DE3104468C2 - Röntgenfluoreszenzspektrometer - Google Patents

Röntgenfluoreszenzspektrometer

Info

Publication number
DE3104468C2
DE3104468C2 DE3104468A DE3104468A DE3104468C2 DE 3104468 C2 DE3104468 C2 DE 3104468C2 DE 3104468 A DE3104468 A DE 3104468A DE 3104468 A DE3104468 A DE 3104468A DE 3104468 C2 DE3104468 C2 DE 3104468C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
sample
ray
analyzed
ray source
radiation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE3104468A
Other languages
English (en)
Other versions
DE3104468A1 (de
Inventor
Kliment Vladislavovič Anisovič
Nikolai Ivanovič Komyak
Zaurbek Kurmanaevič Leningrad Menbaev
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
LENINGRADSKOE NAUCNO-PROIZVODSTVENNOE OB"EDINENIE "BUREVESTNIK" LENINGRAD SU
Original Assignee
LENINGRADSKOE NAUCNO-PROIZVODSTVENNOE OB"EDINENIE "BUREVESTNIK" LENINGRAD SU
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to US06/223,268 priority Critical patent/US4417355A/en
Application filed by LENINGRADSKOE NAUCNO-PROIZVODSTVENNOE OB"EDINENIE "BUREVESTNIK" LENINGRAD SU filed Critical LENINGRADSKOE NAUCNO-PROIZVODSTVENNOE OB"EDINENIE "BUREVESTNIK" LENINGRAD SU
Priority to DE3104468A priority patent/DE3104468C2/de
Priority to FR8104341A priority patent/FR2501379A1/fr
Publication of DE3104468A1 publication Critical patent/DE3104468A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3104468C2 publication Critical patent/DE3104468C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
    • G01N23/207—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
    • G01N23/2076—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions for spectrometry, i.e. using an analysing crystal, e.g. for measuring X-ray fluorescence spectrum of a sample with wavelength-dispersion, i.e. WDXFS
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
    • G01N23/207—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
    • G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
    • G01N2223/076—X-ray fluorescence

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf ein Röntgenfluoreszenzspektrometer zur chemischen Analyse von Proben. Eine Röntgenstrahlungsquelle (1) bestrahlt eine Probe (4) und die von dieser ausgehende sekundäre Fluoreszenzstrahlung wird durch einen nach Johansson gekrümmten Analysatorkristall (5) dispergiert und auf einen Detektor (7) fokussiert. Um einerseits die verhältnismäßig langwellige weiche Röntgenstrahlung, auf die es insbesondere bei der Analyse von leichten Elementen ankommt, nicht einer zu starken Absorption durch die Luft auszusetzen und andererseits die Probe nicht selbst einem Vakuum aussetzen zu müssen, was manche Proben zerstören würde und jedenfalls das Ein- und Ausbringen der Proben aufwendig gestalten würde, sind beim erfindungsgemäßen Röntgenfluoreszenzspektrometer der Analysatorkristall (5) und der Detektor (7) in einer evakuierten Kammer (8) und die Röntgenstrahlungsquelle (1) und die Analysenprobe (4) außerhalb der evakuierten Kammer (8) angeordnet. Die Fluoreszenzstrahlung tritt in die evakuierte Kammer (8) durch ein auf dem Fokalkreis (6) angeordnetes Fenster (10), das der Analysenprobe maximal angenähert ist.

Description

Die Erfindung betrifft ein Röntgenfluoreszenzspektrometer. wie es zur Durchführung von chemischen Analysen in der Metallurgie. Geologie, chemischen Industrie u. a. verwendet wird. Dabei wird zur Bestimmung der chemischen Zusammensetzung einer Probe diese mil einer Röntgenstrahlung beaufschlagt und es wird die von der Probe dabei ausgesendete Fluorcs/enzstrahlung nach der Wellenlänge spektral /erlegt. Hierzu haben die Spektrometer einen Analysatorkristall. der flach oder gekrümmt sein kann. Im letzteren Fall bewirkt der Analysatorkristall eine Fokussierung der von ihm reflektierten Strahlung auf einem Fokalkrcis. der durch seine Krümmung bestimmt ist.
Die vorliegende Erfindung geht aus von einem Röntgenfluoreszenzspektrometer mit einer Röntgenstrahlungsquelle, einem in ihrem Strahlengang angeordneten Probenhalter mit einer zu analysierenden Probe, die in einem solchen Abstand (h) von der Röntgenstrahlungsquelle angeordnet ist, daß eine spezifische Beleuchtungsstärke auf dem zentralen Oberfüächenbereich der zu analysierenden Probe von mindestens 3- 10-8ZiZJs-1Cm-2W-' gegeben ist, worin Z die Ordnungszahl des Anodenmaterials der R'öntpenstrah-Iungsquelle und U die Spannung an der Röntgenstrahlungsquelle in Kilovolt bedeutet, mit einem auf einem Fokalkreis liegenden gekrümmten Analysatorkristall, dessen Krümmung den Durchmesser des Fokalkreises bestimmt und mit einem auf dem Fokalkreis liegenden Röntgenstrahlendetektor, bei dem die Probe Fluores- ; enzstrahlung auf den Analysatorkristall aussendet und diese Strahlung fokussierend auf den Röntgenstrahlendetektor reflektiert wird- Ein solches Röntgenfluoreszenzspektrometer ist aus der US-Patentschrift 40 91 282 bekannt
Bei dieser bekannten Ausbildung liegt die Röntgenstrahiungsquelie sehr nahe an der Oberfläche der Analysenprobe, so daß vorteilhafterweise Röntgenröhren geringerer Leistung Verwendung finden können. Dennoch wird die verhältnismäßig langwellige, weiche Röntgenstrahlung durch die Luft stark absorbiert, was die Bestimmung des Gehalts der Prcbe an leichten chemischen Elementen, z. B. mit Ordnungszahlen unter 22, unmöglich macht.
Eine geringe Absorption auch der weichen Röntgenstrahlung wird erzielt bei den bekannten Spektrometern, deren gesamte röntgen-optische Anordnung einschließlich der Röntgenröhre und der Probenbeschickungseinrichtung in einer evakuierten Kammer oder in einer mit leichtem Gas (Helium) gefüllten Kammer untergebracht ist. Solche Spektrometer gestatten es. sowohl schwere als auch leichte chemische Elemente in der Probe zu bestimmen.
Spektrometer dieser Art sind aber nicht geeignet zur Analyse von Proben, die duich das Vakuum zerstört würden, z. B. von Lösungen. Pulvern, organischen Substanzen u. a., was zu einer wesentlichen Einschränkung der Anwendungsmöglichkeiten führt. Die Verwendung einer mit Helium gefüllten Kammer macht den Aufbau und den Betrieb des Spektrometers sehr kompliziert.
Außerdem ist in solchen Spektrometern die Einbringung der Probe erschwert, was die zur Durchführung der Analyse erforderliche Zeit verlängert und den Arbeitsaufwand erhöht.
Darüber hinaus führt jedes Aus- oder Einbringen einer Probe zu einer Vakuumstörung und damit zur Notwendigkeit der Vakuumwiederherstellung nach jedem Probenwechsel. Auch das verlängert die zur Durchführung der Analyse erforderliche Zeit und erfordert außerdem die Verwendung von leistungsfähigen Vakuumpumpen, wodurch die Abmessungen und das Gewicht des Spekirometers stark vergrößert werden.
Ähnliches gilt für einen aus dem Hilger |ournal Vol. Vl Nr. 2. I960. S. 1 bis 8 bekannten Röntgenfluorev zenzspektrometer mit einer evakuierten Kammer, in der sich der Analysatorkristall und der Detektor befinden, und bei dem der Probenhalter der zu analysierenden Probe und die Röntgenstrahlungsquelle außerhalb dieser Kammer angeordnet sind. Bei dieser Ausbildung ist der Probenhaltcr ein Schieber mit zwei Positionen für Proben, deren eine sich zur Analvse unter
einem Strahlungsschild befindet, während die andere zum Probenwechsel zugänglich ist. Auch hier muß vor Betätigung des die Proben tragenden Schiebers eine kleine Lufttasche abgepumpt werden.
Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung eines Röntgenfluoreszenzspektrometers mit geringer Absorption der weichen Röntgenstrahlung, so daß es zur Bestimmung des Gehaits an leichten Elementen in der zu analysierenden Probe geeignet ist, wobei der Probenwechsel einfach und leicht möglich sein soll, die Probe keinem Vakuum ausgesetzt werden muß und keine Vakuumstörungen auftreten.
Ausgehend von der vorausgesetzten gattungsmäßigen Ausbildung wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß der Analysatorkristall und der Detektor in einer evakuierten Kammer und die Röntgenstrahlungsquelle und der Probenhaher mit der zu analysierenden Probe außerhalb der evakuierten Kammer angeordnet sind, daß die evakuierte Kammer ein am Fokalkreis angeordnetes und im Fluoreszenzstrahlengang zwisehen der zu analysierenden Probe und dem Analysatorkristaü Siegendes Fenster aufweist und daß der Probenhaher der zu analysierenden Probe so eageordnet ist, daß der mittlere Abstand von dem die Fluoreszenzstrahlung aussendenden Oberflächenbereich der zu analysierenden Probe bis zum Fenster den Abstand von diesem Oberflächenbereich bis zum Brennfleck der Röntgenstrahlungsquelle nicht überschreitet.
Das erfindungsgemäße Spektrometer ermöglicht die Bestimmung auch des Gehalts an leichten Elementen in der zu analysierenden Probe, weil bei der genannten Wahl der Abstände zwischen dieser und dem Fenster der evakuierten Kammer sowie zwischen der Röntgenstrahlungsquelle und der Probe die weiche Röntgenstrahlung nur wenig absorbiert wird. Zugleich können auch Proben, die unter Einwirkung eines Vakuums zerstört würden, analysiert werden, und es muß das Vakuum nicht nach jedem Einbringen der Analysenprobe wieder hergestellt werden. Die gewünschte Empfindlichkeit des f.pektrometers kann auch mit einer schwachen Röntgenstrahlungsquelle geringer Abmessungen erreicht werden, was wiederum den geringen Abstand zwischen Probe und Strahlungsquelle ermöglicht. Das Spektrometer ermöglicht eine schnelle ■" Durchführung der Analysen und hat geringe Abmessungen und ein niedriges Gewicht.
Es ist zweckmäßig, wenn das Fenster der evakuierten Kammer an der Spitze emes in der evakuierten Kammer ausgeführten Vorsprungs angeordnet ist. >" dessen Projektion auf die Tokalkreisebene durch zwei Abschnitte begrenzt ist, die auf dem Fokalkreis unter einem Winkd zueinander zusammenlaufen, der dem Öffnungswinkel des Analysatorkristalls gleich ist.
Die Erfindung wird nachfolgend durch die Beschrei- y> bung eines Ausführungsbeispiels anhand der Zeichnung weiter erläutert. Diese zeigt schematisch ein gemäß der Erfindung ausgeführtes Röntgenfluoreszenzspektrometcr.
Das dargestellte Röivgcnfluoreszenzspektrometer <>n hat eine Röntgenstrahlungsquelle, nämlich eine Röntgenröhre 1, deren Brcnnfleck mit 2 bezeichnet ist, und einen Halter 3 der zu analysierenden Probe, der im Strahlengang der Strahlungsquelle 1 liegt. In der Zeichnung ist eine Probe 4 in Form einer Tablette b5 gezeigt.die im Halter 3 angebracht ist.
Das Spektrometer enthält auch einen fokussierenclen L'ckrümmten Analysatorkt'stall 5. dessen Krümmung den Durchmesser des Fokalkreises 6 bcsti.um:, u„J einen Detektor 7, der die durch Jen Analysatorkristall 5 fokussierend reflektierte Strahlung registriert. Der Detektor 7 ist z. B. ein Gasproportionalzähler.
Der Analysatorkristall 5 und der Detektor 7 sind in einer evakuierten Kammer 8 untergebracht. Die Röntgenröhre 1 und der Probenhalter 3 sind außerhalb der Kammer 8 angeordnet
Die evakuierte Kammer 8 hat einen Vorsprung 9 solcher Form und Anordnung, daß seine Projektion auf die Ebene des Fokalkreises 6 durch zwei Abschnitte begrenzt ist die auf dem Fokalkreis 6 unter einem Winkel zueinander zusammenlaufen, der dem Öffnungswinkel des Analysatorkristalls 5 gleich ist. An der Spitze des Vorsprungs ist ein Fenster 10 für den Durchtritt der von der Probe 4 ausgehenden Fluoreszenzstrahlung, die auf den Analysatorkristall 5 fällt. Das Fenster 10 ist aus einem die Röntgenstrahlung durchlassenden Material, z. B. aus Polypropylen ausgeführt.
Der Probenhaher 3 ist in einem Abstand von der Röntgenröhre 1 angeordnet, der f-ne spezifische Beleuchtungsstärke des zentralen nherflächenabschnitts der Probe 4 von mindestens 3 ■ 10"8 ZU Js-1Cm-2W"1 gewährleistet, worin Z die Ordnungzahl (Kernladungszahl) des Anodenmaterials der Röntgenröhre 1 und U die Spannung an der Röntgenröhre 1 in Kilovolt Dedeutet. Der Probenhaher 3 ist bezüglich des Fensters 10 so angeordnet, daß der mittlere Abstand r von dem die Fluoreszenzstrahlung aussendenden Oberflächenbereich der Probe 4 bis zum Fenster 10 den Abstand h von diesem Oberflächenbereich bis zum Brennfleck 2 der Röntgenröhre 1 nicht überschreitet.
Der Analysenbetrieb mit dem beschriebenen Spektrometer verläuft folgendermaßen:
Die vom Brennfleck 2 ausgehende Primärstrahlung der Röntgenröhre 1 fällt auf die zu untersuchende Probe 4, in der eine Röntgenfluoreszenzstrahlung erregt wird. Die von der Probe ausgesandte Röntgenfluoreszenzstrahlung gelangt durch das Fenster 10 in die evakuierte Kammer 8 und wird von dem Analysatorkristall 5 fokussierend auf den Detektor 7 reflektiert und von dieser- registriert.
Bei Gewährleistung einer spezifischen Beleuchtungsstärke des zentralen Oberflächenbereichs der Probe von mindestens3 · 10~8 ZU Js-1Cm-2W-' ist der Abstand h zwischen dem Brennfleck 2 der Röntgenröhre 1 und der Oberfläche der Probe 4 ausreichend klein, so daß nur eine verhältnismäßig kleine Schwächung der von der Röhre 1 ausgehenden weichen, also der langwelligen Röntgenstrahlung hervorgerufen wird. Dadurch kommt es zu einer ausreichenden Anregung der in der Probe 4 enthaltenen leichten Elemente und somit auch zu einer ausreichenden Fluoreszenzstrahlung dieser Elemente.
Der miniere Abstand /-zwischen dem Oberflächenbereich der Probe 4. von dem die Fluoreszenzstrahlung ausgeht, und dem Fenster 10 ist nicht größer als der Abstand h und somit ausreichend klein, so daß auch auf dem Weg zwischen der Probe 4 und dem Fenster 10 nur eine verhältnismäßig kleine Schwächung der Röntgenfluoreszenzstrahlung derjenigen leichten Elemente staltfindet, deren ausreichende Anregung bei dem gewählten Abstand h gewährleistet ist.
Innerhalb der evakuierten Kammer P wird die Röntgenfluoreszenzstrahlung praktisch nicht mehr weiter geschwächt, und die am Detektor 7 noch ankommende Intensität der weichen Röntgenstrahlung. •Jie durch die in der Probe 4 enthaltenen leichten Elemente erzeugt wird, ist ausreichend zur Bestimmung
des Gehalts dieser Elemente.
Die Anordnung des Strahlungseinfallfensters 10 an der Spitze eines Vorsprungs 9 der Vakuumkammer 8 der angegebenen Form und Anordnung gestattet es. die Strahlungswege durch die Luft maximal zu verringern und dadurch die Absorption der Fluoreszenzstrahlung der Probe 4 auf dem Weg zwischen der Probe 4 und dem Fenster 10 maximal zu vermindern. Wegen der Anordnung des Fensters 10 auf dem Fokalkreis 6 kann die Fensterfläche minimal sein, was wiederum eine geringe Wandstärke des Fensters erlaubt und somit den Absorptionsgrad der Fluoresz.enzstrahlung im Fenster weiter verringert.
Es versteht sich, daß anstelle eines Analysatorkristalls auch ein technisches Äquivalent, /.. B. ein Beugungsgitter Anwendung finden kann.
Ein praktisch ausgeführtes erfindungsgemäUes Röntgenfluoreszenzspektrometcr hat als Röntgenstrahlungsquelle eine 5-Watt-Röntgenröhre mit einer Spannung von 25 Kilovolt und einer Silberanode. Die Abstände h und r betragen J mm. der Durchmesser des Fokalkreises 150 mm. Es wird ein Johansson-Analysatorkristall aus RbAP mit den Abmessungen 20 mm ■ 40 mm benutzt. Der Detektor ist ein Argon-Proportionalzähler. Die Masse des Spektrometers beträgt 15 kg und seine Abmessungen 400 mm · 400 mm · 150 mm. Es erlaubt die Bestimmung des Probengehalts an Elementen mit Ordnungszahlen von 11 (Natrium) bis 92 (Uran).
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (2)

1 Patentansprüche:
1. Röntgenfluoreszenzspektrometer mit einer Röntgenstrahlungsqueüe, einem in ihrem Strahlengang angeordneten Probenhalter mit einer zu analysierenden Probe, die in einem solchen Abstand (h) von der Röntgenstrahlungsquelle angeordnet ist, daß eine spezifische Beleuchtungsstärke auf dem zentralen Oberflächenbereich der zu analysierenden Probe von mindestens 3- 10-8ZiZJs-1Cm-2W-' gegeben ist, worin Z die Ordnungszahl des Anodenmaterials der Röntgenstrahlungsquelle und U die Spannung an der Röntgenstrahlungsquelle in Kilovolt bedeutet,
mit einem auf einem Fokalkreis liegenden gekrümm- !5 ten Analysatorkristall, dessen Krümmung den Durchmesser des Fokalkreises bestimmt und mit einem auf dem Fokalkreis liegenden Röntgenstrahlendetektor, bei dem die Probe Fluoreszenzstrahlung auf den Analysatorkristall aussendet und diese Strahlung /okussierend auf den Röntgenstrahlendetektor reRektiert wird, dadurch gekennzeichnet,
daß der Analysatorkristall (5) and der Detektor (7) in einer evakuierten Kammer (8), daß die Röntgenstrahlungsquelle (1) und der Probenhalter (3) mit der zu analysierenden Probe (4) außerhalb der evakuierten Kammer (8) angeordnet sind, daß die evakuierte Kammer (8) ein am Fokalkreis (6) angeordnetes und im Fluoreszenzstrahlengang zwisehen der zu analysierenden Probe (4) und dem Analysatorkrhmll (5) liegendes Fenster (10) aufweist und
daß der Probenhalter (3) der zu analysierenden Probe (4) so angeordnet ist, tiaß dpr mittlere Abstand (r)von dem die Fluoreszenzstrahrung aussendenden Oberflächenbereich der zu analysierenden Probe (4) bis zum Fenster (10) den Abstand (h) von diesem Oberflächenbereich bis zum Brennfleck (2) der Röntgenstrahlungsquelle (1) nicht überschreitet. w
2. Röntgenfluoreszenzspektrometer nach Anspruch 1. dadurch gekennzeichnet, daß das Fenster (10) an der Spitze eines in der evakuierten Kammer (8) ausgeführten Vorsprungs (9) angeordnet ist, dessen Projektion auf die Ebene des Fokalkreises (6) -«5 durch zwei Abschnitte begrenzt ist. die auf dem Fokalkreis (6) unter einem Winkel zueinander zusammenlaufen, der dem öffnungswinkel des Analysatorkristalls (5) gleich ist.
DE3104468A 1981-01-08 1981-02-09 Röntgenfluoreszenzspektrometer Expired DE3104468C2 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/223,268 US4417355A (en) 1981-01-08 1981-01-08 X-Ray fluorescence spectrometer
DE3104468A DE3104468C2 (de) 1981-01-08 1981-02-09 Röntgenfluoreszenzspektrometer
FR8104341A FR2501379A1 (fr) 1981-01-08 1981-03-04 Spectrometre fluorescent a rayons x

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/223,268 US4417355A (en) 1981-01-08 1981-01-08 X-Ray fluorescence spectrometer
DE3104468A DE3104468C2 (de) 1981-01-08 1981-02-09 Röntgenfluoreszenzspektrometer
FR8104341A FR2501379A1 (fr) 1981-01-08 1981-03-04 Spectrometre fluorescent a rayons x

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3104468A1 DE3104468A1 (de) 1982-08-26
DE3104468C2 true DE3104468C2 (de) 1983-09-08

Family

ID=27189133

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE3104468A Expired DE3104468C2 (de) 1981-01-08 1981-02-09 Röntgenfluoreszenzspektrometer

Country Status (3)

Country Link
US (1) US4417355A (de)
DE (1) DE3104468C2 (de)
FR (1) FR2501379A1 (de)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2208925A (en) * 1987-08-25 1989-04-19 Le N Proizv Ob Burevestnik Multichannel x-ray spectrometer
US4845729A (en) * 1988-02-22 1989-07-04 Elex Analytical Technologies Corp. Method and apparatus for diagnosis of lead toxicity
US5014287A (en) * 1990-04-18 1991-05-07 Thornton Michael G Portable x-ray fluorescence spectrometer for environmental monitoring of inorganic pollutants
US5280176A (en) * 1992-11-06 1994-01-18 The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce X-ray photoelectron emission spectrometry system
DE69323064T2 (de) * 1993-04-23 1999-07-15 Shimadzu Corp Ortsaufgelöste Analyse einer Probe mittels eines Röntgenfluoreszenzspektrometers
RU94022820A (ru) * 1994-06-14 1996-04-10 К.В. Анисович Рентгеновский флюоресцентный спектрометр
US5534106A (en) * 1994-07-26 1996-07-09 Kabushiki Kaisha Toshiba Apparatus for processing semiconductor wafers
US5483568A (en) * 1994-11-03 1996-01-09 Kabushiki Kaisha Toshiba Pad condition and polishing rate monitor using fluorescence
DE19820321B4 (de) 1998-05-07 2004-09-16 Bruker Axs Gmbh Kompaktes Röntgenspektrometer
FR2895831B1 (fr) * 2006-01-03 2009-06-12 Alcatel Sa Source compacte a faisceau de rayons x de tres grande brillance
US7440541B2 (en) * 2006-12-27 2008-10-21 Innov-X-Systems, Inc. Dual source XRF system
US9708907B2 (en) 2011-04-26 2017-07-18 Baker Hughes Incorporated Apparatus and method for estimating formation lithology using X-ray flourescence
DE102016210304B8 (de) * 2016-06-10 2017-08-17 Bruker Axs Gmbh Messkammer für ein kompaktes Goniometer in einem Röntgenspektrometer
DE102017001484A1 (de) * 2017-02-16 2018-08-16 Fresenius Medical Care Deutschland Gmbh Verfahren und Anordnung zum Kalibrieren von Vorrichtungen zur Erkennung von Blut oder Blutbestandteilen in einer Flüssigkeit
CN112313505A (zh) * 2018-04-20 2021-02-02 奥图泰(芬兰)公司 X射线荧光分析仪和用于执行x射线荧光分析的方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1068032B (de) * 1956-06-01 1959-10-29
GB901650A (en) * 1958-06-16 1962-07-25 Philips Electrical Ind Ltd Improvements in or relating to x-ray spectrometers
US3042801A (en) * 1959-12-30 1962-07-03 United States Steel Corp Apparatus for analyzing a sample of material
US3105902A (en) * 1960-09-19 1963-10-01 Standard Oil Co Controlled atmosphere X-ray diffraction spectrometer
SU614367A1 (ru) * 1975-09-26 1978-07-05 Предприятие П/Я М-5659 Флуоресцентный рентгеновский спектрометр

Also Published As

Publication number Publication date
FR2501379B1 (de) 1983-07-22
FR2501379A1 (fr) 1982-09-10
US4417355A (en) 1983-11-22
DE3104468A1 (de) 1982-08-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3104468C2 (de) Röntgenfluoreszenzspektrometer
EP0955539B1 (de) Kompaktes Röntgenspektrometer
DE2727505A1 (de) Roentgenfluoreszenzanalyse zur untersuchung oberflaechennaher schichten
DE19952293B4 (de) Röntgenfluoreszenzanalysator
DE19524371A1 (de) Gerät zur Analyse von Fluoreszenz-Röntgenstrahlung
DE1296829B (de) Verfahren und Vorrichtungen zur Bestimmung des Gehaltes einer Probe an schweren Elementen durch Messung ihrer optisch angeregten K alfa- oder K beta-Roentgenfluoreszenzlinien
DE2727989C3 (de) Einrichtung zur Bestimmung von Uran und/oder Thorium in Erzproben
DE4407278A1 (de) Röntgen-Analysegerät
DE4200493C2 (de) Vorrichtung zur Untersuchung der Zusammensetzung dünner Schichten
DE4408057B4 (de) Vorrichtung zur Röntgenfluoreszenzspektroskopie und deren Verwendung
EP0372278A2 (de) Verfahren und Anordung zur Untersuchung von Proben nach der Methode der Röntgenfluoreszenzanalyse
DE2642637C2 (de) Röntgenfluoreszenzspektrometer
DE2632001B2 (de) Meßanordnung zur Röntgenfluoreszenzanalyse
DE10018161B4 (de) Analysegerät zur Bestimmung geringer Mengen einer Probe
DE19540195C2 (de) Verfahren der Röntgenfluoreszenzmikroskopie
DE2911596C3 (de) Meßanordnung zur Röntgenfluoreszenzanalyse
DE4402113A1 (de) Verfahren und Anordnung zur Bestimmung von Elementen nach der Methode der Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse
DE2637364A1 (de) Geraet zur spektroskopischen untersuchung der zusammensetzung einer unbekannten substanz und diesbezuegliches verfahren
DE1204350B (de) Elektronenmikroskop
DE19954520A1 (de) Vorrichtung zur Führung von Röntgenstrahlen
DE102004039048A1 (de) Verfahren und Einrichtung zur molekularen Bilderzeugung mit einer molekularen Sonde
DE2149611B2 (de) Mehrkanal-roentgenspektrometer
DE3626269C2 (de)
DE2259382C3 (de) Röntgenstrahlenquelle
DE19908011C2 (de) Anordnung zur Elementanalyse von Proben mittels primärer Strahlung

Legal Events

Date Code Title Description
OR8 Request for search as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8110 Request for examination paragraph 44
8105 Search report available
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee