JPS6052409B2 - 光ビ−ム走査装置 - Google Patents
光ビ−ム走査装置Info
- Publication number
- JPS6052409B2 JPS6052409B2 JP53128884A JP12888478A JPS6052409B2 JP S6052409 B2 JPS6052409 B2 JP S6052409B2 JP 53128884 A JP53128884 A JP 53128884A JP 12888478 A JP12888478 A JP 12888478A JP S6052409 B2 JPS6052409 B2 JP S6052409B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light beam
- scanning
- polygon mirror
- rotating polygon
- scanning direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は回転多面鏡を用いた改良された光ビーム走査
装置に関するものである。
装置に関するものである。
近年レーザ光などの光ビームを走査して情報を読み取
つたり記録したりする装置が多く開発されている。
つたり記録したりする装置が多く開発されている。
このような装置において用いられる光偏向器の一種に回
転多面鏡がある。回転多面鏡は非常に高度に精密加工さ
れたものであつてもその回転軸と反射面との平行度に多
少の誤差がある。この平行度誤差は回転多面鏡による光
ビームの走査方向に対して垂直な方向に光ビームを偏倚
させるので、回転多面鏡の各反射面によつて光ビームが
走査面に描く走査線の軌跡が一致しない。 この平行度
誤差による走査線の偏倚を光学的に補正して回転多面鏡
の各反射面による走査線の軌跡を一致させる方法がいく
つか提案されている。
転多面鏡がある。回転多面鏡は非常に高度に精密加工さ
れたものであつてもその回転軸と反射面との平行度に多
少の誤差がある。この平行度誤差は回転多面鏡による光
ビームの走査方向に対して垂直な方向に光ビームを偏倚
させるので、回転多面鏡の各反射面によつて光ビームが
走査面に描く走査線の軌跡が一致しない。 この平行度
誤差による走査線の偏倚を光学的に補正して回転多面鏡
の各反射面による走査線の軌跡を一致させる方法がいく
つか提案されている。
たとえば特公昭５２−２８６６６号明細書に記載された
方法があり、これは第１図のように展関して描くことが
できる。第１図でａは回転多面鏡による光ビームの走査
方向の、をは走査方向に対して垂直な方向の光ビームの
状態を表わしている。この方法では第１の円柱レンズ１
１により回転多面鏡による光ビームの走査方向に対して
垂直な方向にのみ光ビームを集束して回転多面鏡の反射
面１５上により反射された光ビームを第２の円柱レンズ
１２によつてコリメートし、集束レンズ１３によつて走
査面１６上に点像を形成するようにする。すると、回転
多面鏡による光ビームの走査方向に対して垂直な方向に
関してみれば反射面１５上の線像と走査面１６上の点像
とが物点と像点の関係になつており、反射面１５によつ
て反射された光ビームの方向が平行度誤差のために変わ
つても走査面１６上では一定の位置に集束されることに
なり、走査線の軌跡は常に一致する。いま第１及び第２
の円柱レンズ１１及び１２の焦点距離をそれぞれｆ、、
及びｆ、Ｏとし集束レンズ１３の焦点距離をｆ、３とす
ると、第２の円柱レンズは反射面１５と集束レンズ１３
の間に配設することになるのででなけＩｃ！ｉらない。
さらに走査面１６上に形成される点像を円形にするため
にはとしなければならない。
方法があり、これは第１図のように展関して描くことが
できる。第１図でａは回転多面鏡による光ビームの走査
方向の、をは走査方向に対して垂直な方向の光ビームの
状態を表わしている。この方法では第１の円柱レンズ１
１により回転多面鏡による光ビームの走査方向に対して
垂直な方向にのみ光ビームを集束して回転多面鏡の反射
面１５上により反射された光ビームを第２の円柱レンズ
１２によつてコリメートし、集束レンズ１３によつて走
査面１６上に点像を形成するようにする。すると、回転
