JPS61220766A - 微粒子流の温度制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、微粒子の所望の低温下における移送や吹き付
けに利用される微粒子流の温度制御方法に関するもので
、例えば、微粒子による。成膜加工、複合素材の形成、
ドープ加工、または微粒子の新たな形成場等への応用が
期待されるものである。

本明細書において、微粒子とは、原子、分子。

超微粒子及び一般微粒子をいう、ここで超微粒子とは、
例えば、気相反応を利用した、ガス中蒸発法、プラズマ
蒸発法、気相化学反応法、更には液相反応を利用した、
コロイド学的な沈殿法、溶液噴霧熱分解法等によって得
られる。超微細な（一般には０．５ｐ層以下）粒子をい
う、一般微粒子とは、機械的粉砕や析出沈殿処理等の一
般的手法によって得られる微細粒子をいう、また、ビー
ムとは、流れ方向に断面積がほぼ一定の噴流のことをい
い、その断面形状は問わないものである。

［従来の技術］ 一般に微粒子は、キャリアガス中に分散浮遊されて、キ
ャリアガスの流れによって移送されている。

そして、上記微粒子の移送に伴う微粒子の流れ制御は、
上流側と下流側の差圧によって、キャリアガスと共に流
れる微粒子の全流路を、管材又は筐体で区画することに
よって行われているに過ぎない、従って、微粒子の流れ
は、その強弱はあるものの必然的に、微粒子の流路を区
画する管材又は筐体内全体に分散した状態で生ずること
になる。また、微粒子を基体へ吹き付ける場合等におい
ては、ノズルを介してキャリアガスと共に微粒子を噴出
させることが行われている。この微粒子の吹き付けに用
いられているノズルは、単なる平行管又は先細ノズルで
、単に噴出直後の微粒子の噴流断面をノズル端目面の面
積に応じて絞るものでしかない。

従来、上述のようにして行われる微粒子の移送又は吹き
付は時の微粒子流の温度制御は、微粒子の流路を区画す
る管材又は筐体内全体を所望の温度に調整すると共に、
やはり温度調整したキャリアガスを送り込むことによっ
て行われている。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、供給するキャリアガスと共に微粒子の流
路を区画する管材又は筐体内全体を所望の温度に調整す
るのは、温度調整すべき範囲が広く、そのために大きな
エネルギーが必要となる。

また、微粒子の流れは、その流路を区画する管材又は筐
体内全体に広がった状態で生ずるため、この管材や筐体
の壁面と微粒子の接触を全流路に亘って避は難い、従っ
て、微粒子が上記壁面と接触することによる温度斑を生
じやすい問題もある。

［問題点を解決するための手段］ 上記問題点を解決するために講じられた手段を、本発明
の基本原理の説明図である第１図で説明すると、流路に
縮小拡大ノズル１を設けて微粒子を流過させる微粒子流
の温度制御方法で、縮小拡大ノズルｌによる加速に伴う
温度低下を利用して温度制御を行うと共に、微粒子流を
ビーム化できるようにしたことによって上記問題点を解
決したものである。

本発明における縮小拡大ノズル１とは、流入口１ａから
中間部に向って徐々に開口面積が絞られてのど部２とな
り、こののど部２から流出口１ｂに向って徐々に開口面
積が拡大されているノズルをいう、第１図においては、
説明の便宜上、縮小拡大ノズルｌの流入側と流出側は、
各々密閉系である上流室３と下流室４に連結されている
。しかし、本発明における縮小拡大ノズルｌの流入側と
流出側は１両者間に差圧を生じさせて、キャリアガスと
共に微粒子を流過させることができれば、密閉系であっ
ても開放系であってもよい。

［作　用］ 例えば第１図に示されるように、上流室３内に微粒子を
分散浮遊させたキャリアガスを供給する一方、下流室４
内を真空ポンプ５で排気すると、上流室３と下流室４間
に圧力差を生じる。従って、供給された微粒子を含むキ
ャリアガスは、上流室３から縮小拡大ノズル１を流過し
て下流室４へと流入することになる。

ところで縮小拡大ノズル１は、単に上流側と下流側の圧
力差に応じてキャリアガスと共に微粒子を噴出させるだ
けでなく、上流室３の圧力Ｐｏと下流室４の圧力Ｐの圧
力比Ｐ／ＰＧと、のど部２の開口面積Ａ”と流出口１ｂ
の開口面積Ａとの比Ａ／Ａ”とを調節することによって
、キャリアガスと共に噴出する微粒子の流れを高速化で
きる。そして、上流室３と下流室４内の圧力比Ｐ／Ｐｏ
が臨界圧力比を越えていると、縮小拡大ノズル１の出口
流速が亜音速以下の流れとなり、キャリアガスと共に微
粒子は減速噴出される。また、上記圧力比Ｐ／ＰＯが臨
界圧力比以下であれば、縮小拡大ノズルｌの出口流速は
超音速流となり、キャリアガスと共に微粒子を超音速に
て噴出させることができる。

ここで、微粒子流の速度をＵ、その点における音速をａ
、微粒子流の比熱比をγとし、微粒子流を圧縮性の一次
元流で断熱膨張すると仮定すれば、微粒子流の到達マツ
ハ数Ｍは、上流室の圧力Ｐａと下流室の圧力Ｐとから次
式で定まる。

尚、音速ａは局所温度をＴ、気体定数をＲとすると、次
式で求めることができる。

ａ＝「７雇ゴー また、流出ロ１ｂ開ロ面積Ａ及びのど部２の開口面積Ａ
８とマツハ数Ｍには次の関係がある。

従って、上流室３の圧力ＰＧと下流室４の圧力Ｐの圧力
比Ｐ／Ｐｏによって（１）式から定まるマツハ数Ｍに応
じて開口面積比Ａ／Ａ”を定めたり、Ａ／Ａ”によって
（２）式から定まるＭに応じてＰ／Ｐ、を調整すること
によって、拡大縮小ノズルｌから噴出する微粒子流の流
速を調整できる。

一方、微粒子流の温度ｔと速度Ｕは、気体の低圧比熱を
Ｃ，とすると次の関係にある。

従って、前述のＰ／Ｐａ並びにＡ／Ａ−の調整によって
微粒子流のＭｔ−調整してＵを増減させれば、（３）式
に従って微粒子流の持つｔを増減させることができ、こ
れによって微粒子流の温度を制御することができる。こ
の温度制御は、微粒子を移送するためのエネルギーをそ
のまま温度制御に活用してしまうもので、温度制御のた
めのみの他のエネルギー源が不要である。

また、特に超音速の流れとしてキャリアガスと共に微粒
子を一定方向へ噴出させると、キャリアガスと微粒子は
噴出直後の噴流断面をほぼ保ちながら直進し、ビーム化
される。従って、このキャリアガスによって運ばれる微
粒子の流れもビーム化され、最小限の拡散で下流室４内
の空間中を、下流室４の壁面との干渉のない空間的に独
立状態で、かつ超音速で移送されることになる。

このようなビーム化移送とすれば、超音速による、しか
も空間的に独立状態にあるビームとして移送することが
でき１例えば下流室４内に設けた基体６上に付着捕集す
ることができる。従って、微粒子が下流室４の壁面に接
触することによる温度斑を生ずることなく微粒子を捕集
することが可能となる。また、噴流断面が流れ方向にほ
ぼ一定のビームとして微粒子が基板６上に吹き付けられ
るので、この吹き付は領域を容易に制御できるものであ
る。

［実施例］ 第２図は本発明を超微粒子による成膜装置に利用した場
合の一実施例の概略図で、図中１は縮小拡大ノズル、３
は上流室、４ａは第一下流室、４ｂは第二下流室である
。

上流室３と第一下流室４ａは、一体のユニットとして構
成されており、第一下流室４ａに、やはり各々ユニット
化されたスキマー７、ゲートバルブ８及び第二下流室４
ｂが、全て共通した径のフランジ（以下「共通フランジ
」という）を介して、相互に連結分離可能に順次連結さ
れている。上流室３、第一下流室４ａ及び第二下流室４
ｂは、後述する排気系によって、上流室３から第二下流
室４ｂへと、段階的に高い真空度に保たれているもので
ある。

上流室３の一側には、共通フランジを介して気相励起装
置９が取付けられている。この気相励起装置９は、プラ
ズマによって活性な超微粒子を発生させると共に１例え
ば水素、ヘリウム、アルゴン、窒素等のキャリアガスと
共にこの超微粒子を、対向側に位置する縮小拡大ノズル
ｌへと送り出すものである。この形成された超微粒子が
、上流室３の内面に付着しないよう、付着防止処理を内
面に施しておいてもよい、また、発生した超微粒子は、
上流室３に比して第一下流室４ａが高い真空度にあるた
め、両者間の圧力差によって、キャリアガスと共に直に
縮小拡大ノズルｌ内を流過して第一下流室４ａへと流れ
ることになる。

気相励起装置９は、第３図（ａ）に示されるように、棒
状の第一電極８ａを管状の第二電極３ｂ内に設け、第二
電極ｅｂ内にキャリアガスと原料ガスを供給して、両電
極９ａ、　ｅｂ間で放電させるものとなっている。また
、気相励起装置９は、第３図（ｂ）に示されるように、
第二電極８ｂ内に設けられている第一電極８ａを多孔管
として、第一電極９ａ内を介して両電極８ａ、　９ｂ間
にキャリアガスと原料ガスを供給するものとしたり、同
（Ｃ）に示されるように、半割管状の両電極９ａ、　９
ｂを絶縁材３Ｃを介して管状に接合し、両電極９ａ、　
９ｂで形成された管内にキャリアガスと原料ガスを供給
するものとすることもできる。

縮小拡大ノズル１は、第一下流室４ａの上流室３側の側
端に、上流室３に流入口１ａを開口させ、第−下流室４
ａに流出口１ｂを開口させて、上流室３内に突出した状
態で、共通フランジを介して取付けられている。但しこ
の縮小拡大ノズルｌは、第一下流室４ａ内に突出した状
態で取付けるようにしてもよい、縮小拡大ノズルｌをい
ずれに突出させるかは、移送する超微粒子の大きさ、量
、性質等に応じて選択すればよい。

縮小拡大ノズルｌとしては、前述のように、流入口１ａ
から徐々に開口面積が絞られてのど部２となり、再び徐
々に開口面積が拡大して流出口ｉｂとなっているもので
あればよいが、第４図（ａ）に拡大して示しであるよう
に、流出口ｔｂ付近の内周面が、中心軸に対してほぼ平
行であることが好ましい、これは、噴出されるキャリア
ガス及び超微粒子の流れ方向が、ある程度流出口ｌｂ付
近の内周面の方向によって影響を受けるので、できるだ
け平行流にさせやすくするためである。しかし、第４図
（ｂ）に示されるようＫ、のど部２から流出口１ｂへ至
る内周面の中心軸に対する角度αを、７°以下好ましく
は５°以下とすれば、剥離現象を生じにくく、噴出する
キャリアガス及び超微粒子の流れはほぼ均一に維持され
るので、この場合はことさら上記平行部を形成しなくと
もよい、平行部の形成を省略することにより、縮小拡大
ノズル１の作製が容易となる。また、縮小拡大ノズル１
を第４図（Ｃ）に示されるような矩形のものとすれば、
スリット状にキャリアガス及び超微粒子を噴出させるこ
とができる。

ここで、前記剥離現象とは縮小拡大ノズル１の内面に突
起物等があった場合に、縮小拡大ノズル１の内面と流過
流体間の境界層が大きくなって。

流れが不均一になる現象をいい、噴出流が高速になるほ
ど生じやすい、前述の角度αは、この剥離現象防止のた
めに、縮小拡大ノズル１の内面仕上げ精度が劣るものほ
ど小さくすることが好ましい、縮小拡大ノズル１の内面
は、ＪＩＳ　Ｂ　０８０１に定められる１表面仕上げ精
度を表わす逆三角形マークで三つ以上、最適には四つ以
上が好ましい、特に、縮小拡大ノズル１の拡大部におけ
る剥離現象が、その後のキャリアガス及び超微粒子の流
れに大きく影響するので、上記仕上げ精度を、この拡大
部を重点にして定めることによって、縮小拡大ノズルｌ
の作製を容易にできる。また、やはり剥離現象の発生防
止のため、のど部２は滑らかな湾曲面とし、断面積変化
率における微係数がψとならないようにする必要がある
。

縮小拡大ノズル１の材質としては１例えば鉄、ステンレ
ススチールその他の金属の他、アクリル樹脂、ポリ塩化
ビニル、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン
等の合成樹脂、セラミック材料、石英、ガラス等、広く
用いることができる。この材質の選択は、生成される超
微粒子との非反応性、加工性、真空系内におけるガス放
出性等を考慮して行えばよい、また、縮小拡大ノズル１
の内面に、超微粒子の付着・反応を生じにくい材料をメ
ッキ又はコートすることもできる。具体例としては、ポ
リフッ化エチレンのコート等ヲ挙げることができる。

縮小拡大ノズル１の長さは、装置の大きさ等によって任
意に定めることができる。ところで、縮小拡大ノズルｌ
を流過するときに、キャリアガス及び超微粒子は、保有
する熱エネルギーが運動エネルギーに変換される。そし
て、特に超音速で噴出される場合、熱エネルギーは著し
く小さくなって過冷却状態となる。従って、キャリアガ
ス中に凝縮成分が含まれている場合、上記過冷却状態に
よって積極的にこれらを凝縮させ、これによって超微粒
子を形成させることも可能である。これによる超微粒子
の形成は、均質核形成であるので、均質な超微粒子が得
やすい、また、この場合、十分な凝縮を行うために、縮
小拡大ノズル１は長い方が好ましい、一方、上記のよう
な凝縮を生ずると、これによって熱エネルギーが増加し
て速度エネルギーは低下する。従って、高速噴出の維持
を図る上では、縮小拡大ノズル１は短い方が好ましい。

上流室３の圧力Ｐｏと下流室４の圧力Ｐの圧力比Ｐ／Ｐ
ｏと、のど部２の開口面積Ａ”と流出口１ｂの開口面積
Ａとの比Ａ／Ａ・との関係を適宜に調整して、上記縮小
拡大ノズルｌ内を流過させることにより、超微粒子を含
むキャリアガスは温度制御されたビームとなって、第一
下流室４ａから第二下流室４ｂへと超音速で流れること
になる。

スキマー７は、第二下流室４ｂが第一下流室４ａよりも
十分高真空度を保つことができるよう、第一下流室４ａ
と第二下流室４ｂとの間の開口面積を調整できるように
するためのものである。具体的には、第５図に示される
ように、各々く字形の切欠部１０，１０’を有する二枚
の調整板１１．１１’を、切欠部１０．１０’を向き合
わせてすれ違いスライド可能に設けたものとなっている
。この調整板１１゜１１’は、外部からスライドさせる
ことができ、両切大部１０．１０’の重なり具合で、ビ
ームの通過を許容しかつ第二下流室の十分な真空度を維
持し得る開口度に調整されるものである。尚、スキマー
７の切欠部１０．１０’及び調整板１１．１１’の形状
は、図示される形状の他、半円形その他の形状でもよい
。

ゲートバルブ８は、ハンドル１２を回すことによって昇
降される増成の弁体１３を有するもので、ビーム走行時
には開放されているものである。このゲートバルブ８を
閉じることによって、上流室３及び第一下流室４ａ内の
真空度を保ちながら第二下流室４ｂのユニット交換が行
える。また、本実施例の装置において、超微粒子は第二
下流室４ｂ内で捕集されるが、ゲートバルブ８をポール
バルブ等としておけば、特に超微粒子が酸化されやすい
金属微粒子であるときに、このポールバルブと共に第二
下流室４ｂのユニット交換を行うことにより、急激な酸
化作用による危険を伴うことなくユニット交換を行える
利点がある。

第二下流室４ｂ内には、ビームとして移送されて来る超
微粒子を受けて付着させ、これを成膜状態で捕集するた
めの基体６が位置している。この基体６は、共通フラン
ジを介して第二下流室４ｂに取付けられて、シリンダ１
４によってスライドされるスライド軸１５先端の基体ホ
ルダー１８に取付けられている。基体６の前面にはシャ
ッター１７が位置していて、必要なときはいつでもビー
ムを遮断できるようになっている。また、基体ホルダー
１６は、超微粒子の捕集の最適温度条′件下に基体６を
加熱又は冷却でるようになっている。

尚、上流室３及び第二下流室４ｂの上下には、図示され
るように各々共通７ランジを介してガラス窓１８が取付
けられていて、内部観察ができるようになっている。ま
た１図示はされていないが、上流室３、第一下流室４ａ
及び第二下流室の前後にも各々同様のガラス窓（図中の
１８と同様）が共通フランジを介して取付けられている
。これらのガラス窓１８は、これを取外すことによって
、共通フランジを介して各種の測定装置、ロードロック
室等と付は替えができるものである。

次に、本実施例における排気系について説明する。

上流室３は、圧力調整弁１８を介してメインバルブ２０
ａに接続されている。第一下流室４ａは直接メインバル
ブ２０ａに接続されており、このメインバルブ２０ａは
真空ポンプ５ａに接続されている。第二下流室４ｂはメ
インバルブ２０ｂに接続されており、更にこのメインバ
ルブ２０ｂは真空ポンプ５ｂに接続されている。尚、２
１ａ、　２１ｂは、各々メインバルブ２０ａ、　２０ｂ
のすぐ上流側にあらびきバルブ２２ａ、　２２ｂを介し
て接続されていると共に、補助バルブ２３ａ。

２３ｂを介して真空ポンプ５ａに接続された減圧ポンプ
で、上流室３、第一下流室４ａ及び第二下流室４ｂ内の
あらびきを行うものである。尚、２４ａ〜２４ｈは、各
室３　、４ａ、　４ｂ及びポンプ５ａ、　５ｂ、　２１
ａ、　２１ｂのリーク及びパージ用バルブである。

まず、あらびきバルブ２１ａ、　２１ｂと圧力調整弁１
８を開いて、上流室３、第−及び第二下流室４ａ、　４
ｂ内のあらびきを減圧ポンプ２０ａ、　２０ｂで行う０
次いで、あらびきバルブ２１ａ、　２１ｂを閉じ、補助
バルブ２３ａ、　２３ｂ及びメインバルブ２０ａ、　２
０ｂを開いて、真空ポンプ５ａ、　５ｂで上流室３．第
−及び第二下流室４ａ、　４ｂ内を十分な真空度とする
。このとき、圧力調節弁１θの開度を調整することによ
って、上流室３より第一下流室４ａの真空度を高くし、
次にキャリアガス及び原料ガスを流し、更に第一下流室
４ａより第二下流室４ｂの真空度が高くなるよう、スキ
マー７で調整する。この調整は、メインバルブ２０ｂの
開度調整で行うこともできる。そして、超微粒子の形成
並びにそのビーム化噴射にょる成膜作業中を通じて、各
室３　、４ａ、　４ｂが一定の真空度を保つよう制御す
る。この制御は、手動でもよいが、各室３　、４ａ、　
４ｂ内の圧力を検出して、この検出圧力に基づいて圧力
調整弁１８、メインバルブ２０ａ、　２０ｂ、スキマー
７等を自動的に開閉制御することによって行ってもよい
。

上記真空度の制御は、上流室３と第一下流室４ａの真空
ポンプ５ａを各室３，４ａ毎に分けて設けて制御を行う
ようにしてもよい、しかし１本実施例のように、一台の
真空ポンプ５ａでビームの流れ方向に排気し、上流室３
と第一下流室４ａの真空度を制御するようにすると、多
少真空ポンプ５ａに脈動等があっても、両者間の圧力差
を一定に保ちやすい、従って、この差圧の変動の影響を
受けやすい流れ状態を一定に保ちやすく、これによって
温度制御も正確になる利点がある。

真空ポンプ５ａ、　５ｂによる吸引は、特に第−及び第
二下流室４ａ、　４ｂにおいては、その上方より行うこ
とが好ましい、上方から吸引を行うことによって、ビー
ムの重力による降下をある程度抑止することができる。

本実施例に係る装置は以上のようなものであるが、次の
ような変更が可能である。

まず、縮小拡大ノズル１は、上下左右への傾動や一定間
隔でのスキャン可能とすることもでき、広い範囲に亘っ
て成膜を行えるようにすることもできる。特にこの傾動
やスキャンは、第４図（Ｃ）の矩形ノズルと組合わせる
と有利である。

縮小拡大ノズルｌを石英等の絶縁体で形成し、そこにマ
イクロ波を付与して、縮小拡大ノズル１内で活性超微粒
子を形成したり、透光体で形成して紫外、赤外、レーザ
ー光等の各種の波長を持つ光を流れに照射することもで
きる。また、縮小拡大ノズルｌを複数個設けて、一度に
複数のビームを発生させることもできる。特に、複数個
の縮小拡大ノズル１を設ける場合、各々独立した上流室
３に接続しておくことによって、異なる微粒子のビーム
を同時に走行させることができ、異なる微粒子の積層又
は混合捕集や、ビーム同志を交差させることによる、異
なる微粒子同志の衝突によって、新たな微粒子を形成さ
せることも可能となる。

基体６を、上下左右に移動可能又は回転可能に保持し、
広い範囲に亘ってビームを受けられるようにすることも
できる。また、基体６をロール状に巻取って、これを順
次送り出しながらビームを受けるようにすることによっ
て、長尺の基体６に微粒子による処理を施すこともでき
る。更には、ドラム状の基体６を回転させながら微粒子
による処理を施してもよい。

