JPH02139918A - ヘテロ構造体の製造方法 - Google Patents
ヘテロ構造体の製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
本発明は半導体もしくは金属シリサイドからなる単結晶
層の製造方法に係り、特にヘテロ構造の半導体素子の製
造に好適なヘテロ構造体の製造方法に関する。
層の製造方法に係り、特にヘテロ構造の半導体素子の製
造に好適なヘテロ構造体の製造方法に関する。
[従来の技術]
従来、ヘテロ構造を有する単結晶層の製造方法について
は、応用物理、第55巻、第8号(1986年)、第7
91頁から第794頁において論じられている。
は、応用物理、第55巻、第8号(1986年)、第7
91頁から第794頁において論じられている。
上記従来技術においては、シリコン(Si)単結晶基板
上にSi以外の半導体を形成する方法としてヘテロ・エ
ピタキシャル法が提案されている。
上にSi以外の半導体を形成する方法としてヘテロ・エ
ピタキシャル法が提案されている。
[発明が解決しようとする課題]
しかしながら、Siと異種半導体とでは格子定数が異な
る為、ヘテロ・エピタキシャル成長後にSiと異種半導
体とのヘテロ界面に多くの欠陥が残留する問題があった
。
る為、ヘテロ・エピタキシャル成長後にSiと異種半導
体とのヘテロ界面に多くの欠陥が残留する問題があった
。
本発明の目的は、これらの欠陥を除去し、高品質のヘテ
ロ界面を有するヘテロ構造体を形成する方法を提供する
ことにある。
ロ界面を有するヘテロ構造体を形成する方法を提供する
ことにある。
[課題を解決するための手段]
上記目的を達成するために本発明は、半導体あるいは金
属シリサイドからなる第1の単結晶層の表面上に水素原
子もしくはハロゲン原子を付着する工程、および上記原
子を付着した上記第1の単結晶上に上記第1の単結晶層
の材料とは異なる半導体あるいは金属シリサイドからな
る第2の単結晶層をヘテロ・エピタキシャル成長させる
工程を有するヘテロ構造体の製造方法であって、上記2
つの工程は上記ヘテロ構造体を製造装置外に取出すこと
なく連続的に行なわれることを特徴とする。
属シリサイドからなる第1の単結晶層の表面上に水素原
子もしくはハロゲン原子を付着する工程、および上記原
子を付着した上記第1の単結晶上に上記第1の単結晶層
の材料とは異なる半導体あるいは金属シリサイドからな
る第2の単結晶層をヘテロ・エピタキシャル成長させる
工程を有するヘテロ構造体の製造方法であって、上記2
つの工程は上記ヘテロ構造体を製造装置外に取出すこと
なく連続的に行なわれることを特徴とする。
上記第1および第2の単結晶層の材料としては、Si、
GaAsあるいはInP等の半導体単結晶材料、または
NiSi2あるいはCo5t、等の金属シリサイド単結
晶材料を用いる。上記第1および第2の単結晶層の材料
の組合せは任意に可能であるが、両者の格子定数に大幅
な違いがある場合にはヘテロ界面に欠陥が生じやすく好
ましくない。したがって両者の格子定数の差が20%以
内、より好ましくは10%以内の材料の組合せが有効で
ある。上記例示した各材料はこの観点において好ましい
ものである。
GaAsあるいはInP等の半導体単結晶材料、または
NiSi2あるいはCo5t、等の金属シリサイド単結
晶材料を用いる。上記第1および第2の単結晶層の材料
の組合せは任意に可能であるが、両者の格子定数に大幅
な違いがある場合にはヘテロ界面に欠陥が生じやすく好
ましくない。したがって両者の格子定数の差が20%以
内、より好ましくは10%以内の材料の組合せが有効で
ある。上記例示した各材料はこの観点において好ましい
ものである。
また、上記水素もしくはハロゲン原子の付着は、例えば
超高真空中に保持された試料(第1の単結晶層)上にノ
ズルより上記原子を吹きつけることによって行なうこと
ができる。この際の試料の温度は650℃以下程度とす
るのが好ましく、圧力は10−7〜10−”Torrと
するのが好ましい。より具体的な付着の方法については
実施例において詳述する。
