JPS62104747A - 透明導電フイルムおよびその製法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、固体ディスプレイ、液晶ディスプレイ等に用
いられる透明導電フィルムに関するものである。

〔従来の技術〕

各種ディスプレイの透明電極に用いられる透明導電フィ
ルムには透明性、電気１機械特性に優れていることが要
求されるため、そのベースフィルムとして従来からポリ
エチレンテレフタレートが用いられており、上記透明導
電フィルムは、このポリエチレンテレフタレートフィル
ムの上に金属酸化物被膜を形成することにより製造され
ている。

〔発明が解決しようとする問題点〕 しかしながら、上記ポリエチレンテレフタレートフィル
ムは、耐熱性に欠けており１７０℃以上に加熱されると
、変形したりまた可塑剤のブルーミングによる白化現象
を生し、高温加熱処理が不可能である。したがって、こ
のフィルム上に、例えば、真空蒸着により、酸化インジ
ウム等の金属酸化物被膜を形成し、これをそのまま透明
導電性被膜とする場合、真空蒸着後の酸化処理等を充分
に行うことができないため、得られる金属酸化物被膜は
透明性に難点がある。すなわち、蒸着により生成した金
属酸化物被膜はそのままでは透明性が不充分であり、相
当過酷な条件で酸化処理することにより良好な透明性が
発現するのであるが、上記ポリエチレンテレフタレート
フィルムは、そのような過酷な熱処理に耐えられないた
め金属酸化物被膜の透明性が、未だ満足できる程度では
ない。酸化インジウム等の真空蒸着に変えて金属インジ
ウムを真空蒸着させるようにすれば、酸化インジウムの
真空蒸着のように真空藩着後高温で酸化処理する必要が
ないためポリエチレンテレフタレートフィルム等のフィ
ルムでも充分これに適合できるのであるが、この方法に
よって得られる金属酸化物被膜は、それ自体透明性に難
点があるため、未だ、充分なものとはいえない。

本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、極め
て透明性に傍れた透明導電性被膜を有する透明導電フィ
ルムおよび　その製法の提供を目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

上記の目的を達成するため、本発明は、下記の一般式（
１）ないしく　１’／　）で表される繰返し単位のうち
の少なくとも一つの繰返し単位を主成分とする無色透明
なポリイミドフィルムと、この無色透明なポリイミドフ
ィルムの表面および裏面の少なくとも一方の面に形成さ
れた透明導電性被膜とを備えていることを特徴とする透
明界雷フィルムを第１の要旨とし、 下記の一儀式（１）ないし（ＩＶ）で表される繰返し単
位のうちの少なくとも一つの繰返し１１１位を主成分と
する無色透明なポリイミドフィルムを（Ｖ備する工程と
、この無色透明なポリイミドフィルムの表面および裏面
の少なくとも一方の面に金属酸化物被膜を形成す・る工
程と、高温加熱処理によりこの金属酸化物被膜を透明導
電性被膜化する工程を備えていることを特徴とする透明
導電フィルムの製法を第２の要旨とするものである。

ｒただし、Ｘ３〜ｘｂハ、Ｉｆ　、ＣＩＩ＊、Ｃａ１ｌ
ｓ　、Ｎ（ｈ　、　Ｆ、　　）すなわら、本発明者らは
、上記透明導電フィルムのベースフィルムとして用いら
れているポリエチレンテレフタレートフィルムに変えて
、極めて耐熱性に冨むポリイミドフィルムを用いれば、
このフィルムは耐熱性に冨むため、金属酸化物被膜形成
後の熱処理に充分耐えることができ、それによって透明
性に富む透明導電性被膜を得ることができるようになる
と着想した。しかしながら、ポリイミドフィルムは、透
明性に冨んでいるものも開発されてはいるが、いずれも
、無色透明ではなく、着色透明性であり、着色の程度が
薄いものでも、淡い黄色に着色しているため、これをそ
のまま透明ｍ１Ｍフィルムのベースフィルムとして用い
ることはできない。このようなポリイミドフィルムの無
色透明化をはかつて、各種のポリイミドが提案されてい
るが、そのなかでも着色度が小さく透明度が高いポリイ
ミドフィルムとして特開昭５８−９１４３０に開示され
ている、下記の一葭式で表される繰返し単位を有する芳
香族ポリイミド重合体からなるものが優れている。しか
しながら、上記のポリイミドフィルムは透明性には優れ
ているもののやはり黄色に着色しているため、これヲ透
明Ａ’！電フィルムのベースフィルムとして用いること
はできない。

