JPH05172638A - 分光分析装置に用いられ得るフォトアレイセンサおよびイメージインテンシファイア - Google Patents
分光分析装置に用いられ得るフォトアレイセンサおよびイメージインテンシファイアInfo
- Publication number
- JPH05172638A JPH05172638A JP33875291A JP33875291A JPH05172638A JP H05172638 A JPH05172638 A JP H05172638A JP 33875291 A JP33875291 A JP 33875291A JP 33875291 A JP33875291 A JP 33875291A JP H05172638 A JPH05172638 A JP H05172638A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- intensity
- light
- electric field
- power supply
- array sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 種々の光スペクトルの強度に最適な感度調整
を行ない得る分光分析装置を提供することを目的とす
る。 【構成】 分光分析装置は、光スペクトルの強度を電気
的信号に変換する複数の光素子とそれらの光素子の増幅
率を個別的に設定するための複数の増幅電源回路を含む
フォトアレイセンサを備える。分光分析装置は、さら
に、複数のエネルギ増倍孔のそれぞれのために個別的に
設けられた複数の電界電極を含むマイクロチャンネルプ
レートとそれらの電界電極に個別的な電界電圧を印加す
るための複数の電界電源回路を含むイメージインテンシ
ファイアをも備え得る。
を行ない得る分光分析装置を提供することを目的とす
る。 【構成】 分光分析装置は、光スペクトルの強度を電気
的信号に変換する複数の光素子とそれらの光素子の増幅
率を個別的に設定するための複数の増幅電源回路を含む
フォトアレイセンサを備える。分光分析装置は、さら
に、複数のエネルギ増倍孔のそれぞれのために個別的に
設けられた複数の電界電極を含むマイクロチャンネルプ
レートとそれらの電界電極に個別的な電界電圧を印加す
るための複数の電界電源回路を含むイメージインテンシ
ファイアをも備え得る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は分光分析装置に関し、
特に、微粒子測定装置において好ましく用いられ得る分
光分析装置の改善に関するものである。
特に、微粒子測定装置において好ましく用いられ得る分
光分析装置の改善に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は、特開平２−１９０７４４に開示
されている成分同定のできる微粒子測定装置を示すブロ
ック図である。この微粒子測定装置において、存在する
微粒子の種類と数が測定されるべき被測定空間１から採
取されたサンプルガスＳＧは、キャピラリチューブ２を
通って反応管５に送られる。反応管５内において、サン
プルガスＳＧは、キャリアガス導入管５ａを介して導入
されたＨｅやＡｒのキャリアガスＣＡと混合される。こ
の混合ガスにはマイクロ波（ＲＦ）電源３からのマイク
ロ波パワーがマイクロ波キャビティ４を介して印加さ
れ、反応管５内に混合ガスのプラズマが発生させられ
る。このとき、サンプルガスＳＧ中に含まれていた微粒
子は、プラズマによって分解されてガス化される。した
がって、反応管５内において、サンプルガスＳＧとキャ
リアガスＣＧとガス化した微粒子とに起因するプラズマ
発光が生じる。その後、これらのガスは排気管５ｂおよ
び排気ポンプ６を介して反応管５の外に排気される。
されている成分同定のできる微粒子測定装置を示すブロ
ック図である。この微粒子測定装置において、存在する
微粒子の種類と数が測定されるべき被測定空間１から採
取されたサンプルガスＳＧは、キャピラリチューブ２を
通って反応管５に送られる。反応管５内において、サン
プルガスＳＧは、キャリアガス導入管５ａを介して導入
されたＨｅやＡｒのキャリアガスＣＡと混合される。こ
の混合ガスにはマイクロ波（ＲＦ）電源３からのマイク
ロ波パワーがマイクロ波キャビティ４を介して印加さ
れ、反応管５内に混合ガスのプラズマが発生させられ
る。このとき、サンプルガスＳＧ中に含まれていた微粒
子は、プラズマによって分解されてガス化される。した
がって、反応管５内において、サンプルガスＳＧとキャ
リアガスＣＧとガス化した微粒子とに起因するプラズマ
発光が生じる。その後、これらのガスは排気管５ｂおよ
び排気ポンプ６を介して反応管５の外に排気される。
【０００３】反応管５内で発生したプラズマ光は、分光
ユニット７によって分光される。分光された光の内、ガ
ス化した微粒子の成分元素に起因する発光スペクトルの
波長域のみが選択されて、光電変換器８によって電気的
な光強度信号に変換される。光強度信号は、信号処理装
置９内の増幅器（アンプ）９ａによって増幅され、アナ
ログ／ディジタル（Ａ／Ｄ）変換器９ｂによってディジ
タル光強度信号に変換される。そして、このディジタル
光強度信号が中央処理装置（ＣＰＵ）９ｃによって処理
されて、サンプルガスＳＧ中の微粒子の数と成分元素が
判定される。
ユニット７によって分光される。分光された光の内、ガ
ス化した微粒子の成分元素に起因する発光スペクトルの
波長域のみが選択されて、光電変換器８によって電気的
な光強度信号に変換される。光強度信号は、信号処理装
置９内の増幅器（アンプ）９ａによって増幅され、アナ
ログ／ディジタル（Ａ／Ｄ）変換器９ｂによってディジ
タル光強度信号に変換される。そして、このディジタル
光強度信号が中央処理装置（ＣＰＵ）９ｃによって処理
されて、サンプルガスＳＧ中の微粒子の数と成分元素が
判定される。
【０００４】このとき、サンプルガスＳＧは排気ポンプ
６によって被測定空間１から反応管５内へ連続的に吸引
されかつそこから排気されるので、サンプルガスＳＧ内
に含まれる微粒子の成分元素に起因する発光スペクトル
の強度変化は、時間の経過に対してパルス状になる。
６によって被測定空間１から反応管５内へ連続的に吸引
されかつそこから排気されるので、サンプルガスＳＧ内
に含まれる微粒子の成分元素に起因する発光スペクトル
の強度変化は、時間の経過に対してパルス状になる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図４に示されているよ
うな微粒子測定装置においては、１つの成分元素に起因
する発光スペクトルのパルス状のピークの個数を時間の
経過に伴って数えることによって微粒子の数が測定され
る。しかし、ある微粒子が選択された波長域と一致する
発光スペクトルのピークを生じる成分元素を含んでいな
い場合、その微粒子は検出され得ない。このような微粒
子の数え落としを極力少なくするために、発光スペクト
ルのピーク数の時間的変化は、複数の波長域について同
時に並行して測定される。
