JPH0152730B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0152730B2 JPH0152730B2 JP55141006A JP14100680A JPH0152730B2 JP H0152730 B2 JPH0152730 B2 JP H0152730B2 JP 55141006 A JP55141006 A JP 55141006A JP 14100680 A JP14100680 A JP 14100680A JP H0152730 B2 JPH0152730 B2 JP H0152730B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polygon mirror
- rotating polygon
- scanning
- mirror
- rotating
- Prior art date
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- Expired
Links
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- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 4
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 3
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- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/09—Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は照射ビーム走査装置に用いられる回転
多面鏡の改良に関する。
多面鏡の改良に関する。
近時、照射ビームとしてAr+イオンレーザビー
ムを用いた線走査により、搬送されるシート状原
稿を読取り、かつこの読取り信号による光変調を
受け電子写真プロセスにおける感光体を露光する
ために用いられるレーザビーム走査装置が開発さ
れ、実用化されるに至つている。
ムを用いた線走査により、搬送されるシート状原
稿を読取り、かつこの読取り信号による光変調を
受け電子写真プロセスにおける感光体を露光する
ために用いられるレーザビーム走査装置が開発さ
れ、実用化されるに至つている。
また、この装置においては、線走査するために
ガルバミラースキヤナが使用されているが、これ
はガルバミラーを往復揺動することによりレーザ
ビームを偏向し、走査ビームに変換する構造であ
るため走査速度に限界がある。
ガルバミラースキヤナが使用されているが、これ
はガルバミラーを往復揺動することによりレーザ
ビームを偏向し、走査ビームに変換する構造であ
るため走査速度に限界がある。
そこで、最近では走査速度を高速化するために
上記ガルバミラーの替りとして回転多面鏡が開発
されている。この回転多面鏡は端面が平坦かつ正
多角形である直角柱状に形成されていて、側面を
反射面としており、回転に伴つてレーザビームを
偏向し走査ビームに変換するように構成されてい
る。
上記ガルバミラーの替りとして回転多面鏡が開発
されている。この回転多面鏡は端面が平坦かつ正
多角形である直角柱状に形成されていて、側面を
反射面としており、回転に伴つてレーザビームを
偏向し走査ビームに変換するように構成されてい
る。
しかしながら、反射面を形成すべくこのような
回転多面鏡を複数個重合してその側面を同時加工
しようとすると、それらの側面間に加工によつて
生じる切りくずがつまり、所望の加工が行なえな
い。また、反射面の端面側エツジ部がシヤープに
仕上らず、微細な凹凸を生じる。したがつて、複
数個の回転多面鏡を同時に加工することは不可能
であり、作業性が悪いという欠点がある。
回転多面鏡を複数個重合してその側面を同時加工
しようとすると、それらの側面間に加工によつて
生じる切りくずがつまり、所望の加工が行なえな
い。また、反射面の端面側エツジ部がシヤープに
仕上らず、微細な凹凸を生じる。したがつて、複
数個の回転多面鏡を同時に加工することは不可能
であり、作業性が悪いという欠点がある。
本発明は上記事情にもとづいてなされたもの
で、その目的とするところは、複数個同時加工を
可能とし、作業性の向上を図れる照射ビーム走査
装置の回転多面鏡を提供することにある。
で、その目的とするところは、複数個同時加工を
可能とし、作業性の向上を図れる照射ビーム走査
装置の回転多面鏡を提供することにある。
以下、本発明の一実施例を図面にもとづいて説
明する。第１図は照射ビームとしてのレーザビー
ム走査装置の構成を概略的に示すもので、１はレ
ーザ管である。このレーザ管１から発したレーザ
ビームａは変調器２、集光レンズ３およびシリン
ドリカルレンズ４を順次通過したのち回転多面鏡
５の反射面６に入射するようになつている。この
回転多面鏡５は第２図にも示すように軸穴７をモ
ータ８の回転軸９に嵌合し、下面としての端面１
０を回転軸９に焼き嵌めされたホルダ１１に当接
し、これらによつて取り付け位置が規制される状
態で、ホルダ１１にねじ止めされており、反射面
６に入射したレーザビームａを回転に伴つて偏向
し、走査ビームｂに変換するようになつている。
そして、この走査ビームｂはfθレンズ１２および
シリンドリカルレンズ４を通過したのちモードセ
レクトミラー１３を経て図示しない原稿の原稿面
あるいは感光体１４の感光面１５を線走査するよ
うになつている。
明する。第１図は照射ビームとしてのレーザビー
ム走査装置の構成を概略的に示すもので、１はレ
ーザ管である。このレーザ管１から発したレーザ
ビームａは変調器２、集光レンズ３およびシリン
ドリカルレンズ４を順次通過したのち回転多面鏡
５の反射面６に入射するようになつている。この
回転多面鏡５は第２図にも示すように軸穴７をモ
ータ８の回転軸９に嵌合し、下面としての端面１
０を回転軸９に焼き嵌めされたホルダ１１に当接
し、これらによつて取り付け位置が規制される状
態で、ホルダ１１にねじ止めされており、反射面
６に入射したレーザビームａを回転に伴つて偏向
し、走査ビームｂに変換するようになつている。
そして、この走査ビームｂはfθレンズ１２および
シリンドリカルレンズ４を通過したのちモードセ
レクトミラー１３を経て図示しない原稿の原稿面
あるいは感光体１４の感光面１５を線走査するよ
うになつている。
このようにレーザビーム走査装置に使用される
回転多面鏡５について第３図および第４図を参照
しながら詳述すると、この回転多面鏡５はアルミ
材を加工して形成したもので、端面１０が正多角
形である直角柱状に形成された回転多面鏡本体１
６を有している。この回転多面鏡本体１６の側面
２２は、ダイヤモンドカツターを用い、送り量を
ミクロン単位にして切削加工することにより鏡面
仕上げされ、さらにシリコンを蒸着して、反射面
６を形成している。また、回転多面鏡本体１６の
両端面１０，１０はそれぞれ周縁近傍を除く部分
に円板状に突出して形成された段部１７，１７に
よつて段差形状を呈している。そして、この段部
１７は複数個の回転多面鏡本体１６をその端面１
０を重合したとき、これらの側面２２間に凹溝と
しての後述するくず逃し溝２３を形成する。ま
た、上記上面としての端面１０に形成された段部
１７には回転多面鏡５の回転時に振動の発生を防
止するバランスウエイトを取付けるためのバラン
スウエイト取付溝１８が環状に形成されていて、
回転バランスを容易に調節できるようになつてい
る。さらに、上記回転多面鏡本体１６には上記モ
ータ８の回転軸９に嵌合する上記軸穴７が設けら
れているとともに、そのまわりに等間隔に上記ホ
ルダ１１へねじ止めするためのねじ挿通穴１９が
設けられており、これら軸穴７およびねじ挿通穴
１９は上面としての端面１０から下面としての端
面１０まで貫通している。ねじ挿通穴１９間には
図示しない摘み部としてのピンを螺着し得るピン
取付穴２０が形成されていて、ピンを取り付ける
ことにより運搬時および回転軸９への着脱時容易
に扱うことができ、しかも反射面６に手等が触れ
てこれを損なうことがないようになつている。
回転多面鏡５について第３図および第４図を参照
しながら詳述すると、この回転多面鏡５はアルミ
材を加工して形成したもので、端面１０が正多角
形である直角柱状に形成された回転多面鏡本体１
６を有している。この回転多面鏡本体１６の側面
２２は、ダイヤモンドカツターを用い、送り量を
ミクロン単位にして切削加工することにより鏡面
仕上げされ、さらにシリコンを蒸着して、反射面
６を形成している。また、回転多面鏡本体１６の
両端面１０，１０はそれぞれ周縁近傍を除く部分
に円板状に突出して形成された段部１７，１７に
よつて段差形状を呈している。そして、この段部
１７は複数個の回転多面鏡本体１６をその端面１
０を重合したとき、これらの側面２２間に凹溝と
しての後述するくず逃し溝２３を形成する。ま
た、上記上面としての端面１０に形成された段部
１７には回転多面鏡５の回転時に振動の発生を防
止するバランスウエイトを取付けるためのバラン
スウエイト取付溝１８が環状に形成されていて、
回転バランスを容易に調節できるようになつてい
る。さらに、上記回転多面鏡本体１６には上記モ
ータ８の回転軸９に嵌合する上記軸穴７が設けら
れているとともに、そのまわりに等間隔に上記ホ
ルダ１１へねじ止めするためのねじ挿通穴１９が
設けられており、これら軸穴７およびねじ挿通穴
１９は上面としての端面１０から下面としての端
面１０まで貫通している。ねじ挿通穴１９間には
図示しない摘み部としてのピンを螺着し得るピン
取付穴２０が形成されていて、ピンを取り付ける
ことにより運搬時および回転軸９への着脱時容易
に扱うことができ、しかも反射面６に手等が触れ
てこれを損なうことがないようになつている。
しかして、このような構成の回転多面鏡５の反
射面６を形成する場合は複数個同時加工する。す
なわち、第５図に示すように複数枚の回転多面鏡
本体１６を治具２１に重合してセツトし、それぞ
れの側面２２をダイヤモンドカツターにより同時
に切削加工し、鏡面仕上げする。このとき生じる
切りくずはこれら回転多面鏡本体１６の側面２２
間に段部１７によつて形成されるくず逃し溝２３
から排出される。したがつて、回転多面鏡本体１
６間に切くずがつまつて切削障害を惹起すること
はない。また、側面２２の端面１０側をシヤープ
に仕上げることができる。
射面６を形成する場合は複数個同時加工する。す
なわち、第５図に示すように複数枚の回転多面鏡
本体１６を治具２１に重合してセツトし、それぞ
れの側面２２をダイヤモンドカツターにより同時
に切削加工し、鏡面仕上げする。このとき生じる
切りくずはこれら回転多面鏡本体１６の側面２２
間に段部１７によつて形成されるくず逃し溝２３
から排出される。したがつて、回転多面鏡本体１
６間に切くずがつまつて切削障害を惹起すること
はない。また、側面２２の端面１０側をシヤープ
に仕上げることができる。
鏡面仕上げされた側面２２にはシリコンが蒸着
され、このようにして、反射面６が形成される。
され、このようにして、反射面６が形成される。
なお、本実施例では、照射ビームとしてレーザ
ビームａを用いたが、本発明はこれに限定される
ものではないことは勿論である。
ビームａを用いたが、本発明はこれに限定される
ものではないことは勿論である。
以上説明したように本発明によれば、回転多面
鏡本体の端面に段部を設けたから、回転多面鏡本
体端面相互を重合したとき側面間に凹溝が形成さ
れ、その凹溝から同時加工時生じる切りくずを逃
すことができ、切削障害を防止できる。したがつ
て、複数個同時加工が可能となり、作業性の向上
を図れる等優れた効果を奏する。
鏡本体の端面に段部を設けたから、回転多面鏡本
体端面相互を重合したとき側面間に凹溝が形成さ
れ、その凹溝から同時加工時生じる切りくずを逃
すことができ、切削障害を防止できる。したがつ
て、複数個同時加工が可能となり、作業性の向上
を図れる等優れた効果を奏する。
図面は本発明の一実施例を示すもので、第１図
は照射ビーム走査装置の構成を概略的に示す斜視
図、第２図は回転多面鏡をモータに装着した状態
を示す一部切欠した側面図、第３図は回転多面鏡
の平面図、第４図はその斜視図、第５図は側面を
加工すべく複数枚の回転多面鏡本体を治具に重合
してセツトした状態を示す側面図である。 ａ……照射ビーム（レーザビーム）、６……反
射面、１０……端面、ｂ……走査ビーム、１６…
…回転多面鏡本体、１７……段部。
は照射ビーム走査装置の構成を概略的に示す斜視
図、第２図は回転多面鏡をモータに装着した状態
を示す一部切欠した側面図、第３図は回転多面鏡
の平面図、第４図はその斜視図、第５図は側面を
加工すべく複数枚の回転多面鏡本体を治具に重合
してセツトした状態を示す側面図である。 ａ……照射ビーム（レーザビーム）、６……反
射面、１０……端面、ｂ……走査ビーム、１６…
…回転多面鏡本体、１７……段部。
Claims (1)
- １ 回転に伴つて照射ビームを偏向し、走査ビー
ムに変換する回転多面鏡本体と、この回転多面鏡
本体の少なくとも一方の端面の周縁近傍を除く部
分に突出して設けられ、回転多面鏡本体の端面相
互を重合したとき側面間に凹溝を形成する段部と
を具備したことを特徴とする照射ビーム走査装置
の回転多面鏡。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55141006A JPS5764701A (en) | 1980-10-08 | 1980-10-08 | Rotary multisurface mirror for irradiation beam scanner |
| US06/280,051 US4421385A (en) | 1980-08-04 | 1981-06-30 | Polygon mirror for use with laser beam scanning apparatus including means for handling and storing the mirror |
| DE3129502A DE3129502C2 (de) | 1980-08-04 | 1981-07-27 | Polygonspiegel |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55141006A JPS5764701A (en) | 1980-10-08 | 1980-10-08 | Rotary multisurface mirror for irradiation beam scanner |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12023191A Division JPH04230729A (ja) | 1991-05-24 | 1991-05-24 | 回転多面鏡の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5764701A JPS5764701A (en) | 1982-04-20 |
| JPH0152730B2 true JPH0152730B2 (ja) | 1989-11-09 |
Family
ID=15281985
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55141006A Granted JPS5764701A (en) | 1980-08-04 | 1980-10-08 | Rotary multisurface mirror for irradiation beam scanner |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5764701A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5984217A (ja) * | 1982-11-05 | 1984-05-15 | Canon Inc | 回転多面鏡 |
| JPH0619555B2 (ja) * | 1986-03-10 | 1994-03-16 | 富士写真フイルム株式会社 | 感光性マイクロカプセルの製造方法 |
| KR100712736B1 (ko) * | 2002-08-14 | 2007-05-04 | 한국기계연구원 | 마이크로 미러 제조방법 |
| JP4542882B2 (ja) * | 2004-12-10 | 2010-09-15 | 株式会社リコー | 回転子の製造方法、ポリゴンミラー、ポリゴンスキャナユニット、レーザスキャンユニットおよび画像形成措置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5110388A (ja) * | 1974-06-27 | 1976-01-27 | Fujikura Ltd |
-
1980
- 1980-10-08 JP JP55141006A patent/JPS5764701A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5110388A (ja) * | 1974-06-27 | 1976-01-27 | Fujikura Ltd |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5764701A (en) | 1982-04-20 |
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