そこで、本発明者らは、ポリイミドフィルムの着色の原
因について一連の研究を重ねた結果、ポリイミドの出発
物質である芳香族テトラカルボン酸二無水物とジアミノ
化合物の組み合わせが着色に大きく影舌することをみい
だし、特にジアミノ化合物として、二個のアミノ基が相
互にメタ位に位置するか、他の置換基を基準としてアミ
ノ基がメタ位に位置する芳香族ジアミンが有効であり、
これとビフェニルテトラカルボン酸二無水物とを組み合
わせると、着色透明ではなく、無色透明なポリイミドフ
ィルムを形成しうろことをみいだし本発明に到達するに
至ったのである。

本発明の透明導電フィルムは、無色透明なポリイミドフ
ィルムと透明導電性被膜とにより構成されている。

上記無色透明なポリイミドフィルムは、一般式で表され
るビフェニルテトラカルボン酸二無水物と一般式（Ｖｌ
）ないしくＩＸ）で表される芳香族ジアミノ化合物との
反応によって得られる。

ＩＩ　ｚＮｔ　Ｘ　＋　ｔ　Ｎ１１２−−−−−−　　
（Ｖｌ　）上記ビフェニルテトラカルボン酸二無水物と
しでは、下記の３．３’　、４．４’　　−ビフェニル
テトラカルボン酸二無水物と ２．３．３″、４°　−ビフェニルテトラカルボン酸二
無水物 とがあげられる。

また、上記メタ位ｉηにアミノ基を有する芳香族ジアミ
ノ化合物のうち、−ｉ式（Ｖｌ）で表される芳香族２核
体ジアミンの代表例としては下記のものかあげられる。

３．３°　−ジアミノジフェニルエーテル３．３゛　−
ジアミノジフェニルスルホン３．３°　−ジアミノジフ
ェニルチオエーテル３．３”　−ジアミノジフェニルメ
タン３．３゛　−ジアミノヘンシフエノン また、一般式（■）で表される芳香族４核体ジアミンの
代表例としては、下記のものがあげられる。

Ｃ１（３ ｃｐ。

式（■）で表される芳香族ｌ核体ジアミンの代表例とし
ては下記のものがあげられる。

ｍ−フェニレンジアミン ２．４−トルエンジアミン ４．６−ジメチル−ｍ−フェニレンジアミン２．４−ジ
アミノメシチレン ４−クロル−ｍ−フェニレンジアミン ３．５−ジアミノ安息香酸 ５−二１−ローｍ−フェニレンジアミンまた、一般式（
ＩＸ）で表される芳香族３核体ジアミンの代表例として
は、下記のものがあげられる。

１．４−ビス（３−アミノフェノキシ）ヘンゼン１．３
−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン上記芳香族ジ
アミンンはそれぞれ単独で用いてもよいし、適宜組み合
わせて用いてもよい。

上記のようなビフェニルテトラカルボン酸二無水物とメ
タ位置にアミノ基を有する芳香族ジアミンとを組み合わ
せることにより初めて、前記一般式（１）ないしくｆＶ
）で表される繰返し単位の少なくとも一つを主成分とす
る無色透明なポリイミドフィルムが得られるのである。

ここで主成分とするとは、全体が主成分のみからなる場
合も含める趣旨である。

この場合において、無色透明なポリイミドフィルムの主
成分となる上記一般式（ｒ）ないしく■）で表される繰
返し単位の含有量が多いほど、得られるポリイミドフィ
ルムの無色透明性が高まる。しかしながら、上記の一般
式（１）ないしく■）で表される繰返し単位の少なくと
も一つの繰返し単位が、７０モル％以上含有されていれ
ば少なくともこの発明で求める無色透明性が確保される
のでその範囲内において、上記ビフェニルテトラカルボ
ン酸二無水物以外のその他の芳香族テトラカルボン酸二
無水物や、上記メタ位置にアミノ基を有する芳香族ジア
ミン以外のその他のジアミノ化合物を用いることができ
る。しかし、上記一般式（１）ないし（ＩＶ）で表され
る繰返し単位の含有量の好ましい範囲は７０モル％以上
であり、最も好ましい範囲は９５モル％以上である。

