JPS61196220A - 回転多面鏡及びその製造方法 - Google Patents
回転多面鏡及びその製造方法Info
- Publication number
- JPS61196220A JPS61196220A JP3645785A JP3645785A JPS61196220A JP S61196220 A JPS61196220 A JP S61196220A JP 3645785 A JP3645785 A JP 3645785A JP 3645785 A JP3645785 A JP 3645785A JP S61196220 A JPS61196220 A JP S61196220A
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- Japan
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- polygon mirror
- rotating polygon
- mirror surface
- base material
- resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/09—Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レザー走査系光学装置などに用いられる回転
多面鏡及びその製造方法に関する。
多面鏡及びその製造方法に関する。
回転多面鏡は、レーザー走査系光学装置などに装着され
、例えばレーザービームの進路を変換させて、レーザー
ビームスポットを受光面上に走査させること等に用いら
れるものであり１代表的には、例えば断面が正六角形な
どの正多角形からなる角柱部材の側面を反射鏡面として
形成した構成のものが知られている。
、例えばレーザービームの進路を変換させて、レーザー
ビームスポットを受光面上に走査させること等に用いら
れるものであり１代表的には、例えば断面が正六角形な
どの正多角形からなる角柱部材の側面を反射鏡面として
形成した構成のものが知られている。
このような回転多面鏡は、従来、光学ガラス部材を、正
多角柱状に研削、研磨等の工程によって成形し、更に、
角柱の側面を研磨処理して反射鏡面を形成する方法、あ
るいはアルミニウム合金等の金属材料からなる部材を断
面が正多角形状である角柱状に切削成形し、ダイヤモン
ド切削工具を用いて、側面を超精密切削して反射鏡面を
形成する方法によって製造されてきた。
多角柱状に研削、研磨等の工程によって成形し、更に、
角柱の側面を研磨処理して反射鏡面を形成する方法、あ
るいはアルミニウム合金等の金属材料からなる部材を断
面が正多角形状である角柱状に切削成形し、ダイヤモン
ド切削工具を用いて、側面を超精密切削して反射鏡面を
形成する方法によって製造されてきた。
しかしながら、上記の方法による回転多面鏡の製造方法
は、工程数が多く、特に光学ガラスあるいは金属材料部
材からの切削等の工程による角柱状基材の成形及び研磨
や切削処理による精度良い反射鏡面の形成等に多くの労
力、時間及び高度な技術が必要とされ、更に反射−面以
外の部分を複雑な形状に成形するには、より複雑で高度
な工程が必要とされるために、製造コストが高くなると
いう問題があった。
は、工程数が多く、特に光学ガラスあるいは金属材料部
材からの切削等の工程による角柱状基材の成形及び研磨
や切削処理による精度良い反射鏡面の形成等に多くの労
力、時間及び高度な技術が必要とされ、更に反射−面以
外の部分を複雑な形状に成形するには、より複雑で高度
な工程が必要とされるために、製造コストが高くなると
いう問題があった。
また、光学ガラスや金属材料を基材として用いるので、
回転多面鏡自身が重く、回転多面鏡を装着する装置の軽
量化にとっての１つの障害となっていた。
回転多面鏡自身が重く、回転多面鏡を装着する装置の軽
量化にとっての１つの障害となっていた。
本発明の目的は、低いコストで簡易に製造することので
きる回転多面鏡を提供することにある。
きる回転多面鏡を提供することにある。
本発明の他の目的は、軽量化された回転多面鏡を提供す
ることにある。
ることにある。
本発明の他の目的は、反射鏡面以外の部分が複雑な回転
多面鏡をも低い製造コストで簡易に形成可能な方法を提
供することにある。
多面鏡をも低い製造コストで簡易に形成可能な方法を提
供することにある。
上記の目的は、以下の本発明により達成することができ
る。
る。
すなわち、本発明は、側面の１つ以上に反射鏡面が設け
られてなる多角柱形状部分を有する回転多面鏡に於いて
、その側面の１つ以上が反射鏡面として成形された多角
柱形状部分を有するように型によって樹脂若しくは樹脂
を主体とする複合樹脂材料から成形された基材と、前記
反射鏡面上に設けられた増反射膜と、該増反射膜上に設
けられた保護膜とを有してなることを特徴とする回転多
面鏡、及び側面の１つ以上に反射鏡面が設けられてなる
多角柱形状部分を有する回転多面鏡を製造する方法に於
いて、樹脂若しくは樹脂を主体とする複合樹脂材料を、
その側面の１つ以上が反射鏡面として成形された多角柱
形状部分を有してなる基材に型を用いて成形する工程と
、該成形された反射鏡面上に増反射膜を設ける工程と、
該反射鏡面上に設けられた増反射膜上に保２ＩＭを設け
る工程とを含むことを特徴とする回転多面鏡の製造方法
である。
られてなる多角柱形状部分を有する回転多面鏡に於いて
、その側面の１つ以上が反射鏡面として成形された多角
柱形状部分を有するように型によって樹脂若しくは樹脂
を主体とする複合樹脂材料から成形された基材と、前記
反射鏡面上に設けられた増反射膜と、該増反射膜上に設
けられた保護膜とを有してなることを特徴とする回転多
面鏡、及び側面の１つ以上に反射鏡面が設けられてなる
多角柱形状部分を有する回転多面鏡を製造する方法に於
いて、樹脂若しくは樹脂を主体とする複合樹脂材料を、
その側面の１つ以上が反射鏡面として成形された多角柱
形状部分を有してなる基材に型を用いて成形する工程と
、該成形された反射鏡面上に増反射膜を設ける工程と、
該反射鏡面上に設けられた増反射膜上に保２ＩＭを設け
る工程とを含むことを特徴とする回転多面鏡の製造方法
である。
以下、本発明を、断面が正六角形の角柱状に形成された
回転多面鏡をその一例として、図面に従って更に詳細に
説明する。
回転多面鏡をその一例として、図面に従って更に詳細に
説明する。
第１図は本発明の回転多面鏡の一例の一部を断面で表し
た模式的斜視図であり、第２図は第１図のＡ−Ａ線に沿
った切断断面図である。
た模式的斜視図であり、第２図は第１図のＡ−Ａ線に沿
った切断断面図である。
本発明の回転多面鏡は、基本的に反射鏡面３がその側面
に成形されている基材１と、反射鏡面３上に設けられた
増反射Ｍ４と、保護Ｈ５とを有してなる。
に成形されている基材１と、反射鏡面３上に設けられた
増反射Ｍ４と、保護Ｈ５とを有してなる。
基材ｌは、断面が正六角形の角柱形状部分を有して成形
されており、この例においては、基材ｌには、回転多面
鏡を走査装置に装着するための貫通孔６がその中心部に
、更に走査装置に回転多面鏡を装着する場合の取付は基
準面２がその底面にそれぞれ成形されている。しかしな
がら１貫通孔６及び取付は基準面２の位置及び形状は、
回転多面鏡の装着される走査装置の種々の態様に応じて
適宜選択することができる。また、基材１の角柱形状は
、正六角柱形状に限られることなく、所望の多角形断面
を有する種々の角柱形状とすることができ、更に１反射
鏡面が設けられる側面以外の基材の部分の形状もまた回
転多面鏡の装着される走査装置の種々の態様に応じて適
宜選択することができる。
されており、この例においては、基材ｌには、回転多面
鏡を走査装置に装着するための貫通孔６がその中心部に
、更に走査装置に回転多面鏡を装着する場合の取付は基
準面２がその底面にそれぞれ成形されている。しかしな
がら１貫通孔６及び取付は基準面２の位置及び形状は、
回転多面鏡の装着される走査装置の種々の態様に応じて
適宜選択することができる。また、基材１の角柱形状は
、正六角柱形状に限られることなく、所望の多角形断面
を有する種々の角柱形状とすることができ、更に１反射
鏡面が設けられる側面以外の基材の部分の形状もまた回
転多面鏡の装着される走査装置の種々の態様に応じて適
宜選択することができる。
基材１は、樹脂若しくは樹脂を主体とする複合樹脂材料
から型を用いて成形されたものであり、この基材を構成
できる材料としては、型によって成形可能であり、かつ
成形された回転多面鏡に必要とされる形状、精度及び機
械的強度を与えることができる材料ならば、どのような
