JPS6159415A - 回転多面鏡及びその製造方法 - Google Patents
回転多面鏡及びその製造方法Info
- Publication number
- JPS6159415A JPS6159415A JP59180493A JP18049384A JPS6159415A JP S6159415 A JPS6159415 A JP S6159415A JP 59180493 A JP59180493 A JP 59180493A JP 18049384 A JP18049384 A JP 18049384A JP S6159415 A JPS6159415 A JP S6159415A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base material
- mirror surface
- polygon mirror
- reflective mirror
- rotating polygon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/09—Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レザー走査系光学装置などに用いられる回転
多面鏡及びその製造方法に関する。
多面鏡及びその製造方法に関する。
レーザー走査系光学装置などに装着され、レーザービー
ムの進路を変換させて、レーザービームを受光面上を走
査させるなどのために用いられる回転多面鏡は、例えば
断面が正六角形状などの正多角形からなる角柱部材の側
面を反射鏡面として形成したものが代表的なものとして
知られており、従来、光学ガラス部材を、正多角柱状に
研削、研磨等の工程によって成形し、更に、角柱の側面
を研磨処理して反射鏡面を形成する方法、あるいはアル
ミニウム合金等の金属材料からなる部材を断面が正多角
形状である角柱状に切削成形し、ダイヤモンド切削工具
を用いて、側面を超精密切削して反射鏡面を形成する方
法によって製造されてきた。
ムの進路を変換させて、レーザービームを受光面上を走
査させるなどのために用いられる回転多面鏡は、例えば
断面が正六角形状などの正多角形からなる角柱部材の側
面を反射鏡面として形成したものが代表的なものとして
知られており、従来、光学ガラス部材を、正多角柱状に
研削、研磨等の工程によって成形し、更に、角柱の側面
を研磨処理して反射鏡面を形成する方法、あるいはアル
ミニウム合金等の金属材料からなる部材を断面が正多角
形状である角柱状に切削成形し、ダイヤモンド切削工具
を用いて、側面を超精密切削して反射鏡面を形成する方
法によって製造されてきた。
しかしながら、」−記の方法による回転多面鏡の製造に
於いては、光学ガラスあるいは金属材料部材からの切削
等の工程による角柱状基材の成形及び研磨や切削処理に
よる精度良い反射鏡面の形成に多大な労力、時間及び高
度な技術が必要とされ、特に反射鏡面以外の部分を複雑
な形状に成形するには、より複雑で高度な工程が必要と
され、製造コストが高くなるという問題があった。
於いては、光学ガラスあるいは金属材料部材からの切削
等の工程による角柱状基材の成形及び研磨や切削処理に
よる精度良い反射鏡面の形成に多大な労力、時間及び高
度な技術が必要とされ、特に反射鏡面以外の部分を複雑
な形状に成形するには、より複雑で高度な工程が必要と
され、製造コストが高くなるという問題があった。
本発明の目的は、低い製造コストで簡易に形成すること
のできる回転多面鏡及びその製造方法方法を提供するこ
とにある。
のできる回転多面鏡及びその製造方法方法を提供するこ
とにある。
木発明の他の目的は、反射鏡面以外の部分が複郭な回転
多面鏡をも低い製造コス）・で簡易に形成可能な方法を
提供することにある。
多面鏡をも低い製造コス）・で簡易に形成可能な方法を
提供することにある。
上記の目的は、以下の木発明の方法により達成すること
ができる。
ができる。
すなわち、本発明は、側面の１つ以−１−に反射鏡面が
設けられてなる多角柱形状部分を有する回転多面鏡に於
いて、アルミニウム若しくはアルミニウム合金を型によ
って成形した多角柱状部分を有する基材と、該角柱状部
分の有する１つ以上の側面」二に、その表面が反射鏡面
必要精度を有するように形成された樹脂被膜と、該樹脂
被膜上に設けられた増反射膜及び／または保護膜として
機能する被膜とを有することを特徴とする回転多面鏡及
び、アルミニウム若しくはアルミニウム合金材料を型を
用いた成形法により多角柱形状部分を有する基材に成形
する過程と、前記基材の少なくとも反射鏡面が形成され
る部分に、その表面が反射鏡面必要精度を有するように
樹脂被膜を形成し、反射鏡面を形成する過程と、該反射
鏡面上に増反射膜及び／または保護膜として機能する膜
を設ける過程とを有することを特徴とする前記回転多面
鏡の製造方法である。
設けられてなる多角柱形状部分を有する回転多面鏡に於
いて、アルミニウム若しくはアルミニウム合金を型によ
って成形した多角柱状部分を有する基材と、該角柱状部
分の有する１つ以上の側面」二に、その表面が反射鏡面
必要精度を有するように形成された樹脂被膜と、該樹脂
被膜上に設けられた増反射膜及び／または保護膜として
機能する被膜とを有することを特徴とする回転多面鏡及
び、アルミニウム若しくはアルミニウム合金材料を型を
用いた成形法により多角柱形状部分を有する基材に成形
する過程と、前記基材の少なくとも反射鏡面が形成され
る部分に、その表面が反射鏡面必要精度を有するように
樹脂被膜を形成し、反射鏡面を形成する過程と、該反射
鏡面上に増反射膜及び／または保護膜として機能する膜
を設ける過程とを有することを特徴とする前記回転多面
鏡の製造方法である。
以下、本発明を正六角柱状の形状を有する回転多面鏡を
その一例として図面に従って更に詳細に説明する。
その一例として図面に従って更に詳細に説明する。
第１図は、正六角柱状の形状を有する場合の回転多面鏡
であり、第１図（ａ）はその斜視図であり、第１図（ｂ
）は、第１図（ａ）に於けるＡ−Ｂ線での切断断面図で
ある。
であり、第１図（ａ）はその斜視図であり、第１図（ｂ
）は、第１図（ａ）に於けるＡ−Ｂ線での切断断面図で
ある。
■は基材であり、正六角柱状の形状を有し、その中心に
は、正六角形の中心軸と同軸の回転多面鏡を回転駆動軸
に設置するための貫通孔４が設けられている。
は、正六角形の中心軸と同軸の回転多面鏡を回転駆動軸
に設置するための貫通孔４が設けられている。
この基材ｌは、アルミニウム若しくはアルミニウム合金
材料を用いた型による成形法によって成形されている。
材料を用いた型による成形法によって成形されている。
２は樹脂被膜であり、例えばＰＮＭＡ （ポリメチルメ
タアクリレ−１・）、ポリカーボネート等の樹脂からな
り、該被膜のうち角柱の側面に設けられている部分２ａ
の表面には、形成される回転多面鏡に必要とされる反射
鏡面としての面精度が付与されている。
タアクリレ−１・）、ポリカーボネート等の樹脂からな
り、該被膜のうち角柱の側面に設けられている部分２ａ
の表面には、形成される回転多面鏡に必要とされる反射
鏡面としての面精度が付与されている。
３は、反射鏡面２ａＪ−に設けられた増反射膜及び／ま
たは保護膜として機能する被膜であり、前記その表面が
切削処理されている金属被膜上に少なくとも設けられて
いる。
たは保護膜として機能する被膜であり、前記その表面が
切削処理されている金属被膜上に少なくとも設けられて
いる。
このような構成の回転多面鏡を製造するには、まず、第
１図に示したような正六角柱状の形状を有する基材１が
、アルミニウム若しくはアルミニウム合金材料を用いた
ダイカスティング、圧縮成形法、射出成形法等の型を用
いた成形法により成形される。
１図に示したような正六角柱状の形状を有する基材１が
、アルミニウム若しくはアルミニウム合金材料を用いた
ダイカスティング、圧縮成形法、射出成形法等の型を用
いた成形法により成形される。
この基材１の成形に使用することのできる材料は、上記
したようなダイカスティング、圧縮成形法、射出成形法
等の型による成形法によって成形可能なアルミニウム材
料またはアルミニウム合金材料であり、具体的には、Ａ
ＤＧＩＯ，Ａ１０７０ 、Ａｔ（０６１等のアルミニウ
ム材料及びアルミニウム合金を挙げることができる。基
材１の成形に際しては、これらのなかから、形成される
回転多面鏡に要求される強度、回転多面鏡の用途、ある
いは以後に述べる金属被膜として使用される材料とのマ
ツチング等に応じて適宜選択し、基材１成形用材料とす
れば良い。
したようなダイカスティング、圧縮成形法、射出成形法
等の型による成形法によって成形可能なアルミニウム材
料またはアルミニウム合金材料であり、具体的には、Ａ
ＤＧＩＯ，Ａ１０７０ 、Ａｔ（０６１等のアルミニウ
ム材料及びアルミニウム合金を挙げることができる。基
材１の成形に際しては、これらのなかから、形成される
回転多面鏡に要求される強度、回転多面鏡の用途、ある
いは以後に述べる金属被膜として使用される材料とのマ
ツチング等に応じて適宜選択し、基材１成形用材料とす
れば良い。
このように本発明の方法に於いては、アルミニウム若し
くはアルミニウム合金材料を用いたダイカスティング、
圧縮成形法、射出成形法等の型を用いた成形法により、
基材１を成形するので、基材ｌを容易に所望の形状とす
ることができ、特に、反射鏡面が形成される部分１ａ以
外の部分が複雑な形状を有する基材であっても容易に形
成可能となった。
くはアルミニウム合金材料を用いたダイカスティング、
圧縮成形法、射出成形法等の型を用いた成形法により、
基材１を成形するので、基材ｌを容易に所望の形状とす
ることができ、特に、反射鏡面が形成される部分１ａ以
外の部分が複雑な形状を有する基材であっても容易に形
成可能となった。
次に、このようにして成形された基材１の少なくとも反
射鏡面が形成される部分１ａに、樹脂材料からなる被膜
２を第１図に示すように形成し、反射鏡面が設けられる
。なお、第１図に示した例に於いては、基材ｌの側面及
び下面にも樹脂被膜が形成されている。
射鏡面が形成される部分１ａに、樹脂材料からなる被膜
２を第１図に示すように形成し、反射鏡面が設けられる
。なお、第１図に示した例に於いては、基材ｌの側面及
び下面にも樹脂被膜が形成されている。
本発明の方法に於ける被膜の形成に使用することのでき
る樹脂材料としては、前記したアルミニウム若しくはア
ルミニウム合金からなる寒村上に所定の反射鏡面精度を
有する表面を持つ連続被膜を形成することができるもの
ならばどのようなものも使用可能であり、例えば先に挙
げた樹脂材料を使用することができる。
る樹脂材料としては、前記したアルミニウム若しくはア
ルミニウム合金からなる寒村上に所定の反射鏡面精度を
有する表面を持つ連続被膜を形成することができるもの
ならばどのようなものも使用可能であり、例えば先に挙
げた樹脂材料を使用することができる。
本発明の方法に於いて、樹脂被膜を形成するには、前記
した樹脂材料を用いて、キャスティング、射出成形等の
方法によって、所望の反射鏡面精度を有する表面を持つ
樹脂被膜を基材１の少なくとも反射鏡面が形成される部
分１ａに形成することができる。
した樹脂材料を用いて、キャスティング、射出成形等の
方法によって、所望の反射鏡面精度を有する表面を持つ
樹脂被膜を基材１の少なくとも反射鏡面が形成される部
分１ａに形成することができる。
本発明の方法に於いては、最後に」〕記のようにして形
成された反射鏡面上に該反射鏡面の反射機能を高めたり
、反射鏡面を保護する機能を有する被膜３が形成され、
第１図に示すような回転多面鏡を得ることができる。
成された反射鏡面上に該反射鏡面の反射機能を高めたり
、反射鏡面を保護する機能を有する被膜３が形成され、
第１図に示すような回転多面鏡を得ることができる。
」−記被膜３の形成には、Δｌ、 Ｃｕ、Ａｕ、 Ａｇ
、５ｉ０２、ＭｇＦ２、Ａｌ２Ｏ３等の材料を用いた、
蒸着法、スパッタリング法等の薄膜形成法を好適に適用
することができる。
、５ｉ０２、ＭｇＦ２、Ａｌ２Ｏ３等の材料を用いた、
蒸着法、スパッタリング法等の薄膜形成法を好適に適用
することができる。
以上、正六角柱形状を有する回転多面鏡を１例として本
発明の回転多面鏡を説明したが、本発明の回転多面鏡の
形状は、これに限られることなく所望の種々の形状とす
ることができる。
発明の回転多面鏡を説明したが、本発明の回転多面鏡の
形状は、これに限られることなく所望の種々の形状とす
ることができる。
以上のような本発明によれば、主に、アルミニウム若し
くはアルミニウム合金材料を用いたダイカスティング、
圧縮成形法、射出成形法等の型による成形法により、基
材が成形され、更に該基材の反射鏡面となる部分に、反
射鏡面としての必要精度を有する表面を持つ樹脂からな
る被膜を形成して反射鏡面を設けるために、従来のガラ
ス材料や金属材料からなる部材を切削して基材を形成し
、研磨処理によって反射鏡面を形成していたのと異なり
、基材及び反射鏡面を簡易により短時間で成形可能であ
り、また反射鏡面が形成される部分以外の部分を複雑な
形状に簡易に成形することもできるようになり、回転多
面鏡を低い製造コストで製造することが可能となった。
くはアルミニウム合金材料を用いたダイカスティング、
圧縮成形法、射出成形法等の型による成形法により、基
材が成形され、更に該基材の反射鏡面となる部分に、反
射鏡面としての必要精度を有する表面を持つ樹脂からな
る被膜を形成して反射鏡面を設けるために、従来のガラ
ス材料や金属材料からなる部材を切削して基材を形成し
、研磨処理によって反射鏡面を形成していたのと異なり
、基材及び反射鏡面を簡易により短時間で成形可能であ
り、また反射鏡面が形成される部分以外の部分を複雑な
形状に簡易に成形することもできるようになり、回転多
面鏡を低い製造コストで製造することが可能となった。
以下、実施例に従って本発明の方法を更に詳細に説明す
る。
る。
実施例
ＡＤＣ；１０のアルミ材料をダイカストにより多角柱状
に成形し、その後側面」二に射出成形によりＰＭＭＡを
成形収縮を少なくするため０．５ｍｍ〜１ｍｍと薄く付
けた。これにより、高精度に仕上げられた鏡面型の面精
度を転写できるため、面粗さＲｍａｘｏ、０２μ以下、
平面変人１５ （０，１２ｕ＋以下）の面が出来上がっ
た。このようにして形成された反射鏡面上に増反射・保
護を目的としたＣｕ、 ５ｉ０２膜を蒸着により施し、
本発明の回転多面鏡を完成させた。
に成形し、その後側面」二に射出成形によりＰＭＭＡを
成形収縮を少なくするため０．５ｍｍ〜１ｍｍと薄く付
けた。これにより、高精度に仕上げられた鏡面型の面精
度を転写できるため、面粗さＲｍａｘｏ、０２μ以下、
平面変人１５ （０，１２ｕ＋以下）の面が出来上がっ
た。このようにして形成された反射鏡面上に増反射・保
護を目的としたＣｕ、 ５ｉ０２膜を蒸着により施し、
本発明の回転多面鏡を完成させた。
このようにして得られた回転多面鏡は、従来のものと比
較すると、基材自体の安いこと、及び基材製造が簡単に
なること、及びダンヤモンド鏡面切削工程を省くことが
できることにより約５０％の低い製造コストで製造する
ことができた。
較すると、基材自体の安いこと、及び基材製造が簡単に
なること、及びダンヤモンド鏡面切削工程を省くことが
できることにより約５０％の低い製造コストで製造する
ことができた。
第１図は、本発明の回転多面鏡の一例であり、第１図（
ａ）はその平面図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）に於け
るＡ−Ｂ線での切断断面図である。 ｌ二基材 １ａ：側面 ２：樹脂被膜 ２ａ：反射鏡面３：被膜
４：貫通孔 特許出願人 キャノン株式会社 ａ 第 １ 図（ａ） 第 １ 図（ｂ）
ａ）はその平面図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）に於け
るＡ−Ｂ線での切断断面図である。 ｌ二基材 １ａ：側面 ２：樹脂被膜 ２ａ：反射鏡面３：被膜
４：貫通孔 特許出願人 キャノン株式会社 ａ 第 １ 図（ａ） 第 １ 図（ｂ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）側面の１つ以上に反射鏡面が設けられてなる多角柱
形状部分を有する回転多面鏡に於いて、アルミニウム若
しくはアルミニウム合金を型によつて成形した多角柱状
部分を有する基材と、該多角柱状部分の有する１つ以上
の側面上に、その表面が反射鏡面必要精度を有するよう
に形成された樹脂被膜と、該樹脂被膜上に設けられた増
反射膜及び／または保護膜として機能する被膜とを有す
ることを特徴とする回転多面鏡。 ２）側面の１つ以上に反射鏡面が設けられてなる多角柱
形状部分を有する回転多面鏡を製造する方法に於いて、
アルミニウム若しくはアルミニウム合金材料を型を用い
た成形法により多角柱形状部分を有する基材に成形する
過程と、前記基材の少なくとも反射鏡面が形成される部
分に、その表面が反射鏡面必要精度を有するように樹脂
被膜を形成し、反射鏡面を形成する過程と、該反射鏡面
上に増反射膜及び／または保護膜として機能する膜を設
ける過程とを有することを特徴とする回転多面鏡の製造
方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59180493A JPS6159415A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 回転多面鏡及びその製造方法 |
| US06/768,219 US4826271A (en) | 1984-08-31 | 1985-08-22 | Rotational polygon mirror and method of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59180493A JPS6159415A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 回転多面鏡及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6159415A true JPS6159415A (ja) | 1986-03-26 |
Family
ID=16084198
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59180493A Pending JPS6159415A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 回転多面鏡及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6159415A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52141238A (en) * | 1976-05-19 | 1977-11-25 | Xerox Corp | Method of manufacturing highhspeed multii surface scanner |
| JPS5942501A (ja) * | 1982-09-02 | 1984-03-09 | Ricoh Co Ltd | 多面体ミラ−の製造方法 |
-
1984
- 1984-08-31 JP JP59180493A patent/JPS6159415A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52141238A (en) * | 1976-05-19 | 1977-11-25 | Xerox Corp | Method of manufacturing highhspeed multii surface scanner |
| JPS5942501A (ja) * | 1982-09-02 | 1984-03-09 | Ricoh Co Ltd | 多面体ミラ−の製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1597614B1 (en) | High precision mirror, and a method of making it | |
| US6495272B1 (en) | High quality optical surface and method of producing same | |
| US4826271A (en) | Rotational polygon mirror and method of manufacturing the same | |
| US4842354A (en) | Rotary polygonal mirror and method of making the same | |
| JPH0234010B2 (ja) | ||
| EP0294219B1 (en) | Polygon mirror | |
| KR20010111299A (ko) | 복합면을 갖춘 기하학적 구조를 포함하는 구조면 제품 및그 제조 방법 | |
| JPH07191207A (ja) | 反射型複合光学素子 | |
| JPS6159415A (ja) | 回転多面鏡及びその製造方法 | |
| JPS6159413A (ja) | 回転多面鏡及びその製造方法 | |
| JPS6159416A (ja) | 回転多面鏡及びその製造方法 | |
| EP0294218A2 (en) | Manufacturing process for polygonal mirror | |
| JPS6159414A (ja) | 回転多面鏡及びその製造方法 | |
| JPS6159417A (ja) | 回転多面鏡及びその製造方法 | |
| JPS6198318A (ja) | 回転多面鏡及びその製造方法 | |
| JPS61196220A (ja) | 回転多面鏡及びその製造方法 | |
| JP2956109B2 (ja) | 精密金型の製造方法 | |
| US6721097B2 (en) | Optical element, its manufacturing method and optical element manufacturing metal die | |
| Young et al. | Precision slit design and fabrication for the Subaru IRCS instrument | |
| JPS61196221A (ja) | 回転多面鏡及びその製造方法 | |
| US6070315A (en) | Method of producing a microspectrometer reflection grating | |
| JP2509342B2 (ja) | ガラス素子の成形型およびその製作方法 | |
| EP2686135B1 (fr) | Pièce d'habillage pour une pièce d'horlogerie et son système de fabrication | |
| JP2002326231A (ja) | 光学素子用金型、光学素子及びマスター型 | |
| US6934432B1 (en) | Switch for the optical switching of a light path |