JPS6159418A - 回転多面鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、レーザー走査系光学装置等に用いられる回転
多面鏡に関し、くわしくは多数の回転多面鏡を、これら
の装置への取付は部分を有する面を介して互いに重ね合
せても、取付は部分が互いに接触することなかなく、取
付は部分の接触によりこの部分にキズなどが発生するの
を防＋ｈすることのできる構造を有する回転多面鏡に関
する。

〔従来の技術〕

回転多面鏡は、レーザー走査系光学装置等に装着され、
レーザービームの進路を変換させて、レーザービームを
受光面上に走査させるこのなどに用いられるものであり
、代表的には光学ガラスあるいはアルミニウム等の金属
からなる。断面が正多角形からなる角柱形状の基材の側
面を、研磨あるいは精密切削し１反射鏡面として形成し
たものが知られている。

このような回転多面鏡は、通常、第３図（ａ）に示すよ
うに、共に平面として、あるいは第３図（ｂ）に示すよ
うに共に凸部を有して形成されていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、上記のような構造の回転多面鏡に於いて
は、その製造時に、あるいは保存、運搬時に、その多数
個を上面と下面を介して互いに重ね合わせた場合に、重
ね合わされた２つの面の間にゴミなどが挾まれた場合の
重ね合わせ面に於けるキズの発生や、重ね合わされた２
つの面が互いにこすり合わされた場合の重ね合わせ面に
於けるキズの発生が起り易いと言う問題があり、特に第
４図に示すように回転多面鏡の上面と下面を基準面とし
て走査装置の走査モーター１１に取付ける際に、上記の
ようなキズが発走査装置への回転多面鏡の取付けの部分
、すなわち取付部材１４．１５に挟持ごれる部分に生じ
ていると、走査面倒れ精度を悪くすると言う問題があり
上記のようなキズの発生を防止することが必要となって
いた。

また、上記のような構造の回転多面鏡に於いては、鏡面
にＡ１、Ｃｕ、Ａｕ、　Ａｇ、　５ｉ０２．　ＭｇＦ２
．　Ａｌ２Ｏ３等の蒸着によって鏡面の保護及び／また
は増反射の機能を有する被膜を形成する場合、第５図に
示すように多数個の回転多面鏡を蒸着治具シャフト１０
にセットレ、これらに同時に蒸着を行なう際に、各回転
多面鏡開での前記したようなキズの発生や、蒸着物質の
つきまわりを防止するために、個々の回転多面鏡間にス
ペーサー１７を配置しなければならず５蒸着槽内のスペ
ースに対して、１回の蒸着工程に使用できる基材の数に
限界があった。

本発明の目的は、多数の回転多面鏡を、これらの装置へ
の取付は部分を有する面を介して互いに重ね合せても、
取付は部分が互いに接触することなかなく、取付は部分
の接触によりこの部分にキズなどが発生するのを防止す
ることのできる構造を有する回転多面鏡を提供すること
にある。

〔問題点を解決する手段〕

上記の目的は、以下の本発明によって達成することがで
きる。

すなわち、本発明の回転多面鏡は、その側面の少なくと
も１つ以」二に反射鏡面が設けられ、その上面及び下面
に走査装置の取付部材によって挟持される部分を有して
なる多角柱からなるビーム走査装置用回転多面鏡に於い
て、前記多角柱の上面に設けられた凹部と、前記多角柱
の下面に、前記凹部のよりも大きく設けられた凸部とを
有し、かつ少なくとも前記凹部低面に前記走査装置の取
付部材との密着面を有するものであることを特徴とする
。

以下、本発明の回転多面鏡を図面を用いて更に詳細に説
明する。

第１図は本発明の回転多面鏡の一例であり、第１図（ａ
）は、その平面図であり、第１図（ｂ）は。

第１図（ａ）に於けるＡ−Ｂ線での切断断面図、そして
第２図は、本発明の回転多面鏡の蒸着治具シャフトへの
装着例である。

２は正六角柱の側面に設けられた反射鏡面であり、３は
上面５に設けられた凹部、４は下面６に設けられた凸部
、７は取付ネジ用穴、８は走査装置の回転駆動軸に挿入
するための貫通孔、９は走査装置の取付部材と密着する
範囲を示したものである。