超高真空中に保持された試料(第1の単結晶層)上にノ
ズルより上記原子を吹きつけることによって行なうこと
ができる。この際の試料の温度は650℃以下程度とす
るのが好ましく、圧力は10−7〜10−”Torrと
するのが好ましい。より具体的な付着の方法については
実施例において詳述する。
さらに上記第1の単結晶層は、所定基板上に形成した単
結晶層であっても良いし、あるいは基板として例えばS
i単結晶基板を用いるような場合にはこの基板自体を第
1の単結晶層とすることも可能である。
結晶層であっても良いし、あるいは基板として例えばS
i単結晶基板を用いるような場合にはこの基板自体を第
1の単結晶層とすることも可能である。
[作用]
上記付着した水素原子もしくはハロゲン原子は。
上記第1および第2の単結晶層の間のヘテロ界面におい
て格子不整に起因して生じるダングリング・ボンドを埋
める(ターミネイトする)役割を果たす。これによって
ヘテロ界面の欠陥を低減できる。上記ダングリング・ボ
ンドをターミネイトするためには、上記付着する水素原
子もしくはハロゲン原子の数が上記ダングリング・ボン
ドの数を中心として±50%の範囲内にあるのが好まし
く、両者の数が一致しているのが最も望ましい。
て格子不整に起因して生じるダングリング・ボンドを埋
める(ターミネイトする)役割を果たす。これによって
ヘテロ界面の欠陥を低減できる。上記ダングリング・ボ
ンドをターミネイトするためには、上記付着する水素原
子もしくはハロゲン原子の数が上記ダングリング・ボン
ドの数を中心として±50%の範囲内にあるのが好まし
く、両者の数が一致しているのが最も望ましい。
尚、ダングリング・ボンドの数は1例えば電子スピン共
鳴(Electron 5pin Re5onance
)法を用いて簡単に測定することができる。
鳴(Electron 5pin Re5onance
)法を用いて簡単に測定することができる。
[実施例]
以下実施例により本発明の詳細な説明する。第1図(a
)〜(h)は本発明の詳細な説明図である6図面の順番
に対応させて工程順に製造方法を説明する。
)〜(h)は本発明の詳細な説明図である6図面の順番
に対応させて工程順に製造方法を説明する。
第1図(a) 〜(d)は単結晶Si基板(第1の単結
晶層)1上にH又はF、CQの如きハロゲン原子を所望
の量だけ付着させる工程であり、いわゆる分子線蒸着(
MBE)装置として知られている超高真空装置の中で処
理が行なわれる工程である。F原子を付着させる場合を
例にとり典形的なシーケンスを以下に説明する。先ずS
i基板1を900℃迄昇温(約15分)させ、Si基板
表面を清浄にする(第1図(a))。次いでSL基板の
温度を650℃迄下げ、ノズルよりFガスを吹きつける
。この場合、Fを多量に吹きつけても常に一原子層(〜
6x1014個/cm”)のFが安定に存在する(第1
図(b))、これは5i−Fの結合がF−Fの結合より
も強い為である。
晶層)1上にH又はF、CQの如きハロゲン原子を所望
の量だけ付着させる工程であり、いわゆる分子線蒸着(
MBE)装置として知られている超高真空装置の中で処
理が行なわれる工程である。F原子を付着させる場合を
例にとり典形的なシーケンスを以下に説明する。先ずS
i基板1を900℃迄昇温(約15分)させ、Si基板
表面を清浄にする(第1図(a))。次いでSL基板の
温度を650℃迄下げ、ノズルよりFガスを吹きつける
。この場合、Fを多量に吹きつけても常に一原子層(〜
6x1014個/cm”)のFが安定に存在する(第1
図(b))、これは5i−Fの結合がF−Fの結合より
も強い為である。
650℃以下程度の温度範囲においては二層目以上のF
はF−F結合が切れ蒸発するが、−層目のFはSiと強
く結合している為に安定に存在する。
はF−F結合が切れ蒸発するが、−層目のFはSiと強
く結合している為に安定に存在する。
Si表面に付着しているF原子の数は、その後試料を7
50℃程度で数百秒程度加熱する事により自由に制御す
る事ができる(第1図(C))。例えば750℃で20