上記その他の芳香族テトラカルボン酸二無水物としては
、ピロメリット酸二無水物、３．３’。

４．４°　−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物
、４．４′−オキシシフタル酸二無水物、４゜４°　−
ビス（３，４−ジカルボキシフェノキシ）ジフェニルス
ルホンニ無水物、２，２−ビス（３，４−ジカルボキシ
フェニル）へキサフルオロプロパンニ無水’Ｊｈ、２，
３．６．７−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、１
，２，５．６−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、
■、べ、５゜８−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物
があげられ、これらはｊ作独でまたは併せて用いること
ができる。

また、その他のジアミノ化合物としては、４゜４゛−ジ
アミノジフェニルエーテル、３．４’　　−ジアミノジ
フェニルエーテル、４．４′　−ジアミノジフェニルス
ルホン、４，４゛　−ジアミノジフェニルメタン、４．
４゛　−ジアミノベンゾフェノン、４，４゛　−ジアミ
ノジフェニルプロパン、パラフェニレンジアミン、メタ
フェニレンジアミン、パラフェニレンジアミン、ヘンチ
ジン、３，３゛−ジメチルヘンジジン、４，４°　−ジ
アミノジフェニルチオエーテル、３，３°　−ジメトキ
シ−４，４°−ジアミノジフェニルメタン、３．３’−
ジメチル−４，４°　−ジアミノジフェニルメタン、２
．２−ビス（４−アミノフェニル）プロパン、２，２−
ビス（４−（４−アミノフェノキシ）フェニル〕−へキ
サフルオロプロパン、１．３−ビス（アミノフェノキシ
）ベンゼンがあげられ、単独でもしくは併せて用いるこ
とができる。

本発明に用いる無色透明なポリイミドフィルムは、上記
の芳香族テトラカルボン酸二無水物およびジアミノ化合
物を有機極性溶媒中において、８０　’ｃ以下の温度で
重合させることによりポリアミド酸溶液をつくり、これ
をガラス板、ステンレス板等の鏡面に、そのポリアミド
酸溶液が、一定のｊ￥みになるように流延し、１ｏｏ〜
３００度の温度で徐々に加熱して脱水閉環させ、ポリア
ミド酸をイミド化することにより得ることができる。ポ
リアミド酸溶液からフィルム形成における有機極性溶媒
の除去およびポリアミド酸のイミド化の加熱は、連続し
て行ってもよく、また、これらの工程を減圧下もしくは
不活性ガス雰囲気中で行ってもよい。さらに短時間であ
れば４００°Ｃ前後まで最終的に加熱することにより生
成ポリイミドフィルムの特性を向上させることができる
。また、ポリイミドフィルム形成の他の方法は、上記の
ポリアミド酸溶液をガラス板上等に流延して１００〜１
５０℃で３０〜１２０分加熱乾燥して皮膜を形成し、ご
の皮膜をピリジンと無水酢酸のベンゼン溶液等に浸漬し
て脱溶剤とイミド化反応を行い、上記皮膜をポリイミド
フィルムとする方法であり、この方法によってもポリイ
ミドフィルムを得ることができる。

上記の有機極性溶媒としては、ジメチルホルムアミド、
ジメチルアセトアミド、ジグライム、クレゾール、ハロ
ゲン化フェノール等が好適である。特にジメチルアセト
アミドが好ましい。これらの有機極性溶媒は単独で用い
てもよいし、２種以上を混合して用いても支障はない。

ただし、上記有機極性溶媒としてＮ−メチル−２−ピロ
ツドンを用いることは好ましくない。Ｎ−メチル−２−
ピロリドンは、ポリアミド酸溶液の賦形体を加熱し、脱
水閉環してポリイミド化する際の加熱ムこよって一部分
解し、その分解物が残存して黒褐色を呈するようになり
、これが生成ポリイミドフィルムを黄褐色に着色するよ
うになるからである。したがって、Ｎ−メチル−２−ピ
ロリドンを使用する場合には、ぞの使用量を有機極性溶
媒中の５重量％以下にとどめることが好適である。

有機極性溶媒として、上記に例示した各溶媒は、沸点が
低いため、上記の加熱によって分解する前に揮散してし
まい、Ｎ−メチル−２−ピロリドンのようなポリイミド
フィルムに対する着色を生じない。しかしながら、重合
溶媒としてＮ−メチル−２−ピロリドンを用い、ポリア
ミド酸合成後、溶媒置換により、上記例示の好適な溶媒
に生成ポリアミド酸を溶解するようにすれば、Ｎ−メチ
ル−２−ピロリドンの上記弊害を排除しうる。この場合
、上記例示の好適な溶媒は希釈溶媒となる。上記ポリイ
ミドフィルムの製造に際しては、このように、重合溶媒
と希釈溶媒とを別種のものにし溶媒置換によって生成ポ
リアミド−酸を希釈溶媒にｌ容解するようにしてもよい
のである。

なお、上記に例示した好適な有機極性溶媒を使用する際
に、上記溶媒に、エタノール、トルエン、ヘンゼン、キ
シレン、ジオキサン、テトラヒＦロフラン、二１−ロベ
ンゼン等の、透明性を崩なわない貧溶媒または良溶媒を
、溶解性を損なわない範囲内において一種もしくは二種
以上適宜混合して用いてもよい。これらの溶媒は、全行
ａ極性ン容媒中に２５〜３０重量％の割合まで使用する
ことができる。

上記のようにして、無色透明なポリイミドフィルムを製
造する際に、ポリアミド酸？８液の対数粘度ＣＮ−ｊ−
ｆ−ルー２−ピロリＦ’　７中０．５ｇ／１００　ｍ　
７！の濃度で３０　’ｃで測定）は０．３〜５．０の範
囲にあることが好ましい。より好適なのは０．４〜２．
０である。この対数粘度が低すぎると、得られるポリイ
ミドフィルｌ、の機械的強度が低（なるため好ましくな
い。また、対数粘度が高すぎると、ポリアミドｌ！１２
溶液を適当な形状に■１（形する際に流延させにく（作
業が困難となるため好ましくない。また、ポリアミド酸
溶液の濃度も、作業性等の見地から、５〜３０重量％、
好ましくは１５〜２５重量％に設定することが好ましい
のである。

上記対数粘度はつき゛の式で計算されるものであり、式
中の粘度は毛細管粘度計により測定されるものである。

以上のようにして、ポリアミド酸溶液をイミド化してポ
リイミドとする場合において、生成ポリイミドは、特性
の点から対数粘度（９７％硫酸中０．５ｇ／ｄｌの濃度
で３０°Ｃのもとて測定）を０．３〜４．０の範囲内に
設定することが好ましい。最も好ましいのは０．４以上
である。

このようにして得られたポリイミドフィルムは、従来の
フィルムとは全く異なり、着色透明ではなく無色透明で
あって極めて透明度が高いものである。なお、この発明
において、ポリイミドフィルムが無色透明とは、膜厚５
０±５μｍのポリイミドフィルムに対する可視光線（５
００ｎｍ）ｉ３過率が７０％以上であって黄色度（イエ
ローネスインデックス）が４０以下のもののことをいう
。

透明４電性被膜は、上記のような、無色透明なポリイミ
ドフィルムの表面および裏面の少なくとも一面に形成さ
れるものであり、通常、金属酸化物被膜により構成され
る。ごのような金属酸化物被１模の形成方法としては、
２．１Ｈ１ｉ　類の方法がある。

第１の方法は、Ｉｎ２Ｏ３、５ｎＯｚ、　ＺｎＯ等の金
属酸化物もしくはこれらを任意に組み合わせた混合物を
真空蒸着、スパッタリング、イオンブレーティング等に
よる気相蒸着、化学蒸着をするか、もしくは、上記金属
酸化物の粉体を適切なコーティング剤に分散させたもの
を塗布する方法である。例えば、エレクトロンヒームガ
ンによる真空ｊ２：、着法。

