JPS6126216A - 化合物半導体の成長方法 - Google Patents
化合物半導体の成長方法Info
- Publication number
- JPS6126216A JPS6126216A JP14601284A JP14601284A JPS6126216A JP S6126216 A JPS6126216 A JP S6126216A JP 14601284 A JP14601284 A JP 14601284A JP 14601284 A JP14601284 A JP 14601284A JP S6126216 A JPS6126216 A JP S6126216A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- compound semiconductor
- buffer layer
- substrate
- temperature
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02436—Intermediate layers between substrates and deposited layers
- H01L21/02439—Materials
- H01L21/02455—Group 13/15 materials
- H01L21/02463—Arsenides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/0237—Materials
- H01L21/02373—Group 14 semiconducting materials
- H01L21/02381—Silicon, silicon germanium, germanium
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02538—Group 13/15 materials
- H01L21/02546—Arsenides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/0262—Reduction or decomposition of gaseous compounds, e.g. CVD
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02656—Special treatments
- H01L21/02658—Pretreatments
- H01L21/02661—In-situ cleaning
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は81基板上にGaAs等の■−■族化合物半導
体eエピタキシャル成長させる化合物半導体の成長方法
に関する。
体eエピタキシャル成長させる化合物半導体の成長方法
に関する。
(従来の技術)
一般にGaA s等の■−■族半導体はSiよシも格子
定数が大きく、直接Si基板上にエピタキシャル成長さ
せると多結晶が成長し、良質の単結晶層を得ることはで
きない。そのため、Sl基板と■−■族半導体の成長層
の間に何等かのバッファ層が必要であった。従来、この
ような分野の技術としてApplied Physic
s Letters 、 38 (10) 、 15
May1981 (米) P、779に記載されるもの
があり、そこではGaAsの成長層を目的とする場合に
はGaAsと格子定数の近いGe膜をバッファ層として
用いることが記載されている。また他の従来技術として
本願出願人が特願昭58−118078号として提案し
た技術があシ、そこでは成長を目的易する■−■族化合
物半導体を基板上で充分にはマイグレーシ。
定数が大きく、直接Si基板上にエピタキシャル成長さ
せると多結晶が成長し、良質の単結晶層を得ることはで
きない。そのため、Sl基板と■−■族半導体の成長層
の間に何等かのバッファ層が必要であった。従来、この
ような分野の技術としてApplied Physic
s Letters 、 38 (10) 、 15
May1981 (米) P、779に記載されるもの
があり、そこではGaAsの成長層を目的とする場合に
はGaAsと格子定数の近いGe膜をバッファ層として
用いることが記載されている。また他の従来技術として
本願出願人が特願昭58−118078号として提案し
た技術があシ、そこでは成長を目的易する■−■族化合
物半導体を基板上で充分にはマイグレーシ。
ヨンできないような低温でまず数百X成長させ、その後
で通常の成長温度まで昇温して目的とする半導体とこれ
に格子定数の近い他の半導体の薄膜を交互に成長させて
バッファ層を形成したものであシ、GaAsの成長層を
目的とする場合にはGaAsとGaAtAsとを交互に
成長させてそのバッファ層としていた。
で通常の成長温度まで昇温して目的とする半導体とこれ
に格子定数の近い他の半導体の薄膜を交互に成長させて
バッファ層を形成したものであシ、GaAsの成長層を
目的とする場合にはGaAsとGaAtAsとを交互に
成長させてそのバッファ層としていた。
(発明が解決しようとする問題点)
これ等のバッファ層を介することによってSl上に表面
が鏡面の比較的高品質の■−■族半導体の結晶層を成長
させることが可能であるが、81基板の(100)面上
に成長させるとアンティフェイズドメイン構造の結晶層
が成長しやすいという欠点があった。
が鏡面の比較的高品質の■−■族半導体の結晶層を成長
させることが可能であるが、81基板の(100)面上
に成長させるとアンティフェイズドメイン構造の結晶層
が成長しやすいという欠点があった。
本発明はこの欠点を除去しSi基板の(100)面上に
単一のドメインからなるI−V族化合物半導本発明はS
i基板を水素中で800℃以上の高温で′を形成する工
程と、前記■−■族化合物半導体の通常の成長温度か、
それ以上の温度に昇温して・ぐッファ層をアニールする
工程と、前記・々ツファ層上にバッファ層と同一物質の
■−■族化合物半導体を通常の成長温度で成長させる工
程とを用いてSi基紅に■−■族化合物半導体をエピタ
キシャル成長させるものである。
単一のドメインからなるI−V族化合物半導本発明はS
i基板を水素中で800℃以上の高温で′を形成する工
程と、前記■−■族化合物半導体の通常の成長温度か、
それ以上の温度に昇温して・ぐッファ層をアニールする
工程と、前記・々ツファ層上にバッファ層と同一物質の
■−■族化合物半導体を通常の成長温度で成長させる工
程とを用いてSi基紅に■−■族化合物半導体をエピタ
キシャル成長させるものである。
(作用)
本発明によれば、■−■族化合物半導体の成長に先だっ
てSi基板を高温で熱処理し、しかる後に温度を下げて
化合物半導体の原子が充分にはマイグレーションできな
い低温で2000 X以下の膜厚に■−■族化合物半導
体を成長させ、これを通常の成長温度かそれ以上の温度
でアニールすることにより良好なバッファ層として機能
す淋。さらに、このバッファ層上にバッファ層と同一の
m −V族化合物半導体を通常の成長温度で成長させる
ことにより、単一のドメインからなる■−■族化合物半
導体の成長層を得るものである。
てSi基板を高温で熱処理し、しかる後に温度を下げて
化合物半導体の原子が充分にはマイグレーションできな
い低温で2000 X以下の膜厚に■−■族化合物半導
体を成長させ、これを通常の成長温度かそれ以上の温度
でアニールすることにより良好なバッファ層として機能
す淋。さらに、このバッファ層上にバッファ層と同一の
m −V族化合物半導体を通常の成長温度で成長させる
ことにより、単一のドメインからなる■−■族化合物半
導体の成長層を得るものである。
(実施例)
以下、本発明の1実施例につき説明する。本実施例では
、Si基板の(100)面上にGaAs層を有機金属化
合物〔例えばトリメチルガリウム(以下、TMGと称す
)〕とアルシン(hsHs )を用いる気相成長法(以
下MOCVD法という)によシエビタキシアル成長させ
る場合について説明する。
、Si基板の(100)面上にGaAs層を有機金属化
合物〔例えばトリメチルガリウム(以下、TMGと称す
)〕とアルシン(hsHs )を用いる気相成長法(以
下MOCVD法という)によシエビタキシアル成長させ
る場合について説明する。
まず、81基板を洗浄後、弗酸(HF )に浸すことに
よシ表面酸化膜を除去する。そして水洗した後このSi
基板を成長炉の反応管中にセットする。次に成長炉中で
バッファ層の成長および目的とする成長層(以下目的層
と称す)の成長を行うのであるが、成長炉中での工程を
第1図に基づき説明する。第1図は成長炉中での各工程
1,2,3.4における時間と温度との関係を示した図
であシ、工程1ではバッファ層および目的層の成長に先
だってSi基板の水素中での熱処理を行い、工程2では
バッファ層となる層を成長させ、工程3ではバッファ層
をアニールして良好なバッファ層とし、工程4゛では目
的層を成長させる。更に詳しく述べると、工程1では水
素を流しながら昇温してゆき、800℃以上の温度で所
定の時間Si基板の熱処理を行う。その温度および時間
は例えば800℃であれば30分程度、900℃であれ
ば5〜10分′を下げてゆき、温度を400〜600℃
として、輸送ガスである水素に加えてアルシン、TMG
の原料ガスを流して、バッファ層となるGaAs層をS
i基板の(100)面上に成長させる。この時の温度4
00〜600℃は構成原子が結晶表面で充分にはマイグ
レーションできない低い温度として設定される。
よシ表面酸化膜を除去する。そして水洗した後このSi
基板を成長炉の反応管中にセットする。次に成長炉中で
バッファ層の成長および目的とする成長層(以下目的層
と称す)の成長を行うのであるが、成長炉中での工程を
第1図に基づき説明する。第1図は成長炉中での各工程
1,2,3.4における時間と温度との関係を示した図
であシ、工程1ではバッファ層および目的層の成長に先
だってSi基板の水素中での熱処理を行い、工程2では
バッファ層となる層を成長させ、工程3ではバッファ層
をアニールして良好なバッファ層とし、工程4゛では目
的層を成長させる。更に詳しく述べると、工程1では水
素を流しながら昇温してゆき、800℃以上の温度で所
定の時間Si基板の熱処理を行う。その温度および時間
は例えば800℃であれば30分程度、900℃であれ
ば5〜10分′を下げてゆき、温度を400〜600℃
として、輸送ガスである水素に加えてアルシン、TMG
の原料ガスを流して、バッファ層となるGaAs層をS
i基板の(100)面上に成長させる。この時の温度4
00〜600℃は構成原子が結晶表面で充分にはマイグ
レーションできない低い温度として設定される。
また成長される膜厚は数百Xで充分であり、約2000
X以下であればバッファ層としての効果がある。このよ
うにしてバッファ層を成長させた後、TMGのみ流すこ
とをやめることにより、バッファ層の成長を止め、次の
工程3に移る。工程3ではアルシンと水素ガスを流しな
がら5〜10分程度温度を上昇させ700〜750℃の
温度あるいはそれ以上とするが、ここで工程2で成長し
た結晶性の悪い、または多結晶のGaAs薄膜が700
〜750℃まで昇温しでいる間にアニールされて、単一
のドメインのGaAsをその上に成長させるための良好
なバッファ層としてはたらくようになる。す碌わち、低
温(400〜600℃)で成長したバッファ層となるG
aAs層はアニールされている間にSiこれ以上の膜厚
となるとSi基板の影響による膜全体の結晶性の改善が
行われにくいためバッファ層としての効果がなくなる。
X以下であればバッファ層としての効果がある。このよ
うにしてバッファ層を成長させた後、TMGのみ流すこ
とをやめることにより、バッファ層の成長を止め、次の
工程3に移る。工程3ではアルシンと水素ガスを流しな
がら5〜10分程度温度を上昇させ700〜750℃の
温度あるいはそれ以上とするが、ここで工程2で成長し
た結晶性の悪い、または多結晶のGaAs薄膜が700
〜750℃まで昇温しでいる間にアニールされて、単一
のドメインのGaAsをその上に成長させるための良好
なバッファ層としてはたらくようになる。す碌わち、低
温(400〜600℃)で成長したバッファ層となるG
aAs層はアニールされている間にSiこれ以上の膜厚
となるとSi基板の影響による膜全体の結晶性の改善が
行われにくいためバッファ層としての効果がなくなる。
さて、昇温させてゆき温度が700〜750℃、あるい
はそれ以上となシパッファ層のアニールが終了すると、
次の工程4に移る。工程4では、再びTMGガスを流し
、通常の成長温度(700〜750℃)にてバッファ層
上にGaAaの目的層を成長させる。このようにして表
面が鏡面状態で、単一ドメインの目的層をSi基板の(
−100)面上に成長させることができる。第2図にこ
のようにして成長したSi基板上のGaAs層の断面図
を示す。第2図において、5はSi基板であシ、6は成
長させアニールしたGaAsのバッファ層であり、7は
このバッファ層6上に成長させた単一ドメインのGaA
sの目的層である。
はそれ以上となシパッファ層のアニールが終了すると、
次の工程4に移る。工程4では、再びTMGガスを流し
、通常の成長温度(700〜750℃)にてバッファ層
上にGaAaの目的層を成長させる。このようにして表
面が鏡面状態で、単一ドメインの目的層をSi基板の(
−100)面上に成長させることができる。第2図にこ
のようにして成長したSi基板上のGaAs層の断面図
を示す。第2図において、5はSi基板であシ、6は成
長させアニールしたGaAsのバッファ層であり、7は
このバッファ層6上に成長させた単一ドメインのGaA
sの目的層である。
以上、Si基板上にGaAsをMOCVD法によって成
長させる場合について述べたが、他のI−V族化合物半
導体として格子定数の近いGaPはいうにおよはず、I
nP等についてもその成長させる温度は温で成長させた
薄膜を通常の成長温度またはそれ以上の温度まで昇温す
ることによってアニール、して・ぐツファ層とすること
によシ、良好な特性を有する目的層ヲSl基板上に成長
させることができる。
長させる場合について述べたが、他のI−V族化合物半
導体として格子定数の近いGaPはいうにおよはず、I
nP等についてもその成長させる温度は温で成長させた
薄膜を通常の成長温度またはそれ以上の温度まで昇温す
ることによってアニール、して・ぐツファ層とすること
によシ、良好な特性を有する目的層ヲSl基板上に成長
させることができる。
(発明の効果)
本発明は以上説明したようにSi基板上に結晶性のよい
■−V族化合物半導体を成長炉中でバッファ層を含め連
続的に成長させることができるという利点があシ、廉価
で大面積のSi基板上に化合物半導体を形成できるので
、廉価高性能の太陽電池、表示・ぐネル等に利用するこ
とができる。またSiは■−■族化合物半導体に比較し
て熱伝導率が大きいので、化合物半導体を用いた電力素
子には有利である。さらに、Siの素子とm−v族化合
物半導体の素子を同一チラノ上に構成することも可能と
なる。
■−V族化合物半導体を成長炉中でバッファ層を含め連
続的に成長させることができるという利点があシ、廉価
で大面積のSi基板上に化合物半導体を形成できるので
、廉価高性能の太陽電池、表示・ぐネル等に利用するこ
とができる。またSiは■−■族化合物半導体に比較し
て熱伝導率が大きいので、化合物半導体を用いた電力素
子には有利である。さらに、Siの素子とm−v族化合
物半導体の素子を同一チラノ上に構成することも可能と
なる。
第1図は本発明の1実施例の工程の説明図、第2図は本
発明の1実施例にょるGaAsの成長を示す断面図であ
る。 1・・・工程1.2・・・工程2.3・・・工程3.4
・・・工4.5・・・Si基板、6・・・バッファ層、
2・・・目的層。 特許出願人 工業技術院長 用田裕部 第1図 時 間
発明の1実施例にょるGaAsの成長を示す断面図であ
る。 1・・・工程1.2・・・工程2.3・・・工程3.4
・・・工4.5・・・Si基板、6・・・バッファ層、
2・・・目的層。 特許出願人 工業技術院長 用田裕部 第1図 時 間
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Si基板の(100)面上にIII−V族化合物半導体を
エピタキシャル成長させる化合物半導体の成長方法にお
いて、 Si基板を水素中で800℃以上の高温で熱処理を行う
工程と、温度を下げSi基板の(100)面上に200
0Å以下の膜厚に成長させバッファ層を形成する工程と
、前記III−V族化合物半導体の通常の成長温度か、そ
れ以上の温度に昇温させバッファ層をアニールする工程
と、前記バッファ層上にバッファ層と同一のIII−V族
化合物半導体を通常の成長温度で成長させる工程とを有
することを特徴とする化合物半導体の成長方法
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14601284A JPH0236059B2 (ja) | 1984-07-16 | 1984-07-16 | Kagobutsuhandotainoseichohoho |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14601284A JPH0236059B2 (ja) | 1984-07-16 | 1984-07-16 | Kagobutsuhandotainoseichohoho |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6126216A true JPS6126216A (ja) | 1986-02-05 |
JPH0236059B2 JPH0236059B2 (ja) | 1990-08-15 |
Family
ID=15398094
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14601284A Expired - Lifetime JPH0236059B2 (ja) | 1984-07-16 | 1984-07-16 | Kagobutsuhandotainoseichohoho |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0236059B2 (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6392015A (ja) * | 1986-10-07 | 1988-04-22 | Seiko Epson Corp | 化合物半導体薄膜の製造方法 |
JPS63133616A (ja) * | 1986-11-26 | 1988-06-06 | Nippon Denso Co Ltd | 気相エピタキシヤル成長方法 |
JPS6453407A (en) * | 1987-05-13 | 1989-03-01 | Sharp Kk | Compound semiconductor substrate |
FR2637737A1 (fr) * | 1988-10-07 | 1990-04-13 | Thomson Hybrides Microondes | Transistor de puissance en materiaux iii-v sur substrat silicium, et son procede de fabrication |
JPH02139918A (ja) * | 1988-11-19 | 1990-05-29 | Agency Of Ind Science & Technol | ヘテロ構造体の製造方法 |
JPH02178915A (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-11 | Kyocera Corp | 半導体素子の製造方法 |
JPH02178916A (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-11 | Kyocera Corp | 半導体素子の製造方法 |
EP0564915A2 (en) * | 1992-03-26 | 1993-10-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Methods for growing compound semiconductor layers |
US5438951A (en) * | 1992-12-21 | 1995-08-08 | Nippon Steel Corporation | Method of growing compound semiconductor on silicon wafer |
EP0723039A2 (en) | 1995-01-19 | 1996-07-24 | Nippon Steel Corporation | Compound semiconductor substrate and process of producing same |
-
1984
- 1984-07-16 JP JP14601284A patent/JPH0236059B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6392015A (ja) * | 1986-10-07 | 1988-04-22 | Seiko Epson Corp | 化合物半導体薄膜の製造方法 |
JP2563781B2 (ja) * | 1986-10-07 | 1996-12-18 | セイコーエプソン株式会社 | 化合物半導体薄膜の製造方法 |
JPS63133616A (ja) * | 1986-11-26 | 1988-06-06 | Nippon Denso Co Ltd | 気相エピタキシヤル成長方法 |
JPS6453407A (en) * | 1987-05-13 | 1989-03-01 | Sharp Kk | Compound semiconductor substrate |
FR2637737A1 (fr) * | 1988-10-07 | 1990-04-13 | Thomson Hybrides Microondes | Transistor de puissance en materiaux iii-v sur substrat silicium, et son procede de fabrication |
JPH02139918A (ja) * | 1988-11-19 | 1990-05-29 | Agency Of Ind Science & Technol | ヘテロ構造体の製造方法 |
JPH02178916A (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-11 | Kyocera Corp | 半導体素子の製造方法 |
JPH02178915A (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-11 | Kyocera Corp | 半導体素子の製造方法 |
EP0564915A2 (en) * | 1992-03-26 | 1993-10-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Methods for growing compound semiconductor layers |
US5571748A (en) * | 1992-03-26 | 1996-11-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Methods for producing compound semiconductor devices |
EP0564915A3 (en) * | 1992-03-26 | 1997-04-16 | Canon Kk | Methods for growing compound semiconductor layers |
US5438951A (en) * | 1992-12-21 | 1995-08-08 | Nippon Steel Corporation | Method of growing compound semiconductor on silicon wafer |
EP0723039A2 (en) | 1995-01-19 | 1996-07-24 | Nippon Steel Corporation | Compound semiconductor substrate and process of producing same |
US5833749A (en) * | 1995-01-19 | 1998-11-10 | Nippon Steel Corporation | Compound semiconductor substrate and process of producing same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0236059B2 (ja) | 1990-08-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4561916A (en) | Method of growth of compound semiconductor | |
JPH01225114A (ja) | 半導体薄膜の製造方法 | |
JPH01289108A (ja) | ヘテロエピタキシャル成長方法 | |
JPS6126216A (ja) | 化合物半導体の成長方法 | |
JPH04198095A (ja) | 化合物半導体薄膜成長方法 | |
JPH0645249A (ja) | GaAs層の成長方法 | |
JPS6012775B2 (ja) | 異質基板上への単結晶半導体層形成方法 | |
JPH033363A (ja) | 半導体薄膜の製造方法 | |
JPS63137412A (ja) | 半導体用基板の製造方法 | |
JPS5982744A (ja) | Sos基板の製造法 | |
JPS5893228A (ja) | 半導体単結晶薄膜の製造方法 | |
JPS63276218A (ja) | 半導体薄膜結晶の成長方法 | |
JPS62219614A (ja) | 化合物半導体の成長方法 | |
JPH01179788A (ja) | Si基板上への3−5族化合物半導体結晶の成長方法 | |
JPH05335234A (ja) | 半導体基板の製造方法 | |
JPH02105517A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPS63192227A (ja) | 化合物半導体のエピタキシヤル成長方法 | |
JPH0383327A (ja) | 化合物半導体基板の製造方法 | |
JPS63190329A (ja) | 薄膜結晶成長法 | |
JPH0360173B2 (ja) | ||
JPS61145875A (ja) | 化合物半導体装置の製造方法 | |
JPS61241911A (ja) | 化合物半導体装置 | |
JPS63239922A (ja) | エピタキシヤル成長結晶体 | |
JPH057359B2 (ja) | ||
JPS63186421A (ja) | 結晶成長法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |