JPS61501118A - パタ−ン発生装置用のデ−タ処理システム - Google Patents

パタ−ン発生装置用のデ−タ処理システム

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 パターン発生装置用のデータ処理システム技　術　分　野 本発明は、レーザパターン発生装置用のイメージデータを処理（ハンドリング） するだめのシステムに関する。
背　景　技　術 本願の譲受人であるチーアールイー・セミコンダクタ・イクイブメント社に譲渡 され、ル−ザパターン発生装置″の名称で（１，９８１年１２月２１日に出願さ れた）米国特許出願（第３３２，８３２号）には、半導体ウェハ上に或いは他の 目標物上にフォｌ−ＩＪソゲラフマスクを作るのに、即ちイメージパターンを直 接露光するのに有用な装置が記載されている。このパターン発生装置１０の一部 分を、ここでは第１図に示す。
パターンを半導体サブストレート上に或いは他の目標物１１上に発生するために 、レーザ１２からのビームは分配器の配列１４によって間隔をへだでた１６本の 一組の平行ビーム１３に分けられる。−組のビーム（ビームセット）１３は、適 当な電子装置１６′で駆動される偏向器１６によって目標物１１の領域１５′を 横切ってＹ方向に繰り返し偏向される。連続した偏向中、ビームセット１３が互 いに隣接する目標物１１の領域即ちブロック１５を横切って走査するために、目 標物１１をＸ方向に沿って移動させるのが都合良い。
この仕方で、目標物１１の筋、即ち列１７の全体はビームセット１３の連続する 偏向中、ブロックごとに覆われるだろう。しかる後、目標物１１をＹ方向に適当 ；こ移動させ次いて連続したビーム偏向操作を繰り返すことによって、隣接する 列１７′を同様な仕方で露光することができる。
セット１６の各ビームは、Ｘ軸に沿う異なる位置で、しかし隣り合った位置で目 標物１１に当たる。第１図に符号１８で示され上述の米国特許出頭に記載されて いるように、（相互干渉を避けるために隣接したビームをＹ軸でオフセットする （ずらす）のが良い。）このような構成では、各ブロック１５は、１６個の画素 （゛ピクセル″）位置の幅をもっている。偏向器１６゜がブロック１５を横切っ てビームセットを掃引するとき、各ビームはＹ軸に沿って連続した一組の画素位 置を横切る。ここに説明した例示的な装置では、各ブロック１５の中に１０２４ 個のこのようなＹ軸位置がある。
イメージを目標物１１に形成するために、セット１３の各ビームは対応する一組 の変調器１９によって個々に変調され、即ち適当にオン、オフされる。この変調 は、ビームを各ブロック１５を横切って偏向させている間、行われる。
第２図は、発生装置１０によって目標物１１上に発生させることのできる典型的 なパターン２１を示している。影をつけた領域は、例えば、集積回路の製造に使 用されるマスク上の感光性被覆を露光するために、或いは半導体ウェハ上に直接 置かれたこのような被覆を露光するために、ビームをオンにする領域を表わして いる。かくしてパターン２１の影をつけた領域は、例えば半導体サブストレート の中ヘトーパントを拡散するための限定された開口部を作るために酸化層を半導 体ウニハから取り除くべき領域を表わしている。しかしながら、本発明はこのよ うな用途に限定されない。
第２図には、作られたパターンを、ビームセット１３によって掃引される実際の ブロック１５の各々を定めるグリッド２２の上に重ねた状態で示している。もち ろん、このようなグリッドは実際には目標物表面に表われず、このために第２図 には仮想線で示されている。
グリッド２２は直線状ではなく、列１７ａ乃至１７７のブロックの側ｆはＹ軸に 対して角度をなしていること、即ちスキーウしていることに着目すべきである。
これは、発生装置１０の好ましい実施態様ては、ビーム１３の実際の偏向中、目 標物１１のＸ方向移動が起こるからである。従って、ビーム１３によって掃引さ れる点の軌跡は、矩形ではなく、矩形でない平行四辺形になる。従って、本発明 のデータ処理システムの一つの目的は、ビームの掃引中目種物１１の横方向移動 から生ずるブロックのスキエラを補償するフォーマットで、イメージデータを変 調器１９に与えることである。
また第２図において、列は交互に反対方向にスキエラしていること（こ着目すべ きである。これは、パターン全体を発生するのに必要とされる時間を最小にする ために、列は交互に反対方向に処理されるからである。
換言すれば、列１７ａの発生中、目標物を右から左へ移動させるとビーム１３は 連続したブロックを＋Ｘ方向に掃引する。次の列１７ｂの発生中、目標物を右へ 向けて移動させて連続したブロックを−Ｘ方向に掃引する。この結果のブロック 走査の頭序を矢印２０て示す。本発明の他の目的は、交互の列について目標物の 反対の移動方向を考慮したイメージデータを変調器１９に与えることである。
本発明の他の目的は、変調器１９を制御するのに直接用いることのできるビノト マノプフォーマノトにイメージデータを変換するためのシステムを提供すること である。このような制御を達成するために、データは変調器１９に対してオン・ オフのコマンドの形のものであって実時間で利用可能なものでなければならない 。即ち、偏向器１６がブロック１５を横切ってビーム１３を掃引するとき、所望 の・ぐターンを作るために個々のビームを夫々オン・オフする信号を変調器に与 えなければならない。
例えば、２つの重なり合っている矩形２３．２４からなる・ぐターン２１の部分 ２１ａ（第２図）を考える。
矩形２３の左上隅部はブ０ツク１５ａ内にある。拡大されてはいるがスキュウし ていない対応するブロック１５３′を第３Ａ図に示す。またビーム１３−４およ び１３−５の軌跡（目標物１１の移動がないと仮定する）が示されている。こち らのビームを下方に掃引すると、ビーム１３−５が位置２５ａに到達するときに 該ビーム１３−５を先づオンにしなければならない。
僅かに遅れてビーム１３−４が位置２６ａに到達するときに該ビーム１６−４を オンにする。その後、ビーム１３−４および１６−５が夫々位置２６ｂおよび２ ５ｂに到達するときにこれらビームを上記１順序でオフにする。
超ＬＳＩ回路を設計するための典型的な設計装置では、ＬＳＩのレイアワトの各 画素を定める情報は普通、レーザパターン発生装置を実時間で制御するのに直接 用いることのできる形では与えられない。より詳しくは、情報はパターンの各矩 形要素を特定するデータリストの形で与えられる。第４図は、パターン要素２３ ゜２４について、このことを示している。各・ぐターン要素；よ、所定の長さＬ 　、　＠　Ｗ、任意の直交５標系における中心位置（ｘ、ｙ）、および要素の長 さ方向中心線と座標系のＸ軸との間の角度を特定する角度αをもつ矩形として特 定される。第４図は、パターン２１の矩形要素２３．２４についての典型的な（ 任意の単位での）数値を示している。この矩形フォーマットのＬＳＩパターン設 計データを、パターン発生装置の変調器１９を亘接制御するためのフォーマット に変換しなければならず、このことは本発明の他の目的である。変調器１９用の 実時間制御データのための都合の良いフォーマットは、ビットマツプのフォーマ ントである。
これは、走査されるブロックのピクセルの各々に対応した指定記憶位置をもつメ モリ内に記憶される一組の制御データである。発生装置１０では、このようなビ ットマツプメモリは全体で１６３８４個の位置に対し、１６個の各ビームについ て１０２４個の記憶位置（垂直方向の各ドツト位置について１つ）を収容するこ とができる。ビームセット１３を偏向器１６で実際に偏向している間、このよう なビットマツプメモリからの情報を次に、バッファ２７および適当な変調器駆動 電子装置２８（第１図）を介して変調器１９に供給することができる。かくして 、本発明の目的はさらに、第４図の矩形リストのようなイメージソースデータを 、パターン発生装置の変調器を制御するのに実時間で用いることのできるビット マツプ記憶データに変換するためのイメージデータ処理システムを提供すること である。
このようなデータ変換を達成するための一つの手編は、中間のベクトルデータフ ォーマットを利用することであり、該へクトルデータフォーマノトでは、各矩形 画素の各側部は変調器１９用のオン方向或いはオフ方向を特定するベクトルで表 わされる。第３Ａ図に示されている矩形２６の２つのエツジ部分２３−１および ２３−２をこのようなベクトルで表わすこ七ができる。さらに本発明の目的は、 イメージデータについてこのような中間のベクトルフォーマットを利用するパタ ーン発生装置のためのデータ処理システムを提供することである。
このようなベクトルで構成されたデータ自体をビットマツププリカーノルに変換 するのが都合良く、該ビットマツププリカーソルは、対応するビームと関連した 一組のオン・オフ制御信号であるのが良い。これらの信号は、対応するビームの 制御されるべき偏向角度即ち垂直ピクセル位置と関連した位置でイメージバッフ ァメモリに記憶される。
このようなビットマツププリカーソルメモリの断片的部分は、第３Ｂ図に示され ており、第３Ａズのベクトル情報に対応している。このプリカーソルでは、記号 Ｘｂ４の列はビーム１６−４と関連した一組のメモリ位置を表わしており、一方 、Ｘｂ５の列はビーム１３−５と関連している。縦座標に沿った数字はブロック １５の垂直ピクセル位置に対応するメモリ位置を表わしている。例えば、メモリ 位置８００は、ブロック１５の上端と下端との間の距離の約８７１０の垂直位置 ８００に対応している。ビーム１３−４について、（Ｘｂ４の列の）メモリ位置 ７６０に記憶されているのは、第３Ａ図に点２６ａで示されているような対応す るブロック位置、即ち偏向角度のところで、ビーム１３−４をオンにすべきこと を指示する゛オン″コマンドである。オフ・コマンドは、位置８７０に記憶され 、オフにすることに対応している。
