JPS6159414A - 回転多面鏡及びその製造方法 - Google Patents

回転多面鏡及びその製造方法

Info

Publication number
JPS6159414A
JPS6159414A JP59180492A JP18049284A JPS6159414A JP S6159414 A JPS6159414 A JP S6159414A JP 59180492 A JP59180492 A JP 59180492A JP 18049284 A JP18049284 A JP 18049284A JP S6159414 A JPS6159414 A JP S6159414A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mirror surface
base material
reflective mirror
polygon mirror
aluminum
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP59180492A
Other languages
English (en)
Inventor
Kimio Takahashi
公夫 高橋
Norihisa Saito
斎藤 憲久
Kunio Takada
高田 国夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP59180492A priority Critical patent/JPS6159414A/ja
Priority to US06/768,219 priority patent/US4826271A/en
Publication of JPS6159414A publication Critical patent/JPS6159414A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/08Mirrors
    • G02B5/09Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、レザー走査系光学装置などに用いられる回転
多面鏡の製造方法に関する。
〔従来の技術〕
回転多面鏡は、レーザー走査系光学装置などに装着され
、例えばレーザービームの進路を変換させて、レーザー
ビームを受光面一ヒに走査させることなどに用られるも
のであり、代表的には、例えば断面が正六角形状などの
正多角形からなる角柱部材の側面を反射鏡面として形成
した構造のものが知られている。
このような回転多面鏡は、従来、光学ガラス部材を、正
多角柱状に研削、研磨等の工程によって成形し、更に、
多角柱の側面を研磨処理して反射鏡面を形成する方法、
あるいはアルミニウム合金等の金属材料からなる部材を
断面が正多角形状である角柱状に切削成形し、ダイヤモ
ンド切削工具を用いて、側面を超精密切削して反射鏡面
を形成する方法によって製造されてきた。
しかしながら、」−記の方法による回転多面鏡の製造に
於いては、光学ガラスあるいは金属材料部材からの切削
等の工程による角柱状基材の成形及び研磨や切削処理に
よる精度良い反射鏡面の形成に多大な労力、時間及び高
度な技術が必要とされ、特に反射鏡面以外の部分を複雑
な形状に成形するには、より複雑で高度な工程が必要と
され、製造コストが高くなるという問題があった。
〔発明が解決しようとする問題点〕
本発明の目的は、低い製造コストで簡易に形成すること
のできる回転多面鏡及びその製造方法を提供することに
ある。
本発明の他の目的は、反射鏡面以外の部分が複雑な回転
多面鏡をも低い製造コストで簡易に形成可能な方法を提
供することにある。
〔問題点を解決する手段〕
」−記の目的は、以下の本発明の方法により達成するこ
とができる。
すなわち、本発明は、側面の1つ以上に反射鏡面が設け
られてなる多角柱形状部分を有する回転多面鏡に於いて
、アルミニウム若しくはアルミニウム合金材料を型によ
って成形した多角柱形状部分を有する基材と、該多角柱
形状部分の有する1つ以」−の側面−Lに設けられ、そ
の表面が切削加工され反射鏡面が形成された金属被膜と
、該反射鏡面−1−に設けられた増反射膜及び/または
保護膜として機能する被膜とを有するものであることを
特徴とする回転多面鏡、及びアルミニウム若しくはアル
ミニウム合金材料を、型を用いた成形法により多角柱形
状部分を有する基材に成形する過程と、前記基材の少な
くとも反射鏡面が形成される部分に一層若しくは多層構
造の金属被膜を形成する過程と、該金属被膜の少なくと
も反射鏡面を形成する部分を、該被膜が完全に基材から
除去されない程度に精密切削して反射鏡面を形成する過
程と、該反射鏡面上に増反射膜及び/または保護膜とし
て機能する被膜を設ける過程とを有することを特徴とす
る回転多面鏡の製造方法である。
以下、本発明を、正六角柱状の形状を有する回転多面鏡
をその一例として図面に従って更に詳細に説明する。
第1図は、本発明の回転多面鏡であり、第1図(a)は
その平面図、第1図(b)は第1図(a)に於けるA−
B線での切断断面図である。
■は基材であり、正六角柱状の形状を有し、その中心に
は、正六角形の中心軸と同軸の回転多面鏡を回転駆動軸
に設置するための貫通孔4が設けられている。
この基材1は、アルミニウム若しくはアルミニウム合金
材料を用いた型による成形法によって成形されている。
2は金属被膜であり、例えばA1、Gu、 Ni、 A
g。
Au等の金属からなり、該被膜のうち角柱の側面に設け
られている部分2aの表面は切削処理が行なわれており
、形成される回転多面鏡に必要とされる反射鏡面として
の面精度が付与されている。
3は、反射鏡面2a上に設けられた増反射膜及び/また
は保護膜として機能する被膜であり、前記その表面が切
削処理されている金属被膜上に少なくとも設けられてい
る。
このような構造の本発明の回転多面鏡は、以下のように
して製造することができる。
まず、第1図に示したような正六角柱状の形状を有する
基材lが、アルミニウム若しくはアルミニウム合金材料
を用いたダイカスティング、圧縮成形法、射出成形法等
の型を用いた成形法により成形される。
この基材1の成形に使用することのできる材料は、上記
したようなダイカスティング、圧縮成形法、射出成形法
等の型による成形法によって成形可能なアルミニウム材
料またはアルミニウム合金材料であり、具体的には、A
[1C10,A1070 、A30E11等のアルミニ
ウム材料及びアルミニウム合金を挙げることができる。
基材1を成形する際には、これらのなかから、形成され
る回転多面鏡に要求される強度1回転多面鏡の用途、あ
るいは以後に述べる金属被膜として使用される材料との
マツチング等に応じて適宜選択し、基材1成形用材料と
すれば良い。
このように本発明の方法に於いては、アルミニウム若し
くはアルミニウム合金材料を用いたダイカスティング、
圧縮成形法、射出成形法等の型を用いた成形法により、
基材lを成形するので、基材1を容易に所望の形状とす
ることができ、特に、反射鏡面が形成される部分以外の
部分が複雑な形状を有する基材であっても容易に形成可
能となった。
次に、このようにして成形された基材lの少なくとも反
射鏡面が形成される部分1aに、金属材料からなる被膜
2が第1図に示したように形成される。なお、第1図に
示した例に於いては、基材1の側面及び底面にも金属被
膜が形成されており、このように基材の底面にも金属被
膜を設けることにより、基材の強度を補強することがで
きる。
本発明の方法に於ける被膜の形成に使用することのでき
る金属材料としては、前記したアルミニウム若しくはア
ルミニウム合金材料からなる基材−1二に連続被膜を形
成することができ、以後に行なわれる超精密ダイヤモン
ド切削に適合し、該切削工程によらて精度良い反射鏡面
を形成できるものならばどのようなものも使用可能であ
り、例えばA1、Cu、 Ni、 Ag、 Au等の金
属材料を挙げることができる。
なお、」−記金属材料のなかから、基材1を構成してい
る材料に応じて適宜選択して、基材1の硬度や強度を補
強することもできる。
本発明の方法に於いて形成される金属被膜は。
一層からなる構成でも良いし、多層からなる構成でも良
い。多層からなる構成の場合には、各層か同一の材料か
ら構成されていても良いし、また各層のうち少なくとも
一層が、他の層と異なる材料から構成されているもので
あっても良く、多層構造とする場合には、構成材料を適
宜選択することにより、基材と金属被膜と以後に形成す
る保護層との密着強度を高めたり、基材の硬度や強度を
補強することもできる。
本発明の方法に於いて、金属被膜を形成するには、前記
した金属材料を用いて、化学メッキ法、電気メツキ法、
蒸着法等の方法によって、所望の構成の金属被膜を基材
1の少なくとも反射鏡面が形成される部分に形成するこ
とができ、その表面に反射鏡面が形成される金属被膜の
膜厚は、以後に行なわれる超精密切削により被膜表面に
反射鏡面を形成するのに十分な厚さとされ、通常50μ
〜100膵程度とされる。
このようにして、形成された金属被膜の反射鏡面に成形
される面には、金属被膜2が1層からなる場合には該金
属被膜が完全に基材1から除去されない範囲内で、ある
いは金属被膜2が2層以上の多層構造の場合には最表面
の1層の被膜が基材1上から除去されない範囲内で、ダ
イヤモンド工具等を用いた超精密切削処理が行なわれ、
反射鏡面2aが形成される。
本発明の方法に於いては、最後に上記のようにして形成
された反射鏡面」二に該反射鏡面の反射機能を高めたり
、反射鏡面を保護する機能を有する被膜3が形成され、
第1図に示すような回転多面鏡を得ることができる。
上記被膜3の形成には、A1. Ou、 Au、 Ag
、5i02、MgF2、Al2O3等の材料を用いた、
蒸着法。
スパッタリング法等の薄膜形成法を好適に適用すること
ができる。
以」二のような本発明の方法によれば、主に、アルミニ
ウム若しくはアルミニウム合金材料を用いたダイカステ
ィング、圧縮成形法、射出成形法等の型による成形法に
より、基材が成形され、更に大村上の所定部分に金属材
料からなる被膜を形成し、該被膜を超精密切削して反射
鏡面を形成するために、従来のガラス材料や金属材料か
らなる部材を切削して基材を形成し、研磨処理によって
反射鏡面を形成していたのと異なり、基材及び反射鏡面
を簡易により短時間で成形可能であり、また反射鏡面が
形成される部分以外の部分を複雑な形状に簡易に成形す
ることもできるようになり、回転多面鏡を低い製造コス
トで製造することが可能となった。
以下、実施例に従って本発明の方法を更に詳細に説明す
る。
実施例1 まず、ADC:10のアルミニウム材料を、ダイカスト
により多角柱形状に成形し基材とした。その後、化学ニ
ッケルメッキを上記多角柱形状基材に、100胛の膜厚
で施した後、ダイヤモンド工具を使用した超精密切削で
、取付は及び加工基準となる角柱側面と直角になる端面
(底面)両面を50μs切削し、続いてこの切削された
面を介して基材を切削治具に取付けて、角柱状基材の側
面の金属被膜を50.切削することにより、面粗さRm
ax。
0.02−以下、平面度λ/ 5 (0,12賜以下)
に切削面を仕上げ、反射鏡面を形成した。
更に、切削に使用した油を基材から除去するため、基材
を洗浄した後、形成された反射鏡面の増反射及び保護を
目的としたCu、 5i02膜を蒸着法により反射鏡面
上に施し、本発明の回転多面鏡を形成した。
このようにして得られた本発明の回転多面鏡は、基材の
安さ、製造工程の簡易化により、従来の回転多面鏡と比
較して約30%低い製造コストで製造することができた
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明方法により形成された回転多面鏡の一
例であり、第1図(a)はその平面図、第1図(b)は
第1図(a)に於けるA−B線での切断断面図である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)側面の1つ以上に反射鏡面が設けられてなる多角柱
    形状部分を有する回転多面鏡に於いて、アルミニウム若
    しくはアルミニウム合金材料を型によつて成形した多角
    柱形状部分を有する基材と、該多角柱形状部分の有する
    1つ以上の側面上に設けられ、その表面が切削加工され
    反射鏡面が形成された金属被膜と、該反射鏡面上に設け
    られた増反射膜及び/または保護膜として機能する被膜
    とを有するものであることを特徴とする回転多面鏡。 2)側面の1つ以上に反射鏡面が設けられてなる多角柱
    形状部分を有する回転多面鏡を製造する方法に於いて、
    アルミニウム若しくはアルミニウム合金材料を、型を用
    いた成形法により多角柱形状部分を有する基材に成形す
    る過程と、前記基材の少なくとも反射鏡面が形成される
    部分に一層若しくは多層構造の金属被膜を形成する過程
    と、該金属被膜の少なくとも反射鏡面を形成する部分を
    、該被膜が完全に基材から除去されない程度に精密切削
    して反射鏡面を形成する過程と、該反射鏡面上に増反射
    膜及び/または保護膜として機能する被膜を設ける過程
    とを有することを特徴とする回転多面鏡の製造方法。
JP59180492A 1984-08-31 1984-08-31 回転多面鏡及びその製造方法 Pending JPS6159414A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59180492A JPS6159414A (ja) 1984-08-31 1984-08-31 回転多面鏡及びその製造方法
US06/768,219 US4826271A (en) 1984-08-31 1985-08-22 Rotational polygon mirror and method of manufacturing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59180492A JPS6159414A (ja) 1984-08-31 1984-08-31 回転多面鏡及びその製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6159414A true JPS6159414A (ja) 1986-03-26