0秒又は500秒加熱する事により、当初付着していた
F[子(6X 10”’個/cm”)は各々6 X 1
0”個/Cm’又は6X10”個/C♂に迄減少してい
る。
50℃程度で数百秒程度加熱する事により自由に制御す
る事ができる(第1図(C))。例えば750℃で20
0秒又は500秒加熱する事により、当初付着していた
F[子(6X 10”’個/cm”)は各々6 X 1
0”個/Cm’又は6X10”個/C♂に迄減少してい
る。
勿論ノズルより吹き出すFの圧力を制御してSi表面に
付着するFの量を制御する事も可能である。この場合に
は再加熱する事無く一度の処理で所望のF原子をSL表
面上に付着する事ができる(第1図(d))。例えば温
度650℃下において2 X 10”’Torrの圧力
で吹き出すF原子を5秒又は10秒間Sj基板に照射す
る事により各々8 X 10”個/ci又は2 X 1
014個/cmのF原子がSi基板に付着する。
付着するFの量を制御する事も可能である。この場合に
は再加熱する事無く一度の処理で所望のF原子をSL表
面上に付着する事ができる(第1図(d))。例えば温
度650℃下において2 X 10”’Torrの圧力
で吹き出すF原子を5秒又は10秒間Sj基板に照射す
る事により各々8 X 10”個/ci又は2 X 1
014個/cmのF原子がSi基板に付着する。
第2の工程は、上記第1図(c)または(d)に示した
試料の上に引き続きヘテロ単結晶薄膜を形成する工程で
あり、所謂分子線エピタキシャル成長法(第1図(f)
)、或いは固相エピタキシャル成長法(第1図(e)お
よび(g))を用いる。第1の単結晶層たるSL基板1
上に形成する第2の単結晶層としてGaAsの場合を例
に取り説明をする。
試料の上に引き続きヘテロ単結晶薄膜を形成する工程で
あり、所謂分子線エピタキシャル成長法(第1図(f)
)、或いは固相エピタキシャル成長法(第1図(e)お
よび(g))を用いる。第1の単結晶層たるSL基板1
上に形成する第2の単結晶層としてGaAsの場合を例
に取り説明をする。
分子線エピタキシャル成長の場合には基板温度を150
〜400℃とし、この低い温度領域でバッファ層となる
非晶質G a A sを先ず20nm程度堆積する。引
き続き基板温度を700〜750℃に上げ分子線エピタ
キシャル成長を約300nm行う。この際、基板温度が
高い為、最初に形成した非晶質G a A sは単結晶
化し、それと同時に2回目に成長するGaAsも単結晶
GaAs4となる(第1図(f))。
〜400℃とし、この低い温度領域でバッファ層となる
非晶質G a A sを先ず20nm程度堆積する。引
き続き基板温度を700〜750℃に上げ分子線エピタ
キシャル成長を約300nm行う。この際、基板温度が
高い為、最初に形成した非晶質G a A sは単結晶
化し、それと同時に2回目に成長するGaAsも単結晶
GaAs4となる(第1図(f))。
第1図(e)および(g)に示す固相エピタキシャル成
長法も分子線エピタキシャル成長法と良く似たプロセス
であるが、この場合には比較的厚い非晶質GaAs3を
堆積しく第1図(e))、その後熱処理の・みにより単
結晶化して単結晶GaAS4となる(第1図(g))。
長法も分子線エピタキシャル成長法と良く似たプロセス
であるが、この場合には比較的厚い非晶質GaAs3を
堆積しく第1図(e))、その後熱処理の・みにより単
結晶化して単結晶GaAS4となる(第1図(g))。
即ち第1図(e)は150〜400℃の温度領域で非晶
質G a A sを320nm程度堆積する工程であり
第1図(g)はその非晶質GaAsを700℃程度の温
度で30分〜1時間アニールし単結晶化する工程である
。
質G a A sを320nm程度堆積する工程であり
第1図(g)はその非晶質GaAsを700℃程度の温
度で30分〜1時間アニールし単結晶化する工程である
。
即ち第1図(g)が所謂同相エピタキシャル成長法と呼
ばれる工程である。
ばれる工程である。
以上、説明して来た工程、すなわち第1図(a)〜(f
)、もしくは(a)〜(g)の工程をくり返す事により
