JPH10300671A - 微粒子計測装置 - Google Patents

微粒子計測装置

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JPH10300671A
JPH10300671A JP9103770A JP10377097A JPH10300671A JP H10300671 A JPH10300671 A JP H10300671A JP 9103770 A JP9103770 A JP 9103770A JP 10377097 A JP10377097 A JP 10377097A JP H10300671 A JPH10300671 A JP H10300671A
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light
fine particles
emission
wavelength
particle measuring
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Application number
JP9103770A
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English (en)
Inventor
Shiro Sawada
嗣郎 澤田
Takehiko Kitamori
武彦 北森
Toshitsugu Ueda
敏嗣 植田
Seiichi Naito
誠一 内藤
Toshio Takahara
寿雄 高原
Yukihiko Takamatsu
幸彦 高松
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Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
    • G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
    • G01N15/0205—Investigating particle size or size distribution by optical means, e.g. by light scattering, diffraction, holography or imaging
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/71—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited

Abstract

(57)【要約】 【課題】 装置の小型化，低価格化をはかった微粒子計
測装置を提供する。 【解決手段】 セル内に微粒子を導入する手段と、セ
ル内の微粒子にレーザ光を照射する手段と、レーザ光の
照射により発光する微粒子の原子発光を伝送する伝送手
段と、伝送手段により伝送された光を分光する分光手段
と、分光された光を受光する光検出器アレイと、を有し
レーザ光を微粒子の発光波長外の波長とするとともに、
前記光伝送手段の前段にレーザ光の波長の侵入を阻止す
るフィルターを設けている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばクリーンル
ーム内に浮遊する微粒子や純水中に含まれる微粒子の元
素分析を行なう微粒子計測装置に関し，装置の小型化，
低価格化をはかった微粒子計測装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】始めに従来から知られているマイクロ波
誘導プラズマを利用した微粒子成分分析装置について図
８を用いて簡単に説明する。図８において５１はディス
パーサであり，この中には測定すべき固体微粒子（図示
せず）が付着したフィルタ５２が配置されている。５３
はアスピレータで，フィルタ５２に付着した固体微粒子
を吸引し反応管５４に供給する。なお，ディスパーサ５
１内は吸引ポンプ（図示せず）により空気が排出された
後，Ｈｅガスが導入されて大気圧より僅かに高い圧力に
維持されている。５５はマイクロ波源，５６はマイクロ
波源５５からのマイクロ波が導入されるキャビティであ
る。
【０００３】５７は反応管５４の他端に設けられた検出
窓，５８は検出窓５７から出射する光を複数台（図では
４台）の分光器（ツェルニターナ形単色計…モノクロメ
ータ）５９に導く４本の光ファイバである。この分光器
５９の出力は信号処理部（ＣＰＵ）６０に入力される。
【０００４】上記の構成において，マイクロ波源５５か
ら周波数が２．４５ＧＨｚのマイクロ波をキャビティ５
６内に導くと，反応管５４内に４０００°Ｋ程度のプラ
ズマが生成される。一方ディスパーサ５１から反応管５
４内に導かれた固体微粒子はプラズマ中で原子化・イオ
ン化され，更に励起されて基底状態に落ちるときに発光
する。この発光スペクトルは反応管５４から軸方向に取
り出され、分光器５９で分光されてＣＰＵ６０で信号処
理され試料中の元素が測定表示される。
【０００５】なお，各分光器５９には選択された波長の
光の強さに応じた電気信号を出力する光電変換器（図示
せず）が備えられている。また，光電変換器の後段には
光電変換器の出力信号を増幅する増幅器（図示せず）を
含んでおり，微粒子の大きさは増幅器の出力信号の大き
さに応じて例えば大，中，小の３種類に分類している。
【０００６】また，フィルタ５２は所定の面積を有する
ものであり，アスピレータ５３はフィルタ上を複数回ス
キャンし各回とも同じ量の微粒子を吸入するように構成
されている。図９は元素の発光波長と発光強度の関係を
示すもので、実用的には５０元素程度が測定対象とな
る。図から分かる様に例えばＭｎは2600オングストロー
ム付近に発光波長があり、Ａｌは3950、Ｆは6900、Ｏは
7800オングストローム付近に発光波長があることが分か
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで，上記従来装
置においては光を測定波長が固定された複数台（４台）
の分光器に導いているため，一回の発光で４種類の成分
しか捕えることができない。微粒子の種類は前記したよ
うに多数の成分を含んでいる可能性があるため分光器の
設定波長を変えながら複数回の測定を行わなければなら
ず，測定に時間がかかるという問題があった。測定時間
を短縮するためには多数の分光器を備えればよいが，装
置の大型化を招くばかりでなく分光器は高価なためコス
ト高となるという問題があった。本発明は上記従来技術
の問題を解決するために成されたもので，測定時間の短
縮化をはかるとともに装置の小型化，低価格化をはかっ
た微粒子成分分析装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、セル内に微粒子を導入する手段と、セル
内の微粒子にレーザ光を照射する手段と、レーザ光の照
射により発光する微粒子の原子発光を伝送する伝送手段
と、伝送手段により伝送された光を分光する分光手段
と、分光された光を受光する光検出器アレイと、からな
り、レーザ光を微粒子の発光波長外の波長とするととも
に、前記光伝送手段の前段にレーザ光の波長を阻止する
フィルターを設けたことを特徴としている。
【０００９】また、微粒子に照射するレーザ光はパルス
光とし、レーザ光の出力密度を、微粒子の原子発光閾値
よりも高く、かつ媒質の原子発光閾値よりも低く設定し
ている。また、セル内に導入する微粒子には予め交流の
予備電界を加えている。光検出器アレイは冷却手段によ
り冷却する。
【００１０】そして、発光のうち、速い時間に生じるプ
ラズマ発光から等価粒子径を測定し、プラズマ発光が減
衰してきて原子発光が見える領域でのスペクトラムから
微粒子の成分を測定する。
【００１１】光検出器アレイの前面に光増幅とシャッタ
からなるマルチチャンネルプレートを設け、シャッタを
プラズマ発光領域と原子発光領域とで区別してオンオフ
し、微弱光を増幅したのち光検出器アレイに導く。
【００１２】光検出素子としては、原子発光部に検出器
をもつ光検出器アレイと他の光検出器を設け、光検出器
アレイでは原子発光を測定して成分を同定し、他の光検
出器ではプラズマ発光を含む全光を測定して等価粒子径
を測定する。
【００１３】本発明はまた、セル内に微粒子を導入する
手段と、セル内の微粒子をマイクロ波プラズマを使用し
て発光させる手段と、発光した微粒子の光を伝送する伝
送手段と、伝送手段により伝送された光を分光する分光
手段と、分光された光を受光する光検出器アレイと、か
らなるものであり、
【００１４】光の伝送手段としての光ファイバとして真
空紫外までが可能なものを使用し、セル内へ導入する微
粒子の数は微粒子濃度制御手段により制御している。ま
た、光検出器アレイとしてフォトダイオードアレイを用
いる場合は各元素のピーク値を推定できる程度に分割
し、また、光検出器アレイ全体にシンチレータ等の波長
変換素子を設置する。また、分光器に導く光を複数個に
分割し、複数の分光器と光検出器アレイで検出する様に
している。
【００１５】
【作用】セル内に導入された微粒子はレーザ光を照射さ
れブレークダウンにより発光する。この光は光伝送手段
により伝送され分光手段により分光される。分光された
光は光検出器アレイで受光され電気信号に変換される。
光検出器アレイを発光スペクトルの波長範囲に配置して
おくことにより、波長と発光強度の関係から微粒子の成
分と大きさ及び数を測定することができる。レーザ光の
波長は発光波長外の波長とし光伝送手段の前段にレーザ
光の波長を阻止するフィルターを設けることにより、レ
ーザ光によるノイズを防止する。
【００１６】パルス化されたレーザ光は出力密度の大き
なものが得やすく、レーザ光のパワーを微粒子のブレー
クダウン閾値よりも高い密度で媒質のブレークダウン閾
値よりも低い密度とすることにより、バックグランドの
ない出力を得ることができる。セル内へ導入する微粒子
の数は微粒子濃度制御手段により制御するので、最適な
測定条件を実現できる。また、必要に応じてセル内に導
入する微粒子に交流電界を加えることにより、レーザ光
のパワーを小さくしてもブレークダウンを生じさせるこ
とができる。
【００１７】発光のうち、早い時間に生じるプラズマ発
光強度の総計から等価粒子径を測定し、プラズマ発光が
減衰して原子発光の領域で微粒子の成分を測定する様に
し、更に光検出器アレイの前面に光増幅とシャッタから
なるマルチチャンネルプレートを設けてプラズマ発光と
原子発光の区別し、微弱光を増幅したのち光検出器アレ
イに導くようにしているので、微粒子の正確な成分同定
と大きさの測定ができる。また、速い段階での発光強度
を積分して等価粒子径を測定し、その後の段階の所定の
波長の光で成分を同定することにより測定精度を向上さ
せることができる。
【００１８】微粒子はプラズマを用いて発光させること
も可能である。そしてレーザ光によるブレークダウン発
光とも共通するが、真空紫外まで使用が可能な光ファイ
バを使用することで大気の吸収を受けずに波長の短い光
の伝送ができる。また、光検出器アレイを各元素のピー
ク値を推定できる程度に分割し、光検出器アレイは冷却
手段で冷却しているので正確で長期間の測定が可能であ
る。また、光検出器アレイの前面に、シンチレータ等の
波長変換素子を設置して波長をシフトさせることにより
Ｓｉ光検出器の波長感度では感度の低い光も検出でき正
確な成分特定ができる。以下、実施例に基づき詳細に説
明する。
【００１９】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施の形態の一
例を示す要部構成説明図である。図において、１は光を
遮断した真空紫外光が減衰しないで伝搬できるキャビテ
ィであり、このキャビティ内には透明部材からなるセル
２が配置されている。３はレーザ生成手段であり、例え
ば光源としてＹＡＧレーザが用いられ、波長約１μｍ，
強度１０〜４００ｍｊ／パルス，パルス幅０．１〜１０
０ｎｓ程度の出力のものを使用する。ここで、レーザの
波長は測定対象となる元素の発光波長が０．１５〜０．
９μｍ程度（図９参照）なので、レーザ光の波長を測定
成分の波長に重畳しないような範囲外の波長の使用が望
ましい。
【００２０】ここで生成されたレーザはミラー４及び非
球面レンズ５を介して直径０．１ｍｍ程度とされ、セル
２の絞り部分を移動する微粒子を照射する。６はセル内
に微粒子を送り込む微粒子導入手段であり、例えば図２
に示す様な多段に接続されたサイクロンを使用する。
【００２１】図２において、一段目のサイクロン２０ａ
の吸入口から例えばクリーンルーム内の微粒子を僅かに
含む空気が吸入される。このサイクロン２０ａに吸入さ
れた空気は図示のように，サイクロン内で円運動をしな
がら下方に移動し，その後サイクロンの上部に吸上げら
れる。
【００２２】そして、サイクロン２０ａ内に吸引された
空気に含まれている微粒子は遠心力によってサイクロン
の内壁に押付けられ，その後鏡面に加工されたサイクロ
ン１の下部へ落下する。落下した微粒子はチューブ２１
ａを介して２段目のサイクロン２０ｂに流入する。
【００２３】このときチューブ２１ａの途中には不活性
ガス（例えばＨｅやＡｒガス）の導入口２２が設けられ
ており、微粒子はこの不活性ガスと共に次段のサイクロ
ン２０ｂに運ばれる。ここで微粒子を搬送する媒体（空
気）は大部分（例えば７０％）がＨｅガスに置換され
る。更に微粒子はサイクロンの下方に落下し次段のサイ
クロン２０ｃに搬送される。
【００２４】そして、これらサイクロン２０ａ，２０ｂ
を繋ぐチューブの途中にもＨｅを導入する導入口２１ｂ
が設けられており、このＨｅにより空気は更に置換され
て空気とＨｅの比率が例えば空気１に対しＨｅ９９％と
なる。この様にサイクロンを複数段として微粒子を搬送
する間に媒体の置換をすることができる。なお、第１段
の空気の吸引量を調整することにより、媒体中に含まれ
る微粒子の濃度を調整することができる。
【００２５】図１に戻り、７は一端がキャビティ２内に
配置され、他端がスペクトラム検出手段８に接続された
バンドル光ファイバである。７ａはフィルタでレーザ光
の侵入を阻止し微粒子の発光波長のみを透過する。ここ
で、本発明で使用する光ファイバについて図３を用いて
簡単に説明する。図３は光ファイバで伝送される光の波
長と吸収係数の関係を示すもので、曲線Ａは一般に市販
されている石英光ファイバの吸収特性を示し比較的良好
な特性を有している。しかし、この様な良好なものでも
１．６μｍ以下の波長で発光する元素の場合は光の伝送
が困難である。従って成分の特定が難しい。
【００２６】短波長の光の吸収防止策としては、ガラス
の純度を上げ、ＳｉとＯの間のダングリングポンドをフ
ッ素でターミネイトすることにより解決可能である。本
発明では上記の対策を施した図３Ｂで示す程度の特性の
光ファイバを使用する。この様な光ファイバは真空紫外
までの光の伝送が可能である。なお、真空キャビティ２
内に位置する光ファイバの先端には光ファイバ１本毎に
集光レンズが形成されて、端部が漏斗状となっており、
発光した光を広い範囲に渡って集光する。
【００２７】図４は微粒子に交流電界（マイクロ波）を
印加するための一例を示す図である。図において、２は
微粒子を含むヘリウムやアルゴン等のガスが流れるセ
ル。１ａはキャビティであり、このキャビティ内には例
えば２．４５ＧＨｚのマイクロ波が注入される。キャビ
ティはマイクロ波の空洞共鳴器となっており中央にセル
１ａを通す孔が開けられている。そして、マイクロ波注
入によりキャビティ内で共鳴し、エネルギーが中央部に
集められる様になっている。この交流電界印加により微
粒子のブレイクダウンが促進されるのでレーザの出力パ
ワーを少なくすることができる。図１に戻り、光ファイ
バで集光された光は真空状態とされたスペクトラム検出
手段８内に導かれる。
【００２８】この検出手段８内には光ファイバ７からの
出射光を受光してスペクトル線とする回折格子９が配置
されており、この回折格子９で分光されたスペクトル線
は光検出器アレー（例えばフォトダイオードアレイ）１
０を照射する。この光検出器アレー１０は例えばペルチ
ェ素子や液体窒素等を用いた冷却器１１により冷却され
ている。この冷却器１１は光検出器の暗電流を少なく
し、ノイズレベルを低くするように機能する。
【００２９】図５（ａ），（ｂ）は市販のイメージイン
テシファイア（以下単にI.Iという）で（ａ）図は斜視
図（ｂ）図は要部分解断面図である。このI.Iは前面に
シャッタ３０、その後段に窓３１、ＭＣＰ（マルチチャ
ンネルプレート）３２、シンチレータ３３、光ファイバ
３４から構成されており、光の増幅機能を有している。
この様なI.Iを必要に応じて、図１に示す光検出器１０
の前面に配置することにより微弱光を増幅し、より高精
度な発光を検出することが可能である。
【００３０】このI.Iのシャッターはレーザのパルスに
同期してオンオフするものであり、プラズマ発光領域の
強度や原子発光領域の波長（λ）の同定や強度を区別し
て測定する手段として機能する。
【００３１】上記の構成において、レーザ光を微粒子が
発光するブレークダウン閾値以上で、媒質（実施例では
Ｈｅ）のブレークダウン閾値以下のパワーに印加し、セ
ルの絞り部分に照射する（微粒子は高密度の光の中に置
かれると、ピコ秒からナノ秒で加熱されて白色発光す
る。その後粒子は個々の原子単位にまで分解し、励起状
態におかれ、１０ナノ秒程度の間に蛍光発光する。この
光はレーザブレークダウンと呼ばれる）。ブレークダウ
ンによる発光の場合、発光の様子は図６に示す様なもの
となる。
【００３２】図６においてＡで示す部分はプラズマ発光
による白色光、Ｂで示す部分は元素の種類による発光で
ある。図中Tdは遅れ時間、Tgは発光元素特有の波長の発
光強度を示しプラズマ発光の0.1〜0.5μｓ後に現れ、時
間の経過と共に減衰する。この様な光が図１に示す光フ
ァイバにより集光され、回折格子９で分光されて光検出
器アレイ１０を照射する。なお、図では省略するが光検
出器アレイの後段には信号処理装置が接続され、アレイ
を構成する各素子毎の電気信号の処理を行う。そして、
白色光の強さに起因する信号から素子の大きさを演算
し、所定時間（Td）遅れて発生する波長（λ）の電気信
号から成分を特定する。
【００３３】本発明で使用する光検出器アレーは図７に
示すように一つの元素が発光する波長に対して少なくと
も３個の光検出器が配置されており、この３個の光検出
器の出力から発光のピークを求め元素の成分を特定す
る。図７において、イ，ロ，ハで示すものは光検出器ア
レーを構成する例えばフォトダイオードアレイであり、
これらのダイオードの出力レベルがＡ，Ｂ，Ｃである場
合この元素の発光ピークはＢであると特定し、ここでの
波長から元素の成分を同定する。なお、光検出器の表面
にシンチレータ等の波長変換素子を設ける（蛍光体を塗
布する）ことにより発光波長を全体として感度の良好な
側へシフトさせることができ、Ｓｉを用いた光検出器で
は低い感度しか得られない0.2μｍより短い波長も検出
が容易になる。
【００３４】各元素は大きさが同じであっても発光強度
は異なるので、等価粒径を測定するにあたっては、予め
既知の粒径の各元素（例えば５０種類）をレーザブレー
クダウンにより発光させ、元素の大きさと出力信号の関
係を求めておくものとする。さらに、等価粒径の測定に
あたっては複数個の微粒子を測定しその平均値をもとに
等価粒径を推定する。なお、本実施の形態においては、
微粒子を運ぶ媒体をＨｅとして説明したが、媒体は気体
に限らず液体（例えば水）であってもよい。
【００３５】また、微粒子を発光させる手段としてはマ
イクロ波プラズマを使用して発光させてもよい。この場
合は、図１に示す真空キャビティ１が図７に示すマイク
ロ波源５５と反応管５４およびキャビィ５６になる。な
お、図９に示すように原子と発光波長の関係はＡで示す
領域のように原子の発光波長が密な部分とＢで示す範囲
のように疎な部分がある。この様な場合、光検出器アレ
ー全体を密な部分に合わせて細かく分割するのはコスト
上不利である。
【００３６】そこで、本発明ではスペクトラム検出手段
８の中の回折格子９，光検出器アレー１０等を複数セッ
ト設け、これらに導く光を光ファイバで複数に分割しす
る。そして、前述のＡで示す範囲とＢで示す範囲を区分
して測定する様に構成する。この様にすれば、少なくと
もＢの領域を測定する光検出器アレーの密度は疎に製作
可能である。
【００３７】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、セル内に微粒子を導入する手段、セル内の微粒子
にパルスレーザ光を照射する手段、レーザ光の照射によ
り発光する微粒子の原子発光を伝送する伝送手段、伝送
手段により伝送された光を分光する分光手段、分光され
た光を受光する光検出器アレイを有し、レーザ光を微粒
子の発光波長外の波長とするとともに、前記光伝送手段
の前段にレーザ光の波長の侵入を阻止するフィルターを
設けている。その結果、ノイズとなるレーザ光の影響を
受けることなくプラズマ発光の強さから元素粒子の大き
さを知ることができ、原子発光のスペクトラムから元素
成分を同定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の一例を示す要部構成説明
図である。
【図２】微粒子の濃度制御手段と媒体置換機構を示す断
面図である。
【図３】本発明で使用する光ファイバの発光波長と発光
強度の関係を示す図である。
【図４】微粒子に電界を印加する手段を示す説明図であ
る。
【図５】光増幅手段を示す概略図である。
【図６】ブレークダウンによる発光の様子を示す図であ
る。
【図７】本発明で使用する光検出器アレイの一例を示す
図である。
【図８】従来例の構成説明図である。
【図９】各元素の発光強度と波長の関係を示す図であ
る。
【符号の説明】
１ キャビティ ２ セル ３ レーザ出射装置 ４ ミラー ５ 非球面レンズ ６ 微粒子濃縮手段 ７ａ フィルタ ７ 紫外光ファイバ ８ スペクトラム検出装置 ９ 回折格子 １０ 光検出器アレー １１ 冷却器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 内藤 誠一 東京都武蔵野市中町２丁目９番32号 横河 電機株式会社内 (72)発明者 高原 寿雄 東京都武蔵野市中町２丁目９番32号 横河 電機株式会社内 (72)発明者 高松 幸彦 東京都武蔵野市中町２丁目９番32号 横河 電機株式会社内

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】セル内に微粒子を導入する手段と、 セル内の微粒子にレーザ光を照射する手段と、 レーザ光の照射により発光する微粒子の光を伝送する伝
    送手段と、 伝送手段により伝送された光を分光する分光手段と、 分光された光を受光する光検出器アレイと、からなり、
    前記レーザ光を微粒子の発光波長外の波長とするととも
    に、前記光伝送手段の前段にレーザ光の波長の侵入を阻
    止するフィルターを設けたことを特徴とする微粒子計測
    装置。
  2. 【請求項２】セル内に導入する微粒子に予め交流電界を
    加える手段を設けたことを特徴とする請求項１記載の微
    粒子計測装置。
  3. 【請求項３】セル内に微粒子を導入する手段と、 セル内の微粒子をマイクロ波プラズマを使用して発光さ
    せる手段と、 発光した微粒子の光を伝送する伝送手段と、 伝送手段により伝送された光を分光する分光手段と、 分光された光を受光する光検出器アレイと、からなるこ
    とを特徴とする微粒子計測装置。
  4. 【請求項４】レーザ光はパルス光であることを特徴とす
    る請求項１又は２記載の微粒子計測装置。
  5. 【請求項５】微粒子に照射する光の出力密度を、微粒子
    の発光閾値よりも高く、かつ媒質の発光閾値よりも低く
    設定したことを特徴とする請求項１又は２記載の微粒子
    計測装置。
  6. 【請求項６】微粒子の原子発光のスペクトルから成分を
    特定し、複数個の原子発光強度の総計から等価粒子径を
    測定する様にしたことを特徴とする請求項１又は３記載
    の微粒子計測装置。
  7. 【請求項７】速い時間に生じるプラズマ発光から等価粒
    子径を測定し、プラズマ発光の減衰後原子発光が見える
    領域で微粒子の成分を測定する様にしたことを特徴とす
    る請求項１又は２記載の微粒子計測装置。
  8. 【請求項８】光検出器アレイの前面にシャッタと光増幅
    手段からなるマルチチャンネルプレートを設け、プラズ
    マ発光と原子発光の区別をすると同時に微弱光を増幅し
    たのち光検出器アレイに導くようにしたことを特徴とす
    る請求項１又は２記載の微粒子計測装置。
  9. 【請求項９】光検出器アレイの原子発光を検出する0.2
    μｍより短い波長領域のフォトダィオードの前面に、シ
    ンチレータ等の波長変換素子を設置したことを特徴とす
    る請求項１又は請求項２又は３記載の微粒子計測装置。
  10. 【請求項１０】速い段階での発光強度を波長で積分して
    等価粒子径を測定し、その後の段階の所定の波長の光で
    成分を同定するようにしたことを特徴とする請求項１記
    載の微粒子計測装置。
  11. 【請求項１１】真空紫外の波長まで光の伝送が可能な光
    ファイバを使用したことを特徴とする請求項１又は請求
    項３記載の微粒子計測装置。
  12. 【請求項１２】セル内へ導入する微粒子の数は微粒子濃
    度制御手段により制御することを特徴とする請求項１又
    は２又は３記載の微粒子計測装置。
  13. 【請求項１３】光検出器アレイは各元素のピーク値を推
    定できる程度に分割されたことを特徴とする請求項１又
    は２又は３記載の微粒子計測装置。
  14. 【請求項１４】光検出器アレイを冷却する冷却手段を設
    けたことを特徴とする請求項１又は２又は３記載の微粒
    子計測装置。
  15. 【請求項１５】分光器に導く光を光伝送手段で複数個に
    分割し、複数の分光器と光検出器アレイで検出する様に
    したことを特徴とする請求項１又２又は３記載の微粒子
    計測装置。
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