多面鏡による光ビームの走査方向に対して垂直な方向に
関してみれば反射面１５上の線像と走査面１６上の点像
とが物点と像点の関係になつており、反射面１５によつ
て反射された光ビームの方向が平行度誤差のために変わ
つても走査面１６上では一定の位置に集束されることに
なり、走査線の軌跡は常に一致する。いま第１及び第２
の円柱レンズ１１及び１２の焦点距離をそれぞれｆ、、
及びｆ、Ｏとし集束レンズ１３の焦点距離をｆ、３とす
ると、第２の円柱レンズは反射面１５と集束レンズ１３
の間に配設することになるのででなけＩｃ！ｉらない。
さらに走査面１６上に形成される点像を円形にするため
にはとしなければならない。
つまり第１及び第２の円柱レンズは、その焦点距離Ｆｌ
ｌ及びＦｌ２を共に集束レンズの焦点距離Ｆｌ３よりも
短かくする必要がある。たとえばＦｌ３＝５０ＷＬの場
合には、Ｆｌｌ＝Ｆｌ２＝３０〜３５Ｔｆｒ１ＩＬ程度
となる。このような短焦点の円柱レンズを高品質に製造
することは容易でない。また第１の円柱レンズの焦点距
離Ｆｌｌがこのように短かいとその焦点深度が浅くなる
ため、反射面１５の回転に伴なう光ビームの反射位置の
ずれによる走査面１６上での光ビームの集束状態が変化
していまうことになる。この欠点を解決する１つの方法
は実開昭５３一９１８４５号明細書に記載されており、
これは第２図にように展関して描くことができる。
ｌ及びＦｌ２を共に集束レンズの焦点距離Ｆｌ３よりも
短かくする必要がある。たとえばＦｌ３＝５０ＷＬの場
合には、Ｆｌｌ＝Ｆｌ２＝３０〜３５Ｔｆｒ１ＩＬ程度
となる。このような短焦点の円柱レンズを高品質に製造
することは容易でない。また第１の円柱レンズの焦点距
離Ｆｌｌがこのように短かいとその焦点深度が浅くなる
ため、反射面１５の回転に伴なう光ビームの反射位置の
ずれによる走査面１６上での光ビームの集束状態が変化
していまうことになる。この欠点を解決する１つの方法
は実開昭５３一９１８４５号明細書に記載されており、
これは第２図にように展関して描くことができる。
第２図でａは回転多面鏡による光ビームの走査方向のｂ
は走査方向に対して垂直な方向の光ビームの状態を表わ
している。この方法では第１の円柱レンズ２１により回
転多面鏡の光ビームの走査方向に対して垂直な方向にの
み光ビームを集束して回転多面鏡の反射面２５上に走査
方向に平行な線像を形成し、反射面２５により反射され
た光ビームを集束レンズ２３及び第２の円柱レンズ２２
によつて集束し、走査面２６上に点像を形成するように
する。この方法は第２の円柱レンズ２２が集束レンズ２
３よりも後側に配設されている点は特公昭５２−２８６
６６号明細書に記載された方法と異なるが、反射面２５
によつて反射された光ビームの方向が平行度誤差のため
に変わつても走査面２６上では一定の位置に集束されて
走査線の軌跡が常に一致する、という原理は同じである
。いま第１及び第２の円柱レンズ２１及び２２の焦点距
離をそれぞれＦ２ｌ及びＦ２２とし、集束レンズの焦点
距離をＦ２３とすると、第２の円柱レンズ２２は集束レ
ンズ２３と走査面２６の間に配設することになるのでで
なければならない。さらに走査面２６上に形成される点
像を円形にするためにはとしなければならない。
は走査方向に対して垂直な方向の光ビームの状態を表わ
している。この方法では第１の円柱レンズ２１により回
転多面鏡の光ビームの走査方向に対して垂直な方向にの
み光ビームを集束して回転多面鏡の反射面２５上に走査
方向に平行な線像を形成し、反射面２５により反射され
た光ビームを集束レンズ２３及び第２の円柱レンズ２２
によつて集束し、走査面２６上に点像を形成するように
する。この方法は第２の円柱レンズ２２が集束レンズ２
３よりも後側に配設されている点は特公昭５２−２８６
６６号明細書に記載された方法と異なるが、反射面２５
によつて反射された光ビームの方向が平行度誤差のため
に変わつても走査面２６上では一定の位置に集束されて
走査線の軌跡が常に一致する、という原理は同じである
。いま第１及び第２の円柱レンズ２１及び２２の焦点距
離をそれぞれＦ２ｌ及びＦ２２とし、集束レンズの焦点
距離をＦ２３とすると、第２の円柱レンズ２２は集束レ
ンズ２３と走査面２６の間に配設することになるのでで
なければならない。さらに走査面２６上に形成される点
像を円形にするためにはとしなければならない。
たとえばＦ２３＝５０７ｒｎの場合には、Ｆ２２＝３０
〜３５Ｔ０！ｌ程度としなければならないが、Ｆ２ｌ＝
羽〜７１ｗｔ程度と長くとることができる。つまり第１
の円柱レンズの焦点距離Ｆ２ｌはかなり長くすることが
できて焦点深度が深くなり、反射面２５の回転に伴なう
光ビームの反射位置のずれによる走査面２６上での光ビ
ームの集束状態の変化は減少させることができる。しか
し第２の円柱レンズはやはり短焦点レンズであり、高品
質に製造することは容易でない。本発明の目的は回転多
面鏡の平行度誤差による走査線の走査方向に対して垂直
な方向の偏倚を除去した改良された光ビーム走査装置を
提供することである。
〜３５Ｔ０！ｌ程度としなければならないが、Ｆ２ｌ＝
羽〜７１ｗｔ程度と長くとることができる。つまり第１
の円柱レンズの焦点距離Ｆ２ｌはかなり長くすることが
できて焦点深度が深くなり、反射面２５の回転に伴なう
光ビームの反射位置のずれによる走査面２６上での光ビ
ームの集束状態の変化は減少させることができる。しか
し第２の円柱レンズはやはり短焦点レンズであり、高品
質に製造することは容易でない。本発明の目的は回転多
面鏡の平行度誤差による走査線の走査方向に対して垂直
な方向の偏倚を除去した改良された光ビーム走査装置を
提供することである。
本発明によれば、回転多面鏡の平行度誤差による走査線
の偏倚を除くに際して、短焦点の円柱レンズを必要とせ
ず比較的長い焦点距離の円柱レンズを用いることができ
る。
の偏倚を除くに際して、短焦点の円柱レンズを必要とせ
ず比較的長い焦点距離の円柱レンズを用いることができ
る。
比較的長い焦点距離の円柱レンズは製造も容易であつて
高品質なものが得られ、さらにその焦点深度も深くなる
ので回転多面鏡の反射面の回転に伴なう光ビームの反射
位置のずれによる走査面上での光ビームの集束状態の変
化を減少させることができる。本発明は回転多面鏡を用
いた光ビーム走査装置において、入射する光ビームを集
束して前記回転多面鏡の反射面上に前記回転多面鏡によ
る光ビームの走査方向と平行な第１の線像を形成する一
方向集束性光学素子と、前記反射面によつて反射された
光ビームを集束して前記走査方向に対して垂直な第２の
線像を形成する第１の集束光学系と、前記第２の線像に
関して前記第１の集束光学系と”反対側にあつて前記走
査方向に対して垂直な方向に光ビームを発散させる一方
向発散性光学素子と、光ビームを走査面上に集束させて
点像を形成する第２の集束光学系とから成り、前記走査
方向に関しては前記第２の線像と前記点像とが、また前
記走査方向に対して垂直な方向に関しては前記第１の線
像と前記点像とがそれぞれ物点と像点の関係になるよう
にしたことを特徴とする光ビーム走査装置である。
高品質なものが得られ、さらにその焦点深度も深くなる
ので回転多面鏡の反射面の回転に伴なう光ビームの反射
位置のずれによる走査面上での光ビームの集束状態の変
化を減少させることができる。本発明は回転多面鏡を用
いた光ビーム走査装置において、入射する光ビームを集
束して前記回転多面鏡の反射面上に前記回転多面鏡によ
る光ビームの走査方向と平行な第１の線像を形成する一
方向集束性光学素子と、前記反射面によつて反射された
光ビームを集束して前記走査方向に対して垂直な第２の
線像を形成する第１の集束光学系と、前記第２の線像に
関して前記第１の集束光学系と”反対側にあつて前記走
査方向に対して垂直な方向に光ビームを発散させる一方
向発散性光学素子と、光ビームを走査面上に集束させて
点像を形成する第２の集束光学系とから成り、前記走査
方向に関しては前記第２の線像と前記点像とが、また前
記走査方向に対して垂直な方向に関しては前記第１の線
像と前記点像とがそれぞれ物点と像点の関係になるよう
にしたことを特徴とする光ビーム走査装置である。
本発明において一方向集束性光学素子というのＬは、凸
の円柱レンズがその代表的なものであるが、その他凸の
アナモルフイツク●レンズ、凸のトロイダル・レンズ、
凹の放物筒鏡、凹の円筒鏡などが含まれる。
の円柱レンズがその代表的なものであるが、その他凸の
アナモルフイツク●レンズ、凸のトロイダル・レンズ、
凹の放物筒鏡、凹の円筒鏡などが含まれる。
また本発明において一方向発散性光学素子というのは、
凹の円柱レンズがその代表的なものであるが、その他凹
のアナモルフイツク・レンズ、凹のトロイダル・レンズ
、凸の放物筒鏡などが含まれる。
凹の円柱レンズがその代表的なものであるが、その他凹
のアナモルフイツク・レンズ、凹のトロイダル・レンズ
、凸の放物筒鏡などが含まれる。
さらに本発明において集束光学系というのは、球面レン
ズがその代表的なものであるが、その他放物面鏡、球面
鏡、あるいはこれらを組合せた光学系などが含まれる。
ズがその代表的なものであるが、その他放物面鏡、球面
鏡、あるいはこれらを組合せた光学系などが含まれる。
以下本発明を一実施例を参考にして詳細に説明する。第
３図は本発明を従来技術と比較しつつ原理的に説するた
めの図で、ａは回転多面鏡による光ビームの走査方向の
、ｂは走査方向に対して垂直な方向の光ビームの状態を
表わしている。凸の円柱レンズ３１により回転多面鏡に
よる光ビームの走査方向に対して垂直な方向にのみ光ビ
ームを集束して回転多面鏡の反射面３５上に走査方向と
平行な第１の線像を形成し、反射面３５により反射され
た光ビームを第１の集束レンズ３３によつて集束して面
３７上に走査方向に対して垂直な第２の線像を形成する
。続いて凹の円柱レンズ３２により走査方向に対して垂
直な方向に光ビームを発散させて見かけ上面３７上の点
から発散する光ビームとし、これを第２の集束レンズ３
４によつて集束して走査面３６上に点像を形成するよう
にする。こうすると走査方向に対して垂直な方向に関し
ては反射面３５上の第１の線像と走査面３６上の点像と
がそれぞれ物点と像点の関係になつており、反射面３５
によつて反射された光ビームの方向が平行度誤差のため
に変わつても走査面３６上では一定の位置に集束される
ことになつて走査線の軌跡は常に一致する。ここで凸の
円柱レンズ３１、凹の円柱レンズ３２、第１の集束レン
ズ３３、及び第２の集束レンズ３４の焦点距離をそれぞ
れＦ３ｌ，−Ｆ３２，ｆ３３及びＦ３４とすると、凸及
び凹の円柱レンズの焦点距離Ｆ３ｌ及びＦ３２について
第１の集束レンズに関連した空間的な制限は何もなく、
ただ凹の円柱レンズ３２は面３７と第２の集束レンズ３
４の間に配設されるので ，一とするだｔｌ青
？い。また走査面３６に形成される点像を円形にするた
めにはとしなければならない。
３図は本発明を従来技術と比較しつつ原理的に説するた
めの図で、ａは回転多面鏡による光ビームの走査方向の
、ｂは走査方向に対して垂直な方向の光ビームの状態を
表わしている。凸の円柱レンズ３１により回転多面鏡に
よる光ビームの走査方向に対して垂直な方向にのみ光ビ
ームを集束して回転多面鏡の反射面３５上に走査方向と
平行な第１の線像を形成し、反射面３５により反射され
た光ビームを第１の集束レンズ３３によつて集束して面
３７上に走査方向に対して垂直な第２の線像を形成する
。続いて凹の円柱レンズ３２により走査方向に対して垂
直な方向に光ビームを発散させて見かけ上面３７上の点
から発散する光ビームとし、これを第２の集束レンズ３
４によつて集束して走査面３６上に点像を形成するよう
にする。こうすると走査方向に対して垂直な方向に関し
ては反射面３５上の第１の線像と走査面３６上の点像と
がそれぞれ物点と像点の関係になつており、反射面３５
によつて反射された光ビームの方向が平行度誤差のため
に変わつても走査面３６上では一定の位置に集束される
ことになつて走査線の軌跡は常に一致する。ここで凸の
円柱レンズ３１、凹の円柱レンズ３２、第１の集束レン
ズ３３、及び第２の集束レンズ３４の焦点距離をそれぞ
れＦ３ｌ，−Ｆ３２，ｆ３３及びＦ３４とすると、凸及
び凹の円柱レンズの焦点距離Ｆ３ｌ及びＦ３２について
第１の集束レンズに関連した空間的な制限は何もなく、
ただ凹の円柱レンズ３２は面３７と第２の集束レンズ３
４の間に配設されるので ，一とするだｔｌ青
？い。また走査面３６に形成される点像を円形にするた
めにはとしなければならない。
ここで従来法で考えたのと同様にＦ３３＝５『の場合を
考えてみると、ｆぉ〉２５Ｔ！Ｓ．でありさえすればＦ
３ｌ＝Ｆ３２＝５−とすることもでき、凸の円柱レンズ
及び凹の円柱レンズの焦点距離を共にかなり長くするこ
とが可能となる。それ故短焦点の円柱レンズを製造する
ことの難しさがなくなると共に、凸の円柱レンズ３１の
焦点深度もかなり深くすることができる。なお、走査方
向に関しては面３７上線像と走査面３６上の点像がそれ
ぞれ第２の集束レンズ３４の物点と像点の関係になつて
おり、これを等倍の結像関係にしておけば面３７上での
光ビームの走査状態と同一の走査状態が走査面３６上で
得られる。以上述べたように本発明は回転多面鏡の平行
度誤差による走査線の走査方向に対して垂直な方向の偏
倚を除去した光ビーム走査装置であり、次のような利点
をもつている。
考えてみると、ｆぉ〉２５Ｔ！Ｓ．でありさえすればＦ
３ｌ＝Ｆ３２＝５−とすることもでき、凸の円柱レンズ
及び凹の円柱レンズの焦点距離を共にかなり長くするこ
とが可能となる。それ故短焦点の円柱レンズを製造する
ことの難しさがなくなると共に、凸の円柱レンズ３１の
焦点深度もかなり深くすることができる。なお、走査方
向に関しては面３７上線像と走査面３６上の点像がそれ
ぞれ第２の集束レンズ３４の物点と像点の関係になつて
おり、これを等倍の結像関係にしておけば面３７上での
光ビームの走査状態と同一の走査状態が走査面３６上で
得られる。以上述べたように本発明は回転多面鏡の平行
度誤差による走査線の走査方向に対して垂直な方向の偏
倚を除去した光ビーム走査装置であり、次のような利点
をもつている。
本発明によれば短焦点の円柱レンズを必要とせず比較的
長い焦点距離の円柱レンズを用いることができる。
長い焦点距離の円柱レンズを用いることができる。
これにより円柱レンズの製造が容易になつて高品質のも
のが得られるようになると共にその焦点深度を深くする
ことができて反射面の回転に伴なう光ビームの反射位置
のずれによる走査面上ての光ビームの集束状態の変化を
減少させることができる。また本発明は回転多面鏡によ
る走査方向の位置検出が容易になる。
のが得られるようになると共にその焦点深度を深くする
ことができて反射面の回転に伴なう光ビームの反射位置
のずれによる走査面上ての光ビームの集束状態の変化を
減少させることができる。また本発明は回転多面鏡によ
る走査方向の位置検出が容易になる。
走査方向の位置検出は、回転多面鏡の加工過程で生じる
角度分割誤差（隣りあう面どうしのなす角度の誤差）や
回転多面鏡の駆動モータの回転速度むらなどを補正する
ために必要である。このためには走査面又は走査面と等
価・な面で走査の全領域にわたつて一定間隔毎に光ビー
ムによつて光学的に信号を発生させ、これを電気信号に
変換して走査方向の位置信号とする方法が有効である。
この位置信号によつて走査面上で等間隔に情報を読み取
つたり記録したりできる。・本発明では第１の集束レン
ズ３３と面３７の間に光学部材がないため、この空間に
ハーフ・ミラーを挿入して面３７と等価な面に走査方向
に周期をもつ格子を置き、その信号を検出して走査方向
の位置信号とすることが容易にできる。これに対しｌ第
２図に示した従来技術では集束レンズ２３と走査面２６
の間に第２の円柱レンズ２２が存在していて空間が十分
でなく、ハーフ・ミラーを挿入することが容易でない。
以上述べたように本発明によれば、回転多面鏡の平行度
誤差による走査線の偏倚を除くに際して短焦点の円柱レ
ンズを必要とせず、比較的焦点距離の長い円柱レンズを
用いることができる。
角度分割誤差（隣りあう面どうしのなす角度の誤差）や
回転多面鏡の駆動モータの回転速度むらなどを補正する
ために必要である。このためには走査面又は走査面と等
価・な面で走査の全領域にわたつて一定間隔毎に光ビー
ムによつて光学的に信号を発生させ、これを電気信号に
変換して走査方向の位置信号とする方法が有効である。
この位置信号によつて走査面上で等間隔に情報を読み取
つたり記録したりできる。・本発明では第１の集束レン
ズ３３と面３７の間に光学部材がないため、この空間に
ハーフ・ミラーを挿入して面３７と等価な面に走査方向
に周期をもつ格子を置き、その信号を検出して走査方向
の位置信号とすることが容易にできる。これに対しｌ第
２図に示した従来技術では集束レンズ２３と走査面２６
の間に第２の円柱レンズ２２が存在していて空間が十分
でなく、ハーフ・ミラーを挿入することが容易でない。
以上述べたように本発明によれば、回転多面鏡の平行度
誤差による走査線の偏倚を除くに際して短焦点の円柱レ
ンズを必要とせず、比較的焦点距離の長い円柱レンズを
用いることができる。
その結果品質のよい光ビーム走査装置を得ることができ
る。なお、本発明はここで説明した実施例に限らず種々
の態様が可能であり、その適用は特許請求の範囲に記載
した条件によつてのみ制限をうけるものである。
る。なお、本発明はここで説明した実施例に限らず種々
の態様が可能であり、その適用は特許請求の範囲に記載
した条件によつてのみ制限をうけるものである。
第１図および第２図はそれぞれ従来技術を説明するため
の図、第３図は本発明の一実施例を説明するための図で
ある。 １１，１２，２１，２２：円柱レンズ、１３，２３：集
束レンズ、１５，２５，３５：回転多面鏡の反射面、１
６，２６，３６：走査面、３１一方向集束性光学素子、
３２：ー方向発散性光学素子、３３，３４：集束光学系
。
の図、第３図は本発明の一実施例を説明するための図で
ある。 １１，１２，２１，２２：円柱レンズ、１３，２３：集
束レンズ、１５，２５，３５：回転多面鏡の反射面、１
６，２６，３６：走査面、３１一方向集束性光学素子、
３２：ー方向発散性光学素子、３３，３４：集束光学系
。
Claims (1)
- １ 回転多面鏡を用いた光ビーム走査装置において、入
射する光ビームを集束して前記回転多面鏡の反射面上に
前記回転多面鏡による光ビームの走査方向と平行な第１
の線像を形成する一方向集束性光学素子と、前記反射面
によつて反射された光ビームを集束して前記走査方向に
対して垂直な第２の線像を形成する第１の集束光学系と
、前記第２の線像に関して前記第１の集束光学系と反対
側にあつて前記走査方向に対して垂直な方向に光ビーム
を発散させる一方向発散性光学素子と、光ビームを走査
面上に集束させて点像を形成する第２の集束光学系とか
ら成り、前記走査方向に関しては前記第２の線像と前記
点像とが、また前記走査方向に対して垂直な方向に関し
ては前記第１の線像と前記点像とがそれぞれ物点と像点
の関係になるようにしたことを特徴とする光ビーム走査
装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53128884A JPS6052409B2 (ja) | 1978-10-19 | 1978-10-19 | 光ビ−ム走査装置 |
| US06/084,342 US4281889A (en) | 1978-10-19 | 1979-10-12 | Light beam scanning system |
| DE19792942041 DE2942041A1 (de) | 1978-10-19 | 1979-10-17 | Lichtstrahlabtastsystem |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53128884A JPS6052409B2 (ja) | 1978-10-19 | 1978-10-19 | 光ビ−ム走査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5555311A JPS5555311A (en) | 1980-04-23 |
| JPS6052409B2 true JPS6052409B2 (ja) | 1985-11-19 |
Family
ID=14995727
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP53128884A Expired JPS6052409B2 (ja) | 1978-10-19 | 1978-10-19 | 光ビ−ム走査装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4281889A (ja) |
| JP (1) | JPS6052409B2 (ja) |
| DE (1) | DE2942041A1 (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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