JPS62115700A - 気相励起装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、マイクロ波を用いた気相励起装置に関するも
ので、特にマイクロ波導入部への活性微粒子の付着によ
るマイクロ波導入障害の防止に関する。

本明細書において、微粒子とは、原子、分子、超微粒子
及び一般微粒子をいう、ここで超微粒子とは、例えば、
気相反応を利用した、ガス中蒸発法、プラズマ蒸発法、
気相化学反応法、更には液相反応を利用した、コロイド
学的な沈殿法、溶液噴霧熱分解法等によって得られる、
超微細な（一般には０．５　ＪＬｒａ以下）粒子をいう
。一般微粒子とは、機械的粉砕や析出沈殿処理等の一般
的手法によって得られる微細粒子をいう。

［従来の技術］ 従来、マイクロ波を用いた気相励起装置としては、電子
サイクロトロン共鳴装置（以下ｒＥＣＲＪという）が知
られている。このＥＣＲは、例えば石英等のマイクロ波
透過性材料のマイクロ波導入部を介して、導波管で導い
て来たマイクロ波を、空胴共振器となっているプラズマ
発生室に導入してプラズマを発生させるものとなってい
る（特開昭５７−１７７９７５号）、このＥＣＲを例え
ば成膜に利用する場合、プラズマを更に捕集室へと導き
、捕集室でプラズマに原料ガスを接触させて、生成する
活性微粒子を基体面に付着捕集している。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、上記ＥＣＲでは、プラズマが発生するプ
ラズマ発生室内にマイクロ波導入部が露出しているので
、一部捕集室から逆流して来る活性微粒子が活性状態の
ままマイクロ波導入部にまで逆流して、そこに付着しや
すい問題がある。また、ＥＣＨにおけるプラズマ発生室
の大きさは、使用マイクロ波によって決まってしまうの
で、プラズマを送り出す位置や、原料ガス供給位置から
マイクロ波導入部までの距離等をプラズマ発生室の大き
さを変えて調整できず、設計上も不便である。

［問題点を解決するための手段］ 上記問題点を解決するために本発明において講じられた
手段を１本発明の一実施例に対応する第１図で説明する
と、マイクロ波導入部ｌに設けられたマイクロ波アンテ
ナ２ａと、このマイクロ波アンテナ２ａの先端付近に設
けられた磁石２ｂとをを有する気相励起装置とすること
である。尚、本発明におけるマイクロ波アンテナ２ａと
は、マイクロ波を自由空間へと送り出すアンテナを言う
。

［作　用］ マイクロ波導入部１を経てプラズマ発生室３へと送り込
まれるマイクロ波は、更にマイクロ波アンテナ２ａを経
てプラズマ発生室３内の自由空間へと送り出されること
になる。

上記マイクロ波アンテナ２ａの長さは、原則として任意
に定め得るので、マイクロ波アンテナ２ａから送り出さ
れるプラズマの送り出し位置や、原料ガス供給位置から
マイクロ波導入部１までの距離を容易に調整することが
できる。また、プラズマは、磁石２ｂによって引き出さ
れるので、効率よく発生させることができる。

一方、マイクロ波アンテナ２ａ内では、マイクロ波導入
部１から送り込まれるマイクロ波の放電を抑えることも
容易で、マイクロ波アンテナ２ａ内、特にマイクロ波導
入部１付近でのプラズマ発生を抑止することができる。

従って、原料ガスや活性微粒子が一部マイクロ波アンテ
ナ２ａ内へと逆流して来ても、前記マイクロ波アンテナ
２ｄの長さの調整と共に、上記プラズマ発生の抑止を行
うことにより、活性をもってマイクロ波導入部１まで逆
流するのを防ぐことができる。従って、成膜すべ活性微
粒子がマイクロ波導入部１に付着して、マイクロ波の導
入が妨げられることがない。

［実施例］ 第１図に示されるように、捕集室をも兼ねるプラズマ発
生室３には、例えば石英等のマイクロ波を透過させ得る
材料で構成されたマイクロ波導入部１を介してマイクロ
波を導入すべく、先端がマイクロ波導入部１となった導
波管４が連結されている。この導波管４先端のマイクロ
波導入部１には、マイクロ波アンテナ２ａが取付けられ
ている。また、マイクロ波アンテナ２ａの先端付近には
、プラズマを引き出す磁石２ｂが設けられている。この
磁石２ｂは、永久磁石でも電磁石でもよいが、均一な引
出し力を得るため、円筒形が好ましい。

本実施例におけるマイクロ波アンテナ２ａは、一般にス
ロットアンテナと称されているもので、通常、電界面と
直角方向に、マイクロ波の波長の約局の長さのスロット
５を切ったものとなっている。このスロット５は、第２
図（ａ）に示されるように、一つの面にのみ設けてもよ
いが、同（ｂ）に示されるように、複数の面に跨がって
設けてもよい。

マイクロ波アンテナ２ａには、スリー・スタブ６が設け
られていて、マイクロ波パワーの整合機能が持たされて
いる。

と記スリー・スタブ６は、壁面電流の外部への漏出を防
止するため、第３図に示されるチョーク構造を有するも
のとすることが好ましい。この。

チョーク構造は、スリー・スタブ６のマイクロ波アンテ
ナ２ａとの摺接部に、周面にチョーク溝７を有する短絡
板８を設けたもので、チョーク溝７の長さは、マイクロ
波のマイクロ波アンテナ２ａ内波長入の約属となってい
る。

マイクロ波アンテナ２ａは、第４図に示されるように、
先端がラッパ状に拡大したホーンアンテナとすることも
できる。このホーンアンテナをマイクロ波アンテナ２ａ
として用いれば、広い範囲にプラズマを送り出すことが
できる。

マイクロ波アンテナ２ａの基部、即ちマイクロ波導入部
１の直後には、それ自身では成膜能を生じない非成膜ガ
スを供給できるようになっている。

マイクロ波アンテナ２ａの前方には、原料ガスを供給で
きるようになっている。原料ガスは、環状の原料ガス供
給管９の内周に多数形成された孔から内方に噴出するも
のである。この原料ガス供給管９の後方には基体１０が
位置しており、更にプラズマ発生室３内は、基体１０の
後方側から真空ポンプ　で排気されるようになっている
。

非成膜ガスを供給しつつ、導波管４よりマイクロ波導入
部ｌを介してマイクロ波アンテナ２ａ内にマイクロ波を
送り、スリー・スタブ６で整合をとると、スロット５か
ら送り出されるマイクロ波によって生ずるプラズマが更
に磁石によって引出され、効率的に発生する。このプラ
ズマに原料ガス供給管９から原料ガスを供給して接触さ
せ、活性微粒子を生成させる。活性微粒子は、前記励起
された非成膜ガスと共に真空ポンプ１１の吸引によって
基体１０方向へと流れ、基体１０面へと付着して成膜が
行われるものである。

次に他の実施例について説明する。

第５図において、３はプラズマ発生室、１２は輸送室、
１３は捕集室である。

プラズマ発生室３と輸送室１２は一体のユニットとして
構成されており、輸送室１２に、やはり各々ユニット化
されたスキマー１４、ゲートバルブ１５及び捕集室１３
が、全て共通した径のフランジ（以下「共通フランジ」
という）を介して、相互に連結分離可能に順次連結され
ている。プラズマ発生室３、輸送室１２及び捕集室１３
は、後述する排気系によって、プラズマ発生室３から捕
集室１３へと、段階的に高い真空度に保たれているもの
である。

プラズマ発生室３の一側には、第１図ないし第４図で説
明したものと同様のマイクロ波アンテナ２ａが、共通フ
ランジを介して取付けられている。

マイクロ波アンテナ２ａの先端部付近には磁石２ｂかり
、更にマイクロ波アンテナ２ａの前方には、原刺ガス供
給バルブ１７が接続された原料ガス供給管９が位置して
いる。

マイクロ波アンテナ２ａの先端付近には、送出されるマ
イクロ波の放電によってプラズマが生じ。

これに原料ガス供給管９から供給される原料ガスが接触
すると、活性微粒子が生成される。そして、この活性微
粒子は、非成膜ガスと共に縮小拡大ノズル１８へと流入
して輸送室１２へと噴出されることになる。

縮小拡大ノズル１８は、輸送室１２のプラズマ発生室３
側の側端に、プラズマ発生室３に流入口１８ａを開口さ
せ、輸送室１２に流出口１８ｂを開口させて、プラズマ
発生室３内に突出した状態で、共通フランジを介して取
付けられている。但しこの縮小拡大ノズル１８は、輸送
室１２内に突出した状態で取付けるようにしてもよい。

縮小拡大ノズル１８をいずれに突出させるかは、移送す
る微粒子の大きさ、量、性質等に応じて選択すればよい
。

縮小拡大ノズル１８としては、第６図に示されるように
、流入口１８ａから徐々に開口面積が絞られてのど部１
９となり、再び徐々に開口面積が拡大して流出口１８ｂ
となっているものであればよいが、（ａ）に示しである
ように、流出口１８ｂ位置で内周面が中心軸に対してほ
ぼ平行になっていることが好ましい、これは、噴出され
る非成膜ガス及び微粒子の流れ方向が、ある程度流出口
１８ｂ内周面の方向によって影響を受けるので、できる
だけ平行流にさせやすくするためである。しかし、（ｂ
）に示されるように、のど部１８から流出口１８ｂへ至
る内周面の中心軸に対する角度αを、７°以下好ましく
は５°以下とすれば、剥離現象を生じにくく、噴出する
非成膜ガス及び微粒子の流れはほぼ均一に維持されるの
で、この場合はことさら上記のように平行にしなくとも
よい、平行部の形成を省略することにより、縮小拡大ノ
ズル１８の作製が容易となる。また、縮小拡大ノズル１
日を（Ｃ）に示されるような矩形のものとすれば、スリ
ット状に非成膜ガス及び微粒子を噴出させることができ
る。

ここで、前記剥離現象とは縮小拡大ノズル１８の内面に
突起物等があった場合に、縮小拡大ノズル１８の内面と
流過流体間の境界層が大きくなって、流れが不均一にな
る現象をいい、噴出流が高速になるほど生じやすい。前
述の角度αは、この剥離現象防止のために、縮小拡大ノ
ズル１８の内面仕上げ精度が劣るものほど小さくするこ
とが好ましい、縮小拡大ノズル１８の内面は、ＪＩＳ　
Ｂ　０８０１に定められる、表面仕上げ精度を表わす逆
三角形マークで三つ以上、最適には四つ以上が好ましい
、特に、縮小拡大ノズル１８の拡大部における剥離現象
が、その後の非成膜ガス及び微粒子の流れに大きく影響
するので、上記仕上げ精度を、この拡大部を重点にして
定めることによって、縮小拡大ノズル１８の作製を容易
にできる。また、やはり剥離現象の発生防止のため、の
ど部１９は滑らかな湾曲面とし、断面積変化率における
微係数が閃とならないようにする必要がある。

縮小拡大ノズル１８は、プラズマ発生室３の圧力Ｐ０と
輸送室１２の圧力Ｐの圧力比Ｐ／Ｐｏと、のど部１８の
開口面積Ａ”と流出口１８ｂの開口面ｍＡとの比Ａ／Ａ
”とを調節することによって、非成膜ガスと共に噴出す
る微粒子の流れを高速化できる。そして、プラズマ発生
室３と輸送室１２内の圧力比Ｐ／Ｐ。

が臨界圧力比より大きければ、縮小拡大ノズル１８の出
口流速が亜音速以下の流れとなり、非成膜ガスと共に微
粒子は減速噴出される。また、上記圧力比が臨界圧力比
以下であれば、縮小拡大ノズル１８の出口流速は超音速
流となり、非成膜ガスと共に微粒子を超音速にて噴出さ
せることができる。

ここで、微粒子流の速度をＵ、その点における音速をａ
、微粒子流の比熱比をγとし、微粒子流を圧縮性の一次
元流で断熱膨張すると仮定すれば、微粒子流の到達マツ
ハ数Ｍは、上流室の圧力Ｐｏと下流室の圧力Ｐとから次
式で定まり、特にＰ／Ｐｏが臨界圧力比以下の場合、Ｍ
は１以上となる。

尚、音速ａは局所温度をＴ、気体定数をＲとす・！・と
、次式で求めることができる。

ａ＝Ｅ７１１「 また、流出口１８ｂの開口面積Ａ及びのど部１８の開口
面積Ａ”とマツハ数Ｍには次の関係がある。

従って、プラズマ発生室３の圧力ｐ。と輸送室１２の圧
力Ｐの圧力比Ｐ／Ｐ、によって（１）式から定まるマッ
レ＼数Ｍに応じて開口面積比Ａ／Ａ”を定めたり、Ａ／
Ａ”によって（２）式から定まるＭに応じてＰ／Ｐｏを
調整することによって、拡大縮小ノズル１８から噴出す
る微粒子を適正膨張流として噴出させることができる。

このときの微粒子流の速度Ｕは、次の（３）式によって
求めることができる。

前述のような圧力比が臨界圧力比未満の噴出においては
、噴出される非成膜ガスと微粒子は均一な拡散流となり
、比較的広い範囲に亘って一度に均一に微粒子を吹き付
けることが可能となる。

前述のような超音速の適正膨張流として非成膜ガスと共
に微粒子を一定方向へ噴出させると、非成膜ガスと微粒
子は噴出直後の噴流断面をほぼ保ちながら直進し、ビー
ム化される。従って、この非成膜ガスによって運ばれる
微粒子の流れもビーム化され、最小限の拡散で輸送室１
２内の空間中を、輸送室１２の壁面との干渉のない空間
的に独立状態で、かつ超音速で捕集室１３へと移送され
ることになる。

縮小拡大ノズル１８の材質としては、例えば鉄、ステン
レススチールその他の金属の他、アクリル樹脂、ポリ塩
化ビニル、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレ
ン等の合成樹脂、セラミック材料、石英、ガラス等、広
く用いることができる。この材質の選択は、生成される
微粒子との非反応性、加工性、真空系内におけるガス放
出性等を考慮して行えばよい。また、縮小拡大ノズル１
８の内面に、微粒子の付着・反応を生じにくい材料をメ
ッキ又はコートすることもできる。具体例としては、ポ
リフッ化エチレンのコート等を挙げることができる。

縮小拡大ノズル１８の長さは、装置の大きさ等によって
任意に定めることができる。ところで、縮小拡大ノズル
１８を流過するときに、非成膜ガス及び微粒子は、保有
する熱エネルギーが運動エネルギーに変換される。そし
て、特に超音速で噴出される場合、熱エネルギーは著し
く小さくなって過冷却状態となる。従って、非成膜ガス
中に凝縮成分が含まれている場合、上記過冷却状態によ
って積極的にこれらを凝縮させ、これによって微粒子を
形成させることも可能である。また、この場合、十分な
凝縮を行うために、縮小拡大ノズル１８は長い方が好ま
しい。一方、上記のような凝縮を生ずると、これによっ
て熱エネルギーが増加して速度エネルギーは低下する。

従って、高速噴出の維持を図る上では、縮小拡大ノズル
１日は短い方が好ましい。

スキマー１４は、捕集室１３が輸送室１２よりも十分高
真空度を保つことができるよう、輸送室１２と捕集室１
３との間の開口面積を調整できるようにするためのもの
である。具体的には、第７図に示されるように、各々く
字形の切欠部２０，２０’を有する二枚の調整板２１．
２１′を、切欠部２０，２０′を向き合わせてすれ違い
スライド可能に設けたものとなっている。この調整板２
１．２１′は、外部からスライドさせることができ、両
切央部２０，２０′の重なり具合で、ビームの通過を許
容しかつ捕集室１３の十分な真空度を維持し得る開口度
に調整されるものである。尚、スキマー１４の切欠部２
０，２０′及び調整板２１．２１”の形状は、図示され
る形状の他、半円形その他の形状でもよい。

ゲートバルブ１５は、ハンドル２２を回すことによって
昇降される形状の弁体２３を有するもので、ビーム走行
時には開放されているものである。このゲートバルブ１
５を閉じることによって、プラズマ発生室３及び輸送室
１２内の真空度を保ちながら捕集室１３のユニット交換
が行える。また、本実施例の装置において、微粒子は捕
集室１３内で捕集されるが、ゲートバルブ１５をポール
バルブ等としておけば、特に微粒子が酸化されやすい金
属微粒子であるときに、このポールバルブと共に捕集室
１３のユニット交換を行うことにより、急激な酸化作用
による危険を伴うことなくユニット交換を行える利点が
ある。

捕集室１３内には、ビームとして移送されて来る微粒子
を受けて付着させ、これを成膜状態で捕集するための基
体１０が位置している。この基体１０は、共通フランジ
を介して捕集室１３に取付けられ、シリンダー２４によ
って前後にスライド可能なロッド２５先端の基体ホルダ
ー２６に取付けられている。基体ホルダー２６は、微粒
子の捕集の最適温度条件下に基体１０を加熱又は冷却で
きるようになっている。また、基体１０の前方には、シ
ャッター２７が位置している。

尚、プラズマ発生室３及び捕集室１３の上下には、図示
されるように各々共通フランジを介してガラス窓２８が
取付けられていて、内部観察ができるようになっている
。また、プラズマ発生室３、輸送室１２及び捕集室１３
の前後にも各々同様のガラス窓２９が共通フランジを介
して取付けられている。これらのガラス窓２８．２９は
、これを取外すことによって、共通フランジを介して各
種の測定装置、ロードロック室等と付は替えができるも
のである。

次に、本実施例における排気系について説明する。

プラズマ発生室３は、圧力調整弁３０を介してメインバ
ルブ３１ａに接続されている。輸送室１２は直接メイン
バルブ３１ａに接続されており、このメインバルブ、旧
学、は真空ポンプｌｌａに接続されている。捕集室１３
はメインバルブ３１ｂに接続されており、更にこのメイ
ンバルブ３１ｂは真空ポンプｌｌｂに接続されている。

尚、３２ａ、　３２ｂは、各々メインバルブ３１ａ、　
３１ｂのすぐ上流側にあらびきバルブ３３ａ、　３３ｂ
を介して接続されていると共に、補助バルブ３４ａ、　
３４ｂを介して真空ポンプｌｌａに接続された減圧ポン
プで、プラズマ発生室３、輸送室１２及び捕集室１３内
のあらびきを行うものである。尚、３５ａ　〜３５ｆは
、各室３　、１２．１３及びポンプｌｌａ。

１１ｂ、　３２ａ、　３２ｂのリーク及びパージ用バル
ブである。

まず、あらびきバルブ３３ａ、　３３ｂと圧力調整弁３
０を開いて、プラズマ発生室３、輸送室１２及び捕集室
１３内のあらびきを減圧ポンプ３２ａ、　３２ｂで行う
。

次いで、あらびきバルブ３３ａ、　３３ｂを閉じ、補助
バルブ３４ａ、　３４ｂ及びメインバルブ３１ａ、　３
１ｂを開いて、真空ポンプｌｌａ、　ｌｌｂでプラズマ
発生室３、輸送室１２及び捕集室１３内を十分な真空度
とする。このとき、圧力調節弁３０の開度を調整するこ
とによって、プラズマ発生室３より輸送室１２の真空度
を高くし、次に非成膜ガス及び原料ガスを流し、更に輸
送室１２より捕集室１３の真空度が高くなるよう、スキ
マー１４で調整する。この調整は、メインバルブ３１ａ
、　３１ｂの開度調整で行うこともできる。そして、微
粒子の形成並びにそのビーム化噴射による成膜作業中を
通じて、各室３．１２．１３が一定の真空度を保つよう
制御する。この制御は、手動でもよいが、各室３　、１
２．１３内の圧力を検出して、この検出圧力に基づいて
圧力調整弁３０、メインバルブ３１ａ、　３１ｂ、スキ
マー１４等を自動的に開閉制御することによって行って
もよい、また、プラズマ発生室３に供給される非成膜ガ
スと生成される活性微粒子が直に縮小拡大ノズル１８を
介して下流側へと移送されてしまうようにすれば、移送
中の排気は、下流側、即ち輸送室１２及び捕集室１３の
み行うこととすることができる。

上記真空度の制御は、プラズマ発生室３と輸送室１２の
真空ポンプｌｌａを各室３，１２毎に分けて設けて制御
を行うようにしてもよい、しかし、本実施例のように、
一台の真空ポンプｌｌａでビームの流れ方向に排気し、
プラズマ発生室３と輸送室１２の真空度を制御するよう
にすると、多少真空ポンプｌｌａに脈動等があっても１
両者間の圧力差を一定に保ちやすい。従って、この差圧
の変動の影響を受けやすい流れ状態を、一定に保ちやす
い利点がある。

真空ポンプｌｌａ、　ｌｌｂによる吸引は、特に輸送−
：１２及び捕集室１３においては、その上方より行うこ
とが好ましい、上方から吸引を行うことによって・ビー
ムの重力による降下をある程度抑止することができる。

本実施例に係る装置は以上のようなものであるが、次の
ような変更が可能である。

まず、縮小拡大ノズル１日は、上下左右への傾動や一定
間隔でのスキャン可能とすることもでき、広い範囲に亘
って成膜を行えるようにすることもできる。特にこの傾
動やスキャンは、第６図（ｃ）の矩形ノズルと組合わせ
ると有利である。

縮小拡大ノズル１８の少なくとも一部を透光体で形成し
て紫外、赤外、レーザー光等の各種の波長を持つ光を流
れに照射することもできる。また、縮小拡大ノズル１８
を複数個設けて、一度に複数のビームを発生させること
もできる。特に、複数個の縮小拡大ノズル１８を設ける
場合、各々独立したプラズマ発生室３に接続しておくこ
とによって、異なる微粒子のビームを同時に走行させる
ことができ、異なる微粒子の積層又は混合捕集や、ビー
ム同志を交差させることによる、異なる微粒子同志の衝
突によって、新たな微粒子を形成させることも可能とな
る。

本実施例では、プラズマ発生室３、輸送室１２及び捕集
室１３で構成されているが、輸送室１２を省略したり、
輸送室１２の下流側に更に第二、第三・・・・・・の輸
送室１２．１２・・・・・・を接続することもできる。

また、プラズマ発生室３を加圧すれば、輸送室１２以下
は開放系とすることができ、輸送室１２以下を減圧して
プラズマ発生室３を開放系とすることもできる。特にオ
ートクレーブのように、プラズマ発生室３を加圧し、輸
送室１２以下を減圧することもできる。

縮小拡大ノズル１８を開閉する弁を設け、プラズマ発生
室３側に一時微粒子と非成膜ガスを溜めながら、上記弁
を断続的に開閉して、微粒子を得ることもできる。前記
縮小拡大ノズル１８ののど部１９を含む下流側で行うエ
ネルギー付与と同期させて、上記弁を開閉すれば、排気
系の負担が大幅に低減されると共に、原料ガスの有効利
用を図りつつパルス状の微粒子流を得ることができる。

尚、同−排気条件下とすれば、上述の断続的開閉の方が
、下流側を高真空に保持しやすい利点がある。

また、縮小拡大ノズル１８を＃ｉ数個直列位置に配し、
各々上流側と下流側の圧力比を調整して、ビーム速度の
維持を図ったり、各室を球形化して、デッドスペースの
発生を極力防止することもできる。

［発明の効果］ 本発明によれば、マイクロ波を用いた気相励起を利用し
て成膜を行うときに、多少の原料ガスや活性微粒子の逆
流があってもマイクロ波導入部に付着してしまうことが
ない、従って、長時間連続運転しても、マイクロ波導入
部への微粒子付着による励起不良を生じにくく、効率的
に成膜を行うことができる。また、プラズマの生成位置
を調整しやすく、原料ガスの無駄も防止しやすいもので
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の説明図、第２図（ａ）、　
（ｂ）は各々マイクロ波アンテナの一例を示す先端拡大
斜視図、第３図（ａ）はマイクロ波アンテナの他の例を
示す縦断面図、同（ｂ）はそのチョーク構造の説ｃｒＡ
図、第４図は更に他のマイクロ波アンテナを不す縦断面
図、第５図は本発明の他の実施例を示す説明図、第６図
（ａ）〜（ｃ）は各々縮小拡大ノズルの形状例を示す図
、第７図はスキで−の説明図である。 １：マイクロ波導入部、 ２ａ：マイクロ波アンテナ、２ｂ＝磁石、３：プラズマ
発生室、４：導波管、 ５ニスロツト、６：スリー・スタブ、 ７：チョーク溝、８：短絡板、 ９：原料ガス供給管、１０：基体、 １１、　ｌｌａ、　ｌｌｂ　：真空ポンプ、１２：輸送
室、１３：捕集室、１４：スギマー。 １５：ゲートバルブ、 １６：非成膜ガス供給バルブ、 １７：原料ガス供給バルブ、 １日：縮小拡大ノズル、１８ａ二流入口、１８ｂ二流出
口、１９：のど部、 ２０、２０’　：切欠部、２１．２１’　：調整板、２
２：ハンドル、２３：弁体、２４ニジリンダ−１２５：
ロッド、２６：基体ホルダー、 ２７：シャッター、２８，２９ニガラス窓、３０：圧力
調整弁、３１ａ、　３１ｂ：メインバルブ。 ３２ａ、　３２ｂ：減圧ポンプ、 ３３ａ、　３３ｂ：あらびきバルブ、 ３４ａ、　３４ｂ：補助バルブ、 ３５ａ〜３５ｆ：リーク及びパージ用バルブ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）マイクロ波導入部に設けられたマイクロ波アンテナ
   と、このマイクロ波アンテナの先端付近に設けられた磁
   石とを有することを特徴とする気相励起装置。