、GaAsとSiとの多層のヘテロ構造を形成する事が
可能となる。第1図(h)はその完成した構造体の一例
であり、第2のGaAs14’/Si層1′/第1のG
aAs層4 / S i基板1の4層の構造となってい
る。
)、もしくは(a)〜(g)の工程をくり返す事により
、GaAsとSiとの多層のヘテロ構造を形成する事が
可能となる。第1図(h)はその完成した構造体の一例
であり、第2のGaAs14’/Si層1′/第1のG
aAs層4 / S i基板1の4層の構造となってい
る。
以上1分子線エピタキシャル成長法、あるいは固相エピ
タキシャル成長法を用いGaAs/Siのヘテロ構造を
形成する方法について説明して来たが、本発明が他の材
料よりなるヘテロ構造及び他の形成手法にも適用できる
事は自明である。
タキシャル成長法を用いGaAs/Siのヘテロ構造を
形成する方法について説明して来たが、本発明が他の材
料よりなるヘテロ構造及び他の形成手法にも適用できる
事は自明である。
ところで以上の実施例に於いては、結晶成長の過程でヘ
テロ界面にF[子等のハロゲン原子を導入する方法を説
明した。勿論GaAs/SL構造の如きヘテロ構造材料
を先ず形成し、その後イオン打込み等の手段を用いF等
のハロゲン原子を導入しヘテロ界面の格子欠陥をターミ
ネイトする事も可能である。しかしながら、この場合に
はF原子はある深さ分布をもってSi基板、ヘテロ界面
及びGaAs膜に存在する事になる。即ち余分のF原子
がSi基板及びG a A s膜中に存在する事になり
第1図で説明した本発明の方法よりも効果的にはおどる
と考えられる。
テロ界面にF[子等のハロゲン原子を導入する方法を説
明した。勿論GaAs/SL構造の如きヘテロ構造材料
を先ず形成し、その後イオン打込み等の手段を用いF等
のハロゲン原子を導入しヘテロ界面の格子欠陥をターミ
ネイトする事も可能である。しかしながら、この場合に
はF原子はある深さ分布をもってSi基板、ヘテロ界面
及びGaAs膜に存在する事になる。即ち余分のF原子
がSi基板及びG a A s膜中に存在する事になり
第1図で説明した本発明の方法よりも効果的にはおどる
と考えられる。
第1図に示した方法で形成したGaAs/Si結晶の格
子欠陥密度を電子顕微鏡観察を用い評価した結果を第2
図(図中(6)の曲線)に示す。F原子を導入する事に
より格子欠陥密度が減少しており、本発明の有効性が良
くわかる。尚図中に示すIは格子欠陥密度の実験的なバ
ラツキの範囲を示すものである。又、格子欠陥密度を最
小にするにはヘテロ界面に導入するF原子の数に最適値
のある事がわかる。第2図には本発明をCoSi、/S
i(図中曲線(5))、InP/Si (図中曲線(7
))等の他のヘテロ構造の形成に適用した例も示しであ
るが、大略GaAs/Siの場合と同じ結果が得られて
おり、本発明が広範囲のヘテロ材料に適用できる事が良
くわかる。又、F原子以外のハロゲン原子又はH原子を
ヘテロ界面に導入しても、第2図と大略同じ結果の得ら
れる事が実験的に確認されている。
子欠陥密度を電子顕微鏡観察を用い評価した結果を第2
図(図中(6)の曲線)に示す。F原子を導入する事に
より格子欠陥密度が減少しており、本発明の有効性が良
くわかる。尚図中に示すIは格子欠陥密度の実験的なバ
ラツキの範囲を示すものである。又、格子欠陥密度を最
小にするにはヘテロ界面に導入するF原子の数に最適値
のある事がわかる。第2図には本発明をCoSi、/S
i(図中曲線(5))、InP/Si (図中曲線(7
))等の他のヘテロ構造の形成に適用した例も示しであ
るが、大略GaAs/Siの場合と同じ結果が得られて
おり、本発明が広範囲のヘテロ材料に適用できる事が良
くわかる。又、F原子以外のハロゲン原子又はH原子を
ヘテロ界面に導入しても、第2図と大略同じ結果の得ら
れる事が実験的に確認されている。
次に、本発明を特に有効とするH原子及びハロゲン原子
の量に関し第2図を用い説明をする。
の量に関し第2図を用い説明をする。
GaAs/St構造を例に取ると各々の格子定数は5.
