JPS6159413A - 回転多面鏡及びその製造方法 - Google Patents
回転多面鏡及びその製造方法Info
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- JPS6159413A JPS6159413A JP59180491A JP18049184A JPS6159413A JP S6159413 A JPS6159413 A JP S6159413A JP 59180491 A JP59180491 A JP 59180491A JP 18049184 A JP18049184 A JP 18049184A JP S6159413 A JPS6159413 A JP S6159413A
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- JP
- Japan
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- base material
- mirror surface
- resin
- reflective mirror
- polygon mirror
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/09—Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕′
本発明は、レザー走査系光学装置などに用いられる回転
多面鏡及びその製造方法に関する。
多面鏡及びその製造方法に関する。
回転多面鏡は、レーザー走査系光学装置などに装着され
、例えばレーザービームの進路を変換させて、レーザー
ビームを受光面上を走査させるのに用いられるものであ
り、代表的には、例えば断面が正六角形状などの正多角
形からなる角柱部材の側面を反射鏡面として形成した構
成のものが知られている。
、例えばレーザービームの進路を変換させて、レーザー
ビームを受光面上を走査させるのに用いられるものであ
り、代表的には、例えば断面が正六角形状などの正多角
形からなる角柱部材の側面を反射鏡面として形成した構
成のものが知られている。
このような回転多面鏡は、従来、光学ガラス部材を、正
多角柱状に研削、研磨等の工程によって成形し、更に、
角柱の側面を研磨処理して反射鏡面を形成する方法、あ
るいはアルミニウム合金等の金属材料からなる部材を断
面が正多角形状である角柱状に切削成形し、ダイヤモン
ド切削工具を用いて、側面を超精密切削して反射鏡面を
形成する方法によって製造されてきた。
多角柱状に研削、研磨等の工程によって成形し、更に、
角柱の側面を研磨処理して反射鏡面を形成する方法、あ
るいはアルミニウム合金等の金属材料からなる部材を断
面が正多角形状である角柱状に切削成形し、ダイヤモン
ド切削工具を用いて、側面を超精密切削して反射鏡面を
形成する方法によって製造されてきた。
しかしながら、−１−記の方法による回転多面鏡の製造
に於いては、光学ガラスあるいは金属材料部材からの切
削等の工程による角柱状基材の成形及び研磨や切削処理
による精度良い反射鏡面の形成に多大な労力、時間及び
高度な技術が必要とされ、特に反射鏡面以外の部分を複
雑な形状に成形するには、より複雑で高度な工程が必要
とされ、製造コストが高くなるという問題があった。
に於いては、光学ガラスあるいは金属材料部材からの切
削等の工程による角柱状基材の成形及び研磨や切削処理
による精度良い反射鏡面の形成に多大な労力、時間及び
高度な技術が必要とされ、特に反射鏡面以外の部分を複
雑な形状に成形するには、より複雑で高度な工程が必要
とされ、製造コストが高くなるという問題があった。
また、光学ガラスや金属材料を基材として用いるので、
回転多面鏡自身が重く、レザー回転多面鏡を装着する装
置の軽量化にとっての１つの障害となっていた。
回転多面鏡自身が重く、レザー回転多面鏡を装着する装
置の軽量化にとっての１つの障害となっていた。
本発明の目的は、低い製造コストで簡易に形成すること
のできる回転多面鏡及びその製造方法を提供することに
ある。
のできる回転多面鏡及びその製造方法を提供することに
ある。
本発明の他の目的は、軽量化され、低い製造コストで簡
易に形成することのできる回転多面鏡及びその製造方法
を提供することにある。
易に形成することのできる回転多面鏡及びその製造方法
を提供することにある。
本発明の他の目的は、反射鏡面以外の部分が複雑な回転
多面鏡をも低い製造コストで簡易に形成可能な方法を提
供することにある。
多面鏡をも低い製造コストで簡易に形成可能な方法を提
供することにある。
上記の目的は、以下の本発明の方法により達成すること
ができる。
ができる。
すなわち、本発明は、側面の１つ以」二に反射鏡面が設
けられてなる多角柱形状部分を有する回転多面鏡に於い
て、樹脂若しくは樹脂を主体とする複合樹脂材料からな
る多角柱形状部分を有する基材と、該多角柱形状部分の
有する１つ以上の側面上に設けられ、その表面が切削加
工され反射鏡面が形成された金属被膜と、該反射鏡面」
二に設けられた増反射膜及び／または保護膜として機能
する被膜とをイアするものであることを特徴とする回転
多面鏡、及び樹脂若しくは樹脂を主体とする複合樹脂材
料から多角柱形状部分を有する基材を成形する過程と、
前記基材の少なくとも反射鏡面が形成される部分に一層
若しくは多層構造の金属被膜を形成する過程と、該金属
被膜の少なくとも反射鏡面を形成する部分を、該被膜が
完全に基材から除去されない程度に、精密切削して反射
鏡面を形成する過程と、該反射鏡面上に増反射膜及び／
または保護膜として機能する被膜を設ける過程とを有す
ることを特徴とする回転多面鏡の製造方法である。
けられてなる多角柱形状部分を有する回転多面鏡に於い
て、樹脂若しくは樹脂を主体とする複合樹脂材料からな
る多角柱形状部分を有する基材と、該多角柱形状部分の
有する１つ以上の側面上に設けられ、その表面が切削加
工され反射鏡面が形成された金属被膜と、該反射鏡面」
二に設けられた増反射膜及び／または保護膜として機能
する被膜とをイアするものであることを特徴とする回転
多面鏡、及び樹脂若しくは樹脂を主体とする複合樹脂材
料から多角柱形状部分を有する基材を成形する過程と、
前記基材の少なくとも反射鏡面が形成される部分に一層
若しくは多層構造の金属被膜を形成する過程と、該金属
被膜の少なくとも反射鏡面を形成する部分を、該被膜が
完全に基材から除去されない程度に、精密切削して反射
鏡面を形成する過程と、該反射鏡面上に増反射膜及び／
または保護膜として機能する被膜を設ける過程とを有す
ることを特徴とする回転多面鏡の製造方法である。
以下、本発明を、正六角柱状の形状を有する回転多面鏡
をその一例として図面に従って更に詳細・に説明する。
をその一例として図面に従って更に詳細・に説明する。
第１図は本発明の回転多面鏡の一例であり、第１図（ａ
）はその斜視図、第１１ｉｆｆｌ（ｂ）は第１１ｆｆｌ
（ａ）に於けるＡ−Ｂ！ｌでの切断断面図である。
）はその斜視図、第１１ｉｆｆｌ（ｂ）は第１１ｆｆｌ
（ａ）に於けるＡ−Ｂ！ｌでの切断断面図である。
ｌは基材であり、正六角柱状の形状を有し、その中心に
は、正六角形の中心軸と同軸の回転多面鏡を回転駆動軸
に設置するための貫通孔４が設けられている。
は、正六角形の中心軸と同軸の回転多面鏡を回転駆動軸
に設置するための貫通孔４が設けられている。
この基材ｌは、樹脂若しくは樹脂を主体とする複合樹脂
材料から形成されている。
材料から形成されている。
２は金属被膜であり、例えば＾１、Ｃｕ、 Ｎｉ、 Ａ
ｇ、Ａｕ等の金属からなり、該被膜のうち角柱の側面に
設けられている部分２ａの表面は切削加工によって処理
されており、形成される回転多面鏡に必要とされる反射
鏡面としての面精度が付与されている。
ｇ、Ａｕ等の金属からなり、該被膜のうち角柱の側面に
設けられている部分２ａの表面は切削加工によって処理
されており、形成される回転多面鏡に必要とされる反射
鏡面としての面精度が付与されている。
３は１反射鏡面２ａ上に設けられた増反射膜及び／また
は保護膜として機能する被膜であり、前記その表面が切
削処理されている金属被膜上に少なくとも設けられてい
る。
は保護膜として機能する被膜であり、前記その表面が切
削処理されている金属被膜上に少なくとも設けられてい
る。
このような構成の本発明の回転多面鏡は、以下のように
して製造することができる。
して製造することができる。
まず、第１図に示したような正六角柱状の形状を有する
基材ｌを成形する。
基材ｌを成形する。
基材１を成形することのできる材料としては、ＰＭＭＡ
（ポリメチルメタアクリレート）、ＡＢＳ樹脂、ポリ
カーボネート等を挙げることができ、また樹脂を主体と
した複合樹脂材ネ；１としては、ガラスファイバー、カ
ーボンファイバー等の他に材料よって複合化された樹脂
材料を挙げることができる。
（ポリメチルメタアクリレート）、ＡＢＳ樹脂、ポリ
カーボネート等を挙げることができ、また樹脂を主体と
した複合樹脂材ネ；１としては、ガラスファイバー、カ
ーボンファイバー等の他に材料よって複合化された樹脂
材料を挙げることができる。
基材ｌは、」；記の材料のなかから１回転多面鏡に要求
される強度、回転多面鏡の用途、あるいは以後に述べる
金属被膜として使用される材料とのマツチング等に応じ
て適宜選択したものを使用し、射出成形法、圧縮成形法
、キャスチング法等の種々の樹脂成形法を用いて成形す
ることができる。
される強度、回転多面鏡の用途、あるいは以後に述べる
金属被膜として使用される材料とのマツチング等に応じ
て適宜選択したものを使用し、射出成形法、圧縮成形法
、キャスチング法等の種々の樹脂成形法を用いて成形す
ることができる。
このように本発明の方法に於いては、樹脂を用いた成形
法によって基材１を成形するので、基材１を容易に所望
の形状とすることができ、特に、反則鏡面が形成される
部分以外の部分が複雑な形状を有する基材であっても容
易に形成可能となった。
法によって基材１を成形するので、基材１を容易に所望
の形状とすることができ、特に、反則鏡面が形成される
部分以外の部分が複雑な形状を有する基材であっても容
易に形成可能となった。
次に、このようにして成形された基材１の少なくとも反
射鏡面が形成される部分１ａに、金属材料からなる被膜
２が第１図に示したように形成される。なお、第１図に
示した例に於いては、基材１の側面及び底面にも金属被
膜が形成されているが、このように基材１の底面にも金
属被膜を形成することによって、基材１の強度を高める
ことができる。
射鏡面が形成される部分１ａに、金属材料からなる被膜
２が第１図に示したように形成される。なお、第１図に
示した例に於いては、基材１の側面及び底面にも金属被
膜が形成されているが、このように基材１の底面にも金
属被膜を形成することによって、基材１の強度を高める
ことができる。
本発明の方法に於ける被膜の形成に使用することのでき
る金属材料としては、前記した樹脂材料からなる基材上
に連続被膜を形成することができ、以後に行なわれる超
精密ダイヤモンド切削に適合し、該切削工程によって精
度良い反射鏡面を形成できるものならばどのようなもの
も使用可能であり、例えばＡ１、Ｃｕ、 Ｎｉ、 Ａｇ
、 Ａｕ等の金属材料を挙げることができる。
る金属材料としては、前記した樹脂材料からなる基材上
に連続被膜を形成することができ、以後に行なわれる超
精密ダイヤモンド切削に適合し、該切削工程によって精
度良い反射鏡面を形成できるものならばどのようなもの
も使用可能であり、例えばＡ１、Ｃｕ、 Ｎｉ、 Ａｇ
、 Ａｕ等の金属材料を挙げることができる。
なお、上記金属材料のなかから、基材１を構成している
材料に応じて適宜選択して、基材１の硬度や強度を補強
することもできる。
材料に応じて適宜選択して、基材１の硬度や強度を補強
することもできる。
本発明の方法に於いて形成される金属被膜は、一層から
なる構成でも良いし、多層からなる構成でも良い。多層
からなる構成の場合には、各層が同一の材料から構成さ
れていても良いし、また各層のうち少なくとも一層が、
他の層と異なる材料から構成されているものであっても
良く、多層構造とする場合には、構成材料を適宜選択す
ることにより、基材と金属被膜と以後に形成する保護層
との密着強度を高めたり、基材の硬度や強度を補強する
こともできる。
なる構成でも良いし、多層からなる構成でも良い。多層
からなる構成の場合には、各層が同一の材料から構成さ
れていても良いし、また各層のうち少なくとも一層が、
他の層と異なる材料から構成されているものであっても
良く、多層構造とする場合には、構成材料を適宜選択す
ることにより、基材と金属被膜と以後に形成する保護層
との密着強度を高めたり、基材の硬度や強度を補強する
こともできる。
本発明の方法に於いて、金属被膜を形成するには、前記
した金属材料を用いて、化学メッキ法、電気メッキ法、
蒸着法等の方法によって、所望の構成の金属被膜を基材
ｌの少なくとも反射鏡面が形成される部分に形成するこ
とができ、その表面に反射鏡面が形成される金属被膜の
膜厚は、以後に行なわれる超精密切削により該被膜表面
に反射鏡面を形成するのに十分な厚さとされ、通常５０
牌〜１００μ程度とされる。
した金属材料を用いて、化学メッキ法、電気メッキ法、
蒸着法等の方法によって、所望の構成の金属被膜を基材
ｌの少なくとも反射鏡面が形成される部分に形成するこ
とができ、その表面に反射鏡面が形成される金属被膜の
膜厚は、以後に行なわれる超精密切削により該被膜表面
に反射鏡面を形成するのに十分な厚さとされ、通常５０
牌〜１００μ程度とされる。
このようにして、形成された金属被膜の反射鏡面として
形成される面には、金属被膜が１層の場合には該金属被
膜が完全に基材ｌから除去されない範囲内で、また金属
被膜が２層以上の多層構成の場合には最表面の一層の被
膜が完全に基材ｌ上から除去されない範囲内で、ダイヤ
モンド工具等を用いた超精密切削処理が行なわれ、必要
な精度を有する反射鏡面２ａが形成される。
形成される面には、金属被膜が１層の場合には該金属被
膜が完全に基材ｌから除去されない範囲内で、また金属
被膜が２層以上の多層構成の場合には最表面の一層の被
膜が完全に基材ｌ上から除去されない範囲内で、ダイヤ
モンド工具等を用いた超精密切削処理が行なわれ、必要
な精度を有する反射鏡面２ａが形成される。
本発明の方法に於いては、最後に」−記のようにして形
成された反射鏡面２ａ上に該反射鏡面の反射機能を高め
たり、反射鏡面を保護する機能を有する被膜３が形成さ
れ、第１図に示すような回転多面鏡を得ることができる
。
成された反射鏡面２ａ上に該反射鏡面の反射機能を高め
たり、反射鏡面を保護する機能を有する被膜３が形成さ
れ、第１図に示すような回転多面鏡を得ることができる
。
上記被膜３の形成には、Ａ１． Ｃｕ、 Ａｕ、 Ａｇ
。
。
５ｉ０２． ＭｇＦ２、Ａｌ２Ｏ３等の材料を用いた、
落着法、スパッタリング法等の薄膜形成法を好適に適用
することができる。
落着法、スパッタリング法等の薄膜形成法を好適に適用
することができる。
以上、正六角柱形状を有する回転多面鏡を１例として本
発明の回転多面鏡を説明したが、本発明の回転多面鏡の
形状は、これに限られることなく所望の種々の形状とす
ることができる。
発明の回転多面鏡を説明したが、本発明の回転多面鏡の
形状は、これに限られることなく所望の種々の形状とす
ることができる。
以上のような本発明の方法によれば、主に、樹脂材料を
用いた成形工程によって、基材が成形され、更に基材の
所定部分に金属材料からなる被膜を形成し、該被膜を超
精密切削して反射鏡面を形成するために、従来のガラス
材料や金属材ネ゛１を切削して基材を形成し、研磨処理
によって反射鏡面を形成していたのと異なり、基材及び
反射鏡面を簡易により短時間で成形可能であり、また反
射鏡面が形成される部分以外の部分を複雑な形状に簡易
に成形することもできるようになり、回転多面鏡を低い
製造コストで製造することが可能となった。
用いた成形工程によって、基材が成形され、更に基材の
所定部分に金属材料からなる被膜を形成し、該被膜を超
精密切削して反射鏡面を形成するために、従来のガラス
材料や金属材ネ゛１を切削して基材を形成し、研磨処理
によって反射鏡面を形成していたのと異なり、基材及び
反射鏡面を簡易により短時間で成形可能であり、また反
射鏡面が形成される部分以外の部分を複雑な形状に簡易
に成形することもできるようになり、回転多面鏡を低い
製造コストで製造することが可能となった。
また、基材が、軽量材料すなわち樹脂若しくは樹脂を主
体とする複合樹脂材料によって形成されているので、軽
量化された回転多面鏡を形成することが可能となった。
体とする複合樹脂材料によって形成されているので、軽
量化された回転多面鏡を形成することが可能となった。
以下、実施例に従って本発明の方法を更に詳細に説明す
る。
る。
実施例１
まず、ＡＢＳ樹脂を使用し、射出成形法により多角柱状
基材を成形した。その後、化学ニッケルメッキを−に記
多角柱状基材表面に、１００ ｕｌの膜厚で施し、続い
てダイヤモンド工具を用いた超精密断面図である。
基材を成形した。その後、化学ニッケルメッキを−に記
多角柱状基材表面に、１００ ｕｌの膜厚で施し、続い
てダイヤモンド工具を用いた超精密断面図である。
切削で取付は及び加工基準面となる角柱側面と直角とな
る端面（底面）両面を５０μ切削し、このようにして切
削された面を切削治具に取付けて、角柱側面の金属被膜
を５０３ｍ切削することにより、面粗さＲｍａｘ、 ０
．０２ ｐ以下、平面度λ／ ５ （０，１２牌以下
）に仕上げ、反射鏡面を形成した。
る端面（底面）両面を５０μ切削し、このようにして切
削された面を切削治具に取付けて、角柱側面の金属被膜
を５０３ｍ切削することにより、面粗さＲｍａｘ、 ０
．０２ ｐ以下、平面度λ／ ５ （０，１２牌以下
）に仕上げ、反射鏡面を形成した。
更に、切削に使用した油を、主に切削面から除去するた
めに基材を洗浄し、反射鏡面の増反射及び保護のための
Ｃｕ、 ５ｉ０７膜を蒸着により施し、本発明の回転多
面鏡を形成した。
めに基材を洗浄し、反射鏡面の増反射及び保護のための
Ｃｕ、 ５ｉ０７膜を蒸着により施し、本発明の回転多
面鏡を形成した。
このようにして形成された回転多面鏡は、基材部分の安
さ、その製造工程の簡易化により、従来の回転多面鏡に
比較して約４０％低い製造コストで製造することができ
た。更に、回転多面鏡の重量を従来のものと比較して約
１／ ２．５に軽量化することができた。
さ、その製造工程の簡易化により、従来の回転多面鏡に
比較して約４０％低い製造コストで製造することができ
た。更に、回転多面鏡の重量を従来のものと比較して約
１／ ２．５に軽量化することができた。
第１図は、本発明方法により形成された回転多面鏡の一
例であり、第１図（ａ）はその平面図、第１図（ｂ）は
第１図（ａ）に於けるＡ−Ｂ線での切断１：基材
１ａ：側面 ２：金属被膜 ２ａ：反射鏡面３：被膜
４：貫通孔 節 １ 図 （ａ） 第 １ 図 （ｂ）
例であり、第１図（ａ）はその平面図、第１図（ｂ）は
第１図（ａ）に於けるＡ−Ｂ線での切断１：基材
１ａ：側面 ２：金属被膜 ２ａ：反射鏡面３：被膜
４：貫通孔 節 １ 図 （ａ） 第 １ 図 （ｂ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）側面の１つ以上に反射鏡面が設けられてなる多角柱
形状部分を有する回転多面鏡に於いて、樹脂若しくは樹
脂を主体とする複合樹脂材料からなる多角柱形状部分を
有する基材と、該多角柱形状部分の有する１つ以上の側
面上に設けられ、その表面が切削加工され反射鏡面が形
成された金属被膜と、該反射鏡面上に設けられた増反射
膜及び／または保護膜として機能する被膜とを有するも
のであることを特徴とする回転多面鏡。 ２）側面の１つ以上に反射鏡面が設けられてなる多角柱
形状部分を有する回転多面鏡を製造する方法に於いて、
樹脂若しくは樹脂を主体とする複合樹脂材料から多角柱
形状部分を有する基材を成形する過程と、前記基材の少
なくとも反射鏡面が形成される部分に一層若しくは多層
構造の金属被膜を形成する過程と、該金属被膜の少なく
とも反射鏡面を形成する部分を、該被膜が完全に基材か
ら除去されない程度に、精密切削して反射鏡面を形成す
る過程と、該反射鏡面上に増反射膜及び／または保護膜
として機能する被膜を設ける過程とを有することを特徴
とする回転多面鏡の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59180491A JPS6159413A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 回転多面鏡及びその製造方法 |
| US06/768,219 US4826271A (en) | 1984-08-31 | 1985-08-22 | Rotational polygon mirror and method of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59180491A JPS6159413A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 回転多面鏡及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6159413A true JPS6159413A (ja) | 1986-03-26 |
| JPH0234009B2 JPH0234009B2 (ja) | 1990-08-01 |
Family
ID=16084162
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59180491A Granted JPS6159413A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 回転多面鏡及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6159413A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61170719A (ja) * | 1985-01-24 | 1986-08-01 | Copal Denshi Kk | 回転多面鏡 |
| JPS62229201A (ja) * | 1986-03-31 | 1987-10-08 | Agency Of Ind Science & Technol | 光学ミラ− |
| JPS6315213A (ja) * | 1986-07-08 | 1988-01-22 | Toray Ind Inc | 回転多面鏡 |
| US5511438A (en) * | 1993-05-31 | 1996-04-30 | Sony Corporation | Positioner |
| US6664952B2 (en) | 1998-11-20 | 2003-12-16 | Fujitsu Limited | Optical scanning-type touch panel |
-
1984
- 1984-08-31 JP JP59180491A patent/JPS6159413A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61170719A (ja) * | 1985-01-24 | 1986-08-01 | Copal Denshi Kk | 回転多面鏡 |
| JPS62229201A (ja) * | 1986-03-31 | 1987-10-08 | Agency Of Ind Science & Technol | 光学ミラ− |
| JPS6315213A (ja) * | 1986-07-08 | 1988-01-22 | Toray Ind Inc | 回転多面鏡 |
| US5511438A (en) * | 1993-05-31 | 1996-04-30 | Sony Corporation | Positioner |
| US6664952B2 (en) | 1998-11-20 | 2003-12-16 | Fujitsu Limited | Optical scanning-type touch panel |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0234009B2 (ja) | 1990-08-01 |
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