材料でも使用可能であるが、回転多面鏡の軽量化を計る
ならばより軽い成形品を形成できる材料が好適である。
から型を用いて成形されたものであり、この基材を構成
できる材料としては、型によって成形可能であり、かつ
成形された回転多面鏡に必要とされる形状、精度及び機
械的強度を与えることができる材料ならば、どのような
材料でも使用可能であるが、回転多面鏡の軽量化を計る
ならばより軽い成形品を形成できる材料が好適である。
このような材料としては、例えばＰＭＭＡ、ＡＢＳ、ポ
リカーボネート等の樹脂、あるいはこれら樹脂とガラス
ファイバー、カーボンファイバー等の他の材料とを複合
化した材料等を挙げることができる。
リカーボネート等の樹脂、あるいはこれら樹脂とガラス
ファイバー、カーボンファイバー等の他の材料とを複合
化した材料等を挙げることができる。
反射鏡面３は、所定の反射機能を有するような形状及び
反射面精度で、しかも取付は基準面２と所定の位置関係
を有し、走査装置内での所定の設置位置が得られるよう
に、基材を成形する型のこれらの面を成形する部分によ
って、基材の形状とともに成形される。なお、基材ｌを
型によって成形する際に、同時に基準面２ちまた所定の
形状及び面精度に成形する。
反射面精度で、しかも取付は基準面２と所定の位置関係
を有し、走査装置内での所定の設置位置が得られるよう
に、基材を成形する型のこれらの面を成形する部分によ
って、基材の形状とともに成形される。なお、基材ｌを
型によって成形する際に、同時に基準面２ちまた所定の
形状及び面精度に成形する。
被ｇ４は１反射鏡面３の反射機能を高めること、すなわ
ち増反射を目的として、被膜５は、被Ｉｌ！Ｊ４の保護
を主な目的として、それぞれ反射鏡面３上に設けられた
ものである。
ち増反射を目的として、被膜５は、被Ｉｌ！Ｊ４の保護
を主な目的として、それぞれ反射鏡面３上に設けられた
ものである。
なお、保護Ｈ５は、増反射膜４を保護するとともに、少
なくとも反射鏡面での反射機能を阻害しないものである
必要があり、更に反射鏡面の反射率を増加させるもので
あればなお良い、また、反射鏡面３上に設けた、増反射
ＷＩ４若しくは保護膜５は、所望の機能を有するもので
あれば、単一の膜でも良いし、複数の膜から構成された
ものでも良い、更に、これらの皮膜は、基材の強度、耐
湿性、耐環境性等を補うためにその材質及び組合せ等を
適宜選択して構成することができ１反射鏡面上のみなら
ず、反射鏡面以外の基材の部分にも所望に応じて設ける
ことができる。
なくとも反射鏡面での反射機能を阻害しないものである
必要があり、更に反射鏡面の反射率を増加させるもので
あればなお良い、また、反射鏡面３上に設けた、増反射
ＷＩ４若しくは保護膜５は、所望の機能を有するもので
あれば、単一の膜でも良いし、複数の膜から構成された
ものでも良い、更に、これらの皮膜は、基材の強度、耐
湿性、耐環境性等を補うためにその材質及び組合せ等を
適宜選択して構成することができ１反射鏡面上のみなら
ず、反射鏡面以外の基材の部分にも所望に応じて設ける
ことができる。
増反射膜４を形成することのできる材料としては、Ｃｕ
、 ＡＩ、 Ａｕ、 Ａｇ等の増反射機能を有する被膜
を形成することのできる金属を挙げることができ、また
保護及び反射率増加のための被１ｔ！５を形成すること
のできる材料としては、 ＳｉＯ、ＮｇＦ２、ＣｅＯ２
等を挙げることができる。
、 ＡＩ、 Ａｕ、 Ａｇ等の増反射機能を有する被膜
を形成することのできる金属を挙げることができ、また
保護及び反射率増加のための被１ｔ！５を形成すること
のできる材料としては、 ＳｉＯ、ＮｇＦ２、ＣｅＯ２
等を挙げることができる。
以上のような構成の本発明の回転多面鏡は、以下のよう
にして形成することができる。
にして形成することができる。
まず、先に挙げた基材形成用材料を１例えば射出成形法
、圧縮成形法、キャスチング法等の型を用いた成形法に
より基材ｌの形状に成形すると同時に１反射鏡面３と取
付は基準面２とを所定の形状及び面精度で、これらが互
いに前述したような位置関係を有するように成形する。
、圧縮成形法、キャスチング法等の型を用いた成形法に
より基材ｌの形状に成形すると同時に１反射鏡面３と取
付は基準面２とを所定の形状及び面精度で、これらが互
いに前述したような位置関係を有するように成形する。
従って、これらの面を成形する型はこれらの面に所定の
形状及び面精度を付与できるように形成されている必要
がある。
形状及び面精度を付与できるように形成されている必要
がある。
このようにして基材１を成形したところで１反射鏡面３
上に、先に挙げた金属材料から反射鏡面に所定の反射率
を与えることができる材料を適宜選択して、例えば蒸着
法、イオンブレーティング法、スパッタリング法等の成
膜法によって増反射膜４を設ける。増反射Ｍ４は所定の
増反射機能が得られる膜厚に形成され、通常０．０５μ
ｓ〜０．２ Ｊｌｌｍの膜厚に形成される。
上に、先に挙げた金属材料から反射鏡面に所定の反射率
を与えることができる材料を適宜選択して、例えば蒸着
法、イオンブレーティング法、スパッタリング法等の成
膜法によって増反射膜４を設ける。増反射Ｍ４は所定の
増反射機能が得られる膜厚に形成され、通常０．０５μ
ｓ〜０．２ Ｊｌｌｍの膜厚に形成される。
更に、増反射Ｍ４上に、先に挙げた保護膜形成用材料か
ら所望に応じて選択した材料を用いて、蒸着法、イオン
ブレーティング法、スパッタリング法等の成膜法により
、保護膜５を設けて、本発明の回転多面鏡を得ることが
できる。保護Ｍ５もまた所定の保護膜としての機能が得
られる膜厚に形成され、通常０．０２μｓ〜０．１μｓ
の膜厚に形成される。
ら所望に応じて選択した材料を用いて、蒸着法、イオン
ブレーティング法、スパッタリング法等の成膜法により
、保護膜５を設けて、本発明の回転多面鏡を得ることが
できる。保護Ｍ５もまた所定の保護膜としての機能が得
られる膜厚に形成され、通常０．０２μｓ〜０．１μｓ
の膜厚に形成される。
このような本発明によれば、回転多面鏡の製造に際して
、光学ガラスあるいは金属部材を研削、研磨等の工程に
より成形して回転多面鏡を形成する従来の方法と比べて
、工程数が大幅に削減され、かつ簡易な工程によって回
転多面鏡を製造可能であるので、より低い製造コストの
回転多面鏡を提供することができる。
、光学ガラスあるいは金属部材を研削、研磨等の工程に
より成形して回転多面鏡を形成する従来の方法と比べて
、工程数が大幅に削減され、かつ簡易な工程によって回
転多面鏡を製造可能であるので、より低い製造コストの
回転多面鏡を提供することができる。
また、本発明に於いては、樹脂材料から型を用いた成形
法によって、回転多面鏡の基材部分を成形するので、回
転多面鏡に容易に所望の形状を付与することができ、特
に１反射鏡面が形成される部分以外の部分が複雑な形状
を有する回転多面鏡であっても容易に形成可能となった
。
法によって、回転多面鏡の基材部分を成形するので、回
転多面鏡に容易に所望の形状を付与することができ、特
に１反射鏡面が形成される部分以外の部分が複雑な形状
を有する回転多面鏡であっても容易に形成可能となった
。
更に１本発明の回転多面鏡においては１回転多面鏡の主
要部分が、軽量材料すなわち樹脂若しくは樹脂を主体と
する樹脂複合材料によって形成されているので、光学ガ
ラスあるいは金属から主に形成されていた従来の回転多
面鏡に比べて、５０〜６ｏｚ程度の軽量化が可能となっ
た。
要部分が、軽量材料すなわち樹脂若しくは樹脂を主体と
する樹脂複合材料によって形成されているので、光学ガ
ラスあるいは金属から主に形成されていた従来の回転多
面鏡に比べて、５０〜６ｏｚ程度の軽量化が可能となっ
た。
第１図は本発明の回転多面鏡の一態様例の一部を断面で
表した模式的斜視図であり、第２図は第１図のＡ−Ａ線
に沿った切断断面図である。 ｌ：基材 ２：取付は基準面 ３：反射鏡面 ４：増反射膜 ５：保護膜 ６：貫通孔 第１図 第２図
表した模式的斜視図であり、第２図は第１図のＡ−Ａ線
に沿った切断断面図である。 ｌ：基材 ２：取付は基準面 ３：反射鏡面 ４：増反射膜 ５：保護膜 ６：貫通孔 第１図 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）側面の１つ以上に反射鏡面が設けられてなる多角柱
形状部分を有する回転多面鏡に於いて、その側面の１つ
以上が反射鏡面として成形された多角柱形状部分を有す
るように型によって樹脂若しくは樹脂を主体とする複合
樹脂材料から成形された基材と、前記反射鏡面上に設け
られた増反射膜と、該増反射膜上に設けられた保護膜と
を有してなることを特徴とする回転多面鏡。 ２）側面の１つ以上に反射鏡面が設けられてなる多角柱
形状部分を有する回転多面鏡を製造する方法に於いて、
樹脂若しくは樹脂を主体とする複合樹脂材料を、その側
面の１つ以上が反射鏡面として成形された多角柱形状部
分を有してなる基材に型を用いて成形する工程と、該成
形された反射鏡面上に増反射膜を設ける工程と、該反射
鏡面上に設けられた増反射膜上に保護膜を設ける工程と
を含むことを特徴とする回転多面鏡の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3645785A JPS61196220A (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | 回転多面鏡及びその製造方法 |
| US06/831,835 US4842354A (en) | 1985-02-27 | 1986-02-24 | Rotary polygonal mirror and method of making the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3645785A JPS61196220A (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | 回転多面鏡及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61196220A true JPS61196220A (ja) | 1986-08-30 |
Family
ID=12470349
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3645785A Pending JPS61196220A (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | 回転多面鏡及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61196220A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6315213A (ja) * | 1986-07-08 | 1988-01-22 | Toray Ind Inc | 回転多面鏡 |
| JPS6484215A (en) * | 1987-09-28 | 1989-03-29 | Seiko Epson Corp | Plastic optical parts |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5729004A (en) * | 1980-07-30 | 1982-02-16 | Ricoh Co Ltd | Rotary polyhedral mirror |
| JPS59172624A (ja) * | 1983-03-23 | 1984-09-29 | Hitachi Ltd | 光偏向走査装置 |
-
1985
- 1985-02-27 JP JP3645785A patent/JPS61196220A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5729004A (en) * | 1980-07-30 | 1982-02-16 | Ricoh Co Ltd | Rotary polyhedral mirror |
| JPS59172624A (ja) * | 1983-03-23 | 1984-09-29 | Hitachi Ltd | 光偏向走査装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6315213A (ja) * | 1986-07-08 | 1988-01-22 | Toray Ind Inc | 回転多面鏡 |
| JPS6484215A (en) * | 1987-09-28 | 1989-03-29 | Seiko Epson Corp | Plastic optical parts |
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