653人(GaAs)、5.431人(Si)であるか
ら両者の間には4%の格子不整が存在する事になる。言
い換えるとヘテロ界面には5.4×1011個/c+s
”のダングリング・ボンドが存在する。又CoSi、/
Si、Ink/Si等のヘテロ構造の場合には各々1.
2%及び8.0%の格子不整が存在し、それらのヘテロ
界面には4.9 X 10”個/am”及び2.2X1
0”個/clI2のタングリング・ボンドが存在する。
653人(GaAs)、5.431人(Si)であるか
ら両者の間には4%の格子不整が存在する事になる。言
い換えるとヘテロ界面には5.4×1011個/c+s
”のダングリング・ボンドが存在する。又CoSi、/
Si、Ink/Si等のヘテロ構造の場合には各々1.
2%及び8.0%の格子不整が存在し、それらのヘテロ
界面には4.9 X 10”個/am”及び2.2X1
0”個/clI2のタングリング・ボンドが存在する。
これらの試料に本発明を適用した実験結果(第2図)を
みると、ダングリング・ボンドの数は格子欠陥密度を最
小とするのに必要なハロゲン原子の数と定量的に一致し
ている事がわかる。即ちヘテロ界面に存在するダングリ
ング・ボンドを丁度塩めるだけのH原子又はハロゲン原
子を導入する事が本発明を最も有効にする条件である事
が良くわかる。
みると、ダングリング・ボンドの数は格子欠陥密度を最
小とするのに必要なハロゲン原子の数と定量的に一致し
ている事がわかる。即ちヘテロ界面に存在するダングリ
ング・ボンドを丁度塩めるだけのH原子又はハロゲン原
子を導入する事が本発明を最も有効にする条件である事
が良くわかる。
上記の条件を一般的な式にして以下に示す。基板となる
材料の格子定数をd(人)、その上に形成するヘテロ材
料の格子定数をd±(x/100)(人)とする(即ち
、この場合の格子不整率はX(%)となる)と、ヘテロ
界面に存在するダングリ(am−” )と書き表す事が
できる。
材料の格子定数をd(人)、その上に形成するヘテロ材
料の格子定数をd±(x/100)(人)とする(即ち
、この場合の格子不整率はX(%)となる)と、ヘテロ
界面に存在するダングリ(am−” )と書き表す事が
できる。
従って格子欠陥密度を最小にするのに必要なハロゲン原
子の数(N)と、格子不整率(X)との関係は N (c+a−”)= x”/ (d X 10−’)
” となる。
子の数(N)と、格子不整率(X)との関係は N (c+a−”)= x”/ (d X 10−’)
” となる。
基板材料がSiの場合にはd=5.431人であるから
、上式は N (cm−”) = 3.4 X 1 0
” ・ x”と書き直す事ができる。
、上式は N (cm−”) = 3.4 X 1 0
” ・ x”と書き直す事ができる。
上記の基本式を基にして、本発明を広範囲なヘテロ構造
(NiSi、/Si、GaP/Si、CoSi。
(NiSi、/Si、GaP/Si、CoSi。
/Si、 GaAs/Si、 Ge/Si、 InP/
Si)に適用した結果を第3図に示す。縦軸は格子欠陥
密度を最小とするのに必要なハロゲン原子の数であり、
又横軸は格子不整率である。格子不整率が0.5〜10
%と広い範囲において、上記の基本式が成立しており、
本発明が多くのヘテロ材料に対して有効である事が良く
わかる。ところで、第3図の図中の曲線8は格子欠陥密
度を最小とするのに必要なハロゲン原子と格子不整率の
関係、即ちN (am−”) = 3.4 X 10”
−x”であり、又曲線9及び10は本発明を有効とする
ハロゲン原子の数の上限及び下限を実験的に決めたもの
である。
Si)に適用した結果を第3図に示す。縦軸は格子欠陥
密度を最小とするのに必要なハロゲン原子の数であり、
又横軸は格子不整率である。格子不整率が0.5〜10
%と広い範囲において、上記の基本式が成立しており、
本発明が多くのヘテロ材料に対して有効である事が良く
わかる。ところで、第3図の図中の曲線8は格子欠陥密
度を最小とするのに必要なハロゲン原子と格子不整率の
関係、即ちN (am−”) = 3.4 X 10”
−x”であり、又曲線9及び10は本発明を有効とする
ハロゲン原子の数の上限及び下限を実験的に決めたもの
である。
即ち、格子欠陥密度の面内バラツキ及び実験的な誤差(
第2図参照)を考慮すると、曲線8の基本式を中心にし
て±50%のハロゲン原子数の領域が本発明のより好ま
しい範囲である事がわかる。
第2図参照)を考慮すると、曲線8の基本式を中心にし
て±50%のハロゲン原子数の領域が本発明のより好ま
しい範囲である事がわかる。
[発明の効果]
本発明によれば、H原子又はハロゲン原子を用いダング
リング・ボンドをターミネイトする事によりヘテロ界面
の結晶性を向上する事ができるので、高品質のヘテロ構
造半導体素子に好適なヘテロ構造体を形成することがで
きるという効果がある。
リング・ボンドをターミネイトする事によりヘテロ界面
の結晶性を向上する事ができるので、高品質のヘテロ構
造半導体素子に好適なヘテロ構造体を形成することがで
きるという効果がある。
第1図は本発明の実施例の製造工程説明図であり、第2
図及び第3図は本発明の効果を示す図である。 1・・・単結晶Si基板、1′・・・単結晶Si層、2
・・・H原子又はハロゲン原子、3・・・非晶質GaA
s、4゜4’=・・単結晶G a A s a
図及び第3図は本発明の効果を示す図である。 1・・・単結晶Si基板、1′・・・単結晶Si層、2
・・・H原子又はハロゲン原子、3・・・非晶質GaA
s、4゜4’=・・単結晶G a A s a
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、半導体あるいは金属シリサイドからなる第1の単結
晶層の表面上に水素原子もしくはハロゲン原子を付着す
る工程、および上記原子を付着した上記第1の単結晶層
上に上記第1の単結晶層の材料とは異なる半導体あるい
は金属シリサイドからなる第2の単結晶層をヘテロ・エ
ピタキシャル成長させる工程を有するヘテロ構造体の製
造方法であって、上記2つの工程は上記ヘテロ構造体を
製造装置外に取出することなく連続的に行なわれること
を特徴とするヘテロ構造体の製造方法。 2、上記付着する水素原子もしくはハロゲン原子の数が
、上記第1の単結晶層と上記第2の単結晶層とのヘテロ
界面に存在するタングリング・ボンドの数に等しいか、
又はその値を中心にして±50%の範囲内にあることを
特徴とする請求項1記載のヘテロ構造体の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63291101A JP2507888B2 (ja) | 1988-11-19 | 1988-11-19 | ヘテロ構造体の製造方法 |
US07/438,290 US5066355A (en) | 1988-11-19 | 1989-11-16 | Method of producing hetero structure |
DE68921868T DE68921868T2 (de) | 1988-11-19 | 1989-11-20 | Verfahren zur Herstellung einer Heterostruktur. |
EP89312016A EP0377954B1 (en) | 1988-11-19 | 1989-11-20 | Method of producing hetero structure |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63291101A JP2507888B2 (ja) | 1988-11-19 | 1988-11-19 | ヘテロ構造体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02139918A true JPH02139918A (ja) | 1990-05-29 |
JP2507888B2 JP2507888B2 (ja) | 1996-06-19 |
Family
ID=17764466
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63291101A Expired - Lifetime JP2507888B2 (ja) | 1988-11-19 | 1988-11-19 | ヘテロ構造体の製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5066355A (ja) |
EP (1) | EP0377954B1 (ja) |
JP (1) | JP2507888B2 (ja) |
DE (1) | DE68921868T2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5925147A (en) * | 1993-05-31 | 1999-07-20 | Sumitomo Sitix Corporation | Process for producing single crystals |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3500541B2 (ja) * | 1994-02-15 | 2004-02-23 | 富士通株式会社 | 単電子トンネル接合装置の製造方法 |
JP3062065B2 (ja) * | 1995-10-20 | 2000-07-10 | 日本電気株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
EP1779855A1 (en) * | 2005-10-28 | 2007-05-02 | Abdula Kurkayev | Nanoparticles of a heterocrystal mineral for use as a medicament and method of producing the same |
MX2016005575A (es) * | 2013-10-31 | 2016-12-09 | Archer Daniels Midland Co | Metodos para el envejecimiento de tejidos o prendas utilizando particulas de polisacarido. |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5543882A (en) * | 1978-09-22 | 1980-03-27 | Mitsubishi Monsanto Chem Co | Gaseous-phase growing of compound semiconductor epitaxial film |
JPS6126216A (ja) * | 1984-07-16 | 1986-02-05 | Agency Of Ind Science & Technol | 化合物半導体の成長方法 |
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---|---|---|---|---|
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FR2225207B1 (ja) * | 1973-04-16 | 1978-04-21 | Ibm | |
US3929527A (en) * | 1974-06-11 | 1975-12-30 | Us Army | Molecular beam epitaxy of alternating metal-semiconductor films |
JPS5638054B2 (ja) * | 1974-07-04 | 1981-09-03 | ||
US3963538A (en) * | 1974-12-17 | 1976-06-15 | International Business Machines Corporation | Two stage heteroepitaxial deposition process for GaP/Si |
JPS5748735A (en) * | 1980-09-08 | 1982-03-20 | Canon Inc | Manufacture of image forming member for electrophotography |
US4517047A (en) * | 1981-01-23 | 1985-05-14 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | MBE growth technique for matching superlattices grown on GaAs substrates |
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US4575924A (en) * | 1984-07-02 | 1986-03-18 | Texas Instruments Incorporated | Process for fabricating quantum-well devices utilizing etch and refill techniques |
US4870032A (en) * | 1987-01-14 | 1989-09-26 | American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories | Method of fabricating single crystal films of cubic group II fluorides on semiconductor componds by molecular beam epitaxy |
US4918031A (en) * | 1988-12-28 | 1990-04-17 | American Telephone And Telegraph Company,At&T Bell Laboratories | Processes depending on plasma generation using a helical resonator |
-
1988
- 1988-11-19 JP JP63291101A patent/JP2507888B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-11-16 US US07/438,290 patent/US5066355A/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-11-20 DE DE68921868T patent/DE68921868T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-11-20 EP EP89312016A patent/EP0377954B1/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US5925147A (en) * | 1993-05-31 | 1999-07-20 | Sumitomo Sitix Corporation | Process for producing single crystals |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0377954A1 (en) | 1990-07-18 |
US5066355A (en) | 1991-11-19 |
JP2507888B2 (ja) | 1996-06-19 |
EP0377954B1 (en) | 1995-03-22 |
DE68921868T2 (de) | 1995-09-07 |
DE68921868D1 (de) | 1995-04-27 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |