JP2674675B2 - 蛍光ｘ線分析装置 - Google Patents
蛍光ｘ線分析装置Info
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- JP2674675B2 JP2674675B2 JP3287702A JP28770291A JP2674675B2 JP 2674675 B2 JP2674675 B2 JP 2674675B2 JP 3287702 A JP3287702 A JP 3287702A JP 28770291 A JP28770291 A JP 28770291A JP 2674675 B2 JP2674675 B2 JP 2674675B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、平行ビーム法を用いる
蛍光Ｘ線分析装置に係り、特には、試料以外の部分から
発生する蛍光Ｘ線や散乱Ｘ線がＸ線検出器に到達しない
ように視野を制限する視野制限用絞りの改善に関する。
蛍光Ｘ線分析装置に係り、特には、試料以外の部分から
発生する蛍光Ｘ線や散乱Ｘ線がＸ線検出器に到達しない
ように視野を制限する視野制限用絞りの改善に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、平行ビーム法を用いる蛍光Ｘ線
分析装置においては、図４および図５に示すように、Ｘ
線管１からの一次Ｘ線を試料２に照射し、これに応じて
試料２から発生する蛍光Ｘ線を視野制限用絞り４´を通
して一次ソーラスリット６に導いて平行ビームとして取
り出し、このＸ線を平板分光結晶８によって各元素に対
応する波長成分をもつスペクトルに分光し、分光された
Ｘ線を再び二次ソーラスリット１０を通じてＸ線検出器
１２で検出する。なお、１４は試料容器である。
分析装置においては、図４および図５に示すように、Ｘ
線管１からの一次Ｘ線を試料２に照射し、これに応じて
試料２から発生する蛍光Ｘ線を視野制限用絞り４´を通
して一次ソーラスリット６に導いて平行ビームとして取
り出し、このＸ線を平板分光結晶８によって各元素に対
応する波長成分をもつスペクトルに分光し、分光された
Ｘ線を再び二次ソーラスリット１０を通じてＸ線検出器
１２で検出する。なお、１４は試料容器である。
【０００３】この平行ビーム法を用いる装置では、湾曲
結晶を用いる集中法に比較して、測定対象元素の波長に
応じて平板分光結晶とＸ線検出器の角度を任意に設定す
ることができるので自由度が大きく、しかも、装置の構
造が比較的簡単なため、逐次分析に適している。
結晶を用いる集中法に比較して、測定対象元素の波長に
応じて平板分光結晶とＸ線検出器の角度を任意に設定す
ることができるので自由度が大きく、しかも、装置の構
造が比較的簡単なため、逐次分析に適している。
【０００４】また、上述のごとく、試料２と一次ソーラ
スリット６との間に視野制限用絞り４´を設けているの
は、次の理由による。
スリット６との間に視野制限用絞り４´を設けているの
は、次の理由による。
【０００５】Ｘ線管１からの一次Ｘ線は、試料２のみな
らず試料容器１４にも照射されるので、仮に視野制限用
絞り４´が無いとすると、試料２からの蛍光Ｘ線だけで
なく、試料容器１４から発生された蛍光Ｘ線や散乱Ｘ線
がＸ線検出器１２に入射し、このため、本来必要な試料
２からの蛍光Ｘ線のスペクトルに対して、他の蛍光Ｘ線
がバックグラウンドとなり、Ｓ／Ｎ比を劣化させる。こ
れに対して、視野制限用絞り４´を設けておけば、Ｘ線
検出器１２から見た視野が試料２のみに制限され、不要
なＸ線はこの絞り４´に遮られてＸ線検出器１２に到達
しなくなるので、Ｓ／Ｎ比の向上が図れるからである。
らず試料容器１４にも照射されるので、仮に視野制限用
絞り４´が無いとすると、試料２からの蛍光Ｘ線だけで
なく、試料容器１４から発生された蛍光Ｘ線や散乱Ｘ線
がＸ線検出器１２に入射し、このため、本来必要な試料
２からの蛍光Ｘ線のスペクトルに対して、他の蛍光Ｘ線
がバックグラウンドとなり、Ｓ／Ｎ比を劣化させる。こ
れに対して、視野制限用絞り４´を設けておけば、Ｘ線
検出器１２から見た視野が試料２のみに制限され、不要
なＸ線はこの絞り４´に遮られてＸ線検出器１２に到達
しなくなるので、Ｓ／Ｎ比の向上が図れるからである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の視野
制限用絞り４´は、平板４´gの複数箇所(この例では３
箇所)に口径の異なる透孔４´a，４´b，４´cを形成し
て構成されており、試料２の形状の大小に応じてこの絞
り４´をスライドさせて最適な口径をもつ透孔４´a〜
４´cを選択するようにしている。
制限用絞り４´は、平板４´gの複数箇所(この例では３
箇所)に口径の異なる透孔４´a，４´b，４´cを形成し
て構成されており、試料２の形状の大小に応じてこの絞
り４´をスライドさせて最適な口径をもつ透孔４´a〜
４´cを選択するようにしている。
【０００７】しかしながら、従来のものでは、図５に示
すように、絞り４´と試料２との間には有る程度の距離
l´があるので、試料２の直径Ｘaと同じ口径をもつ透孔
たとえば４´aを選択したとしても、Ｘ線検出器１２か
ら透孔４´aを通じて試料２を見た場合には、試料２か
ら外れた部分(図中、符号Ｒで示す部分)からの蛍光Ｘ線
もＸ線検出器１２に入射することになり、Ｓ／Ｎ比を高
める上で未だ十分でない。
すように、絞り４´と試料２との間には有る程度の距離
l´があるので、試料２の直径Ｘaと同じ口径をもつ透孔
たとえば４´aを選択したとしても、Ｘ線検出器１２か
ら透孔４´aを通じて試料２を見た場合には、試料２か
ら外れた部分(図中、符号Ｒで示す部分)からの蛍光Ｘ線
もＸ線検出器１２に入射することになり、Ｓ／Ｎ比を高
める上で未だ十分でない。
【０００８】試料２以外からの蛍光Ｘ線が完全に入射し
ないようにするには、試料２の直径Ｄaよりも小さい口
径をもつ透孔を選択せねばならないが、このようにする
と、今度は、試料２で発生される蛍光Ｘ線も余分に遮断
されることになって、検出感度が悪くなる。
ないようにするには、試料２の直径Ｄaよりも小さい口
径をもつ透孔を選択せねばならないが、このようにする
と、今度は、試料２で発生される蛍光Ｘ線も余分に遮断
されることになって、検出感度が悪くなる。
【０００９】また、単純に視野制限用絞り４´を試料２
側に近付けて両者間の距離l´を縮めようとすると、こ
の絞り４´が試料容器１４に当接して互いに損傷するな
ど好ましくない。
側に近付けて両者間の距離l´を縮めようとすると、こ
の絞り４´が試料容器１４に当接して互いに損傷するな
ど好ましくない。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述した課題
を解決するためになされたものであって、検出感度を低
下させることなく、従来よりも一層Ｓ／Ｎ比を向上させ
ることができるようにするものである。
を解決するためになされたものであって、検出感度を低
下させることなく、従来よりも一層Ｓ／Ｎ比を向上させ
ることができるようにするものである。
【００１１】そのため、本発明では、試料からの蛍光Ｘ
線を一次ソーラスリットを通して平行ビームとして取り
出す蛍光Ｘ線分析装置において、前記一次ソーラスリッ
トと前記試料の間に、前記試料の形状の大小に応じた口
径とこの口径が小さいほど長い長さを有した複数の筒状
部を試料側に突出するよう一枚の板上に並べて形成した
視野制限用絞りを設けることにより、前記試料の形状の
大小に応じて複数の前記筒状部の中から一つの筒状部を
選択したとき、口径の小さい筒状部ほど試料に接近する
ようにした。
線を一次ソーラスリットを通して平行ビームとして取り
出す蛍光Ｘ線分析装置において、前記一次ソーラスリッ
トと前記試料の間に、前記試料の形状の大小に応じた口
径とこの口径が小さいほど長い長さを有した複数の筒状
部を試料側に突出するよう一枚の板上に並べて形成した
視野制限用絞りを設けることにより、前記試料の形状の
大小に応じて複数の前記筒状部の中から一つの筒状部を
選択したとき、口径の小さい筒状部ほど試料に接近する
ようにした。
【００１２】
【作用】上記構成において、試料の形状の大小に応じて
視野制限用絞りの筒状部を適切に選べば、Ｘ線検出器側
から筒状部を通して試料を見た場合に、試料のみ見込む
ことになるので、試料以外の部分から発生する不要な蛍
光Ｘ線や散乱Ｘ線は、この絞りによって遮断され、しか
も、この筒状部の口径は、試料の直径よりも余分に小さ
くする必要がないので、試料からの蛍光Ｘ線を効率良く
Ｘ線検出器に導くことができる。このため、ノイズ成分
が小さくなるとともに信号成分が大きくなるので、Ｓ／
Ｎ比が向上する。
視野制限用絞りの筒状部を適切に選べば、Ｘ線検出器側
から筒状部を通して試料を見た場合に、試料のみ見込む
ことになるので、試料以外の部分から発生する不要な蛍
光Ｘ線や散乱Ｘ線は、この絞りによって遮断され、しか
も、この筒状部の口径は、試料の直径よりも余分に小さ
くする必要がないので、試料からの蛍光Ｘ線を効率良く
Ｘ線検出器に導くことができる。このため、ノイズ成分
が小さくなるとともに信号成分が大きくなるので、Ｓ／
Ｎ比が向上する。
【００１３】
【実施例】図１は本発明の実施例に係る蛍光Ｘ線分析装
置の要部の斜視図、図２はその側面断面図、図３は平行
ビーム光学系の構成図であり、図４および図５に示した
従来例に対応する部分には、同一の符号を付す。
置の要部の斜視図、図２はその側面断面図、図３は平行
ビーム光学系の構成図であり、図４および図５に示した
従来例に対応する部分には、同一の符号を付す。
【００１４】図１ないし図３において、１はＸ線管、２
は試料、６は一次ソーラスリット、８は平板分光結晶、
１０は二次ソーラスリット、１２はＸ線検出器、１４は
試料容器であり、これらの構成は従来例の場合と同様で
ある。
は試料、６は一次ソーラスリット、８は平板分光結晶、
１０は二次ソーラスリット、１２はＸ線検出器、１４は
試料容器であり、これらの構成は従来例の場合と同様で
ある。
【００１５】この実施例の特徴は、一次ソーラスリット
６の前段に配置された視野制限用絞り４の形状にある。
すなわち、この視野制限用絞り４は、平板部４gから試
料２側にコーン状をした筒状部４a，４b，４cが突設さ
れており、この筒状部４a，４b，４cは、Ｘ線検出器１
２から各筒状部４a，４b，４cを通して試料２を見た場
合に、試料２以外の部分を見込まず、しかも、小径の試
料２に対する一次Ｘ線の照射光路を妨げないように、そ
の先端部分の口径Ｄa，Ｄb，Ｄcと長さＬa，Ｌb，Ｌcが
それぞれ設定される。したがって、試料２の直径が小さ
くなる程、筒状部４a，４b，４cの先端部分の口径Ｄa，
Ｄb，Ｄcは小さく、かつ、長さＬa，Ｌb，Ｌcが長尺に
なっている。
６の前段に配置された視野制限用絞り４の形状にある。
すなわち、この視野制限用絞り４は、平板部４gから試
料２側にコーン状をした筒状部４a，４b，４cが突設さ
れており、この筒状部４a，４b，４cは、Ｘ線検出器１
２から各筒状部４a，４b，４cを通して試料２を見た場
合に、試料２以外の部分を見込まず、しかも、小径の試
料２に対する一次Ｘ線の照射光路を妨げないように、そ
の先端部分の口径Ｄa，Ｄb，Ｄcと長さＬa，Ｌb，Ｌcが
それぞれ設定される。したがって、試料２の直径が小さ
くなる程、筒状部４a，４b，４cの先端部分の口径Ｄa，
Ｄb，Ｄcは小さく、かつ、長さＬa，Ｌb，Ｌcが長尺に
なっている。
【００１６】上記構成において、試料２の分析を行う際
には、試料２の直径の大小に応じて視野制限用絞り４を
スライドさせて適切な筒状部を選ぶ。たとえば、図２お
よび図３に示すように、符号４aの筒状部を選んだ場
合、Ｘ線検出器１２からこの筒状部４aを通して試料２
を見ると、筒状部４aの先端が試料２に近接するために
試料２のみを見込むことになる。したがって、試料２以
外の部分から発生する不要な蛍光Ｘ線や散乱Ｘ線は、こ
の絞り４によって遮断され、ノイズ成分が除かれる。し
かも、この筒状部の口径は、試料２の直径と略同一でよ
く、それよりも余分に小さくする必要がないので、試料
２からの蛍光Ｘ線を効率良くＸ線検出器１２に導くこと
ができ、信号成分が大きくなり、結果的にＳ／Ｎ比が改
善される。
には、試料２の直径の大小に応じて視野制限用絞り４を
スライドさせて適切な筒状部を選ぶ。たとえば、図２お
よび図３に示すように、符号４aの筒状部を選んだ場
合、Ｘ線検出器１２からこの筒状部４aを通して試料２
を見ると、筒状部４aの先端が試料２に近接するために
試料２のみを見込むことになる。したがって、試料２以
外の部分から発生する不要な蛍光Ｘ線や散乱Ｘ線は、こ
の絞り４によって遮断され、ノイズ成分が除かれる。し
かも、この筒状部の口径は、試料２の直径と略同一でよ
く、それよりも余分に小さくする必要がないので、試料
２からの蛍光Ｘ線を効率良くＸ線検出器１２に導くこと
ができ、信号成分が大きくなり、結果的にＳ／Ｎ比が改
善される。
【００１７】なお、この実施例では、視野制限用絞り４
の筒状部４a，４b，４cの数は３個としたが、この数に
限定されるものではなく、また、筒状部４a，４b，４c
の形状は本例ではコーン状としているが、直管状のもの
であってもよい。
の筒状部４a，４b，４cの数は３個としたが、この数に
限定されるものではなく、また、筒状部４a，４b，４c
の形状は本例ではコーン状としているが、直管状のもの
であってもよい。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、試料から発生した蛍光
Ｘ線のみを効率良くＸ線検出器に導くことができ、不要
な箇所からの蛍光Ｘ線は十分に遮断できるので、従来よ
りも一層Ｓ／Ｎ比を向上させることができる。
Ｘ線のみを効率良くＸ線検出器に導くことができ、不要
な箇所からの蛍光Ｘ線は十分に遮断できるので、従来よ
りも一層Ｓ／Ｎ比を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例に係る蛍光Ｘ線分析装置の要部
の斜視図である。
の斜視図である。
【図２】本発明の実施例に係る蛍光Ｘ線分析装置の要部
の側面断面図である。
の側面断面図である。
【図３】本発明の蛍光Ｘ線分析装置の平行ビーム光学系
の構成図である。
の構成図である。
【図４】従来の蛍光Ｘ線分析装置の要部の斜視図であ
る。
る。
【図５】従来の蛍光Ｘ線分析装置の平行ビーム光学系の
構成図である。
構成図である。
１…Ｘ線管、２…試料、４…視野制限用絞り、４a，４
b，４c…筒状部、６…一次ソーラスリット、８…平板分
光結晶、１２…Ｘ線検出器。
b，４c…筒状部、６…一次ソーラスリット、８…平板分
光結晶、１２…Ｘ線検出器。
Claims (1)
- 【請求項１】 試料からの蛍光Ｘ線を一次ソーラスリッ
トを通して平行ビームとして取り出す蛍光Ｘ線分析装置
において、 前記一次ソーラスリットと前記試料の間に、前記試料の
形状の大小に応じた口径とこの口径が小さいほど長い長
さを有した複数の筒状部を試料側に突出するよう一枚の
板上に並べて形成した視野制限用絞りを設けることによ
り、前記試料の形状の大小に応じて複数の前記筒状部の
中から一つの筒状部を選択したとき、口径の小さい筒状
部ほど試料に接近するようにしたことを特徴とする蛍光
Ｘ線分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3287702A JP2674675B2 (ja) | 1991-11-01 | 1991-11-01 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3287702A JP2674675B2 (ja) | 1991-11-01 | 1991-11-01 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05126998A JPH05126998A (ja) | 1993-05-25 |
| JP2674675B2 true JP2674675B2 (ja) | 1997-11-12 |
Family
ID=17720637
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3287702A Expired - Fee Related JP2674675B2 (ja) | 1991-11-01 | 1991-11-01 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2674675B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3284198B2 (ja) * | 1998-10-30 | 2002-05-20 | 理学電機工業株式会社 | 蛍光ｘ線分析装置 |
| NL1015740C1 (nl) * | 1999-07-23 | 2000-09-27 | Koninkl Philips Electronics Nv | Stralingsanalysetoestel voorzien van een regelbare collimator. |
| JP2008203245A (ja) * | 2007-01-23 | 2008-09-04 | Sii Nanotechnology Inc | Ｘ線分析装置及びｘ線分析方法 |
| JP5684032B2 (ja) * | 2011-04-08 | 2015-03-11 | 株式会社日立製作所 | 荷電粒子線分析装置および分析方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS537394A (en) * | 1976-07-09 | 1978-01-23 | Nippon X Ray Kk | Xxray fluorescence analyzer |
| JPS604945U (ja) * | 1983-06-11 | 1985-01-14 | 株式会社堀場製作所 | Ｘ線照射領域変更機構 |
-
1991
- 1991-11-01 JP JP3287702A patent/JP2674675B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05126998A (ja) | 1993-05-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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