うな微粒子測定装置においては、１つの成分元素に起因
する発光スペクトルのパルス状のピークの個数を時間の
経過に伴って数えることによって微粒子の数が測定され
る。しかし、ある微粒子が選択された波長域と一致する
発光スペクトルのピークを生じる成分元素を含んでいな
い場合、その微粒子は検出され得ない。このような微粒
子の数え落としを極力少なくするために、発光スペクト
ルのピーク数の時間的変化は、複数の波長域について同
時に並行して測定される。
【０００６】図５は、図４の微粒子測定装置中の分光ユ
ニット７および光電変換器８として用いられ得る先行技
術による分光分析装置が示されている。この分光分析装
置において、光導入口１７から導入された光は、レンズ
１８によって集光されかつスリット１９によって所定の
幅に絞られた後に、集光ミラー２０によって平行な光に
整形される。整形された平行光は平面ミラー２１で反射
され、回折格子２２によって波長分光される。分光され
た光は、結像ミラー２３によって、フォトアレイセンサ
２５の受光面２４上に結像される。結像された分光波長
帯は、フォトアレイセンサ２５の複数の光素子によって
分割されて受光される。このとき、たとえば６００ｎｍ
の分光波長帯を１０２４個の光素子で分割した場合、１
つの光素子で約０．６ｎｍの波長範囲の光スペクトルを
検知することになる。
ニット７および光電変換器８として用いられ得る先行技
術による分光分析装置が示されている。この分光分析装
置において、光導入口１７から導入された光は、レンズ
１８によって集光されかつスリット１９によって所定の
幅に絞られた後に、集光ミラー２０によって平行な光に
整形される。整形された平行光は平面ミラー２１で反射
され、回折格子２２によって波長分光される。分光され
た光は、結像ミラー２３によって、フォトアレイセンサ
２５の受光面２４上に結像される。結像された分光波長
帯は、フォトアレイセンサ２５の複数の光素子によって
分割されて受光される。このとき、たとえば６００ｎｍ
の分光波長帯を１０２４個の光素子で分割した場合、１
つの光素子で約０．６ｎｍの波長範囲の光スペクトルを
検知することになる。
【０００７】図６は、このような複数の光素子を含むフ
ォトアレイセンサ２５の外観の１例を示す正面図であ
る。この図において、ハッチングが施された領域が受光
領域を表わしている。
ォトアレイセンサ２５の外観の１例を示す正面図であ
る。この図において、ハッチングが施された領域が受光
領域を表わしている。
【０００８】図７（Ａ）は、図６のようなフォトアレイ
センサ２５の内容を示す回路図である。図７（Ａ）のフ
ォトアレイセンサ２５において、フォトダイオードを含
む光素子２５ａが受けた光の強度および増幅端子２５ｂ
に印加されている電圧に対応して、光素子２５ａの内部
に電荷が蓄積される。他方、ディジタルシフトレジスタ
で構成し得る光素子出力選択回路２５ｃは、スイッチン
グトランジスタ２５ｄを介して、複数の光素子２５ａを
順次選択する。その結果、選択された光素子２５ａに蓄
積された電荷は出力端子２５ｅに通され、出力端子２５
ｅにはその電荷量に対応した電圧が発生する。こうし
て、受光された光スペクトルの強度が電気的な光強度信
号に変換される。ただし、光素子２５ａに蓄積され得る
電荷量には限度があるので、光スペクトルの強度に対応
した電圧を出力端子２５ｅに発生させるためには、光素
子２５ａ内の電荷が飽和する前にその電荷を出力端子２
５ｅに通してやらなければならない。
センサ２５の内容を示す回路図である。図７（Ａ）のフ
ォトアレイセンサ２５において、フォトダイオードを含
む光素子２５ａが受けた光の強度および増幅端子２５ｂ
に印加されている電圧に対応して、光素子２５ａの内部
に電荷が蓄積される。他方、ディジタルシフトレジスタ
で構成し得る光素子出力選択回路２５ｃは、スイッチン
グトランジスタ２５ｄを介して、複数の光素子２５ａを
順次選択する。その結果、選択された光素子２５ａに蓄
積された電荷は出力端子２５ｅに通され、出力端子２５
ｅにはその電荷量に対応した電圧が発生する。こうし
て、受光された光スペクトルの強度が電気的な光強度信
号に変換される。ただし、光素子２５ａに蓄積され得る
電荷量には限度があるので、光スペクトルの強度に対応
した電圧を出力端子２５ｅに発生させるためには、光素
子２５ａ内の電荷が飽和する前にその電荷を出力端子２
５ｅに通してやらなければならない。
【０００９】ところで、図４中の反応管５内で生じるプ
ラズマ発光は、微粒子に起因する光スペクトル以外にサ
ンプリングガスＳＧやキャリアガスＣＧに起因する高い
強度の発光スペクトルをも含んでいる。しかし、図７
（Ａ）のフォトアレイセンサ２５中の複数の光素子２５
ａには、増幅端子２５ｂから同一の増幅電圧が印加され
ている。すなわち、複数の光素子２５ａのそれぞれにお
いて、受光する光スペクトルの強度に適した増幅電圧を
個別的かつ独立的に設定することができず、すべての光
素子２５ａが同一の増幅感度に設定される。
ラズマ発光は、微粒子に起因する光スペクトル以外にサ
ンプリングガスＳＧやキャリアガスＣＧに起因する高い
強度の発光スペクトルをも含んでいる。しかし、図７
（Ａ）のフォトアレイセンサ２５中の複数の光素子２５
ａには、増幅端子２５ｂから同一の増幅電圧が印加され
ている。すなわち、複数の光素子２５ａのそれぞれにお
いて、受光する光スペクトルの強度に適した増幅電圧を
個別的かつ独立的に設定することができず、すべての光
素子２５ａが同一の増幅感度に設定される。
【００１０】このような状況において、図７（Ｂ）に示
されているような光スペクトル強度分布を有する光が図
７（Ａ）のフォトアレイセンサ２５に受光される場合を
考える。図７（Ｂ）の横軸は光スペクトルの波長λを表
わし、縦軸は光エネルギＥO を表わしている。また、図
７（Ｃ）に示されたフォトアレイセンサ２５上には、複
数の光素子が双方向水平矢印に沿って並べられて配置さ
れている。そして、それらの光素子のすべてが図７
（Ｂ）中の２本の破線で挟まれた検出範囲を有するよう
に設定されている。
されているような光スペクトル強度分布を有する光が図
７（Ａ）のフォトアレイセンサ２５に受光される場合を
考える。図７（Ｂ）の横軸は光スペクトルの波長λを表
わし、縦軸は光エネルギＥO を表わしている。また、図
７（Ｃ）に示されたフォトアレイセンサ２５上には、複
数の光素子が双方向水平矢印に沿って並べられて配置さ
れている。そして、それらの光素子のすべてが図７
（Ｂ）中の２本の破線で挟まれた検出範囲を有するよう
に設定されている。
【００１１】したがって、入射する光スペクトルの強度
範囲がフォトアレイセンサ２５の検出範囲を越えている
場合、フォトアレイセンサ２５から出力される電気的光
強度信号は、図７（Ｄ）に示されているように、図７
（Ｂ）の検出範囲に対応して２本の破線に挟まれた出力
範囲でスライスされたものになる。ただし、図７（Ｄ）
中の縦軸は光強度信号の電気エネルギＥe を表わしてい
る。
範囲がフォトアレイセンサ２５の検出範囲を越えている
場合、フォトアレイセンサ２５から出力される電気的光
強度信号は、図７（Ｄ）に示されているように、図７
（Ｂ）の検出範囲に対応して２本の破線に挟まれた出力
範囲でスライスされたものになる。ただし、図７（Ｄ）
中の縦軸は光強度信号の電気エネルギＥe を表わしてい
る。
【００１２】この場合、光スペクトルの高い強度範囲を
も検出範囲内に収めるためにはフォトアレイセンサ２５
の増幅率を下げればよいが、その場合には、低い強度の
光スペクトルの検出が不能になったり、正確な検出が困
難になったりする。
も検出範囲内に収めるためにはフォトアレイセンサ２５
の増幅率を下げればよいが、その場合には、低い強度の
光スペクトルの検出が不能になったり、正確な検出が困
難になったりする。
【００１３】したがって、図７（Ａ）のようなフォトア
レイセンサを含む分光分析装置ではサンプルガスＳＧや
キャリアガスＣＧに起因する発光スペクトルの高い強度
のために、微粒子の成分元素に起因する発光スペクトル
の測定感度の向上に制限を受け、光感度の微粒子測定が
困難であるという課題がある。
レイセンサを含む分光分析装置ではサンプルガスＳＧや
キャリアガスＣＧに起因する発光スペクトルの高い強度
のために、微粒子の成分元素に起因する発光スペクトル
の測定感度の向上に制限を受け、光感度の微粒子測定が
困難であるという課題がある。
【００１４】ところで、分光分析装置の感度を向上させ
るために、フォトアレイセンサの前段にイメージインテ
ンシファイアが配置されることがある。
るために、フォトアレイセンサの前段にイメージインテ
ンシファイアが配置されることがある。
【００１５】図８を参照して、従来のイメージインテン
シファイアの構造と機能が図解されている。図８（Ａ）
に示されているような光スペクトル強度ＥO1の分布を有
する光が図８（Ｂ）に示されたイメージインテンシファ
イアに入射光２７として入射するとき、容器２６ｄに保
持された光電体２６ａは、入射光スペクトル強度に応じ
て電子２８を発生する。この電子２８は、図８（Ｄ）に
拡大して示されているマイクロチャネルプレート２６ｂ
の上面上の基準電極２６ｇによる電界によって、マイク
ロチャネルプレート２６ｂ内に引込まれ、さらに、下面
上の電界電極２６ｆによる強い電荷によってエネルギ増
倍されながら増倍孔２６ｅを通過する。エネルギ増倍さ
れた電子２８ａは蛍光体２６ｃに照射され、蛍光体２６
ｃからは電子２８ａのエネルギに応じた強度ＥO2を持つ
増倍光２９が射出される。
シファイアの構造と機能が図解されている。図８（Ａ）
に示されているような光スペクトル強度ＥO1の分布を有
する光が図８（Ｂ）に示されたイメージインテンシファ
イアに入射光２７として入射するとき、容器２６ｄに保
持された光電体２６ａは、入射光スペクトル強度に応じ
て電子２８を発生する。この電子２８は、図８（Ｄ）に
拡大して示されているマイクロチャネルプレート２６ｂ
の上面上の基準電極２６ｇによる電界によって、マイク
ロチャネルプレート２６ｂ内に引込まれ、さらに、下面
上の電界電極２６ｆによる強い電荷によってエネルギ増
倍されながら増倍孔２６ｅを通過する。エネルギ増倍さ
れた電子２８ａは蛍光体２６ｃに照射され、蛍光体２６
ｃからは電子２８ａのエネルギに応じた強度ＥO2を持つ
増倍光２９が射出される。
【００１６】ここで、マイクロチャネルプレート２６ｂ
は増倍孔２６ｅを複数個有しており、増倍孔２６ｅのそ
れぞれの内径は数μｍ程度である。また、電子２８は電
界によって光電体２６ａから蛍光体２６ｃに向かってほ
ぼ直進するので、光電体２６ａが図５中の受光位置２４
に配置されれば、分光波長体のイメージとほぼ同じ状態
のエネルギ増倍された分光波長帯イメージが蛍光体２６
ｃから得られる。しかし、入射光スペクトルの強度があ
る値以上になれば、光電体２６ａから発生される電子２
８が飽和してしまう。また、図８（Ｄ）からわかるよう
に複数の増倍孔２６ｅのための電界電極２６ｆは連続し
ていて同一の電圧が印加されているので、光スペクトル
の如何にかかわらず、すべての増倍孔２６ｅが同一の増
倍率を有している。そして、エネルギ増倍された電子２
８ａのエネルギがある値以上になっても、蛍光体２６ｃ
から射出される光２９の強度が飽和する。
は増倍孔２６ｅを複数個有しており、増倍孔２６ｅのそ
れぞれの内径は数μｍ程度である。また、電子２８は電
界によって光電体２６ａから蛍光体２６ｃに向かってほ
ぼ直進するので、光電体２６ａが図５中の受光位置２４
に配置されれば、分光波長体のイメージとほぼ同じ状態
のエネルギ増倍された分光波長帯イメージが蛍光体２６
ｃから得られる。しかし、入射光スペクトルの強度があ
る値以上になれば、光電体２６ａから発生される電子２
８が飽和してしまう。また、図８（Ｄ）からわかるよう
に複数の増倍孔２６ｅのための電界電極２６ｆは連続し
ていて同一の電圧が印加されているので、光スペクトル
の如何にかかわらず、すべての増倍孔２６ｅが同一の増
倍率を有している。そして、エネルギ増倍された電子２
８ａのエネルギがある値以上になっても、蛍光体２６ｃ
から射出される光２９の強度が飽和する。
【００１７】したがって、図８（Ａ）において２本の破
線で示された光増幅範囲内に治まらない光強度は、図８
（Ｃ）において２本の破線で示された光出力範囲でスラ
イスされた状態に増幅されて出力されることになる。す
なわち、一定範囲に含まれない過大または過少の強度を
有する光スペクトルは、従来のイメージインテンシファ
イアによって正しく比例増幅されないという課題があ
る。
線で示された光増幅範囲内に治まらない光強度は、図８
（Ｃ）において２本の破線で示された光出力範囲でスラ
イスされた状態に増幅されて出力されることになる。す
なわち、一定範囲に含まれない過大または過少の強度を
有する光スペクトルは、従来のイメージインテンシファ
イアによって正しく比例増幅されないという課題があ
る。
【００１８】以上のような先行技術における課題に鑑
み、本発明は、微粒子計測装置において好ましく用いら
れ得る分光分析装置であって、それぞれの光スペクトル
の強度に最適な感度調整を行ない得る分光分析装置を提
供することを目的としている。
み、本発明は、微粒子計測装置において好ましく用いら
れ得る分光分析装置であって、それぞれの光スペクトル
の強度に最適な感度調整を行ない得る分光分析装置を提
供することを目的としている。
【００１９】
【課題を解決するための手段】本発明の１つの態様によ
れば、分光分析装置において用いられ得るフォトアレイ
センサは、分光された光スペクトルの強度を電気的な光
強度信号に変換する複数の光素子と、それら複数の光素
子の光電変換におけるそれぞれの増幅率を個別的に設定
するための複数の増幅電源回路と、複数の光素子のそれ
ぞれを個別的に複数の増幅電源回路の任意の１つに接続
し得る増幅電源接続回路とを備えている。 本発明のも
う１つの態様によれば、分光分析装置において用いられ
得るイメージインテンシファイアは、分光された光スペ
クトルの強度に応じて電子を発生する光電体と、それら
の電子のエネルギを増倍させる複数のエネルギ増倍孔お
よび複数のエネルギ増倍孔のそれぞれのために個別的に
設けられた複数の電界電極を含むマイクロチャンネルプ
レートと、複数のエネルギ増倍孔のそれぞれの増倍率を
個別的に設定するための複数の電界電源回路と、複数の
電界電極のそれぞれを個別的に複数の電界電源回路の任
意の１つに接続し得る電界電源接続回路を備えている。
れば、分光分析装置において用いられ得るフォトアレイ
センサは、分光された光スペクトルの強度を電気的な光
強度信号に変換する複数の光素子と、それら複数の光素
子の光電変換におけるそれぞれの増幅率を個別的に設定
するための複数の増幅電源回路と、複数の光素子のそれ
ぞれを個別的に複数の増幅電源回路の任意の１つに接続
し得る増幅電源接続回路とを備えている。 本発明のも
う１つの態様によれば、分光分析装置において用いられ
得るイメージインテンシファイアは、分光された光スペ
クトルの強度に応じて電子を発生する光電体と、それら
の電子のエネルギを増倍させる複数のエネルギ増倍孔お
よび複数のエネルギ増倍孔のそれぞれのために個別的に
設けられた複数の電界電極を含むマイクロチャンネルプ
レートと、複数のエネルギ増倍孔のそれぞれの増倍率を
個別的に設定するための複数の電界電源回路と、複数の
電界電極のそれぞれを個別的に複数の電界電源回路の任
意の１つに接続し得る電界電源接続回路を備えている。
【００２０】
【作用】本発明の１つの態様による分光分析装置におい
て用いられ得るフォトアレイセンサにおいては、分光さ
れた光スペクトルの強度を電気的な光強度信号に変換す
る複数の光素子が増幅電源接続回路によって複数の増幅
電源回路の任意の１つへ個別的に接続され得るので、そ
れら複数の光素子の光電変換におけるそれぞれの増幅率
が個別的に設定され得る。したがって、そのようなフォ
トアレイセンサを用いた分光分析装置においては、それ
ぞれの光スペクトルの強度に最適な感度調整を行なうこ
とができ、その結果として種々の光スペクトルに関して
高感度の分光分析が可能となる。
て用いられ得るフォトアレイセンサにおいては、分光さ
れた光スペクトルの強度を電気的な光強度信号に変換す
る複数の光素子が増幅電源接続回路によって複数の増幅
電源回路の任意の１つへ個別的に接続され得るので、そ
れら複数の光素子の光電変換におけるそれぞれの増幅率
が個別的に設定され得る。したがって、そのようなフォ
トアレイセンサを用いた分光分析装置においては、それ
ぞれの光スペクトルの強度に最適な感度調整を行なうこ
とができ、その結果として種々の光スペクトルに関して
高感度の分光分析が可能となる。
【００２１】本発明のもう１つの態様による分光分析装
置において用いられるイメージインテンシファイアにお
いては、複数の電界電極が電界電源接続回路によって複
数の電界電源回路の任意の１つへ個別的に接続されるの
で、複数のエネルギ増倍孔のそれぞれの増倍率が個別的
に設定され得る。したがって、そのようなイメージイン
テンシファイアを用いた分光分析装置においては、それ
ぞれの光スペクトルの強度に最適な感度調整を行なうこ
とができ、その結果として種々の光スペクトルに関して
高感度の分光分析が可能となる。
置において用いられるイメージインテンシファイアにお
いては、複数の電界電極が電界電源接続回路によって複
数の電界電源回路の任意の１つへ個別的に接続されるの
で、複数のエネルギ増倍孔のそれぞれの増倍率が個別的
に設定され得る。したがって、そのようなイメージイン
テンシファイアを用いた分光分析装置においては、それ
ぞれの光スペクトルの強度に最適な感度調整を行なうこ
とができ、その結果として種々の光スペクトルに関して
高感度の分光分析が可能となる。
【００２２】
【実施例】図１を参照して、分光分析装置において好ま
しく使用され得る本発明の一実施例によるフォトアレイ
センサが概略的な回路図で図解されている。この実施例
によるフォトアレイセンサ２５Ａは、図７（Ａ）に示さ
れた従来のフォトアレイセンサ２５と同様に、フォトダ
イオードを含む光素子２５ａ，増幅端子２５ｂ，ディジ
タルシフトレジスタで構成し得る光素子出力選択回路２
５ｃ，スイッチングトランジスタ２５ｄ，および出力端
子２５ｅを含んでいる。しかし、このフォトアレイセン
サ２５Ａは、さらに、光素子２５ａと増幅端子２５ｂと
の間に複数の増幅電源回路２５ｆと増幅電源接続回路２
５ｇを含んでいる。複数の増幅電源回路２５ｆの各々
は、任意の増幅電圧を生じるように設定され得る。ま
た、増幅電源接続回路２５ｇは、図１からわかるよう
に、複数の光素子２５ａをそれぞれ任意の１つの増幅電
源回路２５ｆに接続し得る。
しく使用され得る本発明の一実施例によるフォトアレイ
センサが概略的な回路図で図解されている。この実施例
によるフォトアレイセンサ２５Ａは、図７（Ａ）に示さ
れた従来のフォトアレイセンサ２５と同様に、フォトダ
イオードを含む光素子２５ａ，増幅端子２５ｂ，ディジ
タルシフトレジスタで構成し得る光素子出力選択回路２
５ｃ，スイッチングトランジスタ２５ｄ，および出力端
子２５ｅを含んでいる。しかし、このフォトアレイセン
サ２５Ａは、さらに、光素子２５ａと増幅端子２５ｂと
の間に複数の増幅電源回路２５ｆと増幅電源接続回路２
５ｇを含んでいる。複数の増幅電源回路２５ｆの各々
は、任意の増幅電圧を生じるように設定され得る。ま
た、増幅電源接続回路２５ｇは、図１からわかるよう
に、複数の光素子２５ａをそれぞれ任意の１つの増幅電
源回路２５ｆに接続し得る。
【００２３】したがって、複数の光素子２５ａのそれぞ
れにおいて、受光する光スペクトルの強度に適した増幅
電圧を個別的独立的に設定することができる。すなわ
ち、光素子２５ａの各々は、それが受ける光スペクトル
の強度に最適な増幅感度に調整され得る。
れにおいて、受光する光スペクトルの強度に適した増幅
電圧を個別的独立的に設定することができる。すなわ
ち、光素子２５ａの各々は、それが受ける光スペクトル
の強度に最適な増幅感度に調整され得る。
【００２４】このような状況において、図２（Ａ）に示
されているように、すべての光素子２５ａの増幅電圧が
同一に設定される場合に対応して２本の破線で挟まれた
検出範囲からはみ出した強度を含む光スペクトル強度分
布を有する光が入射する場合を考える。フォトアレイセ
ンサ２５Ａ中のそれぞれの光素子には、図２（Ｂ）に示
されているように、それらが受光する光スペクトルの強
度に適した増幅感度を有するように個別的に増幅電圧Ｖ
1 ，Ｖ2 などが供給され得る。したがって、フォトアレ
イセンサ２５Ａから出力される電気的光強度信号は、図
２（Ｃ）に示されているように、２本の破線で挟まれた
出力可能範囲内に収められ得る。
されているように、すべての光素子２５ａの増幅電圧が
同一に設定される場合に対応して２本の破線で挟まれた
検出範囲からはみ出した強度を含む光スペクトル強度分
布を有する光が入射する場合を考える。フォトアレイセ
ンサ２５Ａ中のそれぞれの光素子には、図２（Ｂ）に示
されているように、それらが受光する光スペクトルの強
度に適した増幅感度を有するように個別的に増幅電圧Ｖ
1 ，Ｖ2 などが供給され得る。したがって、フォトアレ
イセンサ２５Ａから出力される電気的光強度信号は、図
２（Ｃ）に示されているように、２本の破線で挟まれた
出力可能範囲内に収められ得る。
【００２５】すなわち、第１図に示されているようなフ
ォトアレイセンサ２５Ａを含む分光分析装置において
は、それぞれの光スペクトルの強度に最適な感度を設定
することができるので、すべての光スペクトルについて
高感度の分光分析をすることが可能になる。
ォトアレイセンサ２５Ａを含む分光分析装置において
は、それぞれの光スペクトルの強度に最適な感度を設定
することができるので、すべての光スペクトルについて
高感度の分光分析をすることが可能になる。
【００２６】なお、図１中の増幅電源接続回路２５ｇ
は、それぞれの光素子２５ａの増幅電圧を予め決定し得
る場合には、フォトアレイセンサ２５Ａの製造段階で固
定的に作り込むことが可能である。しかし、フォトアレ
イセンサ２５Ａの用途をより汎用的なものにするため
に、増幅電源接続回路２５ｇは、外部から与えられる増
幅電源選択信号に基づいて光素子２５ａと増幅電源回路
２５ｆとの間の接続を完成するように構成され得る。
は、それぞれの光素子２５ａの増幅電圧を予め決定し得
る場合には、フォトアレイセンサ２５Ａの製造段階で固
定的に作り込むことが可能である。しかし、フォトアレ
イセンサ２５Ａの用途をより汎用的なものにするため
に、増幅電源接続回路２５ｇは、外部から与えられる増
幅電源選択信号に基づいて光素子２５ａと増幅電源回路
２５ｆとの間の接続を完成するように構成され得る。
【００２７】図３を参照して、分光分析装置において好
ましく使用され得る本発明のもう１つの実施例によるイ
メージインテンシファイアの構造と機能が図解されてい
る。図３（Ｂ）に示されたイメージインテンシファイア
２６Ａは、図８（Ｂ）に示された従来のイメージインテ
ンシファイア２６と類似の構造を有しているが、一部変
更されたマイクロチャンネルプレート２６Ｂを有してい
る。すなわち、図３（Ｄ）において拡大されて示されて
いるように、この実施例によるチャンネルプレート２６
Ｂにおいては、それぞれのエネルギ増倍孔２６ｅのため
にそれぞれの個別的な電界電極２６Ｆが設けられてい
る。
ましく使用され得る本発明のもう１つの実施例によるイ
メージインテンシファイアの構造と機能が図解されてい
る。図３（Ｂ）に示されたイメージインテンシファイア
２６Ａは、図８（Ｂ）に示された従来のイメージインテ
ンシファイア２６と類似の構造を有しているが、一部変
更されたマイクロチャンネルプレート２６Ｂを有してい
る。すなわち、図３（Ｄ）において拡大されて示されて
いるように、この実施例によるチャンネルプレート２６
Ｂにおいては、それぞれのエネルギ増倍孔２６ｅのため
にそれぞれの個別的な電界電極２６Ｆが設けられてい
る。
【００２８】そして、これらの個別的な電界電極２６Ｆ
は、図３（Ｂ）に示されている個別的な複数の電界電源
回路１５ａの任意の１つに電界電源接続回路１５ｂを介
して接続され得る。複数の電界電源回路１５ａの各々
は、任意の電界電圧を生じるように設定され得る。
は、図３（Ｂ）に示されている個別的な複数の電界電源
回路１５ａの任意の１つに電界電源接続回路１５ｂを介
して接続され得る。複数の電界電源回路１５ａの各々
は、任意の電界電圧を生じるように設定され得る。
【００２９】したがって、複数の電界電極２６Ｆのそれ
ぞれにおいて、入射光スペクトルの強度に適したエネル
ギ増倍のための電界電圧を個別的独立的に設定すること
ができる。すなわち、エネルギ増倍孔２６ｅの各々は、
入射光スペクトルの強度に最適なエネルギ増倍率を有す
るように調整され得る。
ぞれにおいて、入射光スペクトルの強度に適したエネル
ギ増倍のための電界電圧を個別的独立的に設定すること
ができる。すなわち、エネルギ増倍孔２６ｅの各々は、
入射光スペクトルの強度に最適なエネルギ増倍率を有す
るように調整され得る。
【００３０】このような状況において、図３（Ａ）に示
されているように、すべての増倍孔２６ｅの増倍率が同
一に設定されている場合に対応して２本の破線で挟まれ
た検出範囲からはみ出した強度を含む光スペクトル強度
分布を有する光がイメージインテンシファイア２６Ａに
入射する場合を考える。図３（Ｂ）および（Ｄ）におい
て図解されているように、個別的な電界電極２６Ｆに
は、それぞれのエネルギ増倍孔２６ｅが入射光スペクト
ルの強度に適したエネルギ増倍率を有するように、個別
的に電界電圧Ｖ1 ，Ｖ2 などが供給され得る。したがっ
て、蛍光体２６ｃから射出される増倍光２９ａは、光ス
ペクトルの如何にかかわらず、図３（Ｃ）における２本
の破線で挟まれた出力可能範囲内に収められ得る。すな
わち、図３に図解されているようなイメージインテンシ
ファイアを用いた分光分析装置においては、それぞれの
光スペクトルの強度に最適な感度調整を行なうことがで
き、種々の光スペクトルに関して高感度の分光分析が可
能となる。
されているように、すべての増倍孔２６ｅの増倍率が同
一に設定されている場合に対応して２本の破線で挟まれ
た検出範囲からはみ出した強度を含む光スペクトル強度
分布を有する光がイメージインテンシファイア２６Ａに
入射する場合を考える。図３（Ｂ）および（Ｄ）におい
て図解されているように、個別的な電界電極２６Ｆに
は、それぞれのエネルギ増倍孔２６ｅが入射光スペクト
ルの強度に適したエネルギ増倍率を有するように、個別
的に電界電圧Ｖ1 ，Ｖ2 などが供給され得る。したがっ
て、蛍光体２６ｃから射出される増倍光２９ａは、光ス
ペクトルの如何にかかわらず、図３（Ｃ）における２本
の破線で挟まれた出力可能範囲内に収められ得る。すな
わち、図３に図解されているようなイメージインテンシ
ファイアを用いた分光分析装置においては、それぞれの
光スペクトルの強度に最適な感度調整を行なうことがで
き、種々の光スペクトルに関して高感度の分光分析が可
能となる。
【００３１】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、微粒子
計測装置において好ましく用いられ得る分光分析装置で
あって、それぞれの光スペクトルの強度に最適な感度調
整を行ない得る分光分析装置を提供し得る。
計測装置において好ましく用いられ得る分光分析装置で
あって、それぞれの光スペクトルの強度に最適な感度調
整を行ない得る分光分析装置を提供し得る。
【図１】本発明の一実施例による分光分析装置において
用いられ得るフォトアレイセンサを概略的に示す回路図
である。
用いられ得るフォトアレイセンサを概略的に示す回路図
である。
【図２】図１のフォトアレイセンサにおける入射光スペ
クトル分布と電気的光出力信号との関係を示す図であ
る。
クトル分布と電気的光出力信号との関係を示す図であ
る。
【図３】本発明のもう１つの実施例による分光分析装置
において用いられ得るイメージインテンシファイアの構
造と機能を説明する図である。
において用いられ得るイメージインテンシファイアの構
造と機能を説明する図である。
【図４】従来の微粒子測定装置の構成を示すブロック図
である。
である。
【図５】従来の分光分析装置における光学系を示す図で
ある。
ある。
【図６】従来の分光分析装置において用いられ得るフォ
トアレイセンサの外観の一例を示す正面図である。
トアレイセンサの外観の一例を示す正面図である。
【図７】従来の分光分析装置に用いられるフォトアレイ
センサの構造と機能を示す図である。
センサの構造と機能を示す図である。
【図８】従来の分光分析装置において用いられ得るイメ
ージインテンシファイアの構造と機能を示す図である。
ージインテンシファイアの構造と機能を示す図である。
２５Ａ フォトアレイセンサ ２５ａ フォトダイオードを含む光素子 ２５ｂ 増幅端子 ２５ｃ ディジタルシフトレジスタで構成し得る光素子
出力選択回路 ２５ｄ スイッチングトランジスタ ２５ｅ 出力端子 ２５ｆ 増幅電源回路 ２５ｇ 増幅電源接続回路 ２６Ａ イメージインテンシファイア ２６ａ 光電体 ２６Ｂ マイクロチャンネルプレート ２６ｃ 蛍光体 ２６ｄ 容器 ２６ｅ エネルギ増倍孔 ２６ｇ 基準電界電極 ２６Ｆ 電界電極 １５ａ 電界電源回路 １５ｂ 電界電源接続回路 ２７ 入射光スペクトル ２８ 電子 ２８ｂ エネルギ増倍電子 ２９ａ エネルギ増倍光スペクトル
出力選択回路 ２５ｄ スイッチングトランジスタ ２５ｅ 出力端子 ２５ｆ 増幅電源回路 ２５ｇ 増幅電源接続回路 ２６Ａ イメージインテンシファイア ２６ａ 光電体 ２６Ｂ マイクロチャンネルプレート ２６ｃ 蛍光体 ２６ｄ 容器 ２６ｅ エネルギ増倍孔 ２６ｇ 基準電界電極 ２６Ｆ 電界電極 １５ａ 電界電源回路 １５ｂ 電界電源接続回路 ２７ 入射光スペクトル ２８ 電子 ２８ｂ エネルギ増倍電子 ２９ａ エネルギ増倍光スペクトル
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年９月２５日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１５】図８を参照して、従来のイメージインテン
シファイアの構造と機能が図解されている。図８（Ａ）
に示されているような光スペクトル強度Ｅ01の分布を有
する光が図８（Ｂ）に示されたイメージインテンシファ
イアに入射光２７として入射するとき、容器２６ｄに保
持された光電体２６ａは、入射光スペクトル強度に応じ
て電子２８を発生する。この電子２８は、図８（Ｄ）に
拡大して示されているマイクロチャネルプレート２６ｂ
の上面上の基準電極２６ｇによる電界によって、マイク
ロチャネルプレート２６ｂ内に引込まれ、さらに、下面
上の電界電極２６ｆによる強い電界によってエネルギ増
倍されながら増倍孔２６ｅを通過する。エネルギ増倍さ
れた電子２８ａは蛍光体２６ｃに照射され、蛍光体２６
ｃからは電子２８ａのエネルギに応じた強度Ｅ02を持つ
増倍光２９が射出される。
シファイアの構造と機能が図解されている。図８（Ａ）
に示されているような光スペクトル強度Ｅ01の分布を有
する光が図８（Ｂ）に示されたイメージインテンシファ
イアに入射光２７として入射するとき、容器２６ｄに保
持された光電体２６ａは、入射光スペクトル強度に応じ
て電子２８を発生する。この電子２８は、図８（Ｄ）に
拡大して示されているマイクロチャネルプレート２６ｂ
の上面上の基準電極２６ｇによる電界によって、マイク
ロチャネルプレート２６ｂ内に引込まれ、さらに、下面
上の電界電極２６ｆによる強い電界によってエネルギ増
倍されながら増倍孔２６ｅを通過する。エネルギ増倍さ
れた電子２８ａは蛍光体２６ｃに照射され、蛍光体２６
ｃからは電子２８ａのエネルギに応じた強度Ｅ02を持つ
増倍光２９が射出される。
Claims (2)
- 【請求項１】 分光分析装置において用いられ得るフォ
トアレイセンサであって、 分光された光スペクトルの強度を電気的な光強度信号に
変換する複数の光素子と、 前記複数の光素子の光電変換におけるそれぞれの増幅率
を個別的に設定するための複数の増幅電源回路と、 前記複数の光素子のそれぞれを個別的に前記複数の増幅
電源回路の任意の１つに接続し得る増幅電源接続回路と
を備えたことを特徴とするフォトアレイセンサ。 - 【請求項２】 分光分析装置において用いられ得るイメ
ージインテンシファイアであって、 分光された光スペクトルの強度に応じて電子を発生する
光電体と、 前記電子のエネルギを増倍させる複数の増倍孔および前
記複数のエネルギ増倍孔のそれぞれのために個別的に設
けられた複数の電界電極を含むマイクロチャンネルプレ
ートと、 前記複数のエネルギ増倍孔のそれぞれの増倍率を個別的
に設定するための複数の電界電源回路と、 前記複数の電界電極のそれぞれを個別的に前記複数の電
界電源回路の任意の１つに接続し得る電界電源接続回路
を備えたことを特徴とするイメージインテンシファイ
ア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33875291A JPH05172638A (ja) | 1991-12-20 | 1991-12-20 | 分光分析装置に用いられ得るフォトアレイセンサおよびイメージインテンシファイア |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33875291A JPH05172638A (ja) | 1991-12-20 | 1991-12-20 | 分光分析装置に用いられ得るフォトアレイセンサおよびイメージインテンシファイア |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05172638A true JPH05172638A (ja) | 1993-07-09 |
Family
ID=18321127
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33875291A Withdrawn JPH05172638A (ja) | 1991-12-20 | 1991-12-20 | 分光分析装置に用いられ得るフォトアレイセンサおよびイメージインテンシファイア |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05172638A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005217448A (ja) * | 2001-11-29 | 2005-08-11 | Hitachi Ltd | 発光分光処理装置及びプラズマ処理方法 |
| US8818042B2 (en) | 2004-04-15 | 2014-08-26 | Magna Electronics Inc. | Driver assistance system for vehicle |
| US8842176B2 (en) | 1996-05-22 | 2014-09-23 | Donnelly Corporation | Automatic vehicle exterior light control |
| US8917169B2 (en) | 1993-02-26 | 2014-12-23 | Magna Electronics Inc. | Vehicular vision system |
| US8993951B2 (en) | 1996-03-25 | 2015-03-31 | Magna Electronics Inc. | Driver assistance system for a vehicle |
| US9171217B2 (en) | 2002-05-03 | 2015-10-27 | Magna Electronics Inc. | Vision system for vehicle |
| US9436880B2 (en) | 1999-08-12 | 2016-09-06 | Magna Electronics Inc. | Vehicle vision system |
| US10071676B2 (en) | 2006-08-11 | 2018-09-11 | Magna Electronics Inc. | Vision system for vehicle |
-
1991
- 1991-12-20 JP JP33875291A patent/JPH05172638A/ja not_active Withdrawn
Cited By (34)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8917169B2 (en) | 1993-02-26 | 2014-12-23 | Magna Electronics Inc. | Vehicular vision system |
| US8993951B2 (en) | 1996-03-25 | 2015-03-31 | Magna Electronics Inc. | Driver assistance system for a vehicle |
| US8842176B2 (en) | 1996-05-22 | 2014-09-23 | Donnelly Corporation | Automatic vehicle exterior light control |
| US9436880B2 (en) | 1999-08-12 | 2016-09-06 | Magna Electronics Inc. | Vehicle vision system |
| JP2005217448A (ja) * | 2001-11-29 | 2005-08-11 | Hitachi Ltd | 発光分光処理装置及びプラズマ処理方法 |
| US11203340B2 (en) | 2002-05-03 | 2021-12-21 | Magna Electronics Inc. | Vehicular vision system using side-viewing camera |
| US10683008B2 (en) | 2002-05-03 | 2020-06-16 | Magna Electronics Inc. | Vehicular driving assist system using forward-viewing camera |
| US9171217B2 (en) | 2002-05-03 | 2015-10-27 | Magna Electronics Inc. | Vision system for vehicle |
| US10351135B2 (en) | 2002-05-03 | 2019-07-16 | Magna Electronics Inc. | Vehicular control system using cameras and radar sensor |
| US9834216B2 (en) | 2002-05-03 | 2017-12-05 | Magna Electronics Inc. | Vehicular control system using cameras and radar sensor |
| US9555803B2 (en) | 2002-05-03 | 2017-01-31 | Magna Electronics Inc. | Driver assistance system for vehicle |
| US10118618B2 (en) | 2002-05-03 | 2018-11-06 | Magna Electronics Inc. | Vehicular control system using cameras and radar sensor |
| US9643605B2 (en) | 2002-05-03 | 2017-05-09 | Magna Electronics Inc. | Vision system for vehicle |
| US9428192B2 (en) | 2004-04-15 | 2016-08-30 | Magna Electronics Inc. | Vision system for vehicle |
| US9008369B2 (en) | 2004-04-15 | 2015-04-14 | Magna Electronics Inc. | Vision system for vehicle |
| US9948904B2 (en) | 2004-04-15 | 2018-04-17 | Magna Electronics Inc. | Vision system for vehicle |
| US10015452B1 (en) | 2004-04-15 | 2018-07-03 | Magna Electronics Inc. | Vehicular control system |
| US11847836B2 (en) | 2004-04-15 | 2023-12-19 | Magna Electronics Inc. | Vehicular control system with road curvature determination |
| US10110860B1 (en) | 2004-04-15 | 2018-10-23 | Magna Electronics Inc. | Vehicular control system |
| US9609289B2 (en) | 2004-04-15 | 2017-03-28 | Magna Electronics Inc. | Vision system for vehicle |
| US10187615B1 (en) | 2004-04-15 | 2019-01-22 | Magna Electronics Inc. | Vehicular control system |
| US10306190B1 (en) | 2004-04-15 | 2019-05-28 | Magna Electronics Inc. | Vehicular control system |
| US9191634B2 (en) | 2004-04-15 | 2015-11-17 | Magna Electronics Inc. | Vision system for vehicle |
| US10462426B2 (en) | 2004-04-15 | 2019-10-29 | Magna Electronics Inc. | Vehicular control system |
| US9736435B2 (en) | 2004-04-15 | 2017-08-15 | Magna Electronics Inc. | Vision system for vehicle |
| US10735695B2 (en) | 2004-04-15 | 2020-08-04 | Magna Electronics Inc. | Vehicular control system with traffic lane detection |
| US11503253B2 (en) | 2004-04-15 | 2022-11-15 | Magna Electronics Inc. | Vehicular control system with traffic lane detection |
| US8818042B2 (en) | 2004-04-15 | 2014-08-26 | Magna Electronics Inc. | Driver assistance system for vehicle |
| US11148583B2 (en) | 2006-08-11 | 2021-10-19 | Magna Electronics Inc. | Vehicular forward viewing image capture system |
| US11396257B2 (en) | 2006-08-11 | 2022-07-26 | Magna Electronics Inc. | Vehicular forward viewing image capture system |
| US10787116B2 (en) | 2006-08-11 | 2020-09-29 | Magna Electronics Inc. | Adaptive forward lighting system for vehicle comprising a control that adjusts the headlamp beam in response to processing of image data captured by a camera |
| US11623559B2 (en) | 2006-08-11 | 2023-04-11 | Magna Electronics Inc. | Vehicular forward viewing image capture system |
| US10071676B2 (en) | 2006-08-11 | 2018-09-11 | Magna Electronics Inc. | Vision system for vehicle |
| US11951900B2 (en) | 2006-08-11 | 2024-04-09 | Magna Electronics Inc. | Vehicular forward viewing image capture system |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7414717B2 (en) | System and method for detection and identification of optical spectra | |
| JPH10300671A (ja) | 微粒子計測装置 | |
| US6594010B2 (en) | Emission spectrometer having a charge coupled device detector | |
| US5050991A (en) | High optical density measuring spectrometer | |
| Wampler | Instrumentation: seeing the light and measuring it | |
| JPH05172638A (ja) | 分光分析装置に用いられ得るフォトアレイセンサおよびイメージインテンシファイア | |
| KR100676234B1 (ko) | 에칭처리방법 | |
| CN102507517B (zh) | 一种光子计数全谱直读荧光光谱仪 | |
| WO2001061292A1 (en) | Method and apparatus for spectrochemical analysis | |
| CN102507464A (zh) | 一种光子计数全谱直读吸收光谱仪 | |
| CN116735569A (zh) | 基于全光谱测量的等离子发射光谱检测器 | |
| Howell et al. | Evaluation of silicon vidicon detector sensitivity for atomic spectrometry applications | |
| CN102507005A (zh) | 一种光子计数全谱直读发射光谱仪 | |
| Landa et al. | Corrected and automated spectrophotofluorimeter employing a pyroelectric detector for correction | |
| JP2908742B2 (ja) | 測光装置 | |
| Melhuish et al. | Double‐Beam Spectrofluorimeter | |
| US3883248A (en) | Method and apparatus for measuring concentration of substance in its gaseous phase | |
| JPH04363633A (ja) | 分光計測装置 | |
| JP3315212B2 (ja) | 微弱発光測定装置 | |
| CN219957355U (zh) | 基于全光谱测量的等离子发射光谱检测器 | |
| US11361951B2 (en) | System and method for photomultiplier tube image correction | |
| TALMI | Optoelectronic image detectors in chemistry, an overview | |
| JPH05114586A (ja) | ドライエツチングの終点検出装置 | |
| Hareland | Monochromatic imaging camera and technique for spatially resolved optical emission spectroscopy | |
| Chen et al. | Design of a compact multichannel spectrophotometer using a holographic concave grating as dispersive element |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990311 |