JPS61196221A - 回転多面鏡及びその製造方法 - Google Patents
回転多面鏡及びその製造方法Info
- Publication number
- JPS61196221A JPS61196221A JP3645885A JP3645885A JPS61196221A JP S61196221 A JPS61196221 A JP S61196221A JP 3645885 A JP3645885 A JP 3645885A JP 3645885 A JP3645885 A JP 3645885A JP S61196221 A JPS61196221 A JP S61196221A
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- JP
- Japan
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- mirror surface
- rotating polygon
- mirror
- polygon mirror
- resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/09—Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レザー走査系光学装置などに用いられる回転
多面鏡及びその製造方法に関する。
多面鏡及びその製造方法に関する。
回転多面鏡は、レーザー走査系光学装置などに装着され
、例えばレーザービームの進路を変換させて、レーザー
ビームスポットを受光面上に走査させること等に用いら
れるものであり、代表的には、例えば断面が正六角形な
どの正多角形からなる角柱部材の側面を反射鏡面として
形成した構成のものが知られている。
、例えばレーザービームの進路を変換させて、レーザー
ビームスポットを受光面上に走査させること等に用いら
れるものであり、代表的には、例えば断面が正六角形な
どの正多角形からなる角柱部材の側面を反射鏡面として
形成した構成のものが知られている。
このような回転多面鏡は、従来、光学ガラス部材を、正
多角柱状に研削、研磨等の工程によって成形し、更に、
角柱の側面を研磨処理して反射鏡面を形成する方法、あ
るいはアルミニウム合金等の金属材料からなる部材を断
面が正多角形状である角柱状に切削成形し、ダイヤモン
ド切削工具を用いて、側面を超精密切削して反射鏡面を
形成する方法によって製造されてきた。
多角柱状に研削、研磨等の工程によって成形し、更に、
角柱の側面を研磨処理して反射鏡面を形成する方法、あ
るいはアルミニウム合金等の金属材料からなる部材を断
面が正多角形状である角柱状に切削成形し、ダイヤモン
ド切削工具を用いて、側面を超精密切削して反射鏡面を
形成する方法によって製造されてきた。
しかしながら、上記の方法による回転多面鏡の製造方法
は、工程数が多く、特に光学ガラスあるいは金属材料部
材からの切削等の工程による角柱状基材の成形及び研磨
や切削処理による精度良い反射鏡面の形成等に多くの労
力、時間及び高度な技術が必要とされ、更に反射鏡面以
外の部分を複雑な形状に成形するには、より複雑で高度
な工程が必要とされるために、製造コストが高くなると
いう問題があった。
は、工程数が多く、特に光学ガラスあるいは金属材料部
材からの切削等の工程による角柱状基材の成形及び研磨
や切削処理による精度良い反射鏡面の形成等に多くの労
力、時間及び高度な技術が必要とされ、更に反射鏡面以
外の部分を複雑な形状に成形するには、より複雑で高度
な工程が必要とされるために、製造コストが高くなると
いう問題があった。
また、光学ガラスや金属材料を基材として用いるので、
回転多面鏡自身が重く、回転多面鏡を装着する装置の軽
量化にとっての１つの障害となっていた。
回転多面鏡自身が重く、回転多面鏡を装着する装置の軽
量化にとっての１つの障害となっていた。
本発明の目的は、低いコストで簡易に製造することので
きる回転多面鏡を提供することにある。
きる回転多面鏡を提供することにある。
本発明の他の目的は、軽量化された回転多面鏡を提供す
ることにある。
ることにある。
本発明の他の目的は、反射鏡面以外の部分が複雑な回転
多面鏡をも低い製造コストで簡易に形成可能な方法を提
供することにある。
多面鏡をも低い製造コストで簡易に形成可能な方法を提
供することにある。
上記の目的は、以下の本発明により達成することができ
る。
る。
すなわち、本発明は、側面の１つ以上に反射鏡面が設け
られてなる多角柱形状部分を有する回転多面鏡に於いて
、樹脂若しくは樹脂を主体とする複合樹脂材料から型に
よって成形された多角柱形状部分を有してなる基材と、
前記多角柱形状部分の１つ以上の側面を精密切削して設
けた反射鏡面と、該反射鏡面上に設けられた増反射膜と
、該増反射膜上に設けられた保護膜とを有してなること
を特徴とする回転多面鏡、及び側面の１つ以上に反射鏡
面が設けられてなる多角柱形状部分を有する回転多面鏡
を製造する方法に於いて、樹脂若しくは樹脂を主体とす
る複合樹脂材料を、多角柱形状部分を有してなる基材に
型を用いて成形する工程と、前記多角柱形状部分の側面
の１つ以上を精密切削して反射鏡面を設ける工程と、該
形成された反射鏡面上に増反射膜を設ける工程と、該反
射鏡面上に設けられた増反射膜上に保護膜を設ける工程
とを含むことを特徴とする回転多面鏡の製造方法である
。
られてなる多角柱形状部分を有する回転多面鏡に於いて
、樹脂若しくは樹脂を主体とする複合樹脂材料から型に
よって成形された多角柱形状部分を有してなる基材と、
前記多角柱形状部分の１つ以上の側面を精密切削して設
けた反射鏡面と、該反射鏡面上に設けられた増反射膜と
、該増反射膜上に設けられた保護膜とを有してなること
を特徴とする回転多面鏡、及び側面の１つ以上に反射鏡
面が設けられてなる多角柱形状部分を有する回転多面鏡
を製造する方法に於いて、樹脂若しくは樹脂を主体とす
る複合樹脂材料を、多角柱形状部分を有してなる基材に
型を用いて成形する工程と、前記多角柱形状部分の側面
の１つ以上を精密切削して反射鏡面を設ける工程と、該
形成された反射鏡面上に増反射膜を設ける工程と、該反
射鏡面上に設けられた増反射膜上に保護膜を設ける工程
とを含むことを特徴とする回転多面鏡の製造方法である
。
以下、本発明を、断面が正六角形の角柱状に形成された
回転多面鏡をその一例として、図面に従って更に詳細に
説明する。
回転多面鏡をその一例として、図面に従って更に詳細に
説明する。
第１図は本発明の回転多面鏡の一例の一部を断面で表し
た模式的斜視図であり、第２図は第１図のＡ−Ａ線に沿
った切断断面図である。
た模式的斜視図であり、第２図は第１図のＡ−Ａ線に沿
った切断断面図である。
本発明の回転多面鏡は、基本的に反射鏡面３がその側面
に形成されている基材ｌと１反射鏡面３上に設けられた
増反射Ｈ４と、保護膜５とを有してなる。
に形成されている基材ｌと１反射鏡面３上に設けられた
増反射Ｈ４と、保護膜５とを有してなる。
基材１は、断面が正六角形の角柱形状部分を有して成形
されており、この例においては、基材ｌには、回転多面
鏡を走査装置に装着するための貫通孔６がその中心部に
、更に走査装置に回転多面鏡を装着する場合の取付は基
準面２がその底面にそれぞれ形成されている。しかしな
がら、貫通孔６及び取付は基準面２の位置及び形状は、
回転多面鏡の装着される走査装置の種々の態様に応じて
適宜選択することができる。また、基材ｌの角柱形状は
、正六角柱形状に限られることなく、所望の多角形断面
を有する種々の角柱形状とすることができ、更に、反射
鏡面が形成される側面以外の基材の部分の形状もまた回
転多面鏡の装着される走査装置の種々の態様に応じて適
宜選択することができる。
されており、この例においては、基材ｌには、回転多面
鏡を走査装置に装着するための貫通孔６がその中心部に
、更に走査装置に回転多面鏡を装着する場合の取付は基
準面２がその底面にそれぞれ形成されている。しかしな
がら、貫通孔６及び取付は基準面２の位置及び形状は、
回転多面鏡の装着される走査装置の種々の態様に応じて
適宜選択することができる。また、基材ｌの角柱形状は
、正六角柱形状に限られることなく、所望の多角形断面
を有する種々の角柱形状とすることができ、更に、反射
鏡面が形成される側面以外の基材の部分の形状もまた回
転多面鏡の装着される走査装置の種々の態様に応じて適
宜選択することができる。
基材ｌは、樹脂若しくは樹脂を主体とする複合樹脂材料
から型を用いて成形されたものであり、この基材を構成
できる材料としては、型によって成形可能であり、かつ
形成された回転多面鏡に必要な形状及び機械的強度を与
えることができる材料ならば、どのような材料でも使用
可能であるが、回転多面鏡の軽量化を計るならばより軽
い成形品を形成できる材料が好適である。
から型を用いて成形されたものであり、この基材を構成
できる材料としては、型によって成形可能であり、かつ
形成された回転多面鏡に必要な形状及び機械的強度を与
えることができる材料ならば、どのような材料でも使用
可能であるが、回転多面鏡の軽量化を計るならばより軽
い成形品を形成できる材料が好適である。
このような材料としては、例えばＰＭＭＡ。
ＡＢＳ、ポリカーボネート等の樹脂、あるいはこれら樹
脂とガラスファイバー、カーボンファイ／へ一等の他の
材料とを複合化した材料等を挙げることができる。
脂とガラスファイバー、カーボンファイ／へ一等の他の
材料とを複合化した材料等を挙げることができる。
反射鏡面３は、所定の反射機能を有するような形状及び
反射面精度で、しかも取付は基準面２と所定の位置関係
を有し、走査装置内での所定の設置位置が得られるよう
に、基材ｌの側面を精密切削して形成される。なお、基
準面２もまた所定の形状及び面精度を有するように切削
加工されている。
反射面精度で、しかも取付は基準面２と所定の位置関係
を有し、走査装置内での所定の設置位置が得られるよう
に、基材ｌの側面を精密切削して形成される。なお、基
準面２もまた所定の形状及び面精度を有するように切削
加工されている。
被Ｍ４は、反射鏡面３の反射機能を高めること、すなわ
ち増反射を目的として、被膜５は、被膜４の保護を主な
目的として、それぞれ反射鏡面３上に設けられたもので
ある。
ち増反射を目的として、被膜５は、被膜４の保護を主な
目的として、それぞれ反射鏡面３上に設けられたもので
ある。
なお、保護膜５は、増反射Ｍ４を保護するとともに、少
なくとも反射鏡面での反射機能を阻害しないものである
必要があり、更に反射鏡面の反射率を増加させるもので
あればなお良い、また、反射鏡面３上に設けた、増反射
膜４若しくは保護膜５は、所望の機能を有するものであ
れば、単一の膜でも良いし、複数の膜から構成されたも
のでも良い、更に、これらの皮膜は、基材の強度、耐湿
性、耐環境性等を補うために、その材料及び組合せを適
宜選択して構成したものであっても良く。
なくとも反射鏡面での反射機能を阻害しないものである
必要があり、更に反射鏡面の反射率を増加させるもので
あればなお良い、また、反射鏡面３上に設けた、増反射
膜４若しくは保護膜５は、所望の機能を有するものであ
れば、単一の膜でも良いし、複数の膜から構成されたも
のでも良い、更に、これらの皮膜は、基材の強度、耐湿
性、耐環境性等を補うために、その材料及び組合せを適
宜選択して構成したものであっても良く。
反射鏡面上のみならず所望に応じて反射鏡面以外の基材
の部分に設けることもできる。
の部分に設けることもできる。
増反射膜４を形成することのできる材料としては、Ｃｕ
、 ＡＩ、Ａｕ、 Ａｇ等の増反肝機能を有する被膜を
形成することのできる金属を挙げることができ、また保
護及び反射率増加のための被Ｈ５を形成することのでき
る材料としては、ＳｉＯ、ＭｇＦ２、ＣｅＯ２等を挙げ
ることができる。
、 ＡＩ、Ａｕ、 Ａｇ等の増反肝機能を有する被膜を
形成することのできる金属を挙げることができ、また保
護及び反射率増加のための被Ｈ５を形成することのでき
る材料としては、ＳｉＯ、ＭｇＦ２、ＣｅＯ２等を挙げ
ることができる。
以上のような構成の本発明の回転多面鏡は、以下のよう
にして形成することができる。
にして形成することができる。
まず、先に挙げた基材形成用材料を、例えば射出成形法
、圧縮成形法、キャスチング法等の型を用いた成形法に
より基材ｌの形状に成形する。
、圧縮成形法、キャスチング法等の型を用いた成形法に
より基材ｌの形状に成形する。
次に、型による成形では必要精度が得られていない反射
鏡面３及び基準面２どなる基材ｌの部分を所定の形状及
び面精度に精密切削加工して、反射鏡面３及び取付は基
準面２を互いに前述したような所定の位置関係となるよ
うに形成する。
鏡面３及び基準面２どなる基材ｌの部分を所定の形状及
び面精度に精密切削加工して、反射鏡面３及び取付は基
準面２を互いに前述したような所定の位置関係となるよ
うに形成する。
この精密切削加工には、ダイヤモンド切削工具を用いた
超精密切削等、所定の反射面精度が得られるような切削
法ならば通常用いられているどの方法をも適用すること
ができる。
超精密切削等、所定の反射面精度が得られるような切削
法ならば通常用いられているどの方法をも適用すること
ができる。
更に１反射鏡面３上に、先に挙げた金属材料から所定の
反射鏡面での反射率が得られるように適テｒ選択した材
料を用い、蒸着法、イオンブレーティング法、スパッタ
リング法等の成膜法によって増反射膜４を設ける。増反
射膜４は所定の増反肝機能が得られる膜厚に形成され、
通常０．０５μｓ〜０．２μｓの膜厚に形成される。
反射鏡面での反射率が得られるように適テｒ選択した材
料を用い、蒸着法、イオンブレーティング法、スパッタ
リング法等の成膜法によって増反射膜４を設ける。増反
射膜４は所定の増反肝機能が得られる膜厚に形成され、
通常０．０５μｓ〜０．２μｓの膜厚に形成される。
更に、増反射膜４上に、先に挙げた保護膜形成用材料か
ら所望に応じて選択した材料を用いて。
ら所望に応じて選択した材料を用いて。
蒸着法、イオンブレーティング法、スパッタリング法等
の成膜法により、保護及び反射率増加膜５を設けて１本
発明の回転多面鏡を得ることができる。保護Ｉｌ！５も
また所定の保護膜としての機能が得られる膜厚に形成さ
れ１通常０．０２μｓ〜０．１−の膜厚に形成される。
の成膜法により、保護及び反射率増加膜５を設けて１本
発明の回転多面鏡を得ることができる。保護Ｉｌ！５も
また所定の保護膜としての機能が得られる膜厚に形成さ
れ１通常０．０２μｓ〜０．１−の膜厚に形成される。
このような本発明によれば１回転多面鏡の製造に際して
、光学ガラスあるいは金属部材を研削、研磨等の工程に
より成形して回転多面鏡を形成する従来の方法と比べて
、工程数が大幅に削減され、かつ簡易な工程によって回
転多面鏡を製造可能であるので、より低い製造コストの
回転多面鏡を提供することができる。
、光学ガラスあるいは金属部材を研削、研磨等の工程に
より成形して回転多面鏡を形成する従来の方法と比べて
、工程数が大幅に削減され、かつ簡易な工程によって回
転多面鏡を製造可能であるので、より低い製造コストの
回転多面鏡を提供することができる。
また、本発明に於いては、樹脂材料から型を用いた成形
法によって、回転多面鏡の基材部分を成形するので１回
転多面鏡に容易に所望の形状を付与することができ、特
に、反射鏡面が形成される部分以外の部分が複雑な形状
を有する回転多面鏡であっても容易に形成可能となった
。
法によって、回転多面鏡の基材部分を成形するので１回
転多面鏡に容易に所望の形状を付与することができ、特
に、反射鏡面が形成される部分以外の部分が複雑な形状
を有する回転多面鏡であっても容易に形成可能となった
。
更に、本発明の回転多面鏡においては、回転多面鏡の主
要部分が、軽量材料すなわち樹脂若しくは樹脂を主体と
する樹脂複合材料によって形成されているので、光学ガ
ラスあるいは金属から主に形成されていた従来の回転多
面鏡に比べて、５０〜６０％程度の軽量化が可能となっ
た。
要部分が、軽量材料すなわち樹脂若しくは樹脂を主体と
する樹脂複合材料によって形成されているので、光学ガ
ラスあるいは金属から主に形成されていた従来の回転多
面鏡に比べて、５０〜６０％程度の軽量化が可能となっ
た。
第１図は本発明の回転多面鏡の一息様例の一部を断面で
表した模式的斜視図であり、第２図は第１図のＡ−Ａ線
に沿った切断断面図である。 ｌ：基材 ２：取付は基準面 ３：反射鏡面 ４：増反射膜 ５：保護Ｍ ６：貫通孔 第１図 Ｍ２図
表した模式的斜視図であり、第２図は第１図のＡ−Ａ線
に沿った切断断面図である。 ｌ：基材 ２：取付は基準面 ３：反射鏡面 ４：増反射膜 ５：保護Ｍ ６：貫通孔 第１図 Ｍ２図
Claims (2)
- （１）側面の１つ以上に反射鏡面が設けられてなる多角
柱形状部分を有する回転多面鏡に於いて、樹脂若しくは
樹脂を主体とする複合樹脂材料から型によって成形され
た多角柱形状部分を有してなる基材と、前記多角柱形状
部分の１つ以上の側面を精密切削して設けた反射鏡面と
、該反射鏡面上に設けられた増反射膜と、該増反射膜上
に設けられた保護膜とを有してなることを特徴とする回
転多面鏡。 - （２）側面の１つ以上に反射鏡面が設けられてなる多角
柱形状部分を有する回転多面鏡を製造する方法に於いて
、樹脂若しくは樹脂を主体とする複合樹脂材料を、多角
柱形状部分を有してなる基材に型を用いて成形する工程
と、前記多角柱形状部分の側面の１つ以上を精密切削し
て反射鏡面を設ける工程と、該形成された反射鏡面上に
増反射膜を設ける工程と、該反射鏡面上に設けられた増
反射膜上に保護膜を設ける工程とを含むことを特徴とす
る回転多面鏡の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3645885A JPS61196221A (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | 回転多面鏡及びその製造方法 |
| US06/831,835 US4842354A (en) | 1985-02-27 | 1986-02-24 | Rotary polygonal mirror and method of making the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3645885A JPS61196221A (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | 回転多面鏡及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61196221A true JPS61196221A (ja) | 1986-08-30 |
Family
ID=12470375
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3645885A Pending JPS61196221A (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | 回転多面鏡及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61196221A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0250104A (ja) * | 1988-05-16 | 1990-02-20 | Minolta Camera Co Ltd | 金属反射鏡の製造方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5729004A (en) * | 1980-07-30 | 1982-02-16 | Ricoh Co Ltd | Rotary polyhedral mirror |
| JPS59116905A (ja) * | 1982-12-23 | 1984-07-06 | Sony Corp | 熱磁気光記録方式 |
| JPS59172624A (ja) * | 1983-03-23 | 1984-09-29 | Hitachi Ltd | 光偏向走査装置 |
-
1985
- 1985-02-27 JP JP3645885A patent/JPS61196221A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5729004A (en) * | 1980-07-30 | 1982-02-16 | Ricoh Co Ltd | Rotary polyhedral mirror |
| JPS59116905A (ja) * | 1982-12-23 | 1984-07-06 | Sony Corp | 熱磁気光記録方式 |
| JPS59172624A (ja) * | 1983-03-23 | 1984-09-29 | Hitachi Ltd | 光偏向走査装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0250104A (ja) * | 1988-05-16 | 1990-02-20 | Minolta Camera Co Ltd | 金属反射鏡の製造方法 |
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