでこの金属フッ化物は、焼結時に炭化
珪素粒子の表面に移行し粒子表面の酸素等を除去して表
面を浄化するとともに、焼結体を緻密化する作用をして
いると考えられる。しかし金属フッ化物の聞が10重量
部を超えて多くなると焼結助剤の高融点の金属酸化物の
働きが弱められるのではないかと推測される。
としたとき1〜10重量部である。配合量が1重量部未
満の場合は添加効果が認められず、10重凹部を越えた
場合は理由は明確ではないが、却って焼結助剤の効果が
妨げられ焼結密度が低下する。すなわち、この金属フッ
化物は融点が1200〜1300℃であり焼結温度の2
000℃付近では液化ないしは気化状態となっていると
考えられる。そこでこの金属フッ化物は、焼結時に炭化
珪素粒子の表面に移行し粒子表面の酸素等を除去して表
面を浄化するとともに、焼結体を緻密化する作用をして
いると考えられる。しかし金属フッ化物の聞が10重量
部を超えて多くなると焼結助剤の高融点の金属酸化物の
働きが弱められるのではないかと推測される。
この金属フッ化物は、焼結助剤の金ffl酸化物と同種
の金属であることにより焼結時に有害な副作用をもたら
さないことも有利な点と考えられる。
の金属であることにより焼結時に有害な副作用をもたら
さないことも有利な点と考えられる。
したがって焼結助剤に金属酸化物と金属酸化物を構成す
る金属の金属フッ化物を特定量併用することにより焼結
体の緻密化が向上する。
る金属の金属フッ化物を特定量併用することにより焼結
体の緻密化が向上する。
[発明の効果]
本発明の炭化珪素焼結体の製造方法によれば、従来方法
により得た炭化珪素焼結体よりも緻密化し高密度を有す
るものが容易に得られる。したがってこの製造方法で得
た炭化珪素焼結体は耐熱性や機械的性質が優れ適用範囲
が大幅に拡大される。
により得た炭化珪素焼結体よりも緻密化し高密度を有す
るものが容易に得られる。したがってこの製造方法で得
た炭化珪素焼結体は耐熱性や機械的性質が優れ適用範囲
が大幅に拡大される。
[実施例]
以下実施例により本発明を説明する。
(原料)
使用した炭化珪素粉末は市販のもので、粒径1μm以下
のものを用いα型またはβ型または両者の混合物など特
に差は認められなかったため特に区別をしないで使用し
た。
のものを用いα型またはβ型または両者の混合物など特
に差は認められなかったため特に区別をしないで使用し
た。
焼結助剤は第1表に示す割合で配合して用いた。
Aλ2o3は粒径的0.1μmの粉末を使用した。Y2
O3はイツトリウムイソプロキシドをベンゼンに溶解し
て添加した。大気中の湿気で転換される水和物から最終
的に形成されたY2O3の吊は上記イツトリウムイソプ
ロキシドに含まれるイツトリウムの最にもとづき換算し
た。スピネル(tVIgAffio4)は粒径的0.3
μm(7)粉末を用いた。
O3はイツトリウムイソプロキシドをベンゼンに溶解し
て添加した。大気中の湿気で転換される水和物から最終
的に形成されたY2O3の吊は上記イツトリウムイソプ
ロキシドに含まれるイツトリウムの最にもとづき換算し
た。スピネル(tVIgAffio4)は粒径的0.3
μm(7)粉末を用いた。
金属酸化物の炭化珪素への配合は、金属酸化物をベンゼ
ンを媒体にしプラスチック類のボールミルで混合して分
散させた後、ベンゼンを留去して乾燥させた。金属フッ
化物(MCJFt1AffiF3は水溶液で前記の乾燥
混合粉に添加しボールミルで混合したのち、凍結乾燥を
行なった。但しYF3の場合は粉末を10μm以下に乳
鉢で粉砕した後金属酸化物混合時に添加して混合した。
ンを媒体にしプラスチック類のボールミルで混合して分
散させた後、ベンゼンを留去して乾燥させた。金属フッ
化物(MCJFt1AffiF3は水溶液で前記の乾燥
混合粉に添加しボールミルで混合したのち、凍結乾燥を
行なった。但しYF3の場合は粉末を10μm以下に乳
鉢で粉砕した後金属酸化物混合時に添加して混合した。
(焼結)
前記で冑だ混合粉末を3000kG/cm2の圧力で試
験片を静水圧成形で形成した。得られた成形体の寸法は
巾4mm、高さ6rnm、長さ50mmの直方体である
。この成形体を以下の条件で焼結を行った。
験片を静水圧成形で形成した。得られた成形体の寸法は
巾4mm、高さ6rnm、長さ50mmの直方体である
。この成形体を以下の条件で焼結を行った。
液体窒素のトラップを通過した1気圧のアルゴン気体雰
囲気下で焼結温度が2000℃で1,5時間の焼結を行
なった。なお昇温速度は1200〜2000℃の問を1
4時間を要した。焼結炉は黒鉛発熱休炉を用いた。
囲気下で焼結温度が2000℃で1,5時間の焼結を行
なった。なお昇温速度は1200〜2000℃の問を1
4時間を要した。焼結炉は黒鉛発熱休炉を用いた。
(評価)
(りられた焼結体の焼結密度(焼結体の理論密度に対す
る相対密度)を第1表に示す。
る相対密度)を第1表に示す。
N021〜4は、金属酸化物に酸化アルミニラ) ムを
用い、N091は金属フッ化物なしの比較例、No、2
〜4は金属フッ化物にフッ化アルミニウムを添加した本
発明の例である。比較例の焼結密度が86.7%である
が△ff1F3の添加した本実tMPi4は焼結密度が
90%をこえており金属フッ化物の効果を示している。
用い、N091は金属フッ化物なしの比較例、No、2
〜4は金属フッ化物にフッ化アルミニウムを添加した本
発明の例である。比較例の焼結密度が86.7%である
が△ff1F3の添加した本実tMPi4は焼結密度が
90%をこえており金属フッ化物の効果を示している。
またN092はAffizO3:AffiF3=100
:1で焼結密度が91.3%であり、No、4がARz
O3:AλF3=1oo:ioで焼結密度が92.7%
であるが、N014の場合はNo、3 (A文203
:AλF3=100:2.5で焼結密度が93.8%で
ある)よりも焼結密度が低下している。すなわち金属フ
ッ化物はこれ以上多くしても効果上昇は望めないことを
示している。
:1で焼結密度が91.3%であり、No、4がARz
O3:AλF3=1oo:ioで焼結密度が92.7%
であるが、N014の場合はNo、3 (A文203
:AλF3=100:2.5で焼結密度が93.8%で
ある)よりも焼結密度が低下している。すなわち金属フ
ッ化物はこれ以上多くしても効果上昇は望めないことを
示している。
第1表
た例である。No、5は金属フッ化物を使用しない比較
例であり、No、6はフッ化イツトリウムを対金属酸化
物量に対し8/600ffi用いた例であり、No、7
はフッ化アルミニウム、フッ化マグネシウムの二種を合
計1/100ffi用いた例である。
例であり、No、6はフッ化イツトリウムを対金属酸化
物量に対し8/600ffi用いた例であり、No、7
はフッ化アルミニウム、フッ化マグネシウムの二種を合
計1/100ffi用いた例である。
金属フッ化物を用いたNo、6、No、7の焼結密度は
98%前後で金属フッ化物を使用しないN005の95
%に比べて向上している。
98%前後で金属フッ化物を使用しないN005の95
%に比べて向上している。
また焼結体の組織はNo、1、No、5のものが4〜1
0μmでかつ10μmを越える粗大粒が存在するが、N
o、2、No、3、No、4、N006、No、7の金
属フッ化物を添加した本発明例T−は、1〜3μmで粗
大なものでも10μm ′以下のものしか存在しない。
0μmでかつ10μmを越える粗大粒が存在するが、N
o、2、No、3、No、4、N006、No、7の金
属フッ化物を添加した本発明例T−は、1〜3μmで粗
大なものでも10μm ′以下のものしか存在しない。
したがって本発明の焼結体は微細な粒子で構成された高
密度を有している。
密度を有している。
特許出願人 トヨタ自動車株式会社代理人
弁理士 大川 宏
弁理士 大川 宏
Claims (1)
- (1)炭化珪素粉末と焼結助剤粉末との混合粉末を焼結
して炭化珪素焼結体を得る炭化珪素焼結体の製造方法に
おいて、 前記焼結助剤粉末は、少なくとも一種の金属酸化物と前
記金属酸化物を構成する金属のフッ化物である金属フッ
化物とを含み、前記金属フッ化物の配合量は前記金属酸
化物を100重量部としたとき1〜10重量部であるこ
とを特徴とする炭化珪素焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63047275A JPH0733286B2 (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | 炭化珪素焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63047275A JPH0733286B2 (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | 炭化珪素焼結体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01219062A true JPH01219062A (ja) | 1989-09-01 |
JPH0733286B2 JPH0733286B2 (ja) | 1995-04-12 |
Family
ID=12770738
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63047275A Expired - Fee Related JPH0733286B2 (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | 炭化珪素焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0733286B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003049206A (ja) * | 2001-08-07 | 2003-02-21 | Fukuda Metal Foil & Powder Co Ltd | アルミニウム含有銅系合金粉のための焼結助剤、およびこれを含む焼結用合金粉 |
EP1972599A1 (en) * | 2007-03-12 | 2008-09-24 | Ngk Insulators, Ltd. | Yttrium oxide-containing material, component of semiconductor manufacturing equipment, and method of producing yttrium oxide-containing material |
JP2008255001A (ja) * | 2007-03-12 | 2008-10-23 | Ngk Insulators Ltd | 酸化イットリウム材料、半導体製造装置用部材、及び酸化イットリウム材料の製造方法 |
-
1988
- 1988-02-29 JP JP63047275A patent/JPH0733286B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003049206A (ja) * | 2001-08-07 | 2003-02-21 | Fukuda Metal Foil & Powder Co Ltd | アルミニウム含有銅系合金粉のための焼結助剤、およびこれを含む焼結用合金粉 |
JP4532793B2 (ja) * | 2001-08-07 | 2010-08-25 | 福田金属箔粉工業株式会社 | アルミニウム含有銅系合金粉のための焼結助剤、およびこれを含む焼結用合金粉 |
EP1972599A1 (en) * | 2007-03-12 | 2008-09-24 | Ngk Insulators, Ltd. | Yttrium oxide-containing material, component of semiconductor manufacturing equipment, and method of producing yttrium oxide-containing material |
JP2008255001A (ja) * | 2007-03-12 | 2008-10-23 | Ngk Insulators Ltd | 酸化イットリウム材料、半導体製造装置用部材、及び酸化イットリウム材料の製造方法 |
US7833924B2 (en) | 2007-03-12 | 2010-11-16 | Ngk Insulators, Ltd. | Yttrium oxide-containing material, component of semiconductor manufacturing equipment, and method of producing yttrium oxide-containing material |
JP2012232897A (ja) * | 2007-03-12 | 2012-11-29 | Ngk Insulators Ltd | 酸化イットリウム材料、半導体製造装置用部材、及び酸化イットリウム材料の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0733286B2 (ja) | 1995-04-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS6256104B2 (ja) | ||
US5773733A (en) | Alumina-aluminum nitride-nickel composites | |
JPH01219062A (ja) | 炭化珪素焼結体の製造方法 | |
JP2766445B2 (ja) | サイアロン質複合焼結体及びその製造方法 | |
JPS6212663A (ja) | B4c質複合体およびその製造方法 | |
JPS638069B2 (ja) | ||
US5366941A (en) | Composite ceramics and their production process | |
JPH0254297B2 (ja) | ||
JPS6034515B2 (ja) | 炭化珪素質セラミックス焼結体の製造法 | |
JPH0224789B2 (ja) | ||
JP2980342B2 (ja) | セラミックス焼結体 | |
JP3570676B2 (ja) | セラミックス多孔体及びその製造方法 | |
JPH06116045A (ja) | 窒化珪素焼結体及びその製造方法 | |
JPS6346029B2 (ja) | ||
JPH06279124A (ja) | 窒化ケイ素焼結体の製造方法 | |
JPS6126566A (ja) | SiC質複合体の焼結方法 | |
JPH0517210A (ja) | アルミナ基複合焼結体の製造方法及びアルミナ基複合焼結体 | |
JP3241215B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体の製造方法 | |
JPS6344713B2 (ja) | ||
JP3564164B2 (ja) | 窒化珪素焼結体及びその製造方法 | |
JP3567001B2 (ja) | 炭化珪素と窒化珪素の複合焼結体の製造方法 | |
JPH08277166A (ja) | 窒化ケイ素質焼結体用窒化ケイ素粉末ならびに窒化ケイ素質焼結体およびその製造方法 | |
JP2946593B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体およびその製造方法 | |
JP2916934B2 (ja) | サイアロン質焼結体の製造方法 | |
JPH01183465A (ja) | 窒化けい素系複合セラミックスとその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |