JPS6139612B2 - - Google Patents
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- JPS6139612B2 JPS6139612B2 JP8154876A JP8154876A JPS6139612B2 JP S6139612 B2 JPS6139612 B2 JP S6139612B2 JP 8154876 A JP8154876 A JP 8154876A JP 8154876 A JP8154876 A JP 8154876A JP S6139612 B2 JPS6139612 B2 JP S6139612B2
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- Japan
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- rays
- mask
- sample
- fluorescent
- ray
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- Expired
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
本発明は特に固体試料の分折に適した蛍光Ｘ線
分折装置に関するものである。 一般に固体試料の分折にあたつては試料の大き
さに応じたマスクを使用している。而して該試料
に一次Ｘ線を照射した場合、前記マスクにも照射
されるので、試料からの蛍光Ｘ線に混ざつてマス
クからの蛍光Ｘ線も発生する。従つてマスク材と
同一含有元素の測定は不可能であるばかりか次に
示す様な実用面での欠点がある。 １ マスク中の微量元素（例えばＴiマスク中の
ＳiやＰ等）或いは汚染によりマスク表面に付
着した微量元素により検量線にばらつきを生じ
たり、その傾きが変つたりする。 ２ 特定元素（例えばTi）の分析時にはTiマス
クは使用できない為、異つた元素のマスクを数
多く準備する必要がある。 ３ 使用するマスクは不純物の非常に少いもので
なければならないので、金額的にも高いものに
なる。 ４ 単一の装置に複数の試料を装置できるように
した場合、各試料のマスクは、同じロツドで製
造したものでないと、不純物の量が変つてく
る。 ５ 定性分析の場合、マスクからの蛍光Ｘ線を差
し引いても微量元素についての判断は行いにく
い。 ６ 使用したマスクはその都度洗浄する必要があ
るが付着した汚染物をきれいに除去することは
大変な作業である。 而して本発明は以上の如き欠点を除去できる新
規な蛍光Ｘ線分折装置を提供するもので、以下図
面に示す実施例に従つて詳述する。 第１図は本発明の一実施例を示す概略図であ
り、１は試料ホルダーである。該ホルダーには試
料２が保持され、その上にマスク３が覆せられて
いる。４は任意なＸ線管球であり、これにより発
生した一次Ｘ線が試料２の表面に照射される。こ
のＸ線照射により試料２より発生した蛍光Ｘ線は
ソーラスリツト５を通して平行ビームにされ、分
光結晶６に入射する。該分光結晶で分散されたＸ
線は、ソーラスリツト７を通して検出器８に入射
し、検出される。前記試料２とソーラスリツト５
との間には、Ｘ線検出器８に検出され得るＸ線の
試料表面上の発生領域を制限する絞り板９が設け
てあり、マスク３から発生し、検出器８へ向う蛍
光Ｘ線をカツトしている。 第２図は、そのカツトの状態を示すもので、マ
スク３から発生した蛍光Ｘ線の内点線で示すX1
の如きＸ線は従来装置では検出器８に到達し、検
出されていたわけであるが、本発明では絞り板９
によりカツトされ、検出器８には到達しない。 所で、絞り板のＸ線制限穴を斜線X1，X2で示
す如く、マスク３からの蛍光Ｘ線が通過するが、
上記制限穴の直径が適切であるならば、図示の如
くX2はソーラスリツト５により、又X3はソーラ
スリツト７によりカツトされ、検出器８には到達
しない。 下表は、従来装置と本発明の比較を示す実施例
である。ここで試料としては銅（Cu）を使用
し、又、マスクとしては直径20mmのチタン
（Ti）マスクを使用した。更に、Ａ例はコリメー
タのＸ線制限穴の直径が13mm、Ｂ例は12mmの場合
であり、全ての実験は10秒間の実測値である。
分折装置に関するものである。 一般に固体試料の分折にあたつては試料の大き
さに応じたマスクを使用している。而して該試料
に一次Ｘ線を照射した場合、前記マスクにも照射
されるので、試料からの蛍光Ｘ線に混ざつてマス
クからの蛍光Ｘ線も発生する。従つてマスク材と
同一含有元素の測定は不可能であるばかりか次に
示す様な実用面での欠点がある。 １ マスク中の微量元素（例えばＴiマスク中の
ＳiやＰ等）或いは汚染によりマスク表面に付
着した微量元素により検量線にばらつきを生じ
たり、その傾きが変つたりする。 ２ 特定元素（例えばTi）の分析時にはTiマス
クは使用できない為、異つた元素のマスクを数
多く準備する必要がある。 ３ 使用するマスクは不純物の非常に少いもので
なければならないので、金額的にも高いものに
なる。 ４ 単一の装置に複数の試料を装置できるように
した場合、各試料のマスクは、同じロツドで製
造したものでないと、不純物の量が変つてく
る。 ５ 定性分析の場合、マスクからの蛍光Ｘ線を差
し引いても微量元素についての判断は行いにく
い。 ６ 使用したマスクはその都度洗浄する必要があ
るが付着した汚染物をきれいに除去することは
大変な作業である。 而して本発明は以上の如き欠点を除去できる新
規な蛍光Ｘ線分折装置を提供するもので、以下図
面に示す実施例に従つて詳述する。 第１図は本発明の一実施例を示す概略図であ
り、１は試料ホルダーである。該ホルダーには試
料２が保持され、その上にマスク３が覆せられて
いる。４は任意なＸ線管球であり、これにより発
生した一次Ｘ線が試料２の表面に照射される。こ
のＸ線照射により試料２より発生した蛍光Ｘ線は
ソーラスリツト５を通して平行ビームにされ、分
光結晶６に入射する。該分光結晶で分散されたＸ
線は、ソーラスリツト７を通して検出器８に入射
し、検出される。前記試料２とソーラスリツト５
との間には、Ｘ線検出器８に検出され得るＸ線の
試料表面上の発生領域を制限する絞り板９が設け
てあり、マスク３から発生し、検出器８へ向う蛍
光Ｘ線をカツトしている。 第２図は、そのカツトの状態を示すもので、マ
スク３から発生した蛍光Ｘ線の内点線で示すX1
の如きＸ線は従来装置では検出器８に到達し、検
出されていたわけであるが、本発明では絞り板９
によりカツトされ、検出器８には到達しない。 所で、絞り板のＸ線制限穴を斜線X1，X2で示
す如く、マスク３からの蛍光Ｘ線が通過するが、
上記制限穴の直径が適切であるならば、図示の如
くX2はソーラスリツト５により、又X3はソーラ
スリツト７によりカツトされ、検出器８には到達
しない。 下表は、従来装置と本発明の比較を示す実施例
である。ここで試料としては銅（Cu）を使用
し、又、マスクとしては直径20mmのチタン
（Ti）マスクを使用した。更に、Ａ例はコリメー
タのＸ線制限穴の直径が13mm、Ｂ例は12mmの場合
であり、全ての実験は10秒間の実測値である。
【表】
この表から従来装置ではマスクからの蛍光Ｘ線
と測定元素からの蛍光Ｘ線とが略同等に検出され
ていたのに対し、本発明を使用した場合、特にＢ
例では、TiKαはCuKαに対し約１／３００に減少し全 く問題のないオーダーに低下している。この場
合、測定元素からの蛍光Ｘ線（CuKα）の強度
は殆んど低下していないという特長がある。 上記表からわかるように、絞り板の穴径によつ
てマスクからの蛍光Ｘ線量が異つてくる。そし
て、穴径としては小さい方が良いわけであるが、
あまり小さくなると測定元素からの蛍光Ｘ線のう
ちカツトされる量が多くなるのでマスクの大きさ
に応じて穴径を適正なものに選ぶ必要がある。こ
の目的のために異なつた穴径を持つ複数個の絞り
板を用い、これを例えばターレツト式に交換でき
るようにすることが好ましい。又、単一の絞り板
を使用するときは、Ｘ線ビームの方向に移動でき
るようにし、実質的に穴径を変えるようにしても
良い。 以上詳述した様な構成となせば測定元素からの
蛍光Ｘ線を殆んどカツトすることなく、マスクよ
りの蛍光Ｘ線を測定に影響ない適度に除去でき、
従来装置の欠点は完全に解決される。 尚上記は、固体試料にマスクを覆せ、このマス
クからの蛍光Ｘ線が問題になる場合について説明
したが、液体試料や粉末試料等の分析にあたり、
そのホルダーからの蛍光Ｘ線が問題になる場合に
も全く同様に適用できる。又、絞り板は１枚使用
した例を示したが２枚以上用いても良い。
と測定元素からの蛍光Ｘ線とが略同等に検出され
ていたのに対し、本発明を使用した場合、特にＢ
例では、TiKαはCuKαに対し約１／３００に減少し全 く問題のないオーダーに低下している。この場
合、測定元素からの蛍光Ｘ線（CuKα）の強度
は殆んど低下していないという特長がある。 上記表からわかるように、絞り板の穴径によつ
てマスクからの蛍光Ｘ線量が異つてくる。そし
て、穴径としては小さい方が良いわけであるが、
あまり小さくなると測定元素からの蛍光Ｘ線のう
ちカツトされる量が多くなるのでマスクの大きさ
に応じて穴径を適正なものに選ぶ必要がある。こ
の目的のために異なつた穴径を持つ複数個の絞り
板を用い、これを例えばターレツト式に交換でき
るようにすることが好ましい。又、単一の絞り板
を使用するときは、Ｘ線ビームの方向に移動でき
るようにし、実質的に穴径を変えるようにしても
良い。 以上詳述した様な構成となせば測定元素からの
蛍光Ｘ線を殆んどカツトすることなく、マスクよ
りの蛍光Ｘ線を測定に影響ない適度に除去でき、
従来装置の欠点は完全に解決される。 尚上記は、固体試料にマスクを覆せ、このマス
クからの蛍光Ｘ線が問題になる場合について説明
したが、液体試料や粉末試料等の分析にあたり、
そのホルダーからの蛍光Ｘ線が問題になる場合に
も全く同様に適用できる。又、絞り板は１枚使用
した例を示したが２枚以上用いても良い。
第１図は本発明の一実施例を示す概略図、第２
図はそのＸ線カツトの状態を示す図である。 １は試料ホルダー、２は試料、３はマスク、４
はＸ線管球、５及び７はソーラスリツト、６は分
光結晶、８は検出器、９は絞り板である。
図はそのＸ線カツトの状態を示す図である。 １は試料ホルダー、２は試料、３はマスク、４
はＸ線管球、５及び７はソーラスリツト、６は分
光結晶、８は検出器、９は絞り板である。
Claims (1)
- １ 試料にＸ線を照射し、該試料表面から発生す
る蛍光Ｘ線のうちソーラースリツトを用いて平行
なＸ線のみを分光結晶に導いて分光し、Ｘ線検出
器によつて検出する装置において、前記ソーラー
スリツトと試料との間に前記Ｘ線検出器に検出さ
れ得るＸ線の試料表面上の発生領域を制限する絞
り板を設けたことを特徴とする蛍光Ｘ線分折装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8154876A JPS537394A (en) | 1976-07-09 | 1976-07-09 | Xxray fluorescence analyzer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8154876A JPS537394A (en) | 1976-07-09 | 1976-07-09 | Xxray fluorescence analyzer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS537394A JPS537394A (en) | 1978-01-23 |
| JPS6139612B2 true JPS6139612B2 (ja) | 1986-09-04 |
Family
ID=13749337
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8154876A Granted JPS537394A (en) | 1976-07-09 | 1976-07-09 | Xxray fluorescence analyzer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS537394A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5764155A (en) * | 1980-10-07 | 1982-04-19 | Rigaku Denki Kogyo Kk | Fluorescent x-ray analyzer |
| JP2636982B2 (ja) * | 1991-06-19 | 1997-08-06 | 理学電機工業株式会社 | 蛍光ｘ線分析装置の視野制限装置 |
| JP2674675B2 (ja) * | 1991-11-01 | 1997-11-12 | 株式会社島津製作所 | 蛍光ｘ線分析装置 |
| JP6990460B2 (ja) * | 2020-06-19 | 2022-01-12 | 株式会社リガク | 蛍光ｘ線分析装置、判定方法及び判定プログラム |
-
1976
- 1976-07-09 JP JP8154876A patent/JPS537394A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS537394A (en) | 1978-01-23 |
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