JPS6198318A - 回転多面鏡及びその製造方法 - Google Patents
回転多面鏡及びその製造方法Info
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- JPS6198318A JPS6198318A JP21852584A JP21852584A JPS6198318A JP S6198318 A JPS6198318 A JP S6198318A JP 21852584 A JP21852584 A JP 21852584A JP 21852584 A JP21852584 A JP 21852584A JP S6198318 A JPS6198318 A JP S6198318A
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- Japan
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- reflective mirror
- mirror surface
- resin
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/09—Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レーザー走査系光学装置などに用い
。
。
られる回転多面鏡の製造方法に関する。
回転多面鏡は、レーザー走査系光学装置などに装着され
１例えばレーザービームの進路を変換させて、レーザー
ビームを受光面上に走査させることなどに用られるもの
であり、代表的には、例えば断面が正六角形状などの正
多角形からなる角柱部材の側面を反射鏡面として形成し
た構造のものが知られている。
１例えばレーザービームの進路を変換させて、レーザー
ビームを受光面上に走査させることなどに用られるもの
であり、代表的には、例えば断面が正六角形状などの正
多角形からなる角柱部材の側面を反射鏡面として形成し
た構造のものが知られている。
このような回転多面鏡は、従来、光学ガラス部材を、正
多角柱状に研削、研磨等の工程によって成形し、更に、
多角柱の側面を研磨処理して反射鏡面を形成する方法、
あるいはアルミニウム合金等の金属材料からなる部材を
断面が正多角形状である角柱状に切削成形し、ダイヤモ
ンド切削工具を用いて、側面を超精密切削して反射鏡面
を形成する方法によって製造されてきた。
多角柱状に研削、研磨等の工程によって成形し、更に、
多角柱の側面を研磨処理して反射鏡面を形成する方法、
あるいはアルミニウム合金等の金属材料からなる部材を
断面が正多角形状である角柱状に切削成形し、ダイヤモ
ンド切削工具を用いて、側面を超精密切削して反射鏡面
を形成する方法によって製造されてきた。
しかしながら、上記の方法による回転多面鏡の製造に於
いては、光学ガラスあるいは金属材料部材からの切削等
の工程による角柱状基材の成形及び研磨や切削処理によ
る精度良い反射鏡面の形成に多大な労力、時間及び高度
な技術が必要とされ、特に反射鏡面以外の部分を複雑な
形状に成形するには、より複雑で高度な工程が必要とさ
れ。
いては、光学ガラスあるいは金属材料部材からの切削等
の工程による角柱状基材の成形及び研磨や切削処理によ
る精度良い反射鏡面の形成に多大な労力、時間及び高度
な技術が必要とされ、特に反射鏡面以外の部分を複雑な
形状に成形するには、より複雑で高度な工程が必要とさ
れ。
製造コストが高くなるという問題があった。
本発明は、以上のような問題点に鑑みなされた１
ものであり、低い製造コストで簡易に形成すること
のできる回転多面鏡及びその製造方法を提供することを
その目的とする。
ものであり、低い製造コストで簡易に形成すること
のできる回転多面鏡及びその製造方法を提供することを
その目的とする。
本発明の他の目的は、軽量化された回転多面鏡、及び軽
量化された回転多面鏡を低い製造コストで簡易に形成す
ることのできる方法を提供することにある。
量化された回転多面鏡を低い製造コストで簡易に形成す
ることのできる方法を提供することにある。
上記の目的は、以下の本発明の方法により達成すること
ができる。
ができる。
すなわち１本発明は、（１）回転中心軸を持つ多角柱形
状部分を有し、アルミニウム若しくはアルミニウム合金
材料からなる箱状の基材と、該基材の内部に充填された