反応性スパッタリングにより金属ターゲットからスパッ
クされた粒子を酸素ガスによ／）酸化させて金属酸化１
模を１１ｈる方法等があげられる。

第２の方法は、未発明音らが、上記金屈酸化物被ｎｇの
透明性等の向上をはかるための研究の過程でみいだされ
た方法であり、上記のような金属酸化物被膜を１７０°
Ｃ以上の高温で比較的短時間加熱処理することにより、
透明性、耐熱性を向上させる方法である。この方法は、
一般にネサガラスといわれるガラス基材の製造に発想の
基礎をおくものである。すなわち、ネリ・ガラスの製造
工程では、３００〜４００℃の高温加熱を行うことによ
り金属酸化吻被１模の形成を行い、それによって、イ■
れた透明性と耐熱性とを得るものである。このような技
術の応用は、ポリエチレンテレフタレートフィルムのよ
うな耐熱性を備えていないフィルムをベースフィルムと
して用いる限り、実現不可能なのであるが、本発明では
、ベースフィルムとして極めて耐熱性に優れたポリイミ
ドの透明フィルムを用いるため、これの実現を可能とし
たのである。その具体的な方法の一例として、真空蒸着
もしくはスパッタリングにより、酸化インジウム、酸化
スズの混合体被膜を、化学量論による量よりも酸化度を
小さくシ（透明性のない、いわゆる無ネサの状態で作製
し）これを１７０℃以上の高温で、比較的、短時間加熱
するという方法があげられる。この方法は、上記のよう
に高温で熱処理することができることから、熱処理時間
を短くできるようになり、長尺物の連続処理が容易にな
るうえ、加熱処理を行わない方法に比較して透明性およ
び耐熱性の向上効果が著しくなる。

なお、透明導電性被膜としては、上記のような金属酸化
物被膜によるものに限定されるものではなく、パラジウ
ム、金車体で形成したものも含まれる。

このようにして優れた特性を備えた無色透明な導電フィ
ルムが得られる。ここで導電フィルムが無色透明とは、
イエローネスインデックスが４５以下で、可視光線（５
００ｎｍ）透過率が７０％以上のことをいう。

〔発明の効果〕

以上のように、本発明の透明導電フィルムは、ベースフ
ィルムとして無色透明なポリイミドフィルムを用い、こ
れに透明導電性被膜を形成して構成されているため、ベ
ースフィルムの耐熱性が極めで大であり、したがって、
その製造に際して、高温加熱に耐えられるようになり、
透明導電性被膜の形成が容易になるというような利点を
有するうえ、透明導電フィルム自体が耐熱性２機械的特
性等に優れているのである。したがって、ディスプレイ
の透明電極、太陽電池のベースフィルム基材、透明電磁
波シールド材等として用いた場合、優れた透明性と耐熱
性を示し、また優れた長期耐久性を呈するようになる。

また、本発明の方法によれば、上記透明導電性被１模の
形成を、金属酸化物被膜を高温加熱処理することにより
行うため、極めて透明性に富み、しかも耐熱性に優れた
透明導電性被膜を形成することができ、ベースフィルム
の耐熱性とともに、透明４電フィルム全体の耐［熱性を
著しく高めることができるという効果を奏′： する。

［つぎに、実施例について比較例と併せて説明する。

なお、後記の表において、５−ＢＰＤＡは３゜３’　、
４．４’　　−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、
ａ−ＢＰＤＡは２．　３．　３’　、　　４’　　−ビ
フェニルテトラカルボン酸二無水物、Ｐ　Ｍ　Ｄ　Ａは
ピロメリット酸二無水物、３．３’　　−ＢＡＰＳは４
．４゛−ジ（３−アミノフェノキシ）ジフェニルスルボ
ン、３．−３°−ＢＡＰＰは４．４′　　−ジ（３−ア
ミノフェノキシ）ジフェニルプロパン、３．３°−ＢＡ
［ンＦは４．４“−ジ（３−アミノフェノキシ）ジフェ
ニルへキサフルオロプロパン、４．４”−ＤＤＥは４，
４°　−ジアミノジフェニルエーテル、４，４”　−Ｂ
ＡＰＰは４．４°　−ジ（４−アミノフェノキシ）ジフ
ェニルプロパン、３，３“−ＤＤＥは３，３°　−ジア
ミノジフェニルエーテル、３．３”−ＤＤＳは３，３゛
　　−ジアミノジフェニルスルポン、３，３°　−ＤＤ
Ｍは３．３′−ジアミノジフェニルメタン、３．３”−
ＤＳＰは３３３″　−ジアミノジフェニルチオエーテル
、３．３’−ＤＢＰは３，３゛　−ジアミノヘンヅフエ
ノン、ＤＭＡｃはジメチルアセトアミド、Ｎ　Ｍ　Ｐば
Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ｄｉａｌｙｍｅはビス（
２−メトキシエチル）エーテルを示す。

〔実施例１〜４１．比較例１〜３〕 １１のセパラブルフラスコに後記の表に示す溶媒とジア
ミノ化合物を入れてジアミノ化合物が完全に溶解するま
で室温でよく混合した。この場合、上記溶媒の使用量は
、上記ジアミノ化合物および後記の第１表に示す芳香族
テトラカルボン酸二無水物の七ツマー仕込み濃度が２０
重世％となるように設定した。

つぎに、上記フラスコ中に同表に示す芳香族テトラカル
ボン酸二無水物を、発熱による温度の上昇を抑制しなが
ら徐々に添加した。ついで室温で４時間撹拌しながら反
応させ、後記の表に示す対数粘度をもつポリアミド酸の
溶液を得た。

上記のようにして得られたポリアミド酸の溶液をガラス
板上に流延して皮膜を形成し、この皮膜を熱風乾燥機中
１２０℃で６０分間、さらに１８０°Ｃで６０分間、つ
いで２５０℃で６時間加熱してイミド化させることによ
り厚み５０±５μｍのポリイミドフィルムをつくった。

なお、上記フィルムについて赤外線吸収スペクトルを測
定したところ、アミド酸の特有の吸収はみられず、１７
８Ｑｃｍ−’付近にイミド基の特性吸収がみられた。

つぎに、反応性マグネトロンスパッタ法を用いて、上記
のようにして得られたポリイミドフィルムの片面に、透
明導電性被膜を形成した。すなわち、スパッタ装置の基
板側に、上記ポリイミドフィルムを取りつけ、スパッタ
電極上に金属Ｉｎ９０重量％と５ｎｌＯ重量％とからな
る合金ターゲットを装着した。そして、１Ｏ−３ｐａま
で真空引きを行ったのら、アルゴンガスを１００ＣＣＺ
分、酸素ガスを１５ＣＣ／分流入させて、４　Ｘ　１０
−’　ｐａに保った。つぎに、上記スパッタ電極に直流
電圧４００Ｖを印加してグロー放電させ、３０秒間スパ
ッタリングを行うことにより、ポリイミドフィルム上に
酸化Ｉｎと酸化Ｓｎとからなる透明導電性被膜を形成し
た。この透明導電性被膜は、３００Ω／Ｕの表面電気抵
抗を示した。このようにして得られた透明導電フィルム
のイエローネスインデツクスを測定するとともに、可視
光線（５００ｎｍ）における透過率を測定し、後記の第
１表に示した。

（以下余白） 第１表において、実施例１〜９はメタ位置にアミノ基を
有するジアミノ化合物として芳香族２核体ジアミンを使
用した例を示しており、実施例１０〜１８は上記ジアミ
ノ化合物として芳香族４核休ジアミンを使用した例を示
している。また、実施例１９〜２２は上記芳香族２核体
ジアミンおよび芳香族４核体ジアミンを併用した例を示
している。

第１表から明らかなように、実施例１〜２２の透明導電
フィルムは、イエローネスインデックスか４５以下であ
り、かつ透過率が７０％以上であって無色透明であるこ
とがわかる。これに対して比較例１　（特開昭５８−９
１４３０号のもの）ではジアミノ化合物として、メタ位
置にアミノ基ををするものではなく、パラ位置にアミン
基を有するものを用いているため、ポリイミドフィルム
が黄色に着色しており、したがって、得られる透明卵重
フィルムのイエローネスインデックスおよびｊＬ通過率
実施例のものよりも劣っている。また、比１校例２でも
比較例１と同様にメタ位置にアミン基を有するジアミノ
化合物を用いず、パラ位置にアミノ基を有するジアミノ
化合物を用いてつくられたポリイミドフィルムを用いて
いるため、得られる透明導電フィルムのイエローネスイ
ンデックスおよび透過率の双方がかなり悪くなっている
。

さらに比較例３は溶媒としてＮ−メチル−２−ピロリド
ンを用いて得られた黄褐色着色ポリイミドフィルムを用
いているため、得られる透明導電フィルムのイエローネ
スインデックスおよび透過率が、著しく悪いことがわか
る。

また、第２表において、実施例２３ないし３０は、メタ
位置にジアミノ基を有するジアミノ化合物として、芳香
族１核体ジアミンを使用したポリイミドフィルムを用い
てつくられた透明導電フィルムを示しており、実施例３
１ないし３６は、上記ジアミノ化合物として、芳香族３
核体ジアミンを使用して得られたポリイミドフィルムを
用いてつくられた透明導電フィルムを示している。さら
に、実施例３７ないし４１は、上記芳香族１．　３核体
ジアミンと芳香族２核体ジアミンとを併用して得られた
ポリイミドを用いてつくられた透明卵重フィルムを示し
ている。なお、第２表において、比較例１ないし３は、
第１表に示した比較例１ないし３と同様である。上記実
施例と比較例との対比から明らかなように、実施例で得
られた透明導電フィルムは、比較例で得られたものに比
べて、イエローネスインデックスが低く、透過率が高く
、無色透明性に冨んでいるごとがわかる。

〔実施例４２．４３） 実施例１および実施例２３で得られたポリイミドフィル
ムを用い、これに、実施例１と同様にして、酸化Ｉｎと
酸化Ｓｎとからなる被膜を形成した。

このとき、スパッタリング時間を１５秒間に短縮した。

そして、上記のようにして形成された被膜付のポリイミ
ドフィルムを２．００℃の乾燥機の中に入れて、１時間
高温加熱して処理し、目的とする透明導電フィルムを得
た。このようにして得られた透明ぷ電フィルムの抵抗値
は、５５０Ω１０であった。このようにして得られた透
明導電フィルムの透過率と耐熱性を測定し、その結果を
実施例１および実施例２３を対照として、第３表に示し
た。

＊　１５０℃ｘＩｈ後のＲ／Ｒ０（抵抗変化）第３表か
ら明らかなように、金属酸化物被膜を温加熱処理するこ
とにより、その透明性および耐熱性の向上がみられるこ
とがわかる。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）下記の一般式（ I ）ないし（IV）で表される繰
   返し単位のうちの少なくとも一つの繰返し単位を主成分
   とする無色透明なポリイミドフィルムと、この無色透明
   なポリイミドフィルムの表面および裏面の少なくとも一
   方の面に形成された透明導電性被膜とを備えていること
   を特徴とする透明導電フィルム。 ▲数式、化学式、表等があります▼・・・（ I ） 〔ただし、式（ I ）においてＸ＿１はＯ、ＳＯ＿２、
   ＣＨ＿２またはＣＯである。〕 ▲数式、化学式、表等があります▼・・・（II） 〔ただし、式（II）において、Ｘ＿２はＳＯ＿２、Ｃ（
   ＣＨ＿３）＿２またはＣ（ＣＦ＿３）＿２である。〕▲
   数式、化学式、表等があります▼・・・（III） 〔ただし、Ｘ＿３〜Ｘ＿６は、Ｈ、ＣＨ＿３、Ｃ＿２Ｈ
   ＿５、ＮＯ＿２、Ｆ、ＣｌまたはＣＯＯＨであり、互い
   に同じであつても異なつていてもよい。〕 ▲数式、化学式、表等があります▼（IV）
2. （２）下記の一般式（ I ）ないし（IV）で表される繰
   返し単位のうちの少なくとも一つの繰返し単位を主成分
   とする無色透明なポリイミドフィルムを準備する工程と
   、この無色透明なポリイミドフィルムの表面および裏面
   の少なくとも一方の面に金属酸化物被膜を形成する工程
   と、高温加熱処理によりこの金属酸化物被膜を透明導電
   性被膜化する工程を備えていることを特徴とする透明導
   電フィルムの製法。 ▲数式、化学式、表等があります▼・・・（ I ） 〔ただし、式（ I ）においてＸ＿１はＯ、ＳＯ＿２、
   ＣＨ＿２またはＣＯである。〕 ▲数式、化学式、表等があります▼・・・（II） 〔ただし、式（II）において、Ｘ＿２はＳＯ＿２、Ｃ（
   ＣＨ＿３）＿２またはＣ（ＣＦ＿３）＿２である。〕▲
   数式、化学式、表等があります▼・・・（III） ただし、Ｘ＿３〜Ｘ＿６は、Ｈ、ＣＨ＿３、Ｃ＿２Ｈ＿
   ５、ＮＯ＿２、Ｆ、ＣｌまたはＣＯＯＨであり、互いに
   同じであつても異なつていてもよい。 ▲数式、化学式、表等があります▼・・・（IV）