凹部３は、六角柱の中心軸と同軸の円形状に設けられて
おり、その底面３ａは第４図に示した取付部材１４．１
５に相当する形状及び大きさとされている。

凸部４は、六角柱の中心軸と同軸の円形状に設けられて
おり、その径は、前記凹部よりも大きく設けられている
。

このように１本発明の回転多面鏡に於いては、凹部の底
面が少なくとも走査装置の取付部材１４．１５に相当す
る形状及び大きさとされ、かつ凸部４は、この回転多面
鏡の複数を上面及び下面を介して互いに重なり合わせた
際に、１つの回転多面鏡の上面に設けられた凹部の底面
３ａが他の回転多面鏡の有する下面に設けられた凸部の
上面と接触しないような形状、大きさ及び深さとして設
けられる。

従って、本発明の回転多面鏡の凹部及び凸部は、上記の
ような要件を満たすものであればどのような形状及び大
きさでも良いが、回転多面鏡の回転時でのバランスある
いは加工性等を考慮すると、正六角柱の中心軸に対称な
例えば円、正多角形等の形状が好都合である。また、凹
部及び凸部は、その段差部分を数段に設けたり、同−深
さの凹部をあるいは同一高さの凸部を複数個それぞれ設
けても良い。

なお、第１図示した本発明の一例に於いては、回転多面
鏡が正六各柱状の形状を有するものであったが、もちろ
ん本発明回転多面鏡は、これに限られず、所望に応じた
種々の形状であっても良い。

〔発明の効果〕

以上説明したような構造の本発明の回転多面鏡に於いて
は、多数の回転多面鏡を、その上面と下面を介して重ね
合わせた時に、これらの面に設けられた凹部及び凸部に
よって、これらの面にある走査装置の取付部材によって
挟持される部分が、互いに接触することがなく、この部
分でのキズの発生を防ｆにすることができ、走査装置へ
の制度良いに取付が常に可能となった。

また、このように互いに直接重ね合わせることができ、
更に互いに重ね合わせた場合に、複数の回転多面鏡の有
する反射鏡面同士が互いに接触することがないので、反
射鏡面に保護及び増反対の目的−ｔ”Ａ１．　Ｃｕ、　
Ａｕ、　Ａｇ、　５ｉ０２、ＭｇＦ２、Ａｌ２Ｏ３等を
蒸着する場合に、先に説明した従来の回転多面鏡のよう
に、スペーサーを介して蒸着治具シャフト１０にセット
する必要がなく、第２図に示したように蒸着治具シャツ
）１０に複数の回転多面鏡を互いの直接重するようにセ
ットすることができ、蒸着槽内での回転多面鏡の収容個
数が増大し、生産能率を向」ニさせることができた。

更に、本発明の回転多面鏡は、キズを発生させることな
く、上記のように複数の回転多面鏡を互いに重ね合わせ
ることができるので、超精密切削加工や研磨加工による
鏡面の形成時に、その多数個を重ね合わせた状態で処理
でき、生産効率を更に向」ニさせることが可能となった
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の回転多面鏡の一例であり、第１図（ａ
）はその平面図、第１図（ｂ）は第１図ｈ）に於けるＡ
−Ｂ＆ｌでの切断断面図、８８２図は本発明の回転多面
鏡を蒸着治具にセットした状態を示　す模式的断面図、
第３図は従来の回転多面鏡の模式的断面図、第４図は回
転多面鏡の走査装置への設置状態を示すための概略図、
第５図は従来の回転多面鏡蒸着治具にセットした状態を
示す模式的断面図である。 に本発明の回転多面鏡　　２：反射鏡面３：凹部　　　
　　　　　　３ａ：凹部の底部４：凸部　　　　　　　
　　５：上面 ６：下面　　　　　　　　７：ネジ六 ８：貫通孔 ９：取付部材との密着範囲 １０：蒸着治具シャフト１に走査モーター１２：回転駆
動軸　　　　　　１３：取付用ネジ１４．１５：取付部
材　　　１６．１８：回転多面鏡１７：スペーサー （ａ）　　　　　　　　　　　　　　（ｂ）第１図 第　　２　　図 ２丁Ｔ乙　ｅ丁τＤ （ａ）　　　　　　（ｂ） 第　　３　　図 第　　４　　図 第５図 手続補正書（自発） 昭和５９年１１月　２日

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）側面の少なくとも１つ以上に反射鏡面が設けられ、
   上面及び下面に走査装置の取付部材によつて挟持される
   部分を有してなる多角柱からなるビーム走査装置用回転
   多面鏡に於いて、前記多角柱の上面に設けられた凹部と
   、前記多角柱の下面に、前記凹部よりも大きく設けられ
   た凸部とを有し、かつ少なくとも前記凹部低面に前記走
   査装置の取付部材との密着面を有するものであることを
   特徴とする回転多面鏡。