JPS6159416A - 回転多面鏡及びその製造方法 - Google Patents
回転多面鏡及びその製造方法Info
- Publication number
- JPS6159416A JPS6159416A JP59180494A JP18049484A JPS6159416A JP S6159416 A JPS6159416 A JP S6159416A JP 59180494 A JP59180494 A JP 59180494A JP 18049484 A JP18049484 A JP 18049484A JP S6159416 A JPS6159416 A JP S6159416A
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- Japan
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- base material
- mirror surface
- reflective mirror
- polygon mirror
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/09—Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レザー走査系光学装置などに用いられる回転
多面鏡及びその製造方法に関する。
多面鏡及びその製造方法に関する。
回転多面鏡は、レーザー走査系光学装置などに装着され
、例えばレーザービームの進路を変換させて、レーザー
ビームを受光面上を走査させるのに用られるものであり
、代表的には、例えば断面が正六角形状などの正多角形
からなる角柱部材の側面を反射鏡面として形成したもの
が知られており、従来、光学ガラス部材を、正多角柱状
に研削、研磨等の工程によって成形し、更に、角柱の側
面を研磨処理して反射鏡面を形成する方法、あるいはア
ルミニウム合金等の金属材料からなる部材を断面が正多
角形状である角柱状に切削成形し、ダイヤモンド切削工
具を用いて、側面を超精密切削して反射鏡面を形成する
方法によって製造されてきた。
、例えばレーザービームの進路を変換させて、レーザー
ビームを受光面上を走査させるのに用られるものであり
、代表的には、例えば断面が正六角形状などの正多角形
からなる角柱部材の側面を反射鏡面として形成したもの
が知られており、従来、光学ガラス部材を、正多角柱状
に研削、研磨等の工程によって成形し、更に、角柱の側
面を研磨処理して反射鏡面を形成する方法、あるいはア
ルミニウム合金等の金属材料からなる部材を断面が正多
角形状である角柱状に切削成形し、ダイヤモンド切削工
具を用いて、側面を超精密切削して反射鏡面を形成する
方法によって製造されてきた。
しかしながら、−１−記の方法による回転多面鏡の製造
に於いては、光学ガラスあるいは金属材料部材からの切
削等の工程による角柱状基材の成形及び研磨や切削処理
による精度良い反射鏡面の形成に多大な労力、時間及び
高度な技術が必要とされ、特に反射鏡面以外の部分を複
雑な形状に成形するには、より複雑で高度な工程が必要
とされ、製造コストが高くなるという問題があった。
に於いては、光学ガラスあるいは金属材料部材からの切
削等の工程による角柱状基材の成形及び研磨や切削処理
による精度良い反射鏡面の形成に多大な労力、時間及び
高度な技術が必要とされ、特に反射鏡面以外の部分を複
雑な形状に成形するには、より複雑で高度な工程が必要
とされ、製造コストが高くなるという問題があった。
本発明の目的は、低い製造コストで簡易に形成すること
のできる回転多面鏡及びその製造方法方法を提供するこ
とにある。
のできる回転多面鏡及びその製造方法方法を提供するこ
とにある。
本発明の他の目的は、反射鏡面以外の部分が複雑な回転
多面鏡をも低い製造コストで簡易に形成可能な方法を提
供することにある。
多面鏡をも低い製造コストで簡易に形成可能な方法を提
供することにある。
Ｃ問題点を解決する手段〕
上記の目的は、以下の本発明の方法により達成すること
ができる。
ができる。
すなわち、本発明は、側面の１つ以」二に反射鏡面が設
けられてなる多角柱形状部分を有する回転多面鏡に於い
て、アルミニウム若しくはアルミニウム合金を型によっ
て成形した多角柱状部分を有する基材と、該角柱状部分
の有する１つ以上の側面上に設けられ、その表面が切削
加工され、反射鏡面が形成された樹脂被膜と、該反射鏡
面」二に設けられた増反射膜及び／または保護膜として
機能する被膜とを有することを特徴とする回転多面鏡、
及びアルミニウム若しくはアルミニウム合金材料を、型
を用いた成形法により、多角柱形状部分を有する基材に
成形する過程と、前記基材の少なくとも反射鏡面が形成
される部分に樹脂被膜を形成する過程と、該樹脂被膜の
少なくとも反射鏡面を形成する部分を、該被膜が完全に
基材から除去されない程度に精密切削して反射鏡面を形
成する過程と、該反射鏡面上に増反射膜及び／または保
護膜として機能する膜を設ける過程とを有することを特
徴とする回転多面鏡の製造方法である。
けられてなる多角柱形状部分を有する回転多面鏡に於い
て、アルミニウム若しくはアルミニウム合金を型によっ
て成形した多角柱状部分を有する基材と、該角柱状部分
の有する１つ以上の側面上に設けられ、その表面が切削
加工され、反射鏡面が形成された樹脂被膜と、該反射鏡
面」二に設けられた増反射膜及び／または保護膜として
機能する被膜とを有することを特徴とする回転多面鏡、
及びアルミニウム若しくはアルミニウム合金材料を、型
を用いた成形法により、多角柱形状部分を有する基材に
成形する過程と、前記基材の少なくとも反射鏡面が形成
される部分に樹脂被膜を形成する過程と、該樹脂被膜の
少なくとも反射鏡面を形成する部分を、該被膜が完全に
基材から除去されない程度に精密切削して反射鏡面を形
成する過程と、該反射鏡面上に増反射膜及び／または保
護膜として機能する膜を設ける過程とを有することを特
徴とする回転多面鏡の製造方法である。
以下、本発明を、正六角柱状の形状を有する回転多面鏡
をその一例として図面に従って更に詳細に説明する。
をその一例として図面に従って更に詳細に説明する。
第１図は、正六角柱状の形状を有する場合の回転多面鏡
であり、第１図（ａ）はその斜視図であり、第１図（ｂ
）は、第１図（ａ）に於けるＡ−Ｂ線での切断断面図で
ある。
であり、第１図（ａ）はその斜視図であり、第１図（ｂ
）は、第１図（ａ）に於けるＡ−Ｂ線での切断断面図で
ある。
１は基材であり、正六角柱状の形状を有し、その中心に
は、正六角形の中心軸と同軸の回転多面鏡を回転駆動軸
に設置するための貫通孔４が設けられている。
は、正六角形の中心軸と同軸の回転多面鏡を回転駆動軸
に設置するための貫通孔４が設けられている。
この基材ｌは、アルミニウム若しくはアルミニラ１、合
金材ネ；］を用いた型による成形法によって成形されて
いる。
金材ネ；］を用いた型による成形法によって成形されて
いる。
２は樹脂被膜であり、該樹脂被膜のうち角柱の側面に設
けられている部分の表面２ａには、超精密ダイヤモンド
切削等により切削処理が行なわれており、反射鏡面とし
ての必要面精度が付与されている。
けられている部分の表面２ａには、超精密ダイヤモンド
切削等により切削処理が行なわれており、反射鏡面とし
ての必要面精度が付与されている。
３は、増反射膜及び／または保護膜として機能する被膜
であり、前記その表面が切削処理されている樹脂被膜２
ａ上に少なくとも設けられている。
であり、前記その表面が切削処理されている樹脂被膜２
ａ上に少なくとも設けられている。
このような構成の回転多面鏡を製造するには、まず、第
１図に示したような正六角柱状の形状を有する基材ｌが
、アルミニウム若しくはアルミニウム合金材料を用いた
ダイカスティング、圧縮成形法、射出成形法等の型を用
いた成形法により成形される。
１図に示したような正六角柱状の形状を有する基材ｌが
、アルミニウム若しくはアルミニウム合金材料を用いた
ダイカスティング、圧縮成形法、射出成形法等の型を用
いた成形法により成形される。
この基材１の成形に使用することのできる材料は、上記
したようなダイカスティング、圧縮成形法、射出成形法
等の型による成形法によって成形可能なアルミニウム材
料またはアルミニウム合金材料であり、具体的には、Ａ
口Ｃ１０，Ａ１０７０．Ａｆ１０８１等のアルミニウム
材料及びアルミニウム合金を挙げることができ、これら
のなかから、形成される回転多面鏡に要求される強度、
回転多面鏡の用途、あるいは以後に述べる樹脂被膜とし
て使用される材料とのマツチング等に応じて適宜選択し
、基材ｌ成形用材料とすれば良い。
したようなダイカスティング、圧縮成形法、射出成形法
等の型による成形法によって成形可能なアルミニウム材
料またはアルミニウム合金材料であり、具体的には、Ａ
口Ｃ１０，Ａ１０７０．Ａｆ１０８１等のアルミニウム
材料及びアルミニウム合金を挙げることができ、これら
のなかから、形成される回転多面鏡に要求される強度、
回転多面鏡の用途、あるいは以後に述べる樹脂被膜とし
て使用される材料とのマツチング等に応じて適宜選択し
、基材ｌ成形用材料とすれば良い。
このように本発明の方法に於いては、アルミニウム若し
くはアルミニウム合金材料を用いたダイカスティング、
圧縮成形法、射出成形法等の型を用いた成形法により、
基材ｌを成形するので、ノ、（材１を容易に所望の形状
とすることができ、特に、反射鏡面が形成される部分以
外の部分が複雑な形状を有する基材であっても容易に形
成可能となった。
くはアルミニウム合金材料を用いたダイカスティング、
圧縮成形法、射出成形法等の型を用いた成形法により、
基材ｌを成形するので、ノ、（材１を容易に所望の形状
とすることができ、特に、反射鏡面が形成される部分以
外の部分が複雑な形状を有する基材であっても容易に形
成可能となった。
次に、このようにして成形された基材ｌの少なくとも反
射鏡面が形成される部分１ａに、樹脂からなる被膜２が
第１図に示すように形成される。なお、第１図に示した
例に於いては、基材１の側面及び底面にも樹脂被膜が形
成されており、このように基材底面にも樹脂被膜を形成
することにより基材ｌの強度を高めることができる。
射鏡面が形成される部分１ａに、樹脂からなる被膜２が
第１図に示すように形成される。なお、第１図に示した
例に於いては、基材１の側面及び底面にも樹脂被膜が形
成されており、このように基材底面にも樹脂被膜を形成
することにより基材ｌの強度を高めることができる。
本発明の方法に於ける被膜２の形成に使用することので
きる樹脂としては、前記した金属材料からなる大村上に
連続被膜を形成することができ、以後に行なわれる超精
密ダイヤモンド切削に適合し、該切削工程によって精度
良い反射鏡面を形成できるものならばどのようなものも
使用可能であり、例えばＰＭＭＡ （ポリメチルメタア
クリレート）、ポリカーボネート等の樹脂によって形成
することができる。
きる樹脂としては、前記した金属材料からなる大村上に
連続被膜を形成することができ、以後に行なわれる超精
密ダイヤモンド切削に適合し、該切削工程によって精度
良い反射鏡面を形成できるものならばどのようなものも
使用可能であり、例えばＰＭＭＡ （ポリメチルメタア
クリレート）、ポリカーボネート等の樹脂によって形成
することができる。
なお、」−記樹脂のなかから、基材１を構成している材
料に応じて適宜選択して、基材１の硬度や強度を補強す
ることもできる。
料に応じて適宜選択して、基材１の硬度や強度を補強す
ることもできる。
本発明の方法に於いて、樹脂被膜２を形成するには、前
記した樹脂を形成することのできる樹脂形成用材料を用
いて、キャスティング、射出成形等の方法によって、基
材ｌの少なくとも反射鏡面が形成ネれる部分に形成する
ことができる。
記した樹脂を形成することのできる樹脂形成用材料を用
いて、キャスティング、射出成形等の方法によって、基
材ｌの少なくとも反射鏡面が形成ネれる部分に形成する
ことができる。
このようにして、形成された樹脂被膜２の反射鏡面が形
成される面２ａには、該樹脂被膜が完全に基材１から除
去されない範囲内で超精密ダイヤモンド切削処理が行な
われ、反射鏡面が形成される。
成される面２ａには、該樹脂被膜が完全に基材１から除
去されない範囲内で超精密ダイヤモンド切削処理が行な
われ、反射鏡面が形成される。
本発明の方法に於いては、最後に−１−記のようにして
形成された反射鏡面上に該反射鏡面の反射機能を高めた
り、反射鏡面を保護する機能を有する被膜３が形成され
、第１図に示すような回転多面鏡を得ることができる。
形成された反射鏡面上に該反射鏡面の反射機能を高めた
り、反射鏡面を保護する機能を有する被膜３が形成され
、第１図に示すような回転多面鏡を得ることができる。
」−記被膜３の形成には、ＡＩ、 Ｃｕ、 Ａｕ、 Ａ
ｇ。
ｇ。
５ｉ０２、ＭｇＦ、、Ａｌ２Ｏ３等の材料を用いた、蒸
着法。
着法。
スパッタリング法等の薄膜形成法を好適に適用すること
ができる。
ができる。
以−ＩＺ、正六角柱形状を有する回転多面鏡を１例とし
て本発明の回転多面鏡を説明したが、本発明の回転多面
鏡の形状は、これに限られることなく所望の種々の形状
とすることができる。
て本発明の回転多面鏡を説明したが、本発明の回転多面
鏡の形状は、これに限られることなく所望の種々の形状
とすることができる。
以−Ｌのような本発明の方法によれば、主に、アルミニ
ウム若しくはアルミニウム合金材料を用いたダイカステ
ィング、圧縮成形法、射出成形法等の型による成形法に
より、基材が成形され、更に基材の所定部分に樹脂から
なる被膜を形成し、該被膜を超精密切削して反射鏡面を
形成するために、従来のガラス材料や金属材料からなる
部材な切削して基材を形成し、研磨処理によって反射鏡
面を形成していたのと異なり、基材及び反射鏡面を簡易
により短時間で成形可能であり、また反射鏡面が形成さ
れる部分以外の部分を複雑な形状に簡易に成形すること
もできるようになり、回転多面鏡を低い製造コストで製
造することが可能となった。
ウム若しくはアルミニウム合金材料を用いたダイカステ
ィング、圧縮成形法、射出成形法等の型による成形法に
より、基材が成形され、更に基材の所定部分に樹脂から
なる被膜を形成し、該被膜を超精密切削して反射鏡面を
形成するために、従来のガラス材料や金属材料からなる
部材な切削して基材を形成し、研磨処理によって反射鏡
面を形成していたのと異なり、基材及び反射鏡面を簡易
により短時間で成形可能であり、また反射鏡面が形成さ
れる部分以外の部分を複雑な形状に簡易に成形すること
もできるようになり、回転多面鏡を低い製造コストで製
造することが可能となった。
以下、実施例に従って本発明の方法を更に詳細に説明す
る。
る。
実施例
ＡＤＣｌｏのアミル材料を使用しダイカストにより多角
柱状に成形し、基材とした。その後側面一ヒにＰＭＭＡ
を射出成形により２■付け、ダイヤモンドニ［具を使用
した超精密切削で、５０騨切削することにより面粗さＲ
ｍａｘｏ、０２ｇ以下、平面変人１５ （０，１２ｕ以
下）に仕上げた。さらにその上に増反射・保護を目的と
したＣｕ、 ５ｉ０２膜を蒸着により施し、本発明の回
転多面鏡を完成させた。
柱状に成形し、基材とした。その後側面一ヒにＰＭＭＡ
を射出成形により２■付け、ダイヤモンドニ［具を使用
した超精密切削で、５０騨切削することにより面粗さＲ
ｍａｘｏ、０２ｇ以下、平面変人１５ （０，１２ｕ以
下）に仕上げた。さらにその上に増反射・保護を目的と
したＣｕ、 ５ｉ０２膜を蒸着により施し、本発明の回
転多面鏡を完成させた。
この製造法により得られた回転多面鏡は、従来ものと比
較すると、基材自体の安い事及び基材製造が簡単になる
事により約４０％の低い製造コストで製造できた。
較すると、基材自体の安い事及び基材製造が簡単になる
事により約４０％の低い製造コストで製造できた。
第１図は、本発明方法により形成された回転多面鏡の一
例であり、第１図（ａ）はその平面図、第１図（ｂ）は
第１図（ａ）に於けるＡ−Ｂ線での切断断面図である。 ■＝基材 ｌａ：側面 ２：樹脂被膜 ２ａ：反射鏡面３：被１模
４：貫通孔 第 １ 図 （ａ） 第 １ 図 （ｂ）
例であり、第１図（ａ）はその平面図、第１図（ｂ）は
第１図（ａ）に於けるＡ−Ｂ線での切断断面図である。 ■＝基材 ｌａ：側面 ２：樹脂被膜 ２ａ：反射鏡面３：被１模
４：貫通孔 第 １ 図 （ａ） 第 １ 図 （ｂ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）側面の１つ以上に反射鏡面が設けられてなる多角柱
形状部分を有する回転多面鏡に於いて、アルミニウム若
しくはアルミニウム合金を型によつて成形した多角柱状
部分を有する基材と、該角柱状部分の有する１つ以上の
側面上に設けられ、その表面が切削加工され、反射鏡面
が形成された樹脂被膜と、該反射鏡面上に設けられた増
反射膜及び／または保護膜として機能する被膜とを有す
ることを特徴とする回転多面鏡。 ２）側面の１つ以上に反射鏡面が設けられてなる多角柱
形状部分を有する回転多面鏡を製造する方法に於いて、
アルミニウム若しくはアルミニウム合金材料を、型を用
いた成形法により、多角柱形状部分を有する基材に成形
する過程と、前記基材の少なくとも反射鏡面が形成され
る部分に樹脂被膜を形成する過程と、該樹脂被膜の少な
くとも反射鏡面を形成する部分を、該被膜が完全に基材
から除去されない程度に精密切削して反射鏡面を形成す
る過程と、該反射鏡面上に増反射膜及び／または保護膜
として機能する膜を設ける過程とを有することを特徴と
する回転多面鏡の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59180494A JPS6159416A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 回転多面鏡及びその製造方法 |
| US06/768,219 US4826271A (en) | 1984-08-31 | 1985-08-22 | Rotational polygon mirror and method of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59180494A JPS6159416A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 回転多面鏡及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6159416A true JPS6159416A (ja) | 1986-03-26 |
Family
ID=16084217
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59180494A Pending JPS6159416A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 回転多面鏡及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6159416A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110398796A (zh) * | 2018-04-24 | 2019-11-01 | 佳能株式会社 | 多面镜及其制造方法、偏转器、光学扫描设备、成像设备 |
| CN110398835A (zh) * | 2018-04-24 | 2019-11-01 | 佳能株式会社 | 多面镜及其制造方法、偏转器、光学扫描装置和成像装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52141238A (en) * | 1976-05-19 | 1977-11-25 | Xerox Corp | Method of manufacturing highhspeed multii surface scanner |
| JPS5942501A (ja) * | 1982-09-02 | 1984-03-09 | Ricoh Co Ltd | 多面体ミラ−の製造方法 |
-
1984
- 1984-08-31 JP JP59180494A patent/JPS6159416A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52141238A (en) * | 1976-05-19 | 1977-11-25 | Xerox Corp | Method of manufacturing highhspeed multii surface scanner |
| JPS5942501A (ja) * | 1982-09-02 | 1984-03-09 | Ricoh Co Ltd | 多面体ミラ−の製造方法 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110398796A (zh) * | 2018-04-24 | 2019-11-01 | 佳能株式会社 | 多面镜及其制造方法、偏转器、光学扫描设备、成像设备 |
| CN110398835A (zh) * | 2018-04-24 | 2019-11-01 | 佳能株式会社 | 多面镜及其制造方法、偏转器、光学扫描装置和成像装置 |
| EP3581372A3 (en) * | 2018-04-24 | 2020-03-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Polygonal mirror, deflector, optical scanning apparatus, image forming apparatus, and manufacturing method of the polygonal mirror |
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