第３Ｂ図のブリカー′ノルメモリの内容は、２つの矩形イメージ要素の重なり合 い（例えば第２図および第４図の領域２３′）を、或いはパターンの発生中目標 物１１の横方向移動によって要求されるスキュウのいずれをも考慮していない。
しかしながら、本発明の目的はざら（乙イメージデータをベクトルフオーマノト からビットマツププリカー゛ノルフォーマットに変換し、またこのようなプリカ ーソルデータを、ツクターン要素の重なり合いと目標物の横方向移動によるスキ ーワとを考Ｗしたビットマツプ清報に変換するデータ処理システムを提供するこ とでちる。
他の問題は、典型的な超ＬＳＩ回路パターンを作るために処理しなければならな い大量の情報である。今日の技術では、ＬＳＩの装造における１つの処理工程中 利用されるパターンは矩形２３．２４で例示されているような約７０．０００個 の四辺形要素をもっことができる。このパターンは１０億ビツトを超えるビクセ ルマド’Ｉ　ノクスに変換することができる。現在の記憶技術では、全体で１メ がビット以上のピクセルイメージデータの経済的な記憶および実時間アクセスは 不可能である。従ってイメージデータをよりコンパクトなフォーマットで記憶し 、断片的なビットマツプを、パターン発生装置のビーム繰り返し掃引操作と実時 間で同期させて作ることが必要である。
かくして、本発明の他の目的は、パターン発生装置の実時間の変調データ要求と 釣り合う速度で１つづつ作られるビットマツプに甑めて多数の四辺形を変換する ことのできるパターン発生装置用のデータ処理システムを提供することである。
発明の開示 これらの目的および他の目的は、プリプロセッサと実時間プロセッサとを備えた データ処理装置によって達成される。ブリプロセッサはイメージデータデτりを ベクトルフォーマノト：こ変換する。ベクトル情報は、データが実時間でプロセ ッサで利用される、１序に対応する、・頂に区分される。
実時間プロセッサは区分さね、たベクトルフォー７ノトデータを受け入れて、こ れからビーム変調情報を含む適当なビットマツプを作る。ビーム変調情報はビー ム１３の各掃引生変調器１９へ直接送られる。最終的なビットマツプデータは、 スキュヮイき正され、発生パターンの四辺形の重なり合いを適当に考慮している 。
ブリプロセッサでは、各ベクトルはパターン２１に含まれる四辺形のエツジを特 定する。このようなエツジが列の境界を横切るときに、各列の中にあるエツジの 部分について個々のベクトルを作る５次いでベクトルを列ごとに区分して、該ベ クトルを各列について、対応する列での目標物の移動方向に応じて左端点から或 いは右端点からＸ軸方向に配列する。次いで、変換されたデータ、即ち予め区分 されたデータを実時間プロセッサで用いるために記憶する。
区分されたデータは、パターン発生装置が目標物を走査する１序で、実時間プロ セッサにより利用される。
データは各列についてブロックごとに処理される。
実時間プロセンサは、′パイプライン″の、即ちカスケード式のビームプロセッ サ群を備えており、各ビームプロセッサはビーム１３の一つと関連している。
１つのベクトルは一度）ここのパイプラインへ送られる。
例えば最も左側のビームと関連した第１のビームプロセッサは、関連したビーム がブロックを走査中、ベクトルで表示された四辺形に交差するかどうかを確かめ る。もし交差するならば、関連したビームに対応するビットマツププリカーソル メモリの部分に適当な入力が行われる。ビームがベクトルで定められたエツジを 横切るブロック内の垂直位置に対応するメモリ位置に入力がなされる。
最も左側のビームを制御するのに必要とされるベクトル情報の部分をパイプライ ンの１番目のビームプロセッサで利用してから、該情報をベクトルから削除し、 即ち１消去する′のが良い。次いでこの結果の消去されたベクトルをパイプライ ンで次のビーム（即ち２番目のビーム）用のビームプロセッサに送る。
２番目のこのビームプロセンサは同様の動作を行い、適当なビームオン・オフ情 報をビットマツププリカーソルに記憶する。ベクトルはさらに消去され、次のビ ームプロセッサーに送られる。かくして単一のベクトルがパイプライン全体を通 して処理されると、ビットマツププリカーソルメモリには、データを処理してい るプロ７り内にある四辺形エツジの部分に対応する、ベクトル表示の適当なオン ・オフ情報が記憶される。
２つ或いはそれ以上のエツジ部分が、例えば第２図のブロック１５ｂのような単 一のブロック内にあっても良い。この状態に適合させるために、複数のベクトル をパイプラインで処理して単一ブロック用のビットマツププリカーソルを作る。
消去された１つのペクト・°しが１番目のヒ゛−ムプロセノサから２番目のヒ゛ −ムブロセノサに進められると、他のエツジを表示する他のベクトルがパイプラ インに送られ１番目のビームプロセッサで処理される。十分なベクトルをパイプ ラインに通してブロック内の全てのエツジの特定を確実にしたときに、ビットマ ツププリカーソルメモリは対応するブロックイメージを作るのに必要な全てのオ ン・オフ情報を含んでいる。
この時点で、ビットマツププリカーソルデータは、るための適当なスキュウ修正 操作を受ける。このようなスキュウ修正の結果が、目標物上でいま走査されるべ きブロックのパターンに正確に対応する一組のビットマツプデータである。ビッ トマツプデータは、ブロック内の全ての垂直位置について、個々の各ビーム用の オン・オフ制御信号からなる。このデータは、偏向器１６によってビーム１３を ブロックを横切って走査させるときに実時間で変調器１９に送られる。
ビームプロセッサのパイプライン、！：関連させて二重０’）　バッファ講造を 夏用している。かくして、１つのブロックについてのビットマツププリカーノル 情報がスキュウ修正を受けている間、次のブロックについてのベクトルデータが パイプラインで処理され、対応するビットマツププリカーソルが他方のバッファ メモリで作られる。
パイプラインのピノ！−７ノブプリカーソルの発生とスキーウー傷正とは実時間 で行われ、その結果各ブロックの走査を完了したときに次の走査用の新しいピノ ｌ−マツプが直ちに使用可能になる。
図面の簡単な説明 本発明を添付図面を参照して以下に説明する。ここで同様の符号は、各図の同様 の要素を示している。
第１図は、本発明のパターン発生装置用のデータ処理システムのブロックダイヤ グラムである。
第２図は、第１図のシステムを使用して発生させることのできるパターンの一部 の超拡大図であり、ブロックおよび列の配置を仮想線で示している。
ｇ３Ａ図は、第１図のシステムの実時間プロセッサ部分で利用される典型的なベ クトルフォーマソトデータを示しており、第３Ｂ図は第３Ａ図のデータに対応す るビットマツププリカーソルメモリの部分的な内容を示している。
第４図は、第１図のデータ処理システムのプリプロセッサ部分に提供されるよう な矩形フォーマットのイメージソースデータの図表である。
第５図は、第１図のシステムのビームプロセッサのパイプラインとビットマツプ プリカーソルメモリの構成要素とによって実行される操作のフローチャートであ る。
第６図は、第１図のシステムのヒツトマツププリカーソルメモリの典型的な内容 の図表である。
第７図は、第１図のシステムのスキエラ補償器で使用されるスキュウ用バッファ の図表であり、バレル／フタの制御の下でこれらのバッファからデータを読取る 仕方を示している。
第８図は、第１図のシステムのプリプロセッサ部分の動作の主なフェーズを示す フローチャートである。
第９図は、プリプロセッサで利用されるイメージデータ入カフオーマノドの図表 である。
第１０図、第１１図、第１２図および第１３図は、第１図のシステムのプリプロ セッサ部分の種々のデータ処理機能を示すフローチャートである。
発明を実施するための最良の形態 以下の説明は、現在期待されている本発明の最良の実施態様の説明である。この 説明は、本発明の一般的な原理を説明する目的のためになされており、限定され て解決されるべきではない。本発明の範囲は請求の範囲の記載によって最も良く 定められる。
第１図を参照すると、本発明のデータ処理システム２９は、ブリプロセッサ３０ と実時間プロセッサ３１七を備えている。ブリプロセッサ３０の詳細を、第８図 乃至第１３図と関連させて以下に説明する。しかしながら、ブリプロセッサ３０ の基本的な機能は第１図に示されている。
最初、イメージデータを、第４図のデータフォーマットを使用して代表的にはパ ターンの名矩形要素を特定するデータリストの形でブリプロセッサ３ｏに入力す る（ブロック３２）。次に、このデータを第３Ａ図に示したようなベクトルフォ ーマットに変換する（ブロック３６）。このようなフォーマットでは、各矩形の 各エツジをベクトルで、即ち該エツジの起点つまり開始点（Ｘｓ　ｒ　３’ｓ） と該エツジのＸ軸に沿った終了位置（ｘｅ）と該エツジの傾き（△ｙ／ΔＸ）と ビームのオン・オフ１方向′　とを表示する一組の数値情報で、表わすことがで きる。このビーム方向は、ビームがエツジを横切るときにオンになるべきである ならば±１の値で特定され、またビームがエツジを横切るときにオフになるべき であるならば−１の値で特定されるのが都合良い。矩形２３のエツジ２３−１お よび２３−２についての典型的なベクトルフォーマットは第３Ａ図で与えられる 。
以下に述べるように、もし矩形のエツジが列の境界（例えば第３Ａ図および第４ 図の境界３４）を横切るならば、対応する列内のエツジの部分に夫々限定された 個々のベクトルで、このような二ノンを表示するのが有利である。エツジのこの ようなベクトルクリッピング（ベクトルの切り取り）は、またブリプロセッサ３ ０で行われる。
このような切り取りを行うときには、列の境界に沿って人為的なベクトルを作っ て、隣接するブ０ツクを走査するときに最初にビームをオンにすることを保証す ることが必要である。かくして、例えば矩形２３に関して、ブリプロセッサ３０ は列の境界３４に沿って人為的なオンベクトル６５（第４図）を作る。
次に、各列内にあるベクトルを、それらのＸ方向の開始位置に従って区分する（ ブロック３６）。列が（例えば第２図の列１７ａのように）左から右へ作られる ならば、各ベクトルの左端即ち起点Ｘ５に関して区分が行われる。（列１７ｂの ような）右から左への走査については右の端点て区分がなされる。しかしながら 、装置２９全体のデー々処理を簡単にするために、このような列について、あら ゆるベクトルのＸ座環を反転することができて、そのとき最小の起点Ｘｓ値から 最大の（反転した）起点Ｘ５値までの区分が行われる。
このような区分の結果が、特定の列内にある各矩形の隅エツジを定めるベクトル の濱序τ１ストでアｉ）、ベクトルはこの列についてＸ方向を走査するビームの ・頂に配列される。プリプロセッサ３０てのデータ変換操作および区分操作はか なりの時間がかかるので、これらの操作は、発生装置１０による実際のパターン の発生に先立って実行される。従って、ブリプロセッサで作られ、区分されたデ ータは、実時間プロセッサ３１で続いて用いるためにディスク或いは他の媒体に 記憶される（ブロック６７）。
上に要約したように、実時間プロセッサ３１はパターン発生装置１０と協働して 、ブリプロセッサ３０からの区分されたベクトルデータ変調器１９用のオン・オ フ・コマンドに変換する。このために、発生装ｆ１０が目標物１１上にイメージ を発生しているときにブリプロセッサ３０からの記憶されたデータを、ディスク ３８或いは他の入力装置から先入れ先出し方式（ＦＩＦＯ）のバッファ３９を介 して読取る。各列についてのベクトルは、これらのＸ＠起点；こ従って区分され 、これらのベクトルは、目標物１１上への列の発生中、対応する矩形エツジを発 生する１＠序でＦＩＦＯ３９から供給される。
これらのベクトルは、ジャンクションコントローラ４０およびデータバッファ４ １を介して１６個のビームプロセッサ４ろ−１乃至４３−１６からなるパイプラ イン４２へ、一つづつ送られる。１６個のビームプロセッサは、夫々セット１３ の中の対応する一つのビームと関連している。２組のポイントバッファ４６ａ− １乃至４６ａ−１６および４６ｂ−１乃至４６ｂ−１６をもつビットマツププリ カーソルメモリ４５が、該ビームプロセッサ４３と協動する。２徂のポイントバ ッファ４６ａ、４６ｂは、スキュヮ修正のなされていない連続しているブロック と関連したイメージデータの処理中、交互に使用される。プリカーソルメモリ４ ５の各ポイントバッファ（例えばポイントバッファ４６ａ−１）は、１０２４個 の記憶位置をもち、各記憶位置は複数のビット数を記憶することができる。かく しで、各ポイントバッファは、対応する一つのビーム１３についての各垂直（Ｙ 軸）ピクセル位置に対応した記憶位置をもっている。
いまベクトルデータの処理されているブロックに関して、各ビームプロセフす４ ６は対応するビームに割当てられる。かくして、第３Ａ図および第４図のスキュ ウ修正のなされていないブロック１５ａ′についてのベクトルをパイプライン４ ２で処理しているときに、ビームプロセッサ４３−１乃至４３−１６は夫々ビー ムのＸ軸位置Ｘｂｔ＝３３乃至Ｘｂｔｓ＝４８（第４図の上部に沿って示してい る）と関連している。そのとき１組のポイントバッファ４６ａ−１乃至４６　ａ −１６を使用しているならば、これらのポイントバッファは夫々Ｘ軸ビームアド レス３３乃至４８と関連するだろう。
特定のビームプロセッサ４６の処理しているベクトルが、関連したＸ軸ビーム座 漂を通るエツジを特定していることを該ビームプロセッサ４３が確かめると、プ ロセッサは関連したポイントバッファ４６の適当な記憶位置に、ベクトルの゛方 向″の値に従って＋１又は−１を加算する。例えば、第３Ａ図のエツジ２３−１ に対応するベクトルがビームＸ軸直Ｘｂ４＝３６と関連したビームプロセッサ４ ３−４　（図示せず）で処理されているとすると、（このベクトルはビームをオ ンにするエツジのベクトルであるから）＋１の値が、関連したポイントバッファ ４２ａ−４（図示せず）のメモリ位置７６０へ入れられる。
２つ或いはそれ以上の矩形エツジが同じピクセル位置を横切っているならば、こ れらのエツジについてのベクトルを同じビームプロセッサで処理するときに、オ ンにする方向値又はオフにする方向値がポイントバッファの対応する記憶位置に 加算される。特定のブロックと関連した全てのベクトルをパイプライン４２で処 理したとき（こ、特定のポイントバッファの記憶位置の最終的な数値によって、 対応する変調器１９用に実際作られた制？ａＮ号がオン官号であるか或いはオフ 言号であるかが決まる。もし最終的な数１が＋１以上であるならば、ビームをオ ンにする（或いは、ビームが以前にオンされていたならばオンのままにする）。
もし数値が＋１以下（即ち、零或いは負）であるならば、ビームをオフにする。
パイプライン４２が特定のブロックと関連した全てのベクトルを処理した後、メ モリ４５のポイントバッファの動作する方の組には、核ブロック内の矩形の重な り合いをすでに考慮したビットマツププリカーソルが収容されている。次いでこ のビットマツププリカーソル情報をスキュウ補償器４７の制御の下でスキュウ修 正する。この間、ポイントバッファの他方の組？こはスキュウ修正のなされてい ない次の連続するブロック実時間プロセッサ３１はブロックごと（こ働く。１０ ２４個のベクトルだけが、あるブロックを横切ると仮定すると、パイプライン４ ２が１０２４個のベクトルを処理したときにこのパイプラインは次のブロックに ついてのベクトルの処理を開始する準備が整う。データはディスク３８からＰＩ Ｆ’０３９およびコントローラ４０を介してデータバッファ４１にロードサレル 。
最初の１０２４個のベクトルをデータバッファ４１１こロードしたさきに、パイ プライン４２は最初のブロックについてのこれら全てのデータを処理し、ベクト ルデータをこのブロックについてのビットマツプブリカーノルに変換する。最初 のブロック内のエツジを特定するベクトルの部分は消去される。このブロックを 越えて延びる残りのベクトルは、ジャンクンヨンコントローラ４０によってデー タバッファ４１内ｊこ戻される一方、このブロックを越えて延びないベクトルは 捨てられる。新しいベクトルがＦＩＦＯ３９からロートさねて、捨てられたデー タに置き換わる。もしＦＩＦＯからの新しいデータがディスク３８によって引き 起こされる遅れによってまだ利用できないならば、゛帳尻を合わす″ため（こだ け用いられる空のベクトルがハ′ノファ４１にロードされる。データバッファ４ １ｆこ最初に記憶された１０２４個の全てのベクトルを処理した後、パイプライ ン４２はスキエラ修正のなされていない次のブロックについてのビットマツプを 作るためにバッファ４１に記憶された次の１０２４個のベクトルの修正される組 を処理する準備を整える。ポイントバッファの一方の徂４６ａの処理済データ（ 即ちビットマツププリカーソル）をスキエラ修正しでいる間、パイプライン４２ は次の１０２４個のベクトルを処理し、次のブロックについてのビットマツププ リカーソルをポイントバッファの他方の組４６ｂにロードする。パイプライン４ ２が２番目のブロック１こついてのこの１０２４個のデータの処理を完了したと きには、スキュウ補償器４７はバッファ４６ａからの前のビットマツプブリカー ノルの処理を完了している。しかる後、パイプライン４２は、１０２４イ固のベ クトルの３番巨の組の処理と、この処理の結果のビットマツプブリカーノルデー タの、ポイントバッファの第１の徂４６ａへのロードとを開始する。このサイク ルは、全てのベクトルが処理されるまで繰り返される。
このブロックごとの方式を実行するために、ビームプリプロセッサ４３には一時 的にＸ軸座標Ｘｂｔ乃至ｘｂｔｓの範囲が割当てられる。ビームＸ軸座標Ｘｂ１ 乃至Ｘｂｔ６は、いま処理されているス千ユウ修正されていないブロック（第４ 図）のＸ軸座標と一致している。１番目のヒ゛−ムブロセソサ４３−１ｉこはフ ゛ロックの最も左側の座標が割当てられ、２番目のビームプロセッサ４３−２に は最も左側の座像から２番目の座標が割当てられるというように、以後のビーム プロセッサにも以後の座標が割当てられる。１０２４個のベクトルをパイプライ ン４２で処理したときには、各ビームプロセッサ４３はその一時的なＸ座標値を 、処理されるべき次のブロックについての適当な値に変化させる。
各ビームプロセンサは同じ仕事を実行する。この仕事を第５図にフローチャート で示す。１番目のプロセッサ４３−１はデータバッファからベクトルを受けとり 、この間、池の全てのプロづフサ４３−２乃至４３−１６はパイプラインの中の 前のプロセッサからデータを得る。最初、プロセッサ４６−１は現在のブロック についての１０２４個のベクトルがバッファ４１内に準備の整うまで待つ（ブロ ック５０）。次いでプロセフす４３−１は最初のベクトルを得る（ブロック５１ ）。このベクトルは、前に行われた区分によって、ブロックについて最も左側の Ｘ軸位即ち最低のＸ軸位をもっている。各ビームプロセッサは最初、ベクトルの Ｘ＠開始至凛値を調べて対応するエツジが、このビームプロセッサの割当てられ たＸ軸位の後に始まるかどうかを確かめる（ブロック５２）。かくして、第３Ａ 図の例では、ビームプロセッサ４３−１はベクトル２６−１をパイプラインの次 のプロセッサに渡すだけである（プロ７り５３）。
もしベクトルがこのビームプロセッサの割当てらｎたＸ座像値よりも前に始まる エツジを表わしているならば、ベクトルの終了座標値（第３Ａ図のＸｅ）を調べ て、対応するエツジが該プロセッサ割当て座標値よりも前に終わっていないこと を確かめる（ブロック５４）。もしエツジが該牢標償よりも前に終わっているな らば、ベクトルを無視して、該ベクトルをパイプライン４２の次のプロセッサに 渡す（ブロック５３）。
ベクトルが割当てられたＸ座像値を償切ることをビームプロセッサが検出するな らば、ビームプロセッサは、このベクトルのＹ軸座標値を受け取って該ビームプ ロセッサ専用のアクティブなポイントバッファ４６の関連した位置をアクセスす る（ブロック５５）。例えば、ベクトル２３−１　（第３Ａ図）はＹ軸直７６０ のところでビームプロセッサ４３−４のＸ座標値を横切り、それ故、プロセッサ ４３−４はアクティブなポイントバッファ４６ａ−４の記憶位置７６０をアクセ スする。
プロセッサはベクトルを調べて核ベクトルの゛方向″を確かめる（ブロック５６ ）。ビームプロセッサは、ベクトルがオン・ベクトルならば、適当なポイントバ ッファの記憶位置の内容に１を加え（ブロック５７）、またベクトルがオフ・ベ クトルなら！′　アクセスされた記憶位置の以前の内容から１を減じる（ブロッ ク５８）。かくして、ポイントバッファ記憶位置の内容の最終的な数値を正、零 或いは負；こすることができる。
次に、ベクトルを、次のビームプロセッサで用いるために変えなければならない 。これはベクトルを゛消去″することで達成される。ベクトルのＸｓ開始座標値 を１だ゛け増加させる（ブロック５９）。ベクトルのＹｓ庄凛値を傾き値だけ減 少させる（ブロック６０）。
次いでこの結果のベクトルをパイプライン４２の次のビームプロセフ→に送る（ ブロック６１）。ベクトルを渡した後、プロセッサは、いまのプロア勺について の１０２４個の全てのベクトルを処理したかどうかを確かめる（ブロック６２） 。全てのへクトルっ）処理されているならば、ビームプロセッサは他方の徂のボ イ／ご・＼ノコアル６に切換える５また全てのヒ′−ムグロづノ叶の有効なＸ牢 標′直を次のフ゛ロノ７のための適当１″；−′立；こスえる。
このベクトル゛消去″操作をパイプライン４２で実行する仕方を要約するために 、第３Ａ］に示した、工、、；２３−］に対応するベクトルを考える。ベクトル １は、次の値からなる。
ベクトル開始点（Ｘｓ　、　Ｙｓ　）＝３５．２　、８００ベクトルＸ軸終了位 置（Ｘｅ）＝５６ 頌き値（ΔＹ、ΔＸ）＝＋４０ 方向＝＋１（オン） ・ぐイブラインが、スキュワのなされていないブロック１．５２’（第３Ａ図お よび第４図）についてのベクトルを処理しているとき、ビームプロセッサ４３− １　ｉ−：ビームＸ軸子ドレスＸ１）１＝３３　と関連し、ビームプロセッサ４ ３−２はアドレスＸｂ２＝３４と関連し、已−ムプロセッサ４３−１６はビーム アドレスＸｂ１６＝４８と関連している。
エツジ２３−ｔについてのベクトルがビームプロセッサ４ろ−１；こ供給される と、ベクトルのＸ軸開始アドレス（Ｘ　５＝３５．２　）と該ビームプロセッサ の劉描てられたヒームＸ軸アトルス（Ｘｂ１＝３３）との比較がなされる５開始 アドレスはビームプロセッサの割当てられたＸ軸座標値の後にくるので即ち最初 のビームがエツジ２３−１を横切らないことを意味するので、ベクトルは次のビ ームプロセッサ４６−２に、変えられずに送られる（ブロック５３、第５図）。
同様；こ、ビームプロセッサ４３−２はへクトルを３番目のヒ゛−ムブ０セッサ ４３−３に、変えずに送る。該３番目のビームプロセッサは、（スキュウ修正の ない）ベクトル２３−１を横切る最初のビーム１３−３に対応している。
ビームプロセッサ４３−３では、ベクトルＸ軸端アドレスとビームプロセッサ４ ３−３の割当てられたアドレスとの比較がなされる（ブロック５４、第５図）。
ベクトルはもっと後のＸ軸座標値で終わるので、プロセッサは、その割当てられ たビームが該ベクトルを横切るこ七を認め、第５図のブロック５５乃至６ａで示 される動作が実行される。
先づ、ポイントバッファの適当な記憶位置をベクトルの現在のＹ軸開始アドレス （Ｙｓ＝８００）　を参照して確かめる。このＹ、アドレスは、関ａするビーム １３〜３がビクセル位置８００（このような垂直ビクセル位置は第３Ａ図に示し たように１乃至１０２４の範囲：こある）のところでエツジ２３−１を横切るこ とを示している。対応するポイントバッファ位置をアクセスする（ブロック５５ ）。
次に、ベクトルの゛方向“値を調べる（ブロック５６）、これはオン・ベクトル であるので、←１の値がアクティブなポイントバッファメモリの記憶位置８００ の内容に加えられる（ブロック５７）。もしデータを、−）まポイントバッファ ４６ａにロードしているならば、−１の：Ｘがポイントバッファ４６ａ−３の記 憶位置８００の以前の内容に加えられよう。
次いで、ベクトルを、次のビーニブ０セツサ４３−４に渡すために゛消去″する 。最初、現在のＸ軸開始アドレス（Ｘｓ＝３５．２）を１だけ増加させて新しい 値（Ｘｓ−’３６．２）を得るっ次いてＹ軸アドレス（ｙｓ＝８００）を傾き値 （ΔＹ／△Ｘ＝＋４０　）だけ減少させる。換言すれば、値（＋４０）を現在の Ｙ軸開始アドレスから減じて新しい値Ｙｓ−”（８００−４０）＝７６０を得る 。従って次のビームプロセッサ４３−４に渡される（ブロック６１）消去された データは新しい開始端座標値（Ｘ５＝３６，２　、　Ｙ　ｓ＝　７６０　）をも つ。その結果、次のビームプロセッサ４３−４は、関連したアクティブなポイン トバッファ４６ａ−４の記憶位置７６０に？１（オンに下る方向値）を加える。
特定のベクトルが次のブロック１５３″に延びるエツジ（例えば第３Ａ図および 第４図のエツジ２３−１）と関連しているならば、最後のビームプロセッサ４３ −１６によって渡される消去済ベクトルは、ベクトルのＸ軸終了アドレス＜　Ｘ ｅ＝５６　）よりも小さいＸ軸開始アドレス（Ｘ　ｓ　＝４９．２　）をもつ。
この状態はジャンクションコントローラ４ｏによって認知され、該コントローラ ４ｏはこのとき、パイプライン４２で処理されるべき次のブロック１５２　″に ついての新たな１０２ｔ４固のベクトルの徂の一つとして、残りの消去済ベクト ルを有している。
他方、もしベクトルが、いま処理したブロック内で終わるエツジと関連している ならば、ビームプロセッサ４３の一つにおいて、Ｘ＠開始アドレス（Ｘ、）を終 了アドレス（Ｘｅ）よりも大きいｉまで増加させる（ブロック５９）。このベク トルがパイプライン４２の次のビームプロセッサによって受け取られると、この 状９　（Ｘ　３　＞　Ｘｅ　）が認知され（ブ。７り５４）、この゛完全に消去 された″ベクトルは、残りのビーニブ０セツサを通ってジャンクションコントロ ーラ４゜に変えられず（こ送らｎる（ブロック５３）。コントローラ４０は、こ のベクトルと関連したエツジがいま完全に処理ざｎたことを認知し、この完全に 消去されたベクトルは、処理されるべき次のブつツクについてコントローラ４０ て集められるベクトルの組の中には含まれない。その代わり（こ、コントローラ ４０；よＦＴＦ０３９からの新しいベクトル（又はＰＩＦＯ３９がらの変位ベク トルが利用できないならば空のベクトル）を使用する。
重なり合っている矩形について、丁ン、オフテ・−タを処理する仕方を第６図に 示す。第６図には、第４図のスキュウ修正されていないブロック１５ｂ′につい ての全てのベクトルを処理した後のビノトマノブプリカーソＩレメモリ４５の一 部の内容が示されている。特？こ、Ｘ軸ビームケ置Ｘｂ＋　、Ｘｂ４．ｘｂ８　 、Ｘｂｔ。
３３　ヨヒＸ　ｉ）　１５と垂直位置１００　、２００　、３００−・−１００ ０とについてのポイントバフ７ア４６ａＣ又４−１４６ｂ）の内容を示している 。
垂直位置３００以下のメモリの内容は全て”１”であり、この結果は列の境界３ ４のところの人為的なオン・ベクトルによるものである。垂直位置４００では、 ビームアドレスＸｂｔ　と関連したポイントバッファ４６ａ−１の内容は、オフ ・ベクトル２３−２の結果、０′になる。位置７００では、ポイントバッファ４ ６ａ−８の内容は、オフ・ベクトル２３−２によって“１”だけ減じられている 。
以下に述べるように、実際のオフ・オフ信号は、ビットマツププリカーソルメモ リ４５の最終的な内容で確立される。−役に、特定のポイントバッファ位置に記 憶された数値が零よりも大きいと、オン・コマンドが適当な変調器１９に出され る。数値が零又は負であると、オフ・命令が出される。かくして、第６図を説明 するために、ピントマツプブリカーツルメモリ４５が内容″０′をもつ位置に対 応するブロック領域でのみ、関連するビームがオフになるとする。その他の位置 では、ビームはオンになるとする。かくして、適当なビームをオンにしてスキュ ウ修正のなされていないブロック１５ｂ′の中に含まれる矩形２５．２４の、重 なり合っていない部分と重なり合っている部分との両方を作る。
スキュウ修正はスキュウ補償器４７で行われ、該スキュウ補償器４７の動作を第 ７図に概略°的に示す。列１７？の操作中、目凛物１１を−Ｘ方向に横方向に移 動させると、各ビーム１６は右下方に傾斜する経路を横切って走査することを第 ２図から思い起こすべきである。かくして、スキーウ修正されてない単一のブロ ック（例えば第３Ａ図および第４図のブロック１５２つについてメモリ４５に集 められたビットマツププリカーソルは、現在のブロック１５ａの発生中ビーム１ ３を変調するのに必要な情報の全てを含んではいない。
実際、現在の変調情報は、スキュウ修正されていない２つのブロック部分からの データを含む。
このデータを得る仕方を第７図に示す。スキュウ補償器４７は、３つのスキュヮ 用バッファ６５−１，６５−２および６５−３を有しており、該バッファへのロ ードはスキエラ用バッファコントローラ６６（ｉｔ図）で指示されるう各スキュ ウ用バッファ６５は１０２４個の記憶位置の１６個の組をもっており、各組は一 つの対応するビーム１３と関連している。対応するビームと関連したスキュウ用 バッファ６５のカラムアドレスは、第７図にｂ１３−１乃至ｂ１３−１６として 特定されている。
スキュワ１′す正されていない各ブロックについてのビットマツププリカーソル をメモリ４５の交互のバッファ４６ａ　、４６ｂの一つで得ると、ビットマツプ プリカーソルは適当な１つのスキエラ用バッファ６５に移される。かくして、ブ ロック１５ａ”についてのビットマツププリカーソルをスキュウ用バッファ６５ −１に移し、次いでブロック１５２′についてのビットマツププリカーソルをバ ッファ６５−２に移し、ブロック１５ａ“についてのビットマツププリカーソル をスキュワ用バッファ６５−３に移す。もちろん、これらの移行は連続して起こ る。換言すれば、ブロック１５ａ′についてのビットマツププリカーソルを、パ イプラインによってポイントバッファ４６ａ内に集めている間、先に集めたブロ ック１５ａ”用のこノドマツププリカーソルをバッファ４６ｂからス本−ウ用バ ッファ６５−１内に移す０次いで、ブロック１５ａ′用のビットマツププリカー ソルを集め終わると、この情報は、パイプライン４２がブロック１５３″用のビ ットマツププリカーソルをポイントバッファ４６ｂ内に集めている間、ポイント バッファ４６ａからスキュウ用バッファ６５−２に移される。
ビットマツププリカーソルデータをポイントバッファの組４６から対応するスキ ーウ用バッファ６５に移するときに、対応するポイントバッファ記憶位置の内容 が＋１以上であるか否かについて、各ポイント位置で確かめるのが都合良い。も し、＋１以上であるならば、′１″を、適当なスキエラ用バッファ６５の対応す る位置に入れる。このような１”は、対応するビームが指定された垂直位置でＯ Ｎでなければならないことを指示する。同様に、もしポイントバッファ位置の内 容が“０″又は負であるならば、“０″をスキュウ用バッファ６５の対応する位 置に入れて、関連するビームがその垂直位置でオフでなければならないことを指 示する。このことは、スキュウ修正のなされていないブロック１５ａ′を表わし ている、第７図のスキュワ用バッファ６５−２の内容によって示されている。
実際のスキュウ済ブロック１５を作るのに必要な実際のビットマツプ情報は、一 対のスキュヮ用バッファ６５の接触部分に格納される。これを第７図に太い輪郭 で示した領″ｔ！、１５Ａ、１５Ｃおよび１５Ｄて示す。
これらの領域は、実際のブロック１５ａ、１５Ｃおよび１５ｄ（第２図）を夫々 発生するためのスキーウ補償された正確なビットマツプ情報を格納するスキーワ 用ハノ７ア６５の部分を示している。
各ブロック１５Ａ、１５Ｃおよび１５Ｄからのビットマツプ情報の読出しは、バ レル／フタ６７で達成され、該バレル／フタ６７は、一対のストロークバッファ ６８−１および６８−２の一方へ或いは他方へ交互ｊこデータを出力する。例え ば、スキーウ用バッファ６５−１３よび６５−２にスキュワ修正されていないブ ロック１５３″′、１５３″を夫々ロードした後（この間、スキュウ用バッファ ６５−３にはスキュウ修正のζされていないブロック１５ａ″用のビットマツプ 情報を供給している）、バレルシフタ６７は、データをバッファ６５−１３よび ６５−２の領域からストロークバッファ６８−１に移す。この移行の結果として 、ストロークバッファ６８−１は、スキュウ修正済の実際のブロック１５ａ用の 所望のパターンに対応する正確なビットマツプを収容している。このビットマツ プデータは変調データ用バッファ２７に移され、そこかろ、ビーム１３を実際の ブロック１５ａを横切って偏向させているときに変調器１９を実時間で制御する のに使用される。
同様ニ、ス三ユウ用バッファ６５−３を、スキーウ修正ざｎていな＋、１ブロッ ク１５　ａ　″に対応するビｙトマノフ゛１青報で５情だした後、バレル／フタ ６７はビットマツプ情報を領域１５Ｃからストロークバッファ６８−２１こ移す 。このきき、ビーム１３を目標物１１上のブロック１５Ｃを横切って実際に掃引 している間、このヒツトマツプを変調器１９；こ（バッファ２７と駆動電子装置 ２８とを介して）供給する準備が整う。
次のブ０ツク１５ｄ用の情報は、スキュウ用バッファ６５−３および６５−１の 部分を含んでいる領域１５Ｄ（ｉ７図）から得られる。バレル／フタ６７は、種 々のスキュウ用バッファ６５の実際の位置の跡をたどり、この位置から必要な情 報を抽出してストロークバッファ６８に一時的に記憶されかつ実際にパターン発 生装置１０に供給されるスキーウ補償のなされたビットマツプを作る。
これに関して、データをストロークバッファ６８へ移行させるためのスキーウ用 バッファアドレスの選択は、パターン発生中の目標物１１の横方向移動速度の関 数として決められる。第７図の例では、目標物１１は、（第２図に示すように） ビーム１３が７０個の垂直ピクセル位置を通って偏向されるのとｉ司じ時間で、 ２つの隣接するビーム間の間隔に等しいＸ軸臣離だけ左に移動する。かくして、 最初の７０個の垂亘ピクセ乃至ｂ　１３−１６に対応するスキエラ用バッファ６ ５−１の記憶位置からデータを移行する。垂直位置７１て始まる次の７０個の位 置（位置１４０まで）について、／フタ６７は、スキエラ用バッファ６５−１の 位置ｂ　１３−２乃至ｂ１３−１６からの情報と、またスキーウ用目標”ｉｌｌ の異なる移動速度では、対応する異なる位置セットをシフタ６７で遇んで、スト ロ−クツ＼ノファ６８にスキエウイサ正済のビットマツプ用データを得る３同様 に、交互の走査子、バレル／フタ６７によるスキュワ用バッファ６５からの清報 の１ソフト“即ちアクセスの方向を第７図に示すものとは逆にしてスキュワＳ正 済のビットマツプを得ることができる。
〔プリプロセッサ〕
プリプロセッサ３０は、ソフトウェア指向のＫａであり、イメージデータ全入力 テープのフォーマットから実時間プロセッサ６１が利用することのでさるフォー マットに変換して、パターン発生装置１０が目標物１１を走置する速度とほぼ等 しい速度で一遍のビットマツプを作る。プリプロセッサは、予め区分される一連 のオン・オフ・ベクトルを発生する。第１図は、変換処理と区分処理と全ブロッ ク３６とブロック６６の別なものとして示しているが、これらの動作は互いに関 係している。
プリプロセッサの動作（こは４つのフェーズがあり、プリプロセッサ３０につい てのフローチテートの）ニーズの間にある周辺装置に中間データが記憶される。
システムのレベルを第８図に示す。フェーズＩては、入力テープを読取り、ユー ザフォーマットから実時間プロセッサ３１で用いられる座標フォーマントに変換 する（ブロック７０）。各四辺形を各列の境界縁のところで切り取る（ブロック ７１）。その結果、切り取られた各エツジは、列の境界を横切らないベクトルに 変換される。第１のフェーズの出力はノイラドファイルに区分され（ブロック７ ２）、各）＜ラドファイブレは隣接する１６・Ｉの列のあらゆるベクトル？収容 している。
典型的に（ま、６２個はどのバンドファイ、゛し上用いるのが良い。
フェーズＩｋ完了した後、各ファイルは、ブリプロセッサ動作の残りの３つのフ ェーズに別々（こ区分される。フェーズ■では各ハンドファイルＤ切り取られた 全てのへクトルを列ごと）こ区分下る（プロ、り７３）。
フェーズＩは、第１のバンドファイルの全てのベクトルをこれらに対応する列フ ァイルに完全（−区分した後すぐ（こ開始下ることができて、フェーズＩては、 ブリプロセフすは各列のベクトル全各列につき、１２８個のセクションファイル の一つに区分する（ブロック７４）。この区分は、左端点のＸ軸位に従って行な われる。最終的な目凛は、最左端点に従って区分された一つの列の全てのベクト ルについて単一のファイルを１乍ることである。第３のフェース′はまた、どの ベクトルがオン型であり、どのベクトルがオフ型であるかを確定下る。
第３のフェーズは他に１つの仕事をもっており、この仕事は、一つ置きの列でだ け行なわれる。上述したように、パターン発生装置１０の走査の方向は、列ごと に変わる。実時間プロセッサ３１を簡単にするためをこ、一つ貢きの列で曹き込 みが右から左に（第２図に矢印２０で示すように）進行しても、書き込みが常に 左から右に進行下るようにする。これを達成下るため）こ、Ｘ座標値全交互の列 で逆にする。
フェーズ■で（才、各セクションファイルのへクトルをこれらの最左端点；こ従 って区分しくブロン／７７５）、欠いて、セクンヨノファイルに組合せて、実時 間プロセッサ６１て１更用されるなｙ）ｆこ、フード化されかつバックされたデ ータ全有する区分されたジ・１フアイルにｌイメージ入力データは計算器用テー プのユーザ用フォーマントで与えられる。イメージ＼カデータ？先づ、不発明の データ処理システムで使用される（Ｘ、Ｙ）星標系に変換しなければならない。
入力テープが読取られると、入力データは、ユーザ用フォーマントに応じて変更 可能なアルゴリズムで変換される。
ベクトルと得るため（こ、端点即ち頂点で記述されるような各四辺形の各エツジ のリストが作られる。第９図を参照すると、記憶しなければならないデータ量を 最小にするためζこ、各四角形の４つの端点７６．７７゜７８．７９ｔ−記憶下 るだけで良い。最左点７６（最小ＯＸ軸座標値）をまず記憶し、残りの点を反時 計方向に記憶する。
