JPS6151862A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
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- JPS6151862A JPS6151862A JP59172468A JP17246884A JPS6151862A JP S6151862 A JPS6151862 A JP S6151862A JP 59172468 A JP59172468 A JP 59172468A JP 17246884 A JP17246884 A JP 17246884A JP S6151862 A JPS6151862 A JP S6151862A
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- leads
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- H01L2224/9222—Sequential connecting processes
- H01L2224/92242—Sequential connecting processes the first connecting process involving a layer connector
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は半導体装置に係り、特に外囲器のケース部か
らリードを突出させこのリードを中途で折曲したリード
の改良tI4造に関する。
らリードを突出させこのリードを中途で折曲したリード
の改良tI4造に関する。
従来、外囲器のケースからリードを突出させ、このリー
ドを中途で所定の角度に折曲して成形される半導体装置
に、例えば第5図に示すDIP型ICがある。図におい
て、(101)はり−トフレームにレジンモールドを施
して形成された外囲器のケースで、m数のリード(10
2,102・・・)がケースの対向二側面から突出し、
その中途の折曲げ部(102a、 l02a・・・)で
ほぼ直角に折曲げられて下方に向かっている。この折曲
げ加工はリードの突出側で折曲」或の近傍を曲げ用ポン
チ(後述)で挟持しておき、曲げ用ローラポンチの側面
に沿って曲げるもので、リードの弾性に基因するバック
ラッシュr!l象により、二側のリード間隔(α)が規
格値よりも大になる傾向がある。すなわち、リードを折
曲した場合、リード内に曲げ荷重に対する圧縮応力と引
張応力が発生し、その応力以上でリードは曲がり、応力
の弾性量に対する歪が発生して曲げ直後のり−1・先端
間隔が曲げ加工部(7r’1部)の間隔よりも広くなる
。このように生ずるバックラッシュ現象を考盾してオー
バベンドすれば、リードとこれを埋込んでいるレジンモ
ールド部との間にすき間を生しるという重大な問題があ
る。また、対向する二側のリード端部の間隔が大きいと
、一般にソケノ1−1またはボー1〜にリートをさし込
んで用いられるので、その間隔の拡がり分だけモールド
パノケージの幅は小さくなり、素子の高共積度化をl!
II害する問題もある。
ドを中途で所定の角度に折曲して成形される半導体装置
に、例えば第5図に示すDIP型ICがある。図におい
て、(101)はり−トフレームにレジンモールドを施
して形成された外囲器のケースで、m数のリード(10
2,102・・・)がケースの対向二側面から突出し、
その中途の折曲げ部(102a、 l02a・・・)で
ほぼ直角に折曲げられて下方に向かっている。この折曲
げ加工はリードの突出側で折曲」或の近傍を曲げ用ポン
チ(後述)で挟持しておき、曲げ用ローラポンチの側面
に沿って曲げるもので、リードの弾性に基因するバック
ラッシュr!l象により、二側のリード間隔(α)が規
格値よりも大になる傾向がある。すなわち、リードを折
曲した場合、リード内に曲げ荷重に対する圧縮応力と引
張応力が発生し、その応力以上でリードは曲がり、応力
の弾性量に対する歪が発生して曲げ直後のり−1・先端
間隔が曲げ加工部(7r’1部)の間隔よりも広くなる
。このように生ずるバックラッシュ現象を考盾してオー
バベンドすれば、リードとこれを埋込んでいるレジンモ
ールド部との間にすき間を生しるという重大な問題があ
る。また、対向する二側のリード端部の間隔が大きいと
、一般にソケノ1−1またはボー1〜にリートをさし込
んで用いられるので、その間隔の拡がり分だけモールド
パノケージの幅は小さくなり、素子の高共積度化をl!
II害する問題もある。
この発明は上記従来の問題点に鑑み、外囲器のケース部
分からリートを突出させこのリードの中途に折曲加工が
施されてなる半導体装置におけるリート折曲部の構造を
改良する。
分からリートを突出させこのリードの中途に折曲加工が
施されてなる半導体装置におけるリート折曲部の構造を
改良する。
この発明の半導体装置は、外囲器のケース部からリード
を突出させこのリードを中途で所定の角度に折曲した半
導体装置において、リードの折曲域にリードの板厚低減
部を設け腋部を含み折曲されたり−1くを備えたことを
特徴とする。そして、曲げ加工において、リードのバッ
クラッシュによる影響を低減し、その景だけケースの幅
を広げること、また、オーバベンゾインクを不要にして
モールド樹脂とリードとの隙間をなくすことなどが改良
された。
を突出させこのリードを中途で所定の角度に折曲した半
導体装置において、リードの折曲域にリードの板厚低減
部を設け腋部を含み折曲されたり−1くを備えたことを
特徴とする。そして、曲げ加工において、リードのバッ
クラッシュによる影響を低減し、その景だけケースの幅
を広げること、また、オーバベンゾインクを不要にして
モールド樹脂とリードとの隙間をなくすことなどが改良
された。
以下にこの発明の実施例につき図面を参照して詳細に説
明する。なお、説明において従来と変わらない部分は図
面に同じ符号を付して示し説明を省U+3することとす
る。1実施例の半導体装置にDIP型TCを例示し、第
1図および第3図によって示すように、リード板厚の低
減手段としてその折曲域に’I:+Wを設けたものであ
る。
明する。なお、説明において従来と変わらない部分は図
面に同じ符号を付して示し説明を省U+3することとす
る。1実施例の半導体装置にDIP型TCを例示し、第
1図および第3図によって示すように、リード板厚の低
減手段としてその折曲域に’I:+Wを設けたものであ
る。
第1図に示すICは外囲器のレジンモール1く形成され
たケース部(101)からリード(1,1・・・)を突
出させ、このリードをその中途の折曲域(la、la・
・・)に断面V字型の溝(2,2・・・)を夫々設け折
曲げされている(第1図)。次に第3図に上記溝の形成
を含むリードの成形工程を工程順に示す。まず、エツチ
ング形成またはプレス形成されたリードフレーム(11
)をその裏側を上にしV字型ポンチ(3)で上面を押し
、モ−ルド樹脂される外囲器ケースの外縁から0.5
m m 91+t して幅0.1mm、深さ0.5mm
のdW(2)を設ける(図(a))。次にf7!¥を上
面にしたままで平面ポンチ(13)でコイニングする(
図(b))、次にり−ドフレー15におけるボンディン
グおよびマウン1〜予定域に電気めっきによって厚さ5
μmの銀めつきJi(4,4・・・)を形成し、半導体
チップ(5)をエポキシ樹脂てマウン1〜し、マウント
キュアを200℃のオーブンで2時間施して達成する(
図(c))、ついで、半導体チップの電極とリードを線
径30μmの金のボンディングワイヤ(6,6・・・)
てボンデインクする(図(d))。ついで、リードフレ
ームに樹脂モールドを施す。これは金型により175℃
にてエポキシ樹脂モールドを施し175℃のオーブンで
10時間キュアを施す(図(e))。次にリード間を橋
絡支持しているタイバやフレーム(図(f)に破線表示
した部分)を切除する(図(f))。次に、外囲器のケ
ース(101)から突出した部分のリード(1)を曲げ
用ポンチ(7a、7b)で挟持し1曲げ用ローラ(8゜
18)によってr:、W (2)を含む折曲域(la)
にこの溝が内側になる方向に曲げ加工を施す8図(g)
)。ついでリードの表面に電気めっきによってすすを5
〜10μIl+厚に被着してICが形成される。
たケース部(101)からリード(1,1・・・)を突
出させ、このリードをその中途の折曲域(la、la・
・・)に断面V字型の溝(2,2・・・)を夫々設け折
曲げされている(第1図)。次に第3図に上記溝の形成
を含むリードの成形工程を工程順に示す。まず、エツチ
ング形成またはプレス形成されたリードフレーム(11
)をその裏側を上にしV字型ポンチ(3)で上面を押し
、モ−ルド樹脂される外囲器ケースの外縁から0.5
m m 91+t して幅0.1mm、深さ0.5mm
のdW(2)を設ける(図(a))。次にf7!¥を上
面にしたままで平面ポンチ(13)でコイニングする(
図(b))、次にり−ドフレー15におけるボンディン
グおよびマウン1〜予定域に電気めっきによって厚さ5
μmの銀めつきJi(4,4・・・)を形成し、半導体
チップ(5)をエポキシ樹脂てマウン1〜し、マウント
キュアを200℃のオーブンで2時間施して達成する(
図(c))、ついで、半導体チップの電極とリードを線
径30μmの金のボンディングワイヤ(6,6・・・)
てボンデインクする(図(d))。ついで、リードフレ
ームに樹脂モールドを施す。これは金型により175℃
にてエポキシ樹脂モールドを施し175℃のオーブンで
10時間キュアを施す(図(e))。次にリード間を橋
絡支持しているタイバやフレーム(図(f)に破線表示
した部分)を切除する(図(f))。次に、外囲器のケ
ース(101)から突出した部分のリード(1)を曲げ
用ポンチ(7a、7b)で挟持し1曲げ用ローラ(8゜
18)によってr:、W (2)を含む折曲域(la)
にこの溝が内側になる方向に曲げ加工を施す8図(g)
)。ついでリードの表面に電気めっきによってすすを5
〜10μIl+厚に被着してICが形成される。
次に第2図に示す実施例はリード(l、■・・・)の折
1111域(la、la・・・)に断面がU字型または
方形の溝(12゜12・・)を夫々に設け折曲げしてい
る点で前記実施例と相違する。前記実施例と変らない、
αについては説明を省略し、相違点をあげると、溝(1
2,12・・・)は幅0.1m+n、i7さ0 、05
mmとし、この溝の形成は第4図(a)に示すようにダ
イヤモンドソウ(Diamondsaw)(’J、9)
で達成できる。そして、第3図(c) −(e)に対応
する第4図(b)〜(d)のようにして外囲器のケース
(101)の樹脂モールド形成を達成する。さらに、リ
−1くフレームのタイバやフレームの切除を施しく第3
図(f)に同じ)、リードの曲げ加工を施す(第4図(
e))。ついで、リード表面に電気めっきによってすず
を5〜10μm厚に被着してICが形成される。
1111域(la、la・・・)に断面がU字型または
方形の溝(12゜12・・)を夫々に設け折曲げしてい
る点で前記実施例と相違する。前記実施例と変らない、
αについては説明を省略し、相違点をあげると、溝(1
2,12・・・)は幅0.1m+n、i7さ0 、05
mmとし、この溝の形成は第4図(a)に示すようにダ
イヤモンドソウ(Diamondsaw)(’J、9)
で達成できる。そして、第3図(c) −(e)に対応
する第4図(b)〜(d)のようにして外囲器のケース
(101)の樹脂モールド形成を達成する。さらに、リ
−1くフレームのタイバやフレームの切除を施しく第3
図(f)に同じ)、リードの曲げ加工を施す(第4図(
e))。ついで、リード表面に電気めっきによってすず
を5〜10μm厚に被着してICが形成される。
なお、if/?の形状、寸法等については実施例に限定
されることなく、曲げ加工に有効であるとともに腋部で
折損、fへ裂などを生じない程度に任意に選んでよい。
されることなく、曲げ加工に有効であるとともに腋部で
折損、fへ裂などを生じない程度に任意に選んでよい。
次に計算の基準を示す。
幅がb、厚さがhなるリードを曲げたときの応力σbは
次式 曲げモーメント(M) 6WQ で表わされる。ここで、Wは印加される荷重、Qhの断
面係数である。
次式 曲げモーメント(M) 6WQ で表わされる。ここで、Wは印加される荷重、Qhの断
面係数である。
従来の場合は幅2.54+nm、厚さ0.25mm、片
持ち梁の長さ2+nm、荷重が1000kgとしてであ
ったものが、実施例の場・合、厚さが0.2mmに変わ
るので、これに基づいて叙上と同上の計算を施し比較す
ると、 てあり、荷重が一定として考えた場合に曲げ応力が50
%も大きいから充分な曲げ加工が達成される。
持ち梁の長さ2+nm、荷重が1000kgとしてであ
ったものが、実施例の場・合、厚さが0.2mmに変わ
るので、これに基づいて叙上と同上の計算を施し比較す
ると、 てあり、荷重が一定として考えた場合に曲げ応力が50
%も大きいから充分な曲げ加工が達成される。
この発明によれば、リードの曲げ加工においてバックラ
ッシュの発生による対向リードとの間隔の拡大が防止で
きる顕著な利点がある。すなわち、D T I)型1.
Cにおける対向リード端間の間隔をdIす定した結果
は次表に示すように優れたものであった。
ッシュの発生による対向リードとの間隔の拡大が防止で
きる顕著な利点がある。すなわち、D T I)型1.
Cにおける対向リード端間の間隔をdIす定した結果
は次表に示すように優れたものであった。
表
また、外囲器のケースを突呂させる部分に加えられる応
力が低減でき、ケースとリード間に隙間を生じないよう
になった。これによりICチップに外気などが浸入する
のを防止でき、ICの品質保証に顕著な利点がある。
力が低減でき、ケースとリード間に隙間を生じないよう
になった。これによりICチップに外気などが浸入する
のを防止でき、ICの品質保証に顕著な利点がある。
さらに、この発明は実施が容易である上に、製品の外1
1」lには全く変化を及ぼさない利点もある。
1」lには全く変化を及ぼさない利点もある。
第1171はこの発明の1実施例のICの側面図、第2
lff1は別の実h℃例のICの側面図、第3図(a
)〜(g)は1実施例のICの製造工程を示し、図(a
)〜(d)は側面図、図(e)〜(g)は一部所面図、
図(f)は上面図、第4図(a)〜(e)は別の実施例
のICの製造工程を示し1図(a)〜(c)は側面図、
図(d)と(e)は一部所面図、第5図はDIP型IC
の斜視図である。 1 リード
lff1は別の実h℃例のICの側面図、第3図(a
)〜(g)は1実施例のICの製造工程を示し、図(a
)〜(d)は側面図、図(e)〜(g)は一部所面図、
図(f)は上面図、第4図(a)〜(e)は別の実施例
のICの製造工程を示し1図(a)〜(c)は側面図、
図(d)と(e)は一部所面図、第5図はDIP型IC
の斜視図である。 1 リード
Claims (1)
- 外囲器のケース部からリードを突出させ、このリード
を中途で所定の角度に折曲した半導体装置において、リ
ードの折曲域にリード板厚の低減部を設け該部を含み折
曲されたリードを備える半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59172468A JPS6151862A (ja) | 1984-08-21 | 1984-08-21 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59172468A JPS6151862A (ja) | 1984-08-21 | 1984-08-21 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6151862A true JPS6151862A (ja) | 1986-03-14 |
Family
ID=15942546
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59172468A Pending JPS6151862A (ja) | 1984-08-21 | 1984-08-21 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6151862A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6709892B2 (en) * | 2001-09-11 | 2004-03-23 | Rohm Co., Ltd. | Electronic device fabrication method comprising twofold cutting of conductor member |
JP2015041684A (ja) * | 2013-08-21 | 2015-03-02 | 新電元工業株式会社 | 半導体装置の製造方法、半導体装置及びリードフレーム |
JP2018006453A (ja) * | 2016-06-29 | 2018-01-11 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置及びその製造方法、並びにパッケージの製造方法 |
US20210217630A1 (en) * | 2020-01-09 | 2021-07-15 | Texas Instruments Incorporated | Lead frame rolling |
-
1984
- 1984-08-21 JP JP59172468A patent/JPS6151862A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6709892B2 (en) * | 2001-09-11 | 2004-03-23 | Rohm Co., Ltd. | Electronic device fabrication method comprising twofold cutting of conductor member |
JP2015041684A (ja) * | 2013-08-21 | 2015-03-02 | 新電元工業株式会社 | 半導体装置の製造方法、半導体装置及びリードフレーム |
JP2018006453A (ja) * | 2016-06-29 | 2018-01-11 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置及びその製造方法、並びにパッケージの製造方法 |
US20210217630A1 (en) * | 2020-01-09 | 2021-07-15 | Texas Instruments Incorporated | Lead frame rolling |
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