樹脂と、前記多角柱形状部分の側面の少なくとも１つ以
上が精密切削されて設けられた反射鏡面と、少なくとも
該反射鏡面上に設けられた増反射膜及び／または保護膜
として機能する被膜とを有するものである回転多面鏡、
及び（２）側面の１つ以上に反射鏡面が設けられてなる
多角柱形状部分を有する回転多面鏡を製造する方法に於
いて、アルミニウム若しくはアルミニウム合金材料から
、回転中心軸を持つ多角柱形状部 １分を有する
箱状の基材を成形する過程と、該基材の内部に樹脂形成
用材料を注入し、該基材内部を樹脂によって充填する過
程と、前記基材の有する多角柱形状部分の側面の少なく
とも反射鏡面が形成される部分を精密切削して反射鏡面
を形成する過程と、少なくとも該反射鏡面上に増反射膜
及び／または保護膜として機能する被°膜を設ける過程
とを有することを特徴とする回転多面鏡の製造方法であ
る。
状部分を有し、アルミニウム若しくはアルミニウム合金
材料からなる箱状の基材と、該基材の内部に充填された
樹脂と、前記多角柱形状部分の側面の少なくとも１つ以
上が精密切削されて設けられた反射鏡面と、少なくとも
該反射鏡面上に設けられた増反射膜及び／または保護膜
として機能する被膜とを有するものである回転多面鏡、
及び（２）側面の１つ以上に反射鏡面が設けられてなる
多角柱形状部分を有する回転多面鏡を製造する方法に於
いて、アルミニウム若しくはアルミニウム合金材料から
、回転中心軸を持つ多角柱形状部 １分を有する
箱状の基材を成形する過程と、該基材の内部に樹脂形成
用材料を注入し、該基材内部を樹脂によって充填する過
程と、前記基材の有する多角柱形状部分の側面の少なく
とも反射鏡面が形成される部分を精密切削して反射鏡面
を形成する過程と、少なくとも該反射鏡面上に増反射膜
及び／または保護膜として機能する被°膜を設ける過程
とを有することを特徴とする回転多面鏡の製造方法であ
る。
以下１本発明を、正六角柱状の形状を有する回転多面鏡
をその一例として図面に従って更に詳細に説明する。
をその一例として図面に従って更に詳細に説明する。
第１図は１本発明の回転多面鏡の模式図であり、第１図
（ａ）はその斜視図、第１図（ｂ）は断面図である。
（ａ）はその斜視図、第１図（ｂ）は断面図である。
１は正六角柱の側面を形成する外壁を有し、中空部を有
する箱状に成形された基材であり、その中心には、正六
角形の中心軸と同軸の回転多面鏡を回転駆動軸に設置す
るための貫通孔５ ’ｂｃ設けられている。
する箱状に成形された基材であり、その中心には、正六
角形の中心軸と同軸の回転多面鏡を回転駆動軸に設置す
るための貫通孔５ ’ｂｃ設けられている。
この基材ｌは、アルミニウム若しくはアルミニウム合金
材料を用いた、絞り、冷間鍛造等の方法によって成形さ
れ、その側面には、該側面を精密切削加工することによ
って、形成される回転多面鏡に必要とされる反射鏡面と
しての面精度を付与した反射鏡面３が設けられている。
材料を用いた、絞り、冷間鍛造等の方法によって成形さ
れ、その側面には、該側面を精密切削加工することによ
って、形成される回転多面鏡に必要とされる反射鏡面と
しての面精度を付与した反射鏡面３が設けられている。
２は樹脂であり、箱状の基材１の内部に充填されており
、例えばポリメチルメタクリレート、ポリカーボネート
、エポキシ樹脂等から形成されている。この基材ｌの内
部に充填された樹脂により、基材ｌは補強され、かつ全
体がガラスやアルミニウム若しくはアルミニウム合金材
料から形成された基材よりも大幅に軽量化されている。
、例えばポリメチルメタクリレート、ポリカーボネート
、エポキシ樹脂等から形成されている。この基材ｌの内
部に充填された樹脂により、基材ｌは補強され、かつ全
体がガラスやアルミニウム若しくはアルミニウム合金材
料から形成された基材よりも大幅に軽量化されている。
４は、少なくとも反射鏡面３上に設けられた増反射膜及
び／または保Ｗｉ膜として機能する被膜である。
び／または保Ｗｉ膜として機能する被膜である。
このような構造の本発明の回転多面鏡は、以下のように
して製造することができる。
して製造することができる。
まず、第１図に示したような正六角柱状の形状を有する
基材１を、アルミニウム若しくはアルミニウム合金材料
を用いた絞り、冷間鍛造等の成形法により成形する。
基材１を、アルミニウム若しくはアルミニウム合金材料
を用いた絞り、冷間鍛造等の成形法により成形する。
この基材ｌの成形に使用することのできる材料は、上記
のような絞り、鍛造等の成形法によって成形可能なアル
ミニウム材料またはアルミニウム合金材料であり、具体
的にはＡｌＯ？０１Ａ５０５Ｂ。
のような絞り、鍛造等の成形法によって成形可能なアル
ミニウム材料またはアルミニウム合金材料であり、具体
的にはＡｌＯ？０１Ａ５０５Ｂ。
Ａ６０６１． Ａ６０Ｂ３等のアルミニウム材料及び
アルミニウム合金を挙げることができる。基材１を成形
する際には、これらのなかから、形成される回転多面鏡
に要求される強度１回転多面鏡の用途、あるいは以後に
述べる精密切削加工によって形成しようとする反射鏡面
の面精度等に応じて適宜選択し、基材ｌ成形用材料とす
れば良い。
アルミニウム合金を挙げることができる。基材１を成形
する際には、これらのなかから、形成される回転多面鏡
に要求される強度１回転多面鏡の用途、あるいは以後に
述べる精密切削加工によって形成しようとする反射鏡面
の面精度等に応じて適宜選択し、基材ｌ成形用材料とす
れば良い。
なお、基材１の形状は、正六角柱状に限られることはな
く、少なくとも多角柱状形状部分を有する所望とする種
々の形状とすることができ、また基材ｌの厚み、内部の
形状及び大きさは、形成した多面鏡の用途あるいは強度
等に応じて適宜選択すれば良い。
く、少なくとも多角柱状形状部分を有する所望とする種
々の形状とすることができ、また基材ｌの厚み、内部の
形状及び大きさは、形成した多面鏡の用途あるいは強度
等に応じて適宜選択すれば良い。
監
ｒ 次に、このようにして形成された基材ｌの
内部に樹脂形成用材料が注入され、所定の工程を経て、
樹脂が２充填される。
内部に樹脂形成用材料が注入され、所定の工程を経て、
樹脂が２充填される。
この樹脂２を基材ｌの内部に充填する方法としては、基
材内部に十分に樹脂を充填することのできる射出成形法
による方法などが好ましい、この内部に充填される樹脂
としては、先に挙げたような樹脂を用いることができる
。
材内部に十分に樹脂を充填することのできる射出成形法
による方法などが好ましい、この内部に充填される樹脂
としては、先に挙げたような樹脂を用いることができる
。
更に、樹脂２が充填された基材１には、必要に応じてダ
イヤモンド工具等を用いた超精密切削により取付は及び
加工基準となる端面（底面） ｌａ、１ｂが形成される
。
イヤモンド工具等を用いた超精密切削により取付は及び
加工基準となる端面（底面） ｌａ、１ｂが形成される
。
次に、基材ｌの反射鏡面が形成される面を、端面（底面
） ｌｂを基準面として、ダイヤモンド工具等を用いた
超精密切削処理を行ない、前記基準面に対して所定の角
度を有する角柱部分の側面に反射鏡面３を形成する。
） ｌｂを基準面として、ダイヤモンド工具等を用いた
超精密切削処理を行ない、前記基準面に対して所定の角
度を有する角柱部分の側面に反射鏡面３を形成する。
本発明の方法に於いては、最後に、少なくとも上記のよ
うにして形成された反射鏡面３上に該反射鏡面の反射機
能を高めたり１反射鏡面を保護する機能を有する被膜４
が形成される。 ！上記被膜４の
形成には、Ａ１． Ｃｕ、 Ａｕ、 Ａｇ、５ｉ０２、
ＭｇＦ２、Ａｌ２Ｏ３等の材料を用いた、蒸着法、スパ
ッタリング法等の薄膜形成法を好適に適用することがで
きる。この被膜４は、１層からなるものでも良いし、ま
たは２層以上の多層からなるものであっても良い、この
被膜が多層からなる構成の場合には、各層のうち少なく
とも一層が、・他の層と異なる材料から構成されている
ものであっても良く、多層構造とする場合には、構成材
料を適宜選択することにより、この被膜４に反射機能と
反射鏡面を保護する機能の両方を付与し、更に回転多面
鏡全体の強度を高めることもできる。
うにして形成された反射鏡面３上に該反射鏡面の反射機
能を高めたり１反射鏡面を保護する機能を有する被膜４
が形成される。 ！上記被膜４の
形成には、Ａ１． Ｃｕ、 Ａｕ、 Ａｇ、５ｉ０２、
ＭｇＦ２、Ａｌ２Ｏ３等の材料を用いた、蒸着法、スパ
ッタリング法等の薄膜形成法を好適に適用することがで
きる。この被膜４は、１層からなるものでも良いし、ま
たは２層以上の多層からなるものであっても良い、この
被膜が多層からなる構成の場合には、各層のうち少なく
とも一層が、・他の層と異なる材料から構成されている
ものであっても良く、多層構造とする場合には、構成材
料を適宜選択することにより、この被膜４に反射機能と
反射鏡面を保護する機能の両方を付与し、更に回転多面
鏡全体の強度を高めることもできる。
以下、実施例に従って本発明の方法を更に詳細に説明す
る。
る。
実施例１
まず、厚さ２ＩＩＩＩのアルミニウム材料（Ａｅ０６１
）を、絞りにより第１図に示したような六角柱の箱状に
成形し、基材ｌとした。なお、基材ｌの絞り加工におい
ては、基材ｌのｌｂ部の平面度が５０μｓ以下、 ｌｂ
部に対する角柱形状部のタオレはｌＯ−以下、角柱形状
部の平面度は１０μ以下の精度を満足する成形型および
成形条件を選定し、基材１のｌｂ面面およびｌｂ面に直
角な側面を一度の超精密切削加工で切削可能なように成
形した。また、基材ｌの大きさは外接円の径で４０層■
φ、厚さは５＋ｓｍであった。
）を、絞りにより第１図に示したような六角柱の箱状に
成形し、基材ｌとした。なお、基材ｌの絞り加工におい
ては、基材ｌのｌｂ部の平面度が５０μｓ以下、 ｌｂ
部に対する角柱形状部のタオレはｌＯ−以下、角柱形状
部の平面度は１０μ以下の精度を満足する成形型および
成形条件を選定し、基材１のｌｂ面面およびｌｂ面に直
角な側面を一度の超精密切削加工で切削可能なように成
形した。また、基材ｌの大きさは外接円の径で４０層■
φ、厚さは５＋ｓｍであった。
その後、この基材１の内部にポリメチルメタクリレート
を射出成形により箱状基材の深さとほぼ同等（±５０μ
ｓ）になる量だけ充填した。
を射出成形により箱状基材の深さとほぼ同等（±５０μ
ｓ）になる量だけ充填した。
次に、ダイヤモンド工具を使用した超精密切削で、基材
ｌの端面（底面）を５０−１００−程度切削し、取付は
及び加工基準となる端面（底面） ｌａ、ｌｂを形成し
た。続いてこの切削された面を介して基材を切削治具に
取付けて、角柱状基材の前記加工基準面に直角な側面を
５０〜１００−切削する゛ことにより１面粗さＲｍａｘ
、０．０２Ｊｕｌ以下、平面度入１５（０，１２μ以下
）に切削面を仕上げ１反射鏡面３を形成した。
ｌの端面（底面）を５０−１００−程度切削し、取付は
及び加工基準となる端面（底面） ｌａ、ｌｂを形成し
た。続いてこの切削された面を介して基材を切削治具に
取付けて、角柱状基材の前記加工基準面に直角な側面を
５０〜１００−切削する゛ことにより１面粗さＲｍａｘ
、０．０２Ｊｕｌ以下、平面度入１５（０，１２μ以下
）に切削面を仕上げ１反射鏡面３を形成した。
更に、切削に使用した油を基材から除去するため、基材
を洗沙した後、形成された反射鏡面の増反射及び保護を
目的としたＣｕ、 ５ｉ０２Ｉｌ１４を薄着法により反
射鏡面上に設け、第１図に示したような本発明の回転多
面鏡を形成した。
を洗沙した後、形成された反射鏡面の増反射及び保護を
目的としたＣｕ、 ５ｉ０２Ｉｌ１４を薄着法により反
射鏡面上に設け、第１図に示したような本発明の回転多
面鏡を形成した。
このようにして得られた本発明の回転多面鏡は、基材の
安さ、製造工程の簡易化により、従来の回転多面鏡と比
較して約５０％低い製造コストで製造することができた
。更に、その重量は、基材１全体がガラスあるいはアル
ミニウム若しくはアルミニウム合金からなる回転多面鏡
と比較して大幅に軽量化されたものであった。
安さ、製造工程の簡易化により、従来の回転多面鏡と比
較して約５０％低い製造コストで製造することができた
。更に、その重量は、基材１全体がガラスあるいはアル
ミニウム若しくはアルミニウム合金からなる回転多面鏡
と比較して大幅に軽量化されたものであった。
以上のような本発明の方法によれば、主に、アルミニウ
ム若しくはアルミニウム合金材料を用いた。絞り、冷間
鍛造等の成形法により、基材が成形され、該基材の内部
に樹脂が充填され、更に基材上の所定部分を精密切削し
て反射鏡面を設けて回転多面鏡を形成するために、従来
のガラス材料や金属材料からなる部材を切削して基材を
形成１ し、研磨処理によって反射鏡面を形成
していたの；、、ｊ と異なり、基材及び反射鏡面を簡易により短時間で成形
可能であり、また基材ｌの内部に樹脂が充填されている
ことによって、本発明の回転多面鏡は、全体がガラス、
あるいはアルミニウム若しくはアルミニウム合金材料か
ら形成されていた従来のものよりも大幅に軽量化されて
おり、かつ強度に優れる構造を有するものとなった。
ム若しくはアルミニウム合金材料を用いた。絞り、冷間
鍛造等の成形法により、基材が成形され、該基材の内部
に樹脂が充填され、更に基材上の所定部分を精密切削し
て反射鏡面を設けて回転多面鏡を形成するために、従来
のガラス材料や金属材料からなる部材を切削して基材を
形成１ し、研磨処理によって反射鏡面を形成
していたの；、、ｊ と異なり、基材及び反射鏡面を簡易により短時間で成形
可能であり、また基材ｌの内部に樹脂が充填されている
ことによって、本発明の回転多面鏡は、全体がガラス、
あるいはアルミニウム若しくはアルミニウム合金材料か
ら形成されていた従来のものよりも大幅に軽量化されて
おり、かつ強度に優れる構造を有するものとなった。
第１図は、本発明の回転多面鏡の一例であり、第１図（
ａ）はその斜視図、第１図（ｂ）は断面図である。
ａ）はその斜視図、第１図（ｂ）は断面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）回転中心軸を持つ多角柱形状部分を有し、アルミニ
ウム若しくはアルミニウム合金材料からなる箱状の基材
と、該基材の内部に充填された樹脂と、前記多角柱形状
部分の側面の少なくとも１つ以上が精密切削されて設け
られた反射鏡面と、少なくとも該反射鏡面上に設けられ
た増反射膜及び／または保護膜として機能する被膜とを
有するものである回転多面鏡。 ２）側面の１つ以上に反射鏡面が設けられてなる多角柱
形状部分を有する回転多面鏡を製造する方法に於いて、
アルミニウム若しくはアルミニウム合金材料から、回転
中心軸を持つ多角柱形状部分を有する箱状の基材を成形
する過程と、該基材の内部に樹脂形成用材料を注入し、
該基材内部を樹脂によって充填する過程と、前記基材の
有する多角柱形状部分の側面の少なくとも反射鏡面が形
成される部分を精密切削して反射鏡面を形成する過程と
、少なくとも該反射鏡面上に増反射膜及び／または保護
膜として機能する被膜を設ける過程とを有することを特
徴とする回転多面鏡の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21852584A JPS6198318A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 回転多面鏡及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21852584A JPS6198318A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 回転多面鏡及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6198318A true JPS6198318A (ja) | 1986-05-16 |
Family
ID=16721293
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21852584A Pending JPS6198318A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 回転多面鏡及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6198318A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6315213A (ja) * | 1986-07-08 | 1988-01-22 | Toray Ind Inc | 回転多面鏡 |
| JPH01140115A (ja) * | 1987-11-26 | 1989-06-01 | Sharp Corp | レーザー走査装置の多面鏡装置 |
-
1984
- 1984-10-19 JP JP21852584A patent/JPS6198318A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6315213A (ja) * | 1986-07-08 | 1988-01-22 | Toray Ind Inc | 回転多面鏡 |
| JPH01140115A (ja) * | 1987-11-26 | 1989-06-01 | Sharp Corp | レーザー走査装置の多面鏡装置 |
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