JPH0464061B2 - - Google Patents

Description

請求の範囲 １ 複数のビームを連続している目標物のブロツ
クを横切つて掃引してイメージを形成するレーザ
パターン発生装置或いは他のパターン発生装置で
使用するためのデータ処理システムであつて、 前記連続するブロツク内に形成されるイメージ
に含まれるべき多辺形のエツジを特定する一組の
ベクトルを作るためのプリプロセツサ手段と、 前記各ビームに対応する一組の記憶位置をもつ
ビツトマツププリカーソルメモリと、 複数のビームプロセツサからなり、これらのビ
ームプロセツサの各々が、各ビームと関連し、か
つ前記プリプロセツサ手段からのベクトルを次々
に処理するように直列に配置されているパイプラ
インと、 前記複数のビームを掃引するときに、前記ビツ
トマツププリカーソルメモリの内容から得られる
情報で、前記複数のビームを変調するための手段
と を具備しており、 前記各ビームプロセツサは、処理されるベクト
ルが該ビームプロセツサと関連するビームの交差
するエツジを特定しているかどうかを確定する手
段と、もし該ベクトルが該エツジを特定している
ならば、このような交差点に対応する前記プリカ
ーソルメモリの記憶位置に、前記ベクトルによつ
て設定されたビームオン／オフ制御信号を入れる
手段とを夫々有している、 ことからなる前記データ処理システム。

２ 前記ベクトルの各々は、エツジの一方の端
を、前記ビームの掃引方向に延びるＹ軸と前記ビ
ームの掃引方向を横切るＸ軸とについて、初めに
特定する開始座標値と、前記エツジの他方の端を
前記Ｙ軸について特定する終了座標値と、傾き値
と、ビームオン／オフ制御信号と、を有している
ことを特徴とする請求の範囲第１項に記載のデー
タ処理システム。

３ 前記パイプラインにおいて、前記ビームプロ
セツサの各々は、前記確定の後、互いに隣接する
ビーム間のＸ軸有効間隔に等しい量だけ前記処理
されるベクトルのＸ軸開始座標値を変化させるこ
とによつて前記開始座標値を修正し、前記傾き値
で決まる量だけＹ軸開始座標値を修正し、その結
果の修正されたベクトルを前記パイプラインの次
のビームプロセツサに渡し、同様に処理すること
を特徴とする請求の範囲第２項に記載のデータ処
理システム。

４ 前記一組のベクトルを集め、これらを前記パ
イプラインで処理するときに、前記一組のベクト
ルを単一ブロツクについての完全なデータとし
て、前記ビツトマツププリカーソルメモリに設定
するためのコントローラ手段を備え、 前記パイプラインの最後のビームプロセツサ
は、修正された結果のベクトルを前記コントロー
ラ手段に入れるよう該コントローラ手段に戻し、
前記戻された修正済ベクトルがエツジの一部分を
まだ表示している場合に、該修正済ベクトルを、
次の連続するブロツクについて集めた一組のベク
トルの中に供給することを特徴とする請求の範囲
第３項に記載のデータ処理システム。

５ 前記ビームオン／オフ方向制御信号は、一方
のオン／オフ方向について正の数値をもち、他方
のオン／オフ方向について負の数値をもち、処理
されるベクトルの数値は、前記プロセツサによつ
て前記ビツトマツププリカーソルメモリの以前の
内容と代数的に組合わされ、前記プリカーソルメ
モリの各記憶位置の最終的な内容は、該記憶位置
と関連した偏向角度のところで対応するビームが
オンであるべきか或いはオフであるべきかを表示
していることを特徴とする請求の範囲第２項に記
載のデータ処理システム。

６ パターン発生中、前記目標物を前記ビームの
掃引方向に対して横方向に移動させて前記連続す
るブロツクの各々をスキユウさせるパターン発生
装置に使用されるデータ処理システムであつて、
互いに隣り合つて連続してるブロツクについて設
定された前記ビツトマツププリカーソルメモリ内
のスキユウされる部分を選択的に読出すことによ
つて前記ビーム変調用の前記情報を作るための、
前記ビツトマツププリカーソル手段と協働するス
キユウ補償手段を備えていることを特徴とする請
求の範囲第１項に記載のデータ処理システム。

７ 前記ビツトマツププリカーソルメモリが、２
つの同様なポイントバツフアの組をもつており、
前記パイプラインは、一方のブロツクと関連した
ベクトルを処理しているときにビームオン／オフ
制御信号を前記ポイントバツフアの組の一方に入
れ、他方のブロツクについてのベクトルを処理し
ているときにビームオン／オフ制御信号を前記ポ
イントバツフアの組の他方に入れるものであり、 前記スキユウ補償手段は、ビーム変調用の前記
情報を作るために前記ポイントバツフアの両方の
組に設定されたデータ部分を選択的に読出すこと
を特徴とする請求の範囲第６項に記載のデータ処
理システム。

８ 前記スキユウ補償手段によつて読出される前
記ポイントバツフアの組は、所定のＹ軸掃引偏向
角度値当たりのＸ軸ビーム幅寸法値だけずらさ
れ、前記所定の偏向角度値は前記目標物の移動速
度に依存していることを特徴とする請求の範囲第
７項に記載のデータ処理システム。

９ 複数のビームを、連続している目標物のブロ
ツクを横切つて掃引してイメージを形成するレー
ザパターン発生装置或いは他のパターン発生装置
で使用するためのデータ処理システムであつて、
前記イメージは、前記データ処理システムに入力
される所定の入力データによつて特定される複数
の多辺形からなつており、前記データ処理システ
ムは、 (a) 互いに隣り合つて連続している目標物の複数
のブロツクで特定される列の中にある多辺形のエ
ツジの一部分をベクトルで表示しており、前記各
ベクトルが前記エツジの最初の開始位置と前記エ
ツジ部分の終了位置とビームオン／オフ制御デー
タとを有しているベクトルフオーマツトに、前記
多辺形を特定する入力データを変換し、(b)前記ベ
クトルを最初の開始位置に従つて区分するための
プリプロセツサ手段と、 前記区分されたベクトルを受け入れ、前記複数
のビームの各々の掃引方向の各イメージ要素位置
について一つの記憶位置をもつビツトマツププリ
カーソルメモリを有しており、各メモリ記憶位置
の内容は、該記憶位置と関連したイメージ位置を
横切るエツジに関係する全てのベクトルについ
て、ビームオン／オフ方向制御データを代数的に
組合わせることによつて設定される数値からな
り、前記ベクトルに応じてビームマツププリカー
ソルを前記メモリに発生するための実時間プロセ
ツサ手段と、 前記各ビームを各ブロツクの掃引中制御するた
めのビームオン・オフ制御命令のビツトマツプ
を、前記ビツトマツププリカーソルメモリの内容
から得るためのビツトマツプ発生手段と を具備したデータ処理システム。

１０ Ｙ軸に沿つて繰り返し掃引して目標物をＸ
方向に移動させるときに目標物の一部分を横切り
かつＸ軸に沿つて互いにずらされた複数のビーム
を連続する平行四辺形のブロツクの列を横切つて
掃引するパターン発生装置で使用され、前記ビー
ムを実時間で変調するためのスキユウ補償済ビツ
トマツプデータを発生するためのシステムであつ
て、 最終のイメージを作るために、ビームがオンで
あるか或いはオフであるかを指示する情報からな
るビツトマツププリカーソルデータを、前記ビー
ムのＹ軸位置に対応するメモリ位置で第１および
第２のプリカーソルメモリに交互に設定するため
のビツトマツププリカーソルメモリ手段と、 スキユウ修正されていない２つの隣接した前記
イメージのブロツクについてのビツトマツププリ
カーソルデータが前記第１および第２のプリカー
ソルメモリから供給される一組のバツフアと、 スキユウ修正されていない隣り合うブロツク部
分についてのビツトマツププリカーソルデータを
収容している前記バツフアの、スキユウされる部
分からのデータを読出すためのバレルシフタ手段
と、 前記ビームを前記目標物を横切つて実際に掃引
中、前記ビームを前記読出しデータで変調するた
めの変調手段と を備えていることを特徴とするデータ処理システ
ム。

１１ 複数のビームを連続している目標物のブロ
ツクを横切つて掃引してイメージを形成するレー
ザパターン発生装置或いは他のパターン発生装置
において多辺形の集合を表示する入力イメージデ
ータを実時間で使用可能なベクトルフオーマツト
に変換するためのデータプリプロセツサ装置にお
いて、 前記多辺形の入力イメージデータを、各々が前
記多辺形のエツジを表示しかつ前記多辺形の周辺
のまわりに時計方向に或いは反時計方向に順序付
けされた一組の仮のベクトルに変換し、前記方向
の順序付けされた前記仮のベクトルの開始端と終
了端との相対的なＹ軸値に従つて、前記ベクトル
の各々を“入口”ベクトル又は“出口”ベクトル
として定めるための第１の手段と、 前記パターン発生装置によつて目標物上に作ら
れる一連の列の各々の中に含まれる前記エツジの
部分と関連する最終のベクトルに、前記仮のベク
トルを変換するための第２の手段と、 各列内の前記最終のベクトルをＸ軸端点値に従
つて区分するための手段と、 前記区分された最終のベクトルを、前記掃引ビ
ーム用の変調制御信号を作るために利用する利用
手段とを備えたデータプリプロセツサ装置。

１２ 前記利用手段は、 処理されるベクトルが“入口”ベクトルである
か或いは“出口”ベクトルであるかに従つて、プ
リカーソルメモリに＋１又は−１を入れるよう
に、複数の最終のベクトルを処理するためのビツ
トマツプ変換手段を備え、これによつて、前記ビ
ームを前記目標物を横切つて掃引するときに発生
されるべきイメージのビツトマツププリカーソル
表示を作ることを特徴とする請求の範囲第１１項
に記載のプリプロセツサ装置。

１３ エツジ部分を列の境界に沿つて特定する
“人為的な”ベクトルを発生するための人為的ベ
クトル発生手段を備え、前記“人為的な”ベクト
ルの各々は前記区分されたセツトの入口ベクトル
で始まり、出口ベクトルで終わることを特徴とす
る請求の範囲第１１項に記載のプリプロセツサ装
置。

１４ 交互の列のパターン発生中前記目標物の交
互の移動方向を補償するために、前記交互の列に
ついて前記全てのベクトルのＸ軸座標値を反転す
るための手段を備えていることを特徴とする請求
の範囲第１１項に記載のプリプロセツサ装置。

１５ 目標物をＸ軸方向に移動させるときに複数
のビームを目標物を横切つてＹ軸方向に繰り返し
掃引してイメージの列部分を形成するパターン発
生装置で使用され、イメージデータを、前記列部
分内にある多辺形のエツジを表示するベクトルの
形で利用するようになつている実時間プロセツサ
であつて、前記ベクトルが最端Ｘ軸座標値に従つ
て区分されている実時間プロセツサにおいて、 前記実時間プロセツサは、 直列に接続されかつ夫々が前記複数のビームの
対応する一つのビームと関連している複数のビー
ムプロセツサからなるパイプラインを備えてお
り、前記各ビームプロセツサにはポイントバツフ
アが関連しており、前記一連のビームプロセツサ
の最初のビームプロセツサには前記ベクトルが前
記区分された順序で供給され、 前記ビームプロセツサの各々は、 これと関連したビームが偏向中前記ベクトルに
対応するエツジに交差するかどうかを前記ベクト
ルから確かめるための手段と、 もし前記ビームがエツジに交差するならば動作
し、前記ビームが前記エツジを横切るときに、前
記ビームをオンにするか或いはオフにするかの指
示を前記ポイントバツフアに入れるための手段
と、 前記最端のＸ軸座標値を、互いに隣接するビー
ム間のＸ軸方向の隔たりに対応する量だけ変化さ
せるように前記ベクトルを修正し、これに符号さ
せて前記ベクトルで表示されたエツジの傾き値に
従つてＹ軸端座標値を修正し、この結果の消去さ
れたベクトルを前記パイプラインに沿つて次のビ
ームプロセツサに渡すための消去手段と、 を備えていることを特徴とする実時間プロセツ
サ。

１６ エツジをもつ複数の四辺形の入力データか
らビツトマツプを形成するためのデータ変換器に
おいて、 四辺形の最初の方向のエツジを切り取り、該エ
ツジを一連の区分されるオン／オフベクトルに変
換するためのプリプロセツサ手段と、 前記一連のオン／オフベクトルを処理し、前記
ベクトルをビツトマツプに変換するための実時間
プロセツサ手段とを備えていることを特徴とする
データ変換器。

１７ 複数のビーム変調用のビツトマツプを形成
するためのデータ変換器において、前記実時間プ
ロセツサ手段は、 予め決められた個数のオン／オフベクトルを記
憶するためのデータバツフアと、 直列に接続された複数のビームプロセツサから
なつていて、データをデータバツフアおよび各ビ
ームプロセツサ出力データからアクセスするビー
ムプロセツサパイプラインと、 各ビームプロセツサについての第１および第２
のポイントバツフアとを備え、 各ビームプロセツサの出力データは第１のポイ
ントバツフア或いは第２のポイントバツフアのい
ずれかに交互に記憶され、 さらに実時間プロセツサ手段は、 少なくとも３つのスキユウ用バツフアと、 全てのビームプロセツサの出力データをビツト
マツプに変換し、前記ビツトマツプを少なくとも
１つのスキユウ用バツフアに記憶するスキユウ用
バツフアコントローラと、 各スキユウ用バツフアのビーム変調用データを
作るための手段とを備えていることを特徴とする
データ変換器。

１８ 前記スキユウ用バツフアコントローラは、
さらに前記ビツトマツプをスキユウするための手
段を備えていることを特徴とする請求の範囲第１
７項に記記載のデータ変換器。

１９ 各オン・オフベクトルがＹ開始座標値と、
Ｘ開始座標値と、Ｘ終了座標値と、傾き値とをも
つているようなデータ変換器において、各ビーム
プロセツサは２つのポイントバツフアと一時的な
Ｘ座標値とをもち、 (a) 入力データとして使用可能な最初のベクトル
を取り出し、ビームプロセツサのＸ座標値がＸ
開始座標値とＸ終了座標値の範囲であるかどう
かを確かめ、ベクトルが前記ビームプロセツサ
のビームの経路を横切るかどうかを確かめるス
テツプと、 (b) 前記ベクトルが前記経路を横切らないならば
ベクトルをパイプラインの次のビームプロセツ
サに渡し、ステツプ(g)にジヤンプさせるステツ
プと、 (c) ベクトルがオンベクトルであるならば、ベク
トルのＹ開始座標値に等しいアドレスをもつ第
１のポイントバツフアのバイトに１を加えるス
テツプと、 (d) 前記ステツプ(b)の前記ベクトルがオフベクト
ルであるならば、前記第１のポイントバツフア
のＹ開始座標値に等しい第１のポイントバツフ
アのアドレスから１を減じるステツプと、 (e) ベクトルのＸ開始座標値にＸ開始座標値＋１
を設定するステツプと、 (f) ベクトルのＹ開始座標値にＹ開始座標値−１
を設定し、ベクトルをパイプラインの次のビー
ムプロセツサに渡すステツプと、 (g) 使用可能な次のベクトルを取り出し、所定数
のベクトルが処理されるまでステツプ(b)乃至(f)
を繰り返すステツプと、 (h) 各ビームプロセツサについての第２のポイン
トバツフアが第１のポイントバツフアの代わり
に使用されることを除いて、ステツプ(a)乃至(g)
を繰り返すステツプと、 (i) ベクトルがもはやなくなるまで、ステツプ(a)
乃至(h)を繰り返すステツプと、 を行なうことを特徴とする請求の範囲第１８項に
記載のデータ変換器。

２０ 各ポイントバツフアが複数バイトのメモリ
を有しているようなデータ変換器において、スキ
ユウ用バツフアコントローラは、複数のアキユム
レータレジスタを備え、 (a) 各第１のポイントバツフアから１バイトの最
初のデータを取り出し、各バイトを第１のポイ
ントバツフアに割当てられたレジスタに記憶す
るステツプと、 (b) 各レジスタの内容と零とを比較し、レジスタ
の前記内容が零よりも大きいならば、スキユウ
用バツフアの一つの適当なビツトに１をロード
し、レジスタの前記内容が零に等しいか又は零
よりも小さいならば、スキユウ用バツフアの前
記適当なビツトに零をロードするステツプと、 (c) データを取り出した各ポイントバツフアの各
バイトをクリアするステツプと、 (d) 各ポイントバツフアから次のバイトを取り出
し、このバイトを最初のバイトの記憶されてい
るレジスタの内容に加え、その和を同じレジス
タに記憶するステツプと、 (c) 第１のポイントバツフアの全てのバイトがク
リアされるまでステツプ(b)乃至(d)を繰り返すス
テツプと、 (f) 第２のポイントバツフアが使用されることを
除いて、ステツプ(e)乃至(f)を繰り返すステツプ
と、 (g) 処理するデータがなくなるまで、第１および
第２のポイントバツフアを交互に使用するステ
ツプ(a)乃至(f)を繰り返すステツプとを行なうこ
とを特徴とする請求の範囲第１９項に記載のデ
ータ変換器。

２１ 複数の四辺形からなる入力データを取り出
し、前記データを、パターン発生装置によつて基
板に交互の列について交互の方向に描かれるべき
各ブロツク用のビツトマツプに変換するようなデ
ータ変換器において、前記プリプロセツサ手段
は、 四辺形の前記リストを、２つの端をもち１つの
列内にあるベクトルのリストに変換するための手
段と、 ベクトルを列に従つて区分するための手段と、 ベクトルがオンベクトルであるかオフベクトル
であるかを決定するための手段とを備えているこ
とを特徴とする請求の範囲第１６項に載のデータ
変換器。

２２ 四辺形の前記リストをベクトルのリストに
変換するための前記手段は、 (a) 最初の四辺形の最初のエツジを選択し、前記
最初のエツジをこれが横切る各列についての
別々のベクトルに切り取るステツプと、 (b) 前記最初のエツジと列の間の各境界との交差
点を記録するステツプと、 (c) 前記最初の四辺形の残りのエツジについて該
四辺形の周りに反時計方向にステツプ(a)および
(b)を繰り返すステツプと、 (d) 最初のエツジと各列の境界との交差点と、こ
れに最も接近している、他のエツジと前記列の
境界との交差点と、を結ぶことによつて各列の
上方の境界を閉じ、各列の境界にベクトルを形
成するステツプと、 (e) エツジ間の他の交差点が、各列の境界の残り
の交差点を結ぶステツプ(d)の後に残つているな
らば、追加のベクトルを形成するステツプと、 (f) 全ての四辺形についてステツプ(a)乃至(f)を繰
り返すステツプとを備えていることを特徴とす
る請求の範囲第２１項に記載のデータ変換器。

２３ （Ｘ，Ｙ）座標系を使用し、各ベクトルの
第１の端がＸ開始座標値とＹ開始座標値とをも
ち、第２の端がＸ終了座標値とＹ終了座標値とを
もつデータ変換器において、ベクトルを列に従つ
て区分した後に行なわれる、ベクトルがオンベク
トルであるかベクトルがオフベクトルであるかを
決定するための手段は、 (a) ベクトルのＸ開始座標値がベクトルのＸ終了
座標値よりも大きいかどうかを確かめるステツ
プと、 (b) Ｘ開始座標値がＸ終了座標値よりも大きいな
らば、第１の端は第２の端になり、第２の端は
第１の端になり、さらにベクトルが偶数列にあ
るならばベクトルはオンベクトルであり、ベク
トルが奇数列にあるならばベクトルはオフベク
トルであるとするステツプと、 (c) Ｘ開始座標値がＸ終了座標値よりも小さいな
らば、ベクトルはオフベクトルであり、さら
に、ベクトルが偶数列にあるならばベクトルは
オンベクトルであり、ベクトルが奇数列にある
ならばベクトルはオフベクトルであるとするス
テツプとを備えていることを特徴とする請求の
範囲第２２項に記載のデータ変換器。

２４ 入力データからビツトマツプを形成するた
めのデータ変換器であつて、前記入力データが、
パターン発生装置によつて列ごとに作られるべき
パターンを形成する複複数の四辺形を表示してい
るデータ変換器において、前記データ変換器は、 発生されるべきパターンの各列内にある前記エ
ツジの切り取られた部分を表示するベクトルに、
前記四辺形のエツジのデータ表示を区分し、切り
取られ表示されたエツジ部分の相対的な端部分に
応じて、前記各ベクトルにオン／オフ特性を割当
てるためのプロセツサ切り取り手段と、 前記ベクトルから、各列内にある各四辺形の部
分のビツトマツプ表示を形成するためのビツトマ
ツプ処理手段とを備え、 各ピクセル位置でのビツトマツプ値は、ベクト
ル部分のオン／オフ特性に関して設定され、前記
列内の前記ピクセル位置の相対的な位置は、前記
ベクトルで表示されたエツジ部分について設定さ
れることを特徴とするデータ変換器。

技術分野 本発明は、レーザパターン発生装置用のイメー
ジデータを処理（ハンドリング）するためのシス
テムに関する。

背景技術 本願の譲受人であるテーアールイー・セミコン
ダクタ・イクイプメント社に譲渡され、“レーザ
パターン発生装置”の名称で（1981年12月21日に
出願された）米国特許出願（第332832号）には、
半導体ウエハ上に或いは他の目標物上にフオトリ
ソグラフマスクを作るのに、即ちイメージパター
ンを直接露光するのに有用な装置が記載されてい
る。このパターン発生装置１０の一部分を、ここ
では第１図に示す。

パターンを半導体サブストレート上に或いは他
の目標物１１上に発生するために、レーザ１２か
らのビームは分配器の配列１４によつて間隔をへ
だてた16本の一組の平行ビーム１３に分けられ
る。一組のビーム（ビームセツト）１３は、適当
な電子装置１６′で駆動される偏向器１６によつ
て目標物１１の領域１５′を横切つてＹ方向に繰
り返し偏向される。連続した偏向中、ビームセツ
ト１３が互いに隣接する目標物１１の領域即ちブ
ロツク１５を横切つて走査するために、目標物１
１をＸ方向に沿つてて移動させるのが都合良い。
この仕方で、目標物１１の筋、即ち列１７の全体
はビームセツト１３の連続する偏向中、ブロツク
ごとに覆われるだろう。しかる後、目標物１１を
Ｙ方向に適当に移動させ次いで連続したビーム偏
向操作を繰り返すことによつて、隣接する列１
７′を同様な仕方で露光することができる。

セツト１３の各ビームは、Ｘ軸に沿う異なる位
置で、しかし隣り合つた位置で目標物１１に当た
る。第１図に符号１８で示され上述の米国特許出
願に記載されているように、（相互干渉を避ける
ために隣接したビームをＹ軸でオフセツトする
（ずらす）のが良い。）このような構成では、各ブ
ロツク１５は、16個の画素（“ピクセル”）位置の
幅をもつている。偏向器１６がブロツク１５を横
切つてビームセツトを掃引するとき、各ビームは
Ｙ軸に沿つて連続した一組の画素位置を横切る。
ここに説明した例示的な装置では、各ブロツク１
５の中に1024個のこのようなＹ軸位置がある。

イメージを目標物１１に形成するために、セツ
ト１３の各ビームは対応する一組の変調器１９に
よつて個々に変調され、即ち適当にオン、オフさ
れる。この変調は、ビームを各ブロツク１５を横
切つて偏向させている間、行われる。

第２図は、発生装置１０によつて目標物１１上
に発生させることのできる典型的なパターン２１
を示している。影をつけた領域は、例えば、集積
回路の製造に使用されるマスク上の感光性被覆を
露光するために、或いは半導体ウエハ上に直接置
かれたこのような被覆を露光するために、ビーム
をオンにする領域を表わしている。かくしてパタ
ーン２１の影をつけた領域は、例えば半導体サブ
ストレートの中へドーパントを拡散するための限
定された開口部を作るために酸化層を半導体ウエ
ハから取り除くばべき領域を表わしている。しか
しながら、本発明はこのような用途に限定されな
い。

第２図には、作られたパターンを、ビームセツ
ト１３によつて掃引される実際のブロツク１５の
各々を定めるグリツド２２の上に重ねた状態で示
している。もちろん、このようなグリツドは実際
には目標物表面に表われず、このために第２図に
は仮想線で示されている。グリツド２２は直線状
ではなく、列１７ａ乃至１７ｇのブロツクの側面
はＹ軸に対して角度をなしていること、即ちスキ
ユウしていることに着目すべきである。これは、
発生装置１０の好ましい実施態様では、ビーム１
３の実際の偏向中、目標物１１のＸ方向移動が起
こるからである。従つて、ビーム１３によつて掃
引される点の軌跡は、矩形ではなく、矩形でない
平行四辺形になる。従つて、本発明のデータ処理
システムの一つの目的は、ビームの掃引中目標物
１１の横方向移動から生ずるブロツクのスキユウ
を補償するフオーマツトで、イメージデータを変
調器１９に与えることである。

また第２図において、列は交互に反対方向にス
キユウしていることに着目すべきである。これ
は、パターン全体を発生するのに必要とされる時
間を最小にするために、列は交互に反対方向に処
理されるからである。換言すれば、列１７ａの発
生中、目標物を右から左へ移動させるとビーム１
３は連続したブロツクを＋Ｘ方向に掃引する。次
の列１７ｂの発生中、目標物を右へ向けて移動さ
せて連続したブロツクを−Ｘ方向に掃引する。こ
の結果のブロツク走査の順序を矢印２０で示す。
本発明の他の目的は、交互の列について目標物の
反対の移動方向を考慮したイメージデータを変調
器１９に与えることである。

本発明の他の目的は、変調器１９を制御するの
に直接用いることのできるビツトマツプフオーマ
ツトにイメージデータを変換するためのシステム
を提供することである。このような制御を達成す
るために、データは変調器１９に対してオン・オ
フのコマンド形のものであつて実時間で利用可能
なものでなければならない。即ち、偏向器１６が
ブロツク１５を横切つてビーム１３を掃引すると
き、所望のパターンを作るために個々のビームを
夫々オン・オフする信号を変調器に与えなければ
ならない。

例えば、２つの重なり合つている矩形２３，２
４からなるパターン２１の部分２１ａ（第２図）
を考える。矩形２３の左上隅部はブロツク１５ａ
内にある。拡大されてはいるがスキユウしていな
い対応するブロツク１５a′を第３Ａ図に示す。ま
たビーム１３−４および１３−５の軌跡（目標物
１１の移動がないと仮定する）が示されている。
これらのビームを下方に掃引すると、ビーム１３
−５が位置２５ａに到達するときに該ビーム１３
−５を先づオンにしなければならない。僅かに遅
れてビーム１３−４が位置２６ａに到達するとき
に該ビーム１３−４をオンにする。その後、ビー
ム１３−４および１３−５が夫々位置２６ｂおよ
び２５ｂに到達するときにこれれらビームを上記
順序でオフにする。

超LSI回路を設計するための典型的な設計装置
では、LSIのレイアウトの各画素を定める情報は
普通、レーザパターン発生装置を実時間で制御す
るのに直接用いることのできる形では与えられな
い。より詳しくは、情報はパターンの各矩形要素
を特定するデータリストの形で与えられる。第４
図は、パターン要素２３，２４について、このこ
とを示している。各パターン要素は、所定の長さ
Ｌ、幅Ｗ、任意の直交座標系における中心位置
（ｘ，ｙ）、および要素の長さ方向中心線と座標系
のＸ軸との間の角度を特定する角度αをもつ矩形
として特定される。第４図は、パターン２１の矩
形要素２３，２４についての典型的な（任意の単
位での）数値を示している。この矩形フオーマツ
トのLSIパターン設計データを、パターン発生装
置の変調器１９を直接制御するためのフオーマツ
トに変換しなければならず、このことは本発明の
他の目的である。変調器１９用の実時間制御デー
タのための都合の良いフオーマツトは、ビツトマ
ツプのフオーマツトである。これは、走査される
ブロツクのピクセルの各々に対応した指定記憶位
置をもつメモリ内に記憶される一組の制御データ
である。発生装置１０では、このようなビツトマ
ツプメモリは全体で16384個の位置に対し、16個
の各ビームについて1024個の記憶位置（垂直方向
の各ドツト位置について１つ）を収容することが
できる。ビームセツト１３を偏向器１６で実際に
偏向している間、このようなビツトマツプメモリ
からの情報を次に、バツフア２７および適当な変
調器駆動電子装置２８（第１図）を介して変調器
１９に供給することができる。かくして、本発明
の目的はさらに、第４図の矩形リストのようなイ
メージソースデータを、パターン発生装置の変調
器を制御するのに実時間で用いることのできるビ
ツトマツプ記憶データに変換するためのイメージ
データ処理システムを提供することである。

このようなデータ変換を達成するための一つの
手法は、中間のベクトルデータフオーマツトを利
用することであり、該ベクトルデータフオーマツ
トでは、各矩形画素の各側部は変調器１９用のオ
ン方向或いはオフ方向を特定するベクトルで表わ
される。第３Ａ図に示されている矩形２３の２つ
のエツジ部分２３−１および２３−２をこのよう
なベクトルで表わすことができる。さらに本発明
の目的は、イメージデータについてこのような中
間のベクトルフオーマツトを利用するパターン発
生装置のためのデータ処理システムを提供するこ
とである。

このようなベクトルで構成されたデータ自体を
ビツトマツププリカーソルに変換するのが都合良
く、該ビツトマツププリカーソルは、対応するビ
ームと関連した一組のオン・オフ制御信号である
のが良い。これらの信号は、対応するビームの制
御されるべき偏向角度即ち垂直ピクセル位置と関
連した位置でイメージバツフアメモリに記憶され
る。

このようなビツトマツププリカーソルメモリの
断片的部分は、第３Ｂ図に示されており、第３Ａ
図のベクトル情報に対応ししている。このプリカ
ーソルでは、記号X_b4の列はビーム１３−４と関
連した一組のメモリ位置を表わしており、一方、
X_b5の列はビーム１３−５と関連している。縦座
標に沿つた数字はブロツク１５の垂直ピクセル位
置に対応するメモリ位置を表わしている。例え
ば、メモリ位置８００は、ブロツク１５の上端と
下端との間の距離の約8/10の垂直位置８００に対
応している。ビーム１３−４について、（X_b4の
列の）メモリ位置７６０に記憶されているのは、
第３Ａ図に点２６ａで示されているような対応す
るブロツク位置、即ち偏向角度のところで、ビー
ム１３−４をオンにすべきことを指示する“オ
ン”コマンドである。オフ・コマンドは、位置８
７０に記憶され、該位置８７０は点２６ｂのとこ
ろでビーム１３−４をオフにすることに対応して
いる。

第３Ｂ図のプリカーソルメモリの内容は、２つ
の矩形イメージ要素の重なり合い（例えば第２図
および第４図の領域２３′）を、或いはパターン
の発生中目標物１１の横方向移動によつて要求さ
れるスキユウのいずれをも考慮していない。しか
しながら、本発明の目的はさらに、イメージデー
タをベクトルフオーマツトからビツトマツププリ
カーソルフオーマツトに変換し、またこのような
プリカーソルデータを、パターン要素の重なり合
いと目標物の横方向移動によるスキユウと考慮し
たビツトマツプ情報に変換するデータ処理システ
ムを提供することである。

他の問題は、典型的な超LSI回路パターンを作
るために処理しなければならない大量の情報であ
る。今日の技術では、LSIの製造における１つの
処理工程中利用されるパターンは矩形２３，２４
で例示されているような約70000個の四辺形要素
をもつことができる。このパターンは10億ビツト
を超えるピクセルマトリツクスに変換することが
できる。現在の記憶技術では、全体で１メガビツ
ト以上のピクセルイメージデータの経済的な記憶
および実時間アクセスは不可能である。従つてイ
メージデータをよりコンパクトなフオーマツトで
記憶し、断片的なビツトマツプを、パターン発生
装置のビーム繰り返し掃引操作と実時間で同期さ
せて作ることが必要である。

かくして、本発明の他の目的は、パターン発生
装置の実時間の変調データ要求と釣り合う速度で
１つづつ作られるビツトマツプに極めて多数の四
辺形を変換することのできるパターン発生装置用
のデータ処理システムを提供することである。

発明の開示 これらの目的および他の目的は、プリプロセツ
サと実時間プロセツサとを備えたデータ処理装置
によつて達成される。プリプロセツサ装置はイメ
ージソースデータをベクトルフオーマツトに変換
する。ベクトル情報は、データが実時間でプロセ
ツサで利用される順序に対応する順に区分され
る。

実時間プロセツサは区分されたベクトルフオー
マツトデータを受け入れて、これからビーム変調
情報を含む適当なビツトマツプを作る。ビーム変
調情報はビーム１３の各掃引中変調器１９へ直接
送られる。最終的なビツトマツプデータは、スキ
ユウ修正され、発生パターンの四辺形の重なり合
いを適当に考慮している。

プリプロセツサでは、各ベクトルはパターン２
１に含まれる四辺形のエツジを特定する。このよ
うなエツジが列の境界を横切るときに、各列の中
にあるエツジの部分について個々のベクトルを作
る。次いでベクトルを列ごとに区分して、該ベク
トルを各列について、対応する列での目標物の移
動方向に応じて左端点から或いは右端点からＸ軸
方向に配列する。次いで、変換されたデータ、即
ち予め区分されたデータを実時間プロセツサで用
いるために記憶する。

区分されたデータは、パターン発生装置が目標
物を走査する順序で、実時間プロセツサにより利
用される。データは各列についてブロツクごとに
処理される。

実時間プロセツサは、“パイプライン”の、即
ちカスケード式のビームプロセツサ群を備えてお
り、各ビームプロセツサはビーム１３の一つと関
連している。１つのベクトルは一度にこのパイプ
ラインへ送られる。例えば最も左側のビームと関
連した第１のビームプロセツサは、関連したビー
ムがブロツクを走査中、ベクトルで表示された四
辺形に交差するかどうかを確かめる。もし交差す
るならば、関連したビームに対応するビツトマツ
ププリカーソルメモリの部分に適当な入力が行わ
れる。ビームがベクトルで定められたエツジを横
切るブロツク内の垂直位置に対応するメモリ位置
に入力がなされる。

最も左側のビームを制御するのに必要とされる
ベクトル情報の部分をパイプラインの１番目のビ
ームプロセツサで利用してから、該情報をベクト
ルから削除し、即ち“消去する”のが良い。次い
でこの結果の消去されたベクトルをパイプライン
で次のビーム（即ち２番目のビーム）用のビーム
プロセツサに送る。

２番目のこのビームプロセツサは同様の動作を
行い、適当なビームオン・オフ情報をビツトマツ
ププリカーソルに記憶する。ベクトルはさらに消
去され、次のビームプロセツサーに送られる。か
くして単一のベクトルがパイプライン全体を通し
て処理されると、ビツトマツププリカーソルメモ
リには、データを処理しているブロツク内にある
四辺形エツジの部分に対応する、ベクトル表示の
適当なオン・オフ情報が記憶される。

２つ或いはそれ以上のエツジ部分が、例えば第
２図のブロツク１５ｂのような単一のブロツク内
にあつても良い。この状態に適合させるために、
複数のベクトルをパイプラインで処理して単一ブ
ロツク用のビツトマツププリカーソルを作る。消
去された１つのベクトルが１番目のビームプロセ
ツサから２番目のビームプロセツサに進められる
と、他のエツジを表示する他のベクトルがパイプ
ラインに送られ１番目のビームプロセツサで処理
される。十分なベクトルをパイプラインに通して
ブロツク内の全てのエツジの特定を確実にしたと
きに、ビツトマツププリカーソルメモリは対応す
るブロツクイメージを作るのに必要な全てのオ
ン・オフ情報を含んでいる。

この時点で、ビツトマツププリカーソルデータ
は、各ブロツクの走査中目標物１１の横方向移動
を考慮するための適当なスキユウ修正操作を受け
る。このようなスキユウ修正の結果が、目標物上
でいま走査されるべきブロツクのパターンに正確
に対応する一組のビツトマツプデータである。ビ
ツトマツプデータは、ブロツク内の全ての垂直位
置について、個々の各ビーム用のオン・オフ制御
信号からなる。このデータは、偏向器１６によつ
てビーム１３をブロツクを横切つて走査させると
きに実時間で変調器１９に送られる。

ビームプロセツサのパイプラインと関連させて
二重のバツフア構造を使用している。かくして、
１つのブロツクについてのビツトマツププリカー
ソル情報がスキユウ修正を受けている間、次のブ
ロツクについてのベクトルデータがパイプライン
で処理され、対応するビツトマツププリカーソル
が他方のバツフアメモリで作られる。

パイプラインのビツトマツププリカーソルの発
生とスキユウ修正とは実時間で行われ、その結果
各ブロツクの走査を完了したときに次の走査用の
新しいビツトマツプが直ちに使用可能になる。

【図面の簡単な説明】

本発明を添付図面を参照して以下に説明する。
ここで同様の符号は、各図の同様の要素を示して
いる。

第１図は、本発明のパターン発生装置用のデー
タ処理システムのブロツクダイヤグラムである。

第２図は、第１図のシステムを使用して発生さ
せることのできるパターンの一部の超拡大図であ
り、ブロツクおよび列の配置を仮想線で示してい
る。

第３Ａ図は、第１図のシステムの実時間プロセ
ツサ部分で利用される典型的なベクトルフオーマ
ツトデータを示しており、第３Ｂ図は第３Ａ図の
データに対応するビツトマツププリカーソルメモ
リの部分的な内容を示している。

第４図は、第１図のデータ処理システムのプリ
プロセツサ部分に提供されるような矩形フオーマ
ツトのイメージソースデータの図表である。

第５図は、第１図のシステムのビームプロセツ
サのパイプラインとビツトマツププリカーソルメ
モリの構成要素とによつて実行される操作のフロ
ーチヤートである。第６図は、第１図のシステム
のビツトマツププリカーソルメモリの典型的な内
容の図表である。

第７図は、第１図のシステムのスキユウ補償器
で使用されるスキユウ用バツフアの図表であり、
バレルシフタの制御の下でこれらのバツフアから
データを読取る仕方を示している。

第８図は、第１図のシステムのプリプロセツサ
部分の動作の主なフエーズを示すフローチヤート
である。

第９図は、プリプロセツサで利用されるイメー
ジデータ入力フオーマツトの図表である。

第１０図，第１１図，第１２図および第１３図
は、第１図のシステムのプリプロセツサ部分の
種々のデータ処理機能を示すフローチヤートであ
る。

発明を実施するための最良の形態 以下の説明は、現在期待されている本発明の最
良の実施態様の説明である。この説明は、本発明
の一般的な原理を説明る目的のためになされてお
り、限定されて解決されるべきではない。本発明
の範囲は請求の範囲の記載によつて最も良く定め
られる。

第１図を参照すると、本発明のデータ処理シス
テム２９は、プリプロセツサ３０と実時間プロセ
ツサ３１とを備えている。プリプロセツサ３０の
詳細を、第８図乃至第１３図と関連させて以下に
説明する。しかしながら、プリプロセツサ３０の
基本的な機能は第１図に示されている。

最初、イメージデータを、第４図のデータフオ
ーマツトを使用して代表的にはパターンの名矩形
要素を特定するデータリストの形でプリプロセツ
サ３０に入力する（ブロツク３２）。次に、この
データを第３Ａ図に示したようなベクトルフオー
マツトに変換する（ブロツク３３）。このような
フオーマツトでは、各矩形の各エツジをベクトル
で、即ち該エツジの起点つまり開始点（X_s，y_s）
と該エツジのＸ軸に沿つた終了位置（X_e）と該
エツジの傾き（△ｙ／△ｘ）とビームのオン・オ
フ“方向”とを表示する一組の数値情報で、表わ
すことができる。このビーム方向は、ビームがエ
ツジを横切るときにオンになるべきであるならば
＋１の値で特定され、またビームがエツジを横切
るときにオフになるべきであるならば−１の値で
定されるのが都合良い。矩形２３のエツジ２３−
１および２３−２についての典型的なベクトルフ
オーマツトは第３Ａ図で与えられる。

以下に述べるように、もし矩形のエツジが列の
境界（例えば第３Ａ図および第４図の境界３４）
を横切るならば、対応する列内のエツジの部分に
夫々限定された個々のベクトルで、このようなエ
ツジを表示するのが有利である。エツジのこのよ
うなベクトルクリツピング（ベクトルの切り取
り）は、またプリプロセツサ３０で行われる。

このような切り取りを行うときには、列の境界
に沿つて人為的なベクトルを作つて、隣接するブ
ロツクを走査するときに最初にビームをオンにす
ることを保証することが必要である。かくして、
例えば矩形２３に関して、プリプロセツサ３０は
列の境界３４に沿つて人為的なオン・ベクトル３
５（第４図）を作る。

次に、各列内にあるベクトルを、それらのＸ方
向の開始位置に従つて区分する（ブロツク３６）。
列が（例えば第２図の列１７ａのように）左から
右へ作られるならば、各ベクトルの左端即ち起点
X_sに関して区分が行われる。（列１７ｂのよう
な）右から左への走査については右の端点で区分
がなされる。しかしながら、装置２９全体のデー
タ処理を簡単にするために、このような列につい
て、あらゆるベクトルのＸ座標を反転することが
できて、そのとき最小の起点X_s値から最大の
（反転した）起点X_s値までの区分が行われる。

このような区分の結果が、特特定の列内にある
各矩形の隅エツジを定めるベクトルの順序リスト
であり、ベクトルはこの列についてＸ方向を走査
するビームの順に配列される。プリプロセツサ３
０でのデータ変換操作および区分操作はかなりの
時間がかかるので、これらの操作は、発生装置１
０による実際のパターンの発生に先立つて実行さ
れる。従つて、プリプロセツサで作られ、区分さ
れたデータは、実時間プロセツサ３１で続いて用
いるためにデイスク或いは他の媒体に記憶される
（ブロツク３７）。

上に要約したように、実時間プロセツサ３１は
パターン発生装置１０と協働して、プリプロセツ
サ３０からの区分されたベクトルデータ変調器１
９用のオン・オフ・コマンドに変換する。このた
めに、発生装置１０が目標物１１上にイメージを
発生しているときにプリプロセツサ３０から記憶
されたデータを、デイスク３８或いは他の入力装
置から先入れ先出し方式（FIFO）のバツフア３
９を介して読取る。各列についてのベクトルは、
これらのＸ軸点に従つて区分され、これらのベク
トルは、目標物１１上への列の発生中、対応する
矩形エツジを発生する順序でFIFO３９から供給
される。

これらのベクトルは、ジヤンクシヨンコントロ
ーラ４０およびデータバツフア４１を介して16個
のビームプロセツサ４３−１乃至４３−１６から
なるパイプライン４２へ、一つづつ送られる。16
個のビームプロセツサは、夫々セツト１３の中の
対応する一つのビームと関連している。２組のポ
イントバツフア４６ａ−１乃至４６ａ−１６およ
び４６ｂ−１乃至４６ｂ−１６をもつビツトマツ
ププリカーソルメモリ４５が、該ビームプロセツ
サ４３と協働する。２組のポイントバツフア４６
ａ，４６ｂは、スキユウ修正のなされていない連
続しているブロツクと関連したイメージデータの
の処理中、交互に使用される。プリカーソルメモ
リ４５の各ポイントバツフア（例えばポイントバ
ツフア４６ａ−１）は、1024個の記憶位置をも
ち、各記憶位置は複数のビツト数を記憶すること
ができる。かくして、各ポイントバツフアは、対
応する一つのビーム１３についての各垂直（Ｙ
軸）ピクセル位置に対応した記憶位置をもつてい
る。

いまベクトルデータの処理されているブロツク
に関して、各ビームプロセツサ４３は対応するビ
ームに割当てられる。かくして、第３Ａ図および
第４図のスキユウ修正のなされていないブロツク
１５a′についてのベクトルをパイプライン４２で
処理しているときに、ビームプロセツサ４３−１
乃至４３−１６は夫々ビームのＸ軸位置X_b1＝33
乃至X_b16＝48（第４図の上部に沿つて示している）
と関連している。そのとき１組のポイントバツフ
ア４６ａ−１乃至４６ａ−１６を使用しているな
らば、これらのポイントバツフアは夫々Ｘ軸ビー
ムアドレス３３乃至４８と関連するだろう。

特定のビームプロセツサ４３の処理しているベ
クトルが、関連したＸ軸ビーム座標を通るエツジ
を特定していることを該ビームプロセツサ４３が
確かめると、プロセツサは関連したポイントバツ
フア４６の適当な記憶位置に、ベクトルの“方
向”の値に従つて＋１又は−１を加算する。例え
ば、第３Ａ図のエツジ２３−１に対応するベクト
ルがビームＸ軸値X_b4＝36と関連したビームプロ
セツサ４３−４（図示せず）で処理されていると
すると、（このベクトルはビームをオンにするエ
ツジのベクトルであるから）＋１の値が、関連し
たポイントバツフア４２ａ−４（図示せず）のメ
モリ位置７６０へ入れられる。

２つ或いはそれ以上の矩形エツジが同じピクセ
ル位置を横切つているならば、これらのエツジに
ついてのベクトルを同じビームプロセツサで処理
するときに、オンにする方向値又はオフにする方
向値がポイントバツフアの対応する記憶位置に加
算される。特定のブロツクと関連した全てのベク
トルをパイプライン４２で処理したときに、特定
のポイントバツフアの記憶位置の最終的な数値に
よつて、対応する変調器１９用に実際作られた制
御信号がオン信号であるか或いはオフ信号である
かが決まる。もし最終的な数値が＋１以上である
ならば、ビームをオンにする（或いは、ビームが
以前にオンされていたならばオンのままにする）。
もし数値が＋１以下（即ち、零或いは負）である
ならば、ビームをオフにする。

パイプライン４２が特定のブロツクと関連した
全てのベクトルを処理した後、メモリ４５のポイ
ントバツフアの動作する方の組には、該ブロツク
内の矩形の重なり合いをすでに考慮したビツトマ
ツププリカーソルが収容されている。次いでこの
ビツトマツププリカーソル情報をスキユウ補償器
４７の制御の下でスキユウ修正する。この間、ポ
イントバツフアの他方の組にはスキユウ修正のな
されていない次の連続するブロツクについてのビ
ツトマツププリカーソル情報がロードされる。

実時間プロセツサ３１はブロツクごとに働く。
1024個のベクトルだけが、あるブロツクを横切る
と仮定すると、パイプライン４２が1024個のベク
トルを処理したときにこのパイプラインは次のブ
ロツクについてのベクトルの処理を開始する準備
が整う。データはデイスク３８からFIFO３９お
よびコントローラ４０を介してデータバツフア４
１にロードされる。最初の1024個のベクトルをデ
ータバツフア４１にロードしたときに、パイプラ
イン４２は最初のブロツクについてのこれら全て
のデータを処理し、ベクトルデータをこのブロツ
クについてのビツトマツププリカーソルに変換す
る。最初のブロツク内のエツジを特定するベクト
ルの部分は消去される。このブロツクを越えて延
びる残りのベクトルは、ジヤンクシヨンコントロ
ーラ４０によつてデータバツフア４１内に戻され
る一方、このブロツクを越えて延びないベクトル
は捨てられる。新しいベクトルがFIFO３９から
ロードされて、捨てられたデータに置き換わる。
もしFIFOからの新しいデータがデイスク３８に
よつて引き起こされる遅れによつてまだ利用でき
ないならば、“帳尻を合わす”ためにだけ用いら
れる空のベクトルがバツフア４１にロードされ
る。データバツフア４１に最初に記憶された1024
個の全てのベクトルを処理した後、パイプライン
４２はスキユウ修正のなされていない次のブロツ
クにいてのビツトマツプを作るためにバツフア４
１に記憶された次の1024個のベクトルの修正され
る組を処理する準備を整える。ポイントバツフア
の一方の組４６ａの処理済データ（即ちビツトマ
ツププリカーソル）をスキユウ修正している間、
パイプライン４２は次の1024個のベクトルを処理
し、次のブロツクについてのビツトマツププリカ
ーソルをポイントバツフアの他方の組４６ｂにロ
ードする。パイプライン４２が３番目のブロツク
についてのこの1024個のデータの処理を完了した
ときには、スキユウ補償器４７はバツフア４６ａ
からの前のビツトマツププリカーソルの処理を完
了している。しかる後、パイプライン４２は、
1024個のベクトルの３番目の組の処理と、この処
理の結果のビツトマツププリカーソルデータの、
ポイントバツフアの第１の組４６ａへのロードと
を開始する。このサイクルは、全てのベクトルが
処理されるまで繰り返される。

このブロツクごとの方式を実行するために、ビ
ームプリプロセツサ４３には一時的にＸ軸座標
X_b1乃至X_b16の範囲が割当てられる。ビームＸ軸
座標X_b1乃至X_b16は、いま処理されているスキユ
ウ修正されていないブロツク（第４図）のＸ軸座
標と一致している。１番目のビームプロセツサ４
３−１にはブロツクの最も左側の座標が割当てら
れ、２番目のビームプロセツサ４３−２には最も
左側の座標から２番目の座標が割当てられるとい
うように、以後のビームプロセツサにも以後の座
標が割当てられる。1024個のベクトルをパイプラ
イン４２で処理したときには、各ビームプロセツ
サ４３はその一時的なＸ座標値を、処理されるべ
き次のブロツクについての適当な値に変化させ
る。

各ビームプロセツサは同じ仕事を実行する。こ
の仕事を第５図にフローチヤートで示す。１番目
のプロセツサ４３−１はデータバツフアからベク
トルを受けとり、この間、他の全てのプロセツサ
４３−２乃至４３−１６はパイプラインの中の前
のプロセツサからデータを得る。最初、プロセツ
サ４３−１は現在のブロツクについての1024個の
ベクトルがバツフア４１内に準備の整うまで待つ
（ブロツク５０）。次いでプロセツサ４３−１は最
初のベクトルを得る（ブロツク５１）。このベク
トルは、前に行われた区分によつて、ブロツクに
ついて最も左側のＸ軸値即ち最低のＸ軸値をもつ
ている。各ビームプロセツサは最初、ベクトルの
Ｘ軸開始座標値を調べべて対応するエツジが、こ
のビームプロセツサの割当てられたＸ軸値の後に
始まるかどうかを確かめる（ブロツク５２）。か
くして、第３Ａ図の例では、ビームプロセツサ４
３−１はベクトル２３−１をパイプラインの次の
プロセツサに渡すだけである（ブロツク５３）。

もしベクトルがこのビームプロセツサの割当て
られたＸ座標値よりも前に始まるエツジを表わし
ているならば、ベクトルの終了座標値（第３Ａ図
のX_e）を調べて、対応するエツジが該プロセツ
サ割当て座標値よりも前に終わつていないことを
確かめる（ブロツク５４）。もしエツジが該座標
値よりも前に終わつているならば、ベクトルを無
視して、該ベクトルをパイプライン４２の次のプ
ロセツサに渡す（ブロツク５３）。

ベクトルが割当てられたＸ座標値を横切ること
をビームプロセツサが検出するならば、ビームプ
ロセツサは、このベクトルのＹ軸座標値を受け取
つて該ビームプロセツサ専用のアクテイブなポイ
ントバツフア４６の関連した位置をアクセスする
（ブロツク５５）。例えば、ベクトル２３−１（第
３Ａ図）はＹ軸値760のところでビームプロセツ
サ４３−４のＸ座標値を横切り、それ故、プロセ
ツサ４３−４はアクテイブなポイントバツフア４
６ａ−４の記憶位置７６０をアクセスする。

プロセツサはベクトルを調べて該ベクトルの
“方向”を確かめる（ブロツク５６）。ビームプロ
セツサは、ベクトルがオン・ベクトルならば、適
当なポイントバツフアの記憶位置の内容に１を加
え（ブロツク５７）、またベクトルがオフ・ベク
トルなならば、アクセスされた記憶位置の以前の
内容から１を減じる（ブロツク５８）。かくして、
ポイントバツフア記憶位置の内容の最終的な数値
を正，零或いは負にすることができる。

次に、ベクトルを、次のビームプロセツサで用
いるために変えなければならない。これはベクト
ルを“消去”することで達成される。ベクトルの
X_s開始座標値を１だけ増加させる（ブロツク５
９）。ベクトルのY_s座標値を傾き値だけ減少させ
る（ブロツク６０）。次いでこの結果のベクトル
をパイプライン４２の次のビームプロセツサに送
る（ブロツク６１）。ベクトルを渡した後、プロ
セツサは、いまのブロツクについての1024個の全
てのベクトルを処理したかどうかを確かめる（ブ
ロツク６２）。全てのベクトルが処理されている
ならば、ビームプロセツサは他方の組のポイント
バツフア４６に切換える。また全てのビームプロ
セツサの有効なＸ座標値を次のブロツクのための
適当な値に変える。

このベクトル“消去”操作をパイプライン４２
で実行する仕方を要約するために、第３Ａ図に示
した、エツジ２３−１に対応するベクトルを考え
る。ベクトルは、次の値からなる。

ベクトル開始点（X_s，Y_s）＝35.2，800 ベクトルＸ軸終了位置（X_e）＝56 傾き値（△Ｙ，△Ｘ）＝＋40 方向＝＋１（オン） パイプラインが、スキユウのなされていないブ
ロツク１５a′（第３Ａ図および第４図）について
のベクトルを処理しているとき、ビームプロセツ
サ４３−１はビームＸ軸アドレスX_b1＝33と関連
し、ビームプロセツサ４３−２はアドレスX_b2＝
34と関連し、ビームプロセツサ４３−１６はビー
ムアドレスX_b16＝48と関連している。

エツジ２３−１についてのベクトルがビームプ
ロセツサ４３−１に供給されると、ベクトルのＸ
軸開始アドレス（X_s＝35.2）と該ビームプロセツ
サの割当てられたビームＸ軸アドレス（X_b1＝
33）との比較がなされる。開始アドレスはビーム
プロセツサの割当てられたＸ軸座標値の後にくる
ので即ち最初のビームがエツジ２３−１を横切ら
ないことを意味するので、ベクトルは次のビーム
プロセツサ４３−２に、変えられずに送られる
（ブロツク５３、第５図）。同様に、ビームプロセ
ツサ４３−２はベクトルを３番目のビームプロセ
ツサ４３−３に、変えずに送る。該３番目のビー
ムプロセツサは、（スキユウ修正のない）ベクト
ル２３−１を横切る最初のビーム１３−３に対応
している。

ビームプロセツサ４３−３では、ベクトルＸ軸
端アドレスとビームプロセツサ４３−３の割当て
られたアドレスとの比較がなされる（ブロツク５
４、第５図）。ベクトルはもつと後のＸ軸座標値
で終わるので、プロセツサは、その割当てられた
ビームが該ベクトルを横切ることを認め、第５図
のブロツク５５乃至６０で示される動作が実行さ
れる。

先づ、ポイントバツフアの適当な記憶位置をベ
クトルの現在のＹ軸開始アドレス（Y_s＝800）を
参照して確かめる。このY_sアドレスは、関連す
るビーム１３−３がピクセル位置８００（このよ
うな垂直ピクセル位置は第３Ａ図に示したように
１乃至1024の範囲にある）のところでエツジ２３
−１を横切ることを示している。対応するポイン
トバツフア位置をアクセスする（ブロツク５５）。

次に、ベクトルの“方向”値を調べる（ブロツ
ク５６）。これはオン・ベクトルであるので、＋１
の値がアクテイブなポイントバツフアメモリの記
憶位置８００の内容に加えられる（ブロツク５
７）。もしデータをいまポイントバツフア４６ａ
にロードしているならば、＋１の値がポイントバ
ツフア４６ａ−３の記憶位置８００の以前の内容
に加えられよう。

次いで、ベクトルを、次のビームプロセツサ４
３−４に渡すために“消去”する。最初、現在の
Ｘ軸開始アドレス（X_s＝35.2）を１だけ増加させ
て新しい値（X_s36.2）を得る。次いでＹ軸アドレ
ス（Y_s＝800）を傾き値（△Ｙ／△Ｘ＝＋40）だ
け減少させる。換言すれば、値（＋40）を現在の
Ｙ軸開始アドレスから減じて新しい値Y_s＝（800
−40）＝760を得る。従つて次のビームプロセツサ
４３−４に渡される（ブロツク６１）消去された
データは新しい開始端座標値（X_s＝36.2，Y_s＝
760）をもつ。その結果、次のビームプロセツサ
４３−４は、関連したアクテイブなポイントバツ
フア４６ａ−４の記憶位置７６０に＋１（オンに
する方向値）を加える。

特定のベクトルが次のブロツク１５a″に延びる
エツジ（例えば第３Ａ図および第４図のエツジ２
３−１）と関連しているならば、最後のビームプ
ロセツサ４３−１６によつて渡される消去済ベク
トルは、ベクトルのＸ軸終了アドレス（X_e＝56）
よりも小さいＸ軸開始アドレス（X_s＝49.2）をも
つ。この状態はジヤンクシヨンコントローラ４０
によつて認知され、該コントローラ４０はこのと
き、パイプライン４２で処理されるべき次のブロ
ツク１５a″についての新たな1024個のベクトルの
組の一つとして、残りの消去済ベクトルを有して
いる。

他方、もしベクトルが、いま処理したブロツク
内で終わるエツジと関連しているならば、ビーム
プロセツサ４３の一つにおいて、Ｘ軸開始アドレ
ス（X_s）を終了アドレス（X_e）よりも大きい値
まで増加させる（ブロツク５９）。このベクトル
がパイプライン４２の次のビームプロセツサによ
つて受け取られると、この状態（X_s＞X_e）が認
知され（ブロツク５４）、この“完全に消去され
た”ベクトルは、残りのビームプロセツサを通つ
てジヤンクシヨンコントローラ４０に変えられず
に送られる（ブロツク５３）。コントローラ４０
は、このベクトルと関連したエツジがいま完全に
処理されたことを認知し、この完全に消去された
ベクトルは、処理されるべき次のブロツクについ
てコントローラ４０で集められるベクトルの組の
中には含まれない。その代わりに、コントローラ
４０はFIFO３９からの新しいベクトル（又は
FIFO３９からの変位ベクトルが利用できないな
らば空のベクトル）を使用する。

重なり合つている矩形について、オン、オフデ
ータを処理する仕方を第６図に示す。第６図に
は、第４図のスキユウ修正されていないブロツク
１５b′についての全てのベクトルを処理した後の
ビツトマツププリカーソルメモリ４５の一部の内
容がされている。特に、Ｘ軸ビーム位置X_b1，
X_b4，X_b8，X_b12およびX_b16と垂直位置１００，
２００，３００……１０００とについてのポイン
トバツフア４６ａ（又は４６ｂ）の内容を示して
いる。

垂直位置３００以下のメモリの内容は全て
“１”であり、この結果は列の境界３４のところ
の人為的なオン・ベクトルによるものである。垂
直位置４００では、ビームアドレスX_b1と関連し
たポイントバツフア４６ａ−１の内容は、オフ・
ベクトル２３−２の結果、“０”になる。位置７
００では、ポイントバツフア４６ａ−８の内容
は、オフ・ベクトル２３−２によつて“１”だけ
減じられている。

以下に述べるように、実際のオン・オフ信号
は、ビツトマツププリカーソルメモリ４５の最終
的な内容で確立される。一般に、特定のポイント
バツフア位置に記憶された数値が零よりも大きい
と、オン・コマンドが適当な変調器１９に出され
る。数値が零又は負であると、オフ・命令が出さ
れる。かくして、第６図を説明するために、ビツ
トマツププリカーソルメモリ４５が内容“０”を
もつ位置に対応するブロツク領域でのみ、関連す
るビームがオフになるとする。その他の位置で
は、ビームはオンになるとする。かくして、適当
なビームをオンにしてスキユウ修正のなされてい
ないブロツク１５b′の中に含まれる矩形２３，２
４の、重なり合つていない部分と重なり合つてい
る部分との両方を作る。

スキユウ修正はスキユウ補償器４７で行われ、
該スキユウ幅償器４７の動作を第７図に概略的に
示す。列１７ｇの操作中、目標物１１を−Ｘ方向
に横方向に移動させると、各ビーム１３は右下方
に傾斜する経路を切つて走査することを第２図か
ら思い起こすべきである。かくして、スキユウ修
正されてない単一のブロツク（例えば第３Ａ図お
よび第４図のブロツク１５ａ）についてメモリ４
５に集められたビツトマツププリカーソルは、現
在のブロツク１５ａの発生中ビーム１３を変調す
るのに必要な情報の全てを含んではいない。実
際、現在の変調情報は、スキユウ修正されていな
い２つのブロツク部分からのデータを含む。

このデータを得る仕方を第７図に示す。スキユ
ウ補償器４７は、３つのスキユウ用バツフア６５
−１，６５−２および６５−３を有しており、該
バツフアへのロードはスキユウ用バツフアコント
ローラ６６（第１図）で指示される。各スキユウ
用バツフア６５は1024個の記憶位置の16個の組を
もつており、各組は一つの対応するビーム１３と
関連している。対応するビームと関連したスキユ
ウ用バツフア６５のカラムアドレスは、第７図に
b_13-1乃至b_13-16として特定されている。

スキユウ修正されていない各ブロツクについて
のビツトマツププリカーソルをメモリ４５の交互
のバツフア４６ａ，４６ｂの一つで得ると、ビツ
トマツププリカーソルは適当な１つのスキユウ用
バツフア６５に移される。かくして、ブロツク１
５ａについてのビツトマツププリカーソルをス
キユウ用バツフア６５−１に移し、次いでブロツ
ク１５a′についてのビツトマツププリカーソルを
バツフア６５−２に移し、ブロツク１５a″につい
てのビツトマツププリカーソルをスキユウ用バツ
フア６５−３に移す。もちろん、これらの移行は
連続して起こる。換言すれば、ブロツク１５a′に
ついてのビツトマツププリカーソルを、パイプラ
インによつてポイントバツフア４６ａ内に集めて
いる間、先に集めたブロツク１５ａ用のビツト
マツププリカーソルをバツフア４６ｂからスキユ
ウ用バツフア６５−１内に移す。次いで、ブロツ
ク１５a′用のビツトマツププリカーソルを集め終
わると、この情報は、パイプライン４２がブロツ
ク１５a″用のビツトマツププリカーソルをポイン
トバツフア４６ｂ内に集めている間、ポイントバ
ツフア４６ａからスキユウ用バツフア６５−２に
移される。

ビツトマツププリカーソルデータをポイントバ
ツフアの組４６から対応するスキユウ用バツフア
６５に移するときに、対応するポイントバツフア
記憶位置の内容が＋１以上であるか否かについ
て、各ポイント位置で確かめるのが都合良い。も
し、＋１以上であるならば、“１”を、適当なスキ
ユウ用バツフア６５の対応する位置に入れる。こ
のような“１”は、対応するビームが指定された
垂直位置でONでなければならないことを指示す
る。同様に、もしポイントバツフア位置の内容が
“０”又は負であるならば、“０”をスキユウ用バ
ツフア６５の対応する位置に入れて、関連するビ
ームがその垂直位置でオフでなければならないこ
とを指示する。このことは、スキユウ修正のなさ
れていないブロツク１５a′を表わしている、第７
図のスキユウ用バツフア６５−２の内容によつて
示されている。

実際のスキユウ済ブロツク１５を作るのに必要
な実際のビツトマツプ情報は、一対のスキユウ用
バツフア６５の接触部分に格納される。これを第
７図に太い輪郭で示した領域１５Ａ，１５Ｃおよ
び１５Ｄで示す。これらの領域は、実際のブロツ
ク１５ａ，１５ｃおよび１５ｄ（第２図）を夫々
発生するためのスキユウ補償された正確なビツト
マツプ情報を格納するスキユウ用バツフア６５の
部分を示している。

各ブロツク１５Ａ，１５Ｃおよび１５Ｄからの
ビツトマツプ情報の読出しは、バレルシフタ６７
で達成され、該バレルシフタ６７は、一対のスト
ロークバツフア６８−１および６８−２の一方へ
或いは他方へ交互にデータを出力する。例えば、
スキユウ用バツフア６５−１および６５−２にス
キユウ修正されていないブロツク１５ａ，１５
a″を夫々ロードした後（この間、スキユウ用バツ
フア６５−３にはスキユウ修正のなされていない
ブロツク１５a″用のビツトマツプ情報を供給して
いる）、バレルシフタ６７は、データをバツフア
６５−１および６５−２の領域からストロークバ
ツフア６８−１に移す。この移行の結果として、
ストロークバツフア６８−１は、スキユウ修正済
の実際のブロツク１５ａ用の所望のパターンに対
応する正確なビツトマツプを収容している。この
ビツトマツプデータは変調データ用バツフア２７
に移され、そこから、ビーム１３を実際のブロツ
ク１５ａを横切つて偏向させているときに変調器
１９を実時間で制御するのに使用される。

同様に、スキユウ用バツフア６５−３を、スキ
ユウ修正されていないブロツク１５a″に対応する
ビツトマツプ情報で満たした後、バレルシフタ６
７はビツトマツプ情報を領域１５ｃからストロー
クバツフア６８−２に移す。このとき、ビーム１
３を目標物１１上のブロツク１５ｃを横切つて実
際に掃引している間、このビツトマツプを変調器
１９に（バツフア２７と駆動電子装置２８とを介
して）供給する準備が整う。

次のブロツク１５ｄ用の情報は、スキユウ用バ
ツフア６５−３および６５−１の部分を含んでい
る領域１５Ｄ（第７図）から得られる。バレルシ
フタ６４は、種々のスキユウ用バツフア６５の実
際の位置の跡をたどり、この位置から必要な情報
を抽出してストロークバツフア６８に一時的に記
憶されかつ実際にパターン発生装置１０に供給さ
れるスキユウ補償のなされたビツトマツプを作
る。

これに関して、データをストロークバツフア６
８へ移行させるためのスキユウ用バツフアアドレ
スの選択は、パターン発生中の目標物１１の横方
向移動速度の関数として決められる。第７図の例
では、目標物１１は、（第２図に示すように）ビ
ーム１３が70個の垂直ピクセル位置を通つて偏向
されるのと同じ時間で、２つの隣接するビーム間
の間隔に等しいＸ軸距離だけ左に移動する。かく
して、最初の70個の垂直ピクセル位置について、
バレルシフタ６７は、アドレスb_13-1乃至b_13-16に
対応するスキユウ用バツフア６５−１の記憶位置
からデータを移行する。垂直位置７１で始まる70
個の位置（位置１４０まで）について、シフタ６
７は、スキユウ用バツフア６５−１の位置b_13-2
乃至b_13-16からの情報と、またスキユウ用バツフ
ア６５−２のメモリ位置b_13-1からの情報とを得
る。

目標物１１の異なる移動速度では、対応する異
なる位置セツトをシフタ６７で選んで、ストロー
クバツフア６８にスキユウ修正済のビツトマツプ
用データを得る。同様に、交互の走査中、バレル
シフタ６７によるスキユウ用バツフア６５からの
情報の“シフト”即ちアクセスの方向を第７図に
示すものとは逆にしてスキユウ修正済のビツトマ
ツプを得ることができる。

〔プリプロセツサ〕

プリプロセツサ３０は、ソフトウエア指向の装
置であり、イメージデータを入力テープのフオー
マツトから実時間プロセツサ３１が利用すること
のできるフオーマツトに変換して、パターン発生
装置１０が目標物１１を走査する速度とほぼ等し
い速度で一連のビツトマツプを作る。プリプロセ
ツサは、予め区分される一連のオン・オフ・ベク
トルを発生する。第１図は、変換処理と区分処理
とをブロツク３３とブロツク３６の別なものとし
て示しているが、これらの動作は互いに関係して
いる。

プリプロセツサの動作には４つのフエーズがあ
り、プリプロセツサ３０についてのフローチヤー
トのフエーズの間にある周辺装置に中間データが
記憶される。システムのレベルを第８図に示す。
フエーズでは、入力テープを読取り、ユーザフ
オーマツトから実時間プロセツサ３１で用いられ
る座標フオーマツトに変換する（ブロツク７０）。
各四辺形を各列の境界縁のところで切り取る（ブ
ロツク７１）。その結果、切り取られた各エツジ
は、列の境界を横切らないベクトルに変換され
る。第１のフエーズの出力はバンドフアイルに区
分され（ブロツク７２）、各バンドフアイルは隣
接する16個の列のあらゆるベクトルを収容してい
る。典型的には、32個ほどのバンドフアイルを用
いるのが良い。

フエーズを完了した後、各フアイルは、プリ
プロセツサ動作の残りの３つのフエーズに別々に
区分される。フエーズでは各バンドフアイルの
切り取られた全てのベクトルを列ごとに区分する
（ブロツク７３）。

フエーズは、第１のバンドフアイルの全ての
ベクトルをこれらに対応する列フアイルに完全に
区分した後すぐに開始することができて、フエー
ズでは、プリプロセツサは各列のベクトルを各
列につき、128個のセクシヨンフアイルの一つに
区分する（ブロツク７４）。この区分は、左端点
のＸ軸値に従つて行なわれる。最終的な目標は、
最左端点に従つて区分された一つの列の全てのベ
クトルについて単一のフアイルを作ることであ
る。第３のフエーズはまた、どのベクトルがオン
型であり、どのベクトルがオフ型であるかを確定
する。

第３のフエーズは他に１つの仕事をもつてお
り、この仕事は、一つ置きの列でだけ行なわれ
る。上述したように、パターン発生装置１０の走
査の方向は、列ごとに変わる。実時間プロセツサ
３１を簡単にするために、一つ置きの列で書き込
みが右から左に（第２図に矢印２０で示すよう
に）進行しても、書き込みが常に左から右に進行
するようにする。これを達成するために、Ｘ座標
値を交互の列で逆にする。

フエーズでは、各セクシヨンフアイルのベク
トルをこれらの最左端点に従つて区分し（ブロツ
ク７５）、次いで、セクシヨンフアイルを組合せ
て、実時間プロセツサ３１で使用されるために、
コード化されかつパツクされたデータを有する区
分された列フアイルにする。

〔フエーズ〕 イメージ入力データは計算器用テープのユーザ
用フオーマツトで与えられる。イメージ入力デー
タを先づ、本発明のデータ処理システムで使用さ
れる（Ｘ，Ｙ）座標系に変換しなければならな
い。入力テープが読取られると、入力データは、
ユーザ用フオーマツトに応じて変更可能なアルゴ
リズムで変換される。

ベクトルを得るために、端点即ち頂点で記述さ
れるような各四辺形の各エツジのリストが作られ
る。第９図を参照すると、記憶しなければならな
いデータ量を最小にするために、各四角形の４つ
の端点76，77，78，79を記憶するだけで良い。最
左点76（最小のＸ軸座標値）をまず記憶し、残り
の点を反時計方向に記憶する。

第４図は、ユーザーフオーマツトがどのような
ものかを示しており、該ユーザフオーマツトでは
各矩形は入力テープ上に、長さＬ、幅Ｗ、角度α
で与えられる向き、および中心位置Ｘ，Ｙによつ
て表わされている。変換プログラム（ブロツク７
０、第８図）はまずユーザフオーマツトデータを
エツジ頂点の各々についての矩形座標値（Ｘ，
Ｙ）セツトに変える。例えば、値（X₁，Y₁），
（X₂，Y₂），（X₃，Y₃）および（X₄，X₄）を各矩
形について確定する。

切り取り処理（ブロツク７１）の詳細を第１０
図に示す。このルーチンは四辺形を中間の記憶装
置から読取り（ブロツク８０）、四辺形の第１の
エツジを読取つて、このエツジと列の境界との全
ての交差点を算出する（ブロツク８２）。列内に
ある各エツジの断片を適当なバンドフアイルに直
ちに記憶する。例えば（第９図）、エツジ７９′は
３つの列の境界８３，８４，８５のうちの２つを
夫々座標値（X₅，Y₅）、（X₆，Y₆）のところで横
切る。かくして、頂点79と列の境界８３との間に
あつて、端座標値（X₄，Y₄）、（X₅，Y₅）をもつ
エツジ７９′の部分７９ａは列＃４と関連したリ
ストに記憶される（ブロツク８６）。以下に述べ
るように、エツジ７９′は入口エツジであつて、
座標値（X₅，Y₅）は列＃５についての入口エツ
ジとして特定される。

第４図と関連させて上に述べたように、人為的
なベクトル（例えば、ベクトル３５）を列の境界
に沿つて発生させてオン・エツジを作らなければ
ならない。これらの人為的なベクトルは、入口エ
ツジと出口エツジとを記憶したリスト（ブロツク
８６）から作られる。エツジ断片の記憶処理を四
辺形の全てのエツジについて繰り返す（ブロツク
８７）。しかる後、これらのエツジ断片を区分し、
列の上方の境界についてのエツジ断片リストから
水平方向の人為的なベクトルを作る（ブロツク８
８）。次いで、これらのステツプを、四辺がもは
やなくなるまで繰り返す（ブロツク８９）。

第１１図および第１２図は、個々のエツジにつ
いての切り取り処理の詳細を示している。切り取
りルーチンは、エツジの２つの頂点、例えば第９
図のエツジ７９′の頂点（X₁，Y₁）および（X₂，
Y₂）を得ることで開始する。エツジが始まる列
N₁と、エツジが終わる列N₂とを決定する（ブロ
ツク９２）。この計算は、各頂点のＹ座標値と各
列についてのＹ座標値の範囲とを比較することに
よつて行なわれる。例えば、エツジ７６′は列N₁
＝＃６で始まり列N₂＝＃７で終わる。

もしベクトルが一つの列の中にだけあるならば
（ブロツク９４）、そのときにはエツジを切り取る
必要はなく、出力リストに直接置くことができ
る。そうでないときには、エツジが列の境界を横
切る各点でエツジを切り取らなければならない。
第９図に示す四辺形からの最初の一対の座標値
（X₁，Y₁）、（X₂，Y₂）を使用してエツジを切り
取る仕方を示す。（この処理では、各エツジにつ
いて、終了頂点は開始頂点に対して矩形の周りに
反時計方向に置かれる。ブロツク９８乃至１００
では、開始頂点は座標値Y₁をもち、終了頂点は
座標値Y₂をもつており、Ｙ軸値は第９図の下方
に向かつて増加する。）座標値Y₁とY₂とが比較さ
れる。この例では、Y₂はY₁よりも大きくて、エ
ツジは入口エツジ（Ｅ＝１）として指示される
（ブロツク１００）。このことは、エツジと列の境
界との全ての交差点が人為的なベクトルを作るた
めの入口リストに割当てられることを意味してい
る。もしY₁がY₂よりも大きいならば、エツジは
出口エツジ（Ｅ＝０）として示されるだろう（ブ
ロツク１０２）。（ブロツク１００および１０２に
示すように）X_U，Y_UおよびX_L，Y_Lの割当てを行
ない、傾き値を計算し（ブロツク１０４）、列当
たりのＸ方向変位を傾き値に1024を掛けることに
よつて計算する。この量Ｓは、列の中のエツジの
Ｘの変化量である。

いま第１２図を参照すると、列カウンタＮを増
加させて（ブロツク１１０）、エツジと第１の列
の境界との交差点を算出し（ブロツク１１４）、
列についてのベクトルをベクトルリストに書き込
む（ブロツク１１６）。このベクトルは、Ｘ軸開
始座標値X_s，Ｙ軸開始座標値Y_s，Ｘ軸終了座標
値X_eおよび傾き値をもつている。Ｘ軸開始座標
値X_sおよびＸ軸終了座標値X_eは、エツジが入口
エツジであるか又は出口エツジであるかの指示に
応じて、この列についての出口リスト又は入口リ
ストに記憶させる。

最後の列に達したときには（ブロツク１２０）、
残りのエツジを表わす残りベクトルをベクトルリ
ストに作る（ブロツク１２２）。そうでないとき
には、列カウントＮを増加して（ブロツク１２
４）、次の列の交差点を算出する（ブロツク１２
６）。該処理を繰り返して残りのエツジを切り取
る。四辺形の最初のエツジを切り取つた後、四辺
形の他のエツジを同様な仕方でベクトルに切り取
らなければならない。

各四辺形の全てのエツジを切り取つた後、各列
の上部を横切る人為的なベクトルを、入口リスト
および出口リストを用いて作らなければならな
い。各列についての入口リストと出口リストと
は、四辺形が交差する。各列について、別々にメ
モリから取り出される。人為的なベクトルは、列
の境界の最も接近した入口点と同じ列の境界の最
も接近した出口点とを結んで作られる。いま第９
図を参照すると、破線が列の境界を表わしてお
り、オン・ベクトルは列の上方の境界８３，８
４，８５で作らなければならない。従つて入口リ
ストと出口リストとを組合わせるときに、交差点
ＡとＢとを１つの人為的なベクトルで結び、Ｃと
Ｄとを他のベクトルで結び、ＥとＦとを３番目の
ベクトルで結ぶ。

その結果のベクトルは、これらのＹ軸座標値に
基づいて、32個のバンドフアイルの１つに置かれ
る。16個の連続した列からのベクトルは同じバン
ドフアイルに割当てられ、次の16個の列は次のバ
ンドフアイルに属するというように以後の16個の
列も処理される。全てのエツジを切り取つて列フ
アイルの中に置いたときに、フエーズを開始す
ることができる。

〔フエーズおよび〕 プリプロセツサ３９動作のフエーズ（ブロツ
ク７３、第８図）は区分処理の一部である。ベク
トルをこれらの適当な列フアイルに直接区分する
には非常に多くの列があるので、フエーズで
は、ベクトルを夫々、16個の連続した列の32のバ
ンドフアイルの１つに区分している。フエーズ
では、各バンドフアイルが読み取られ、ベクトル
をＹ軸開始アドレスY_sだけによつて適当な列に
分配する。

１つのバンドフアイルの全てのベクトルを列に
区分したとき、他のバンドフアイルについてフエ
ーズを続けながら、フエーズを開始すること
ができる（ブロツク７４）。各列内では、ベクト
ルをこれらの最も小さなX_s座標値（最も左側の
座標値）によつて区分しなければならない。列の
かわるごとに全てのベクトルについてのＸ座標値
を反転させて、パターンの往復発生を考慮しなけ
ればならない。最後に、ビツトマツプを形成する
のに用いられるオン・オフ方向値を各ベクトルに
割当てなければならない。

第１３図はフエーズのステツプを示す。偶数
番号の各列では、Ｘ座標値を反転しなければなら
ない（ブロツク１４０）。用いられた技法は、Ｘ
の各値をX₀＋X₁−Ｘで書き換えることであり、
ここででX₀とX₁はブロツクの左余白部と右余白
部の座標値である。反転の後、偶数列の方向（オ
ン又はオフ）を設定するための基準は、奇数列の
基準と反対になる。ベクトルのＸ開始座標値X_s
がＸ軸終了座標値X_eよりも小さいきには、偶数
列での方向Ｄは−１であり、奇数列での方向Ｄは
＋１である（ブロツク１４４）。X_sがX_eよりも大
きいときには（ブロツク１４２）、X_eがX_sにな
り、X_sがX_eになる（ブロツク１４５）。また対応
するＹ軸座標値を交換する。ベクトルの方向は、
偶数列では＋１であり、奇数列では−１である。

第３のフエーズでは、ベクトルはまた開始アド
レスX_sの範囲に従つて128個のセクシヨンフアイ
ルの１つに区分され（ブロツク１４８）。各列の
所定のＸ範囲内で始まる全てのベクトルは、さら
に区分するためにこのセクシヨンフアイルに記憶
される。このフエーズは区分されるべきベクトル
がもはやなくなるまで繰り返される（ブロツク１
４９）。

かくして、フエーズの終りまでに、全てのベ
クトルにはオン／オフ方向が割当てられ、Ｘ方向
に部分的に区分されてパターン発生装置１０によ
るイメージの効果的な発生を可能にする。

〔フエーズ〕 プリプロセツサの最後のフエーズは、実時間プ
ロセツサで直接使用可能なコード化されたフオー
マツトのベクトルを含む列を作る。各セクシヨン
フアイルの中のベクトルは、偶数列でも最も左側
のX_s座標値に従つて区分され、奇数列では最も
右側のX_s座標値によつて区分される。この区分
が完了すると、リストを順々に読み出し、各ベク
トルをコード化してパツクし、ベクトルを実時間
プロセツサで用いられるように区分した順序でデ
イスクに書き込む。