第４図は、ユーザフォーマットがどのようζものかを示しており、該ユーザフォ ーマットでは各矩形は入力テープ上（こ、長さり、＜Ｗ、角度めで与えられる同 き、および中心位置Ｘ、Ｙによって表わされている。
変換ブロクラム（ブロック７０．第８図））すまずユーザフォーマットデータを エツジ頂点の各々、こついての矩形座標値（Ｘ、Ｙ）セットにてえる。例えば、 値（？’ｚ　ＩＹ＋　）　、（Ｘ２．Ｙ２）、（Ｘ３．Ｙ３　）および（Ｘ４． Ｙ４）を各矩形について確定する。
切り取り処理（ブロック７１）の詳細全第１０図（こ示す。このルーチンは四辺 彫金中間の記憶装置から読取り（ブロック８０）、四辺形の第１のエツジを読取 って、このエツジと列の境界との全ての交差点を算出する（ブロック８２）。夕 １１内にある各エツジつ断片を適当なバンドファイルに育ちに記憶する。９１」 えば（第９図）、エツジ７９′は３つの列の境界８３，８４゜８５のうちの２つ を夫々座標値（Ｘｓ、Ｙｓ）、（Ｘａ、Ｙ６　）のところで横切る。かくして、 頂点７９と列の境界８３との間にあって、端座標壇（Ｘ４　、　Ｙ４　）、（Ｘ ５＋　Ｙｓ）’ｒもつｘ、：）７９’のｍ分７９　ａ　？を列＋４と関連したリ ストに記憶される（ブロック８６）。
以下に述べるように、エツジ７９′は入口エツジであって、座標値（Ｘ！、Ｙ５ ）は列÷５についての入口エツジとして特定される。
第４図と関連させて上に述べたように、人為的なベクトル（例えば、−・クトル ３５）を列の境界に沿って発生させてオン・エツジを作らなければならない、こ れらの人為的なベクトルは、入口エツジと出口エツジて繰り返す（ブロック８７ ）。しかる後、こちらのエツジ断片を区分し、列の上方の境界（こついてのエツ ジ断片リストから水平方向の人為的なベクトル？作る（ブロック８８）。次いで 、これらのステップ全、四辺形がもはやなくなるまで繰り返す（ブロック８９） 。
第１１図および第１２図は、個々のエツジについての切り取り処理の詳細を示し ている。切り取りルーチンは、エツジの２つの頂点、例えば第９図のエツジ７９ ′の頂点（Ｘ＋　、　Ｙｔ　）および（Ｘ２．Ｙ２）を得ることで開始下る。工 ７ジが始まる列Ｎ１と、エツジが終わる列Ｎ２と全決定する（ブロック９２）。
この計算は、各頂点のＹ座標値と各列（こついてのＹ座標値の範囲とを比較する ことによって行なわれる。例えば、エツジ７６′は列Ｎ、＝華６で始まり列Ｎ２ ＝→７で終わる。
もしベクトルが一つの列の中）こだけあるならば（ブロック９４）、そのときに はエツジチクり取る必要はなく、出力リストに直接置くことができる。そうでな いとき（こは、エツジが列の境界全横切る各点でエツジを切り取らなけれ（ｉな らない。第９図（こ示す四辺形からの最初の一対の座標値（Ｘ、、Ｙｔ）、（Ｘ ２　、Ｙｔ　）？使用してエツジを切り取る仕方上水す。（この処理では、各エ ツジ４こついて、終了頂点は開始頂点に対して矩形の周り１こ反時計方向に負か れる。ブっ、り９８乃至１００では、開始頂点は浮標・直ＹＩ全もち、終了頂点 は座標値Ｙｚ’ｒもって２つ、ＹＢ値は第９図の下方に向かって増加する。）浮 標値Ｙ、とＹ２とつ３比収される。このすｊては、Ｙ２はＹｌよりも大さくで、 エノ；（＝入ロエノジ（Ｂ＝１）として指示される（ブロック１００）。このこ とは、二ノンと列の境界との全ての交Ｍ徂が人為的なへクトルを作るための入口 リスト１こ割当てらｎること全意味している。もしＹｌがＹ２よりも大きいなら ば、エノンは出口エツジ（Ｅ＝Ｏ）としで示されるだろう（ブ０７り１ｏ２）。
（プロ。
り１００および１０２に示すよう（こ）Ｘヮ、ＹｏおよびＸＬ、Ｙ、の割当てを 行ない、傾き値を計算しくブロック１０４）、割当たりのＸ方向変位をτ頃き値 （こ１ｏ２４全掛けることによって計算する。この量Ｓ；ま、列の中のエツジの Ｘのχ化量である。
いま第１２図を参照すると、列カウンタＮを増加させて（ブロック１１０　）、 エツジと第１の列の境界との交差点？算出しくブロック１１４　）、列について のへりかル全ベクトルリストζこ書き込む（ブロック１１６）。このベクトルは 、Ｘ柚開始座標値Ｘ３．Ｙ＠開始座凛値Ｙ５．Ｘ畑終了卒漂値Ｘｅおよび傾き償 金もっている。Ｘ＠開始屡標頃Ｘ、およびＸ軸終了牢標値Ｘｅは、エツジが入ロ エノジであるか又は出口エツジであるかの指示（こ応じて、この列についての出 口リスト又は入口リスｉｊこ名己憶される。
最後の夕（１に達したとき一部は（ブロック１２０）、残りのエツジ？表わす残 りへクトルをベクトルリストに作る（ブロック１２２）：）そうでないときには 、列カウントＮト「口して（ブロック＋２４）、次の列の交差点を算出する（ブ ロック１２６）。該処理を繰り返して残りのエノンを切り取る。四辺形の最初の エツジチクり取った後、四辺形の他のエツジを同様な仕方で・ベクトル（こ切り 取らなければならない。
各四辺形の全てのエツジ？切り取った後、各列の上Ｓｔ横切る人為的なベクトル を、入口リストおよび出口リストに用いて作らなければならない。各列について の久ロリストと出口リストとは、四辺形が交差する各列について、別々にメモリ から取り出される。人為的なベクトルは、列の境界の最も接近した入口点と同じ 列の境界の最も接近した出口点と？結んで作らｎる。
いま第９図全参照すると、破線が列の境界を表わしており、オン・ベクトルは列 の上方の境界８３，８４゜８５で作られなければならない。従って入口リストと 出口リストとを組合わせるときに、交差点ＡとＢとを１つの人為的なベクトルで 結び、ＣとＤとｅＭのベクトルで結び、ＥとＦと全３番目のベク）Ｊしで結ぶ。
いて、３２ゴ固のハンドファイルの１つ（こ置かれる。１６Ｊ固の連続した列か らのベクトルは同じバンドファイルに割当てられ、次の１６個の列は次のバンド ファイル）こ寓するというように以後の１６個の列も処理される。
全てのエツジチクり取って列ファイルの中に置いたときに、フェーズＨｆ開始す ることができる。
〔フェーズ■およびＩ〕
ブリプロセッサ６９動作のフェーズ■（ブロック７６、第８図）は区分処理の一 部である。ベクトルをこれら０適当な夕１ｊファイルに亘接区分するζこは非常 に多くの列があるのて、フェーズＩては、ベクトルを夫々、１６個の連続した列 Ｄ　３２　個のバンドファイルの１つに区分している。フェーズ■では、各バン ドファイルが読み取らｎ１ベクトルｆＹＢ開始アドレスＹ、たけによって適当な 列に分配する。
１つのハンドファイルの全てのベクトルを列に区分したとき、他のハンドファイ ルについてフェーズ■を硯けながら、フェーズＩ’を開始することかできる（ブ ロック７４）。各列内て；オ、ベクトルをこれらの最も小さなＸ、座凛’、ｒｘ （最も左側の座標値）によって区分しなければならない。列のかわるごとｉこ全 でのベクトルについてのＸ浮標４亘テ反転させて、パターン・つ往復発生を考す しなければならない。最後）こ、ヒツトマツプを形取するの（こ用いられるオン ・オフ方向頃を各へクトルｆこ割当てなければならない。
第１３図はフェーズＩのステップを示す。偶数番号の各列では、Ｘ座標値を反転 しなければならない（ブロック１４０）。用いられた技法は、Ｘの各１’［ｆ　 Ｘ　。
＋Ｘ、−Ｘで宜き換えることであり、ここでＸｏとＸｌはブロックの左余白部と 右余白部の座標値である。反転の後、偶数列の方向（オン又はオフ）を設定する ための基應は、奇数列の基あと反対になる。ベクトルのＸ開始座標Ｘ′ＴＸＸ　 ｓがＸ＠終了座標値Ｘｅよりも小さいとき）こは、偶数列での方向りは−１であ り、奇数列での方向りは＋１である（ブロック１４４）。ＸｓがＸｅよりも大き いときには（ブロック１４２）、ＸｅがＸ３対応するＹ軸座標値を交漠する。ベ クトルの方向は、偶数列では＋１であり、奇数列では−１である。
第３のフェーズでは、ベクトルはまた開始アドレスＸｓの範囲に従って１２８個 のセクションファイルの１つ（こ区分される（ブロック１４８）。各列の所定の Ｘ範囲内で始まる全てのベクトルは、ざら（こ区分するためにこのセクションフ ァイルに記憶される。この）ニーズは区分されるべきベクトルがらはやなくなる まで繰り返される（ブロック１４９）。
かくして、フェーズ■の終りまでに、全てのベクトル（こはオン／７ｒ）方向が 割当てられ、Ｘ方向に部分的に区分さねてパターン発生装置１０：こよるイメー ノの効果的な発生？可能にする。
〔フェーズ■〕
ブリプロセッサの最後のフェーズは、実時間プロセッサで直接使用可能なコード 化されたフォーマットのベクトルを含む列を作る。各セクションファイルの中の ベクトルは、偶数列では最も圧側のＸｓ座凛値に従って区分され、奇数列では最 も右側のＸｓ座標値によって区分される。この区分が完了下ると、リスｔ−’ｒ 順々に読み工し、各ベクトル？コード化してバックし、ベクトル全実時間プロセ ッサで用いられるように区分した順序でディスクに書き込む。
ｒ＼＝４’、ｌｌ７４＋？、１’ｍ＜−−ｊＳ−Ｔ７”　２！ｌ　−／ ろ−三グ、２　も＃６クク 国際調売報告

Claims (24)

    【特許請求の範囲】
  1. １．複数のビームを連続している目標物のブロックを横切って掃引してイメージ を形成するレーザパターン発生装置或いは他のパターン発生装置で使用するため のデータ処理システムであって、 前記連続するブロック内に形成されるイメージに含まれるべき多辺形のエッジを 特定する一組のベクトルを作るためのプリプロセッサ手段と、 前記各ビームに対応する一組の記憶位置をもつビットマッププリカーソルメモリ と、 複数のビームプロセッサからなり、これらのビームプロセッサの各々が、各ビー ムと関連し、かつ前記プリプロセッサ手段からのベクトルを次々に処理するよう に直列に配置されているパイプラインと、前記複数のビームを掃引するときに、 前記ビットマッププリカーソルメモリの内容から得られる情報で、前記複数のビ ームを変調するための手段とを具備しており、 前記各ビームプロセッサは、処理されるベクトルが該ビームプロセッサと関連す るビームの交差するエッジを特定しているかどうかを確定する手段と、もし該ベ クトルが該エッジを特定しているならば、このような交差点に対応する前記プリ カーソルメモリの記憶位置に、前記ベクトルによって設定されたビームオン／オ フ制御信号を入れる手段とを夫々有している、ことからなる前記データ処理シス テム。
  2. ２．前記ベクトルの各々は、エッジの一方の端を、前記ビームの掃引方向に延び るＹ軸と前記ビームの掃引方向を横切るＸ軸とについて、初めに特定する開始座 標値と、前記エッジの他方の端を前記Ｙ軸について特定する終了座標値と、傾き 値と、ビームオン／オフ制御信号と、を有していることを特徴とする請求の範囲 第１項に記載のデータ処理システム。
  3. ３．前記パイプラインにおいて、前記ビームプロセッサの各々は、前記確定の後 、互いに隣接するビーム間のＸ軸有効間隔に等しい量だけ前記処理されるベクト ルのＸ軸開始座標値を変化させることによって前記開始座標値を修正し、前記傾 き値で決まる量だけＹ軸開始座標値を修正し、その結果の修正されたベクトルを 前記パイプラインの次のビームプロセッサに渡し、同様に処理することを特徴と する請求の範囲第２項に記載のデータ処理システム。
  4. ４．前記一組のベクトルを集め、これらを前記パイプラインで処理するときに、 前記一組のベクトルを単一ブロックについての完全なデータとして、前記ビッ卜 マッププリカーソルメモリに設定するためのコントローラ手段を備え、 前記パイプラインの最後のビームプロセッサは、修正された結果のベクトルを前 記コントローラ手段に入れるよう該コントローラ手段に戻し、前記戻された修正 済ベクトルがエッジの一部分をまだ表示している場合に、該修正済ベクトルを、 次の連続するブロックについて集めた一組のベクトルの中に供給することを特徴 とする請求の範囲第３項に記載のデータ処理システム。
  5. ５．前記ビームオン／オフ方向制御信号は、一方のオン／オフ方向について正の 数値をもち、他方のオン／オフ方向について負の数値をもち、処理されるベクト ルの数値は、前記プロセッサによって前記ビットマッププリカーソルメモリの以 前の内容と代数的に組合わされ、前記プリカーソルメモリの各記憶位置の最終的 な内容は、該記憶位置と関連した偏向角度のところで対応するビームがオンであ るべきか或いはオフであるべきかを表示していることを特徴とする請求の範囲第 ２項に記載のデータ処理システム。
  6. ６．パターン発生中、前記目標物を前記ビームの掃引方向に対して横方向に移動 させて前記連続するブロックの各々をスキュウさせるパターン発生装置に使用さ れるデータ処理システムであって、互いに隣り合って連続しているブロックにつ いて設定された前記ビットマッププリカーソルメモリ内のスキュウされる部分を 選択的に読出すことによって前記ビーム変調用の前記情報を作るための、前記ビ ットマッププリカーソル手段と協働するスキュウ補償手段を備えていることを特 徴とする請求の範囲第１項に記載のデータ処理システム。
  7. ７．前記ビットマッププリカーソルメモルが、２つの同様なポイントバッファの 組をもっており、前記パイプラインは、一方のブロックと関連したベクトルを処 理しているときにビームオン／オフ制御信号を前記ポイントバッファの組の一方 に入れ、他方のブロックについてのベクトルを処理しているときにビームオン／ オフ制御信号を前記ポイントバッファの組の他方に入れるものであり、 前記スキュウ補償手段は、ビーム変調用の前記情報を作るために前記ポイントバ ッファの両方の組に設定されたデータ部分を選択的に読出すことを特徴とする請 求の範囲第６項に記載のデータ処理システム。
  8. ８．前記スキュウ補償手段によって読出される前記ポイントバッファの組は、所 定のＹ軸掃引偏向角度値当たりのＸ軸ビーム幅寸法値だけずらされ、前記所定の 偏向角度値は前記目標物の移動速度に依存していることを特徴とする請求の範囲 第７項に記載のデータ処理システム。
  9. ９．複数のビームを、連続している目標物のブロックを横切って掃引してイメー ジを形成するレーザパターン発生装置或いは他のパターン発生装置で使用するた めのデータ処理システムであって、前記イメージは、前記データ処理システムに 入力される所定の入力データによって特定される複数の多辺形からなっており、 前記データ処理システムは、 （ａ）互いに隣り合って連続している目標物の複数のブロツクで特定される列の 中にある多辺形のエッジの一部分をベクトルで表示しており、前記各ベクトルが 前記エッジの最初の開始位置と前記エッジ部分の終了位置とビームオン／オフ制 御データとを有しているベクトルフォーマットに、前記多辺形を特定する入力デ ータを変換し、（ｂ）前記ベクトルを最初の開始位置に従って区分するためのプ リプロセッサ手段と、前記区分されたベクトルを受け入れ、前記複数のビームの 各々の掃引方向の各イメージ要素位置について一つの記憶位置をもつビットマッ ププリカーソルメモリを有しており、各メモリ記憶位置の内容は、該記憶位置と 関連したイメージ位置を横切るエッジに関係する全てのベクトルについて、ビー ムオン／オフ方向制御データを代数的に組合わせることによって設定される数値 からなり、前記ベクトルに応じてビットマッププリカーソルを前記メモリに発生 するための実時間プロセッサ手段と、 前記各ビームを各ブロックの掃引中制御するためのビームオン・オフ制御命令の ビットマップを、前記ビットマッププリカーソルメモリの内容から得るためのビ ットマップ発生手段と を具備したデータ処理システム。
  10. １０．Ｙ軸に沿って繰り返し掃引して目標物をＸ方向に移動させるときに目標物 の一部分を横切りかつＸ軸に沿って互いにずらされた複数のビームを連続する平 行四辺形のブロックの列を横切って掃引するパターン発生装置で使用され、前記 ビームを実時間で変調するためのスキュウ補償済ビットマップデータを発生する ためのシステムであって、 最終のイメージを作るために、ビームがオンであるか或いはオフであるかを指示 する情報からなるビットマッププリカーソルデータを、前記ビームのＹ軸位置に 対応するメそリ位置で第１および第２のプリカーソルメモリに交互に設定するた めのビットマッププリカーソルメモリ手段と、 スキュウ修正されていない２つの隣接した前記イメージのブロックについてのビ ットマッププリカーソルデータが前記第１および第２のプリカーソルメモリから 供給される一組のバッファと、 スキュウ修正されていない隣り合うブロック部分についてのビットマッププリカ ーソルデータを収容している前記バッファの、スキュウされる部分からのデータ を読出すためのバレルシフタ手段と、前記ビームを前記目標物を横切って実際に 掃引中、前記ビームを前記読出しデータで変調するための変調手段と を備えていることを特徴とするデータ処理システム。
  11. １１．複数のビームを連続している目標物のブロックを横切って掃引してイメー ジを形成するレーザパターン発生装置或いは他のパターン発生装置において多辺 形の集合を表示する入力イメージデータを実時間で使用可能なベクトルフォーマ ットに変換するためのデータプリプロセッサ装置において、 前記多辺形の入力イメージデータを、各々が前記多辺形のエッジを表示しかつ前 記多辺形の周辺のまわりに時計方向に或いは反時計方向に順序付けされた一組の 仮のベクトルに変換し、前記方向の順序付けされた前記仮のベクトルの開始端と 終了端との相対的なＹ軸値に従って、前記ベクトルの各々を“入口”ベクトル又 は“出口”ベクトルとして定めるための第１の手段と、 前記パターン発生装置によって日標物上に作られる一連の列の各々の中に含まれ る前記エッジの部分と関連する最終のベクトルに、前記仮のベクトルを変換する ための第２の手段と、 各列内の前記最終のベクトルをＸ軸端点値に従って区分するための手段と、 前記区分された最終のベクトルを、前記掃引ビーム用の変調制御信号を作るため に利用する利用手段とを備えたデータプリプロセッサ装置。
  12. １２．前記利用手段は、 処理されるベクトルが“入口”ベクトルであるか或いは“出口”ベクトルである かに従って、プリカーソルメモリに＋１又は−１を入れるように、複数の最終の ベクトルを処理するためのビットマップ変換手段を備え、これによって、前記ビ ームを前記目標物を横切って掃引するときに発生されるべきイメージのビットマ ッププリカーソル表示を作ることを特徴とする請求の範囲第１１項に記載のプリ プロセッサ装置。
  13. １３．エッジ部分を列の境界に沿って特定する“人為的な”ベクトルを発生する ための人為的ベクトル発生手段を備え、前記“人為的な”ベクトルの各々は前記 区分されたセットの入口ベクトルで始まり、出口ベクトルで終わることを特徴と する請求の範囲第１１項に記載のプリプロセッサ装置。
  14. １４．交互の列のパターン発生中前記目標物の交互の移動方向を補償するために 、前記交互の列について前記全てのベクトルのＸ軸座標値を反転するための手段 を備えていることを特徴とする請求の範囲第１１項に記載のプリプロセッサ装置 。
  15. １５．目標物をＸ軸方向に移動させるときに複数のビームを目標物を横切ってＹ 軸方向に繰り返し掃引してイメージの列部分を形成するパターン発生装置で使用 され、イノージデータを、前記列部分内にある多辺形のエッジを表示するベクト ルの形で利用するようになっている実時間プロセッサであって、前記ベクトルが 量端Ｘ軸座標値に従って区分されている実時間プロセッサにおいて、 前記実時間プロセッサは、 直列に接続されかつ夫々が前記複数のビームの対応する一つのビームと関達して いる複数のビームプロセッサからなるパイプラインを備えており、前記各ビーム プロセッサにはポイントバッファが関連しており、前記一連のビームプロセッサ の最初のビームプロセッサには前記ベクトルが前記区分された順序で供給され、 前記ビームプロセッサの各々は、 これと関連したビームが偏向中前記ベクトルに対応するエッジに交差するかどう かを前記ベクトルから確かめるための手段と、 もし前記ビームがエッジに交差するならば動作し、前記ビームが前記エッジを横 切るときに、前記ビームをオンにするか或いはオフにするかの指示を前記ポイン トバッファに入れるための手段と、 前記最端のＸ軸座標値を、互いに隣接するビーム間のＸ軸方向の隔たりに対応す る量だけ変化させるように前記ベクトルを修正し、これに符号させて前記ベクト ルで表示されたエッジの傾き値に従ってＹ軸端座標値を修正し、この結果の消去 されたベクトルを前記パイプラインに沿って次のビームプロセッサに渡すための 消去手段と、 を備えていることを特徴とする実時間プロセッサ。
  16. １６．エッジをもつ複数の四辺形の入力データからビットマップを形成するため のデータ変換器において、四辺形の最初の方向のエッジを切り取り、該エッジを 一連の区分されるオン／オフベクトルに変換するためのプリプロセッサ手段と、 前記一連のオン／オフベクトルを処理し、前記ベクトルをビットマップに変換す るための実時間プロセッサ手段とを備えていることを特徴とするデータ変換器。
  17. １７．複数のビーム変調用のビットマップを形成するためのデータ変換器におい て、前記実時間プロセッサ手段は、 予め決められた個数のオン／オフベクトルを記憶するためのデータバッファと、 直列に接続された複数のビームプロセッサからなっていて、データをデータバッ ファおよび各ビームプロセッサ出力データからアクセスするビームプロセッサパ イプラインと、 各ビームプロセッサについての第１および第２のポイントバッファとを備え、 各ビームプロセッサの出力データは第１のポイントバッファ或いは第２のポイン トバッファのいずれかに交互に記憶され、 さらに実時間プロセッサ手段は、 少なくとも３つのスキュウ用バッファと、全てのビームプロセッサの出力データ をビットマップに変換し、前記ビットマップを少なくとも１つのスキュウ用バッ ファに記憶するスキュウ用バッファコントローラと、 各スキュウ用バッファのビーム変調用データを作るための手段とを備えているこ とを特徴とするデータ変換器。
  18. １８．前記スキュウ用バッファコントローラは、さらに前記ビットマップをスキ ュウするための手段を備えていることを特徴とする請求の範囲第１７項に記載の データ変換器。
  19. １９．各オン・オフベクトルがＹ開始座標値と、Ｘ開始座標値と、Ｘ終了座標値 と、傾き値とをもっているようなデータ変換器において、各ビームプロセッサは ２つのポイントバッファと一時的なＸ座標値とをもち、（ａ）入力データとして 使用可能な最初のベクトルを取り出し、ビームプロセッサのＸ座標値がＸ開始座 標値とＸ終了座標値の範囲であるかどうかを確かめ、ベクトルが前記ビームプロ セッサのビームの経路を横切るかどうかを確かめるステップと、 （ｂ）前記ベクトルが前記経路を横切らないならばベクトルをパイプラインの次 のビームプロセッサに渡し、ステップ（ｇ）にジャンプさせるステップと、（ｃ ）ベクトルがオンベクトルであるならば、ベクトルのＹ開始座標値に等しいアド レスをもつ第１のポイントバッファのバイトに１を加えるステップと、（ｄ）前 記ステップ（ｂ）の前記ベクトルがオフベクトルであるならば、前記第１のポイ ントバッファのＹ開始座標値に等しい第１のポイントバッファのアドレスから１ を減じるステップと、 （ｅ）ベクトルのＸ開始座標値にＸ開始座標値＋１を設定するステップと、 （ｆ）ベクトルのＹ開始座標値にＹ開始座標値−１を設定し、ベクトルをパイプ ラインの次のビームプロセッサに渡すステップと、 （ｇ）使用可能な次のベクトルを取り出し、所定数のベクトルが処理されるまで ステップ（ｂ）乃至（ｆ）を繰り返すステップと、 （ｈ）各ビームプロセッサについての第２のポイントバッファが第１のポイント バッファの代わりに使用されることを除いて、ステップ（ａ）乃至（ｇ）を繰り 返すステップと、（ｉ）ベクトルがもはやなくなるまで、ステップ（ａ）乃至（ ｈ）を繰り返すステップと、 を行なうことを特徴とする請求の範囲第１８項に記載のデータ変換器。
  20. ２０．各ポイントバッファが複数バイトのメモリを有しているようなデータ変換 器において、スキュウ用バッファコントローラは、複数のアキュムレータレジス タを備え、 （ａ）各第１のポイントバッファから１バイトの最初のデータを取り出し、各バ イトを第１のポイントバッファに割当てられたレジスタに記憶するステップと、 （ｂ）各レジスタの内容と零とを比較し、レジスタの前記内容が零よりも大きい ならば、スキュウ用バッファの一つの適当なビットに１をロードし、レジスタの 前記内容が零に等しいか又は零よりも小さいならば、スキュウ用バッファの前記 適当なビットに零をロードするステップと、 （ｃ）データを取り出した各ポイントバッファの各バイトをクリアするステップ と、 （ｄ）各ポイントバッファから次のバイトを取り出し、このバイトを最初のバイ トの記憶されているレジスタの内容に加え、その和を同じレジスタに記憶するス テップと、 （ｅ）第１のポイントバッファの全てのバイトがクリアされるまでステップ（ｂ ）乃至（ｄ）を繰り返すステップと、（ｆ）第２のポイントバッファが使用され ることを除いて、ステップ（ｅ）乃至（ｆ）を繰り返すステップと、（ｇ）処理 するデータがなくなるまで、第１および第２のポイントバッファを交互に使用す るステップ（ａ）乃至（ｆ）を繰り返すステップとを行なうことを特徴とする請 求の範囲第１９項に記載のデータ変換器。
  21. ２１．複数の四辺形からなる入力データを取り出し、前記データを、パターン発 生装置によって基板に交互の列について交互の方向に描かれるべき各ブロック用 のビットマップに変換するようなデータ変換器において、前記プリプロセッサ手 段は、 四辺形の前記リストを、２つの端をもち１つの列内にあるベクトルのリストに変 換するための手段と、ベクトルを列に従って区分するための手段と、ベクトルが オンベクトルであるかオフベクトルであるかを決定するための手段とを備えてい ることを特徴とする請求の範囲第１６項に記載のデータ変換器。
  22. ２２．四辺形の前記リストをベクトルのリストに変換するための前記手段は、 （ａ）最初の四辺形の最初のエッジを選択し、前記最初のエッジをこれが横切る 各列についての別々のベクトルに切り取るステップと、 （ｂ）前記最初のエッジと列の間の各境界との交差点を記録するステップと、 （ｃ）前記最初の四辺形の残りのエッジについて該四辺形の周りに反時計方向に ステップ（ａ）および（ｂ）を繰り返すステップと、 （ｄ）最初のエッジと各列の境界との交差点と、これに最も接近している、他の エッジと前記列の境界との交差点と、を結ぶことによって各列の上方の境界を閉 じ、各列の境界にベクトルを形成するステップと、（ｅ）エッジ間の他の交差点 が、各列の境界の残りの交差点を結ぷステップ（ｄ）の後に残っているならは、 追加のベクトルを形成するステップと、 （ｆ）全ての四辺形についてステップ（ａ）乃至（ｆ）を繰り返すステップとを 備えていることを特徴とする請求の範囲第２１項に記載のデータ変換器。
  23. ２３．（Ｘ，Ｙ）座標系を使用し、各ベクトルの第１の端がＸ開始座標値とＹ開 始座標値とをもち、第２の端がＸ終了座標値とＹ終了座標値とをもつデータ変換 器において、ベクトルを列に従って区分した後に行なわれる、ベクトルかオンベ クトルであるかベクトルがオフベクトルであるかを決定するための手段は、（ａ ）ベクトルのＸ開始座標値がベクトルのＸ終了座標値よりも大きいかどうかを確 かめるステップと、（ｂ）Ｘ開始座標値がＸ終了座標値よりも大きいならば、第 １の端は第２の端になり、第２の端は第１の端になり、さらにベクトルが偶数列 にあるならばベクトルはオンベクトルであり、ベクトルが奇数列にあるならばベ クトルはオフベクトルであるとするステップと、（ｃ）Ｘ開始座標値がＸ終了座 標値よりも小さいならば、ベクトルはオフベクトルであり、さらに、ベクトルが 偶数列にあるならばベクトルはオンベクトルであり、ベクトルが奇数列にあるな らばベクトルはオフベクトルであるとするステップとを備えていることを特徴と する請求の範囲第２２項に記載のデータ変換器。
  24. ２４．入力データからビットマップを形成するためのデータ変換器であって、前 記入力データが、パターン発生装置によって列ごとに作られるべきパターンを形 成する複数の四辺形を表示しているデータ変換器において、前記データ変換器は 、 発生されるべきパターンの各列内にある前記エッジの切り取られた部分を表示す るベクトルに、前記四辺形のエッジのデータ表示を区分し、切り取られ表示され たエッジ部分の相対的な端部分に応じて、前記各ベクトルにオン／オフ特性を割 当てるためのプロセッサ切り取り手段と、 前記ベクトルから、各列内にある各四辺形の部分のビットマップ表示を形成する ためのビットマップ処理手段とを備え、 各ピクセル位置でのビットマップ値は、ベクトル部分のオン／オフ特性に関して 設定され、前記列内の前記ピクセル位置の相対的な位置は、前記ベクトルで表示 されたエッジ部分について設定されることを特徴とするデータ変換器。
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