本実施例では、発生室３、第一下流室４ａ及び第二下流
室４ｂで構成されているが、第二下流室４ｂを省略した
り、第二下流室の下流側に更に第三。

第四・・・・・・下流室を接続することもできる。また
、上流室３を加圧すれば、第一下流室４ａは開放系とす
ることができ、第一下流室４ａを減圧して上流室３を開
放系とすることもできる。特にオートクレーブのように
、上流室３を加圧し、第一下流室４ａ以下を減圧するこ
ともできる。

本実施例では、上流室３で活性な超微粒子を形成してい
るが、必ずしもこのような必要はなく。

別途形成した微粒子を上流室３ヘキヤリアガスと共に送
り込むようにしてもよい、また、縮小拡大ノズル１を開
閉する弁を設け、上流室３側に一時微粒子を溜めながら
、上記弁を断続的に開閉して、微粒子を得ることもでき
る。前記縮小拡大ノズル１ののど部２を含む下流側で行
うエネルギー付与と同期させて、上記弁を開閉すれば、
排気系の負担が大幅に低減されると共に、原料ガスの有
効利用を図りつつパルス状の微粒子流を得ることができ
る。尚、同一排気条件下とすれば、上述の断続的開閉の
方が、下流側を高真空に保持しやすい利点がある。断続
的開閉の場合、上流室３と縮小拡大ノズルｌの間に、微
粒子を一時溜める室を設けておいてもよい。

また、縮小拡大ノズル１を複数個直列位置に配し、各々
上流側と下流側の圧力比を調整して、ビーム速度の維持
を図ったり、各室を球形化して、デッドスペースの発生
を極力防止することもできる。

［発明の効果］ 本発明によれば、微粒子の移送のためのエネルギーを利
用して温度制御を行うことができるので、温度制御のた
めのエネルギー源を別途用意する必要がない、また、空
間的に独立した超音速のビームとして微粒子を移送する
ことができる。

従って、温度制御された微粒子をそのままの状態で捕集
位置まで確実に移送できると共に、ビームの照射面を制
御することによって、その吹き付は領域を正確に制御す
ることができる。また、ビームという集束した超高速平
行流となることや、ビーム化されるときに熱エネルギー
が運動エネルギーに変換されることを利用してビーム内
の微粒子の凍結状態を作り出せるので、これらを利用し
た新しい反応場を得ることにも大きな期待を有するもの
である。更に１本発明の流れ制御装置によれば、上記凍
結状態にできることから、流体中の分子のミクロな状態
を規定し、一つの状態からある状態への遷移を取り扱う
ことも可能である。即ち、分子の持つ各種のエネルギー
準位までも規定し、その準位に相当するエネルギーを付
与するという、新たな方式による気相の化学反応が可能
である。また、従来とは異なるエネルギー授受の場が提
供されることにより、水素結合やファンデアワールス結
合等の比較的弱い分子間力で形成される分子間化合物を
容易に生み出すこともできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の基本原理の説明図、簾２図は本発明を
超微粒子による成膜方法に利用した場合の一実施例を示
す概略図、第３図（ａ）〜（Ｃ）は各々気相励起装置の
例を示す図、第４図（ａ）〜（Ｃ）は各々縮小拡大ノズ
ルの形状例を示す図。 第５図はスキマーの説明図である。 ｌ：縮小拡大ノズル、１ａ：流入口、 １ｂ二流出口、２：のど部、３：上流室、４：下流室、
４ａ：第一下流室。 ４ｂ：第二下流室、５　、５ａ、　５ｂ：真空ポンプ、
６：基体、７：スキマー、８：ゲートバルブ、９：気相
励起装置、Ｓａ：第一電極、 ９ｂ：第二電極、１０．１０’　：切欠部。 １１、１１’　：調整板、１２：ハンドル、１３：弁体
、１４ニジリンダ、１５ニスライド軸、 １８二基体ホルダー、１７：シャッター、１８ニガラス
窓、１８：圧力調整弁、 ２０ａ、　２０ｂ：メインバルブ、 ２１ａ、　２１ｂ：減圧ポンプ、 ２２ａ、　２２ｂ：あらびきバルブ。 ２３ａ、　２３ｂ：補助バルブ、 ２４ａ〜２４ｈ：リーク及びパージ用バルブ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）流路に縮小拡大ノズルを設けて微粒子を流過させる
   ことを特徴とする微粒子流の温度制御方法。