Family

ID=16084180

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59180492A Pending JPS6159414A (ja) 1984-08-31 1984-08-31 回転多面鏡及びその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6159414A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4949262A (en) * 1987-09-03 1990-08-14 Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho Electronic controlled fluid suspension system with an advance control and a feedback control of a vehicle attitude
JP2002231172A (ja) * 2001-02-02 2002-08-16 Jeol Ltd 荷電粒子ビーム装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4949262A (en) * 1987-09-03 1990-08-14 Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho Electronic controlled fluid suspension system with an advance control and a feedback control of a vehicle attitude
JP2002231172A (ja) * 2001-02-02 2002-08-16 Jeol Ltd 荷電粒子ビーム装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1597614B1 (en) High precision mirror, and a method of making it
US6495272B1 (en) High quality optical surface and method of producing same
US4826271A (en) Rotational polygon mirror and method of manufacturing the same
JPH0234010B2 (ja)
EP2502877B1 (fr) Procédé de fabrication d'une pièce composite notamment pour mouvement d'horlogerie
JPS6159414A (ja) 回転多面鏡及びその製造方法
US5717532A (en) Reflection-type compound optical elements
JPS6159413A (ja) 回転多面鏡及びその製造方法
CA2010355A1 (en) Method of manufacturing a titanium magnetic disk substrate
US5323266A (en) Electroformed buried gratings for high-power shared aperture systems
EP3537225B1 (fr) Procédé de fabrication d'applique diamantée d'horlogerie
JPS6198318A (ja) 回転多面鏡及びその製造方法
EP0011331A1 (en) Method of making a master replicating tool
JPS6159416A (ja) 回転多面鏡及びその製造方法
JPS6159415A (ja) 回転多面鏡及びその製造方法
JPS6159417A (ja) 回転多面鏡及びその製造方法
JPS61196220A (ja) 回転多面鏡及びその製造方法
JP2004151076A (ja) ハブ一体型反射型光学式エンコーダー用回転部品
JP2956109B2 (ja) 精密金型の製造方法
JPS61196221A (ja) 回転多面鏡及びその製造方法
JP2004306153A (ja) 単結晶ダイヤモンド切削工具
JP7108667B2 (ja) 機械部品を装飾するための方法
WO2011142372A1 (ja) 金型の切削加工方法
Young et al. Precision slit design and fabrication for the Subaru IRCS instrument
CN212225779U (zh) 耐烘烤滚轮