JPS6123787Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 Ｘ線分光装置には一種類の元素から出る特性Ｘ
線のみを検出するようにスリツト及び分光結晶の
相互位置関係を固定した分光器を複数個（分光器
毎に検出する波長が異る）試料の周りに配置する
型のものがある。本考案はこのような型のＸ線分
光装置に関するものである。

本考案各単一波長用Ｘ線分光器の調整が容易で
狂いがなく、また分光装置本体えの着脱が容易な
ようにすることを目的としたものである。

本考案はＸ線入射スリツトと分光結晶とＸ線射
出スリツトとを一つの基板上に固定し特に分光結
晶のみその取付けられた位置において回転可能と
したものである。この場合スリツト及び分光結晶
の三者は或る一つの波長のＸ線に対してブラツグ
の関係を満足するように基板上で位置決め固定さ
れる。以下実施例によつて本考案を説明する。

第１図で１は基板で厚さ約５mmの鋳物でできて
おり、入射スリツト２，射出スリツト３，分光結
晶４が取付けられる。鎖線Ｒは仮想したローラン
ド円でスリツト２，３及び分光結晶の三者はその
中心が夫々ローランド円上に位置し、各スリツト
の面が分光結晶の方に向くように固定される。こ
れらの位置及び向きは検出しようとするＸ線の波
長により幾何学的に定まつているから、それに従
つて夫々の取付け位置が工作される。分光結晶４
は台座５に固定され、台座５は分光結晶４の表面
中央を通る垂直線と同軸に下方に回転軸６が突出
させてあり、この軸が基板１の孔に嵌合させてあ
るので、分光結晶はローランド円上に位置して、
その位置は動かず回転のみ可能である。台座５に
は左右に突起５１，５２が出ており、基板１に取
付けた調節ねじ２１，２２の先端が当つており、
これらのねじにより分光結晶４はその向きが微調
整される。スリツトや分光結晶の位置は工作上正
確に位置決めできるが、分光結晶においてその表
面とＸ線回折が起る原子面とは必ずしも平行でな
く多少の傾きがあるので分光結晶の角度調整まで
不要にすることは困難である。７は基板１から突
出させた取付腕でこれによつて分光装置本体に取
付けられる。１１はＸ線検出器、１２は基板１を
覆う板金製のカバーで分光器内に不要なＸ線が入
らないようにするためのものである。

第２図はＸ線分光装置の全体を示し、８は真空
容器、９はＸ線管、１０は試料で、この例は蛍光
Ｘ線分析を行う装置であり、基板１に取付けて構
成された分光器は複数個がＸ線管９の周囲に放射
状に配列される。

第３図は従来のこの種のＸ線分光器を示す。二
又になつた箱状のものＡの両端に入射及び射出の
スリツト２，３が取付けられ、このＡが基板Ｂに
固着され、Ａの中央の角の所の開口に対向させて
分光結晶４が基板Ｂに取付けられている。Ａは板
金熔接によつて作られるので、歪が生じ、スリツ
ト２，３は平行でない。またスリツト２，３と分
光結晶４との位置関係も正確を期し難い。従つて
スリツト２，３の不平行に対し、分光結晶４は直
交３軸周りの回転と前後方向直進の４個の調整自
由度を要し、幾何学的調整が大へん複雑である。

これに対して本考案では上述したようにスリツ
ト及び分光結晶の三者が同一基板上に固定される
ので、三者の要求される幾何学的位置関係は正確
に実現でき狂いがなく、分光結晶の一軸周りの回
転調整だけでよいので分光器１個当りの製造コス
トを低下させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例装置の主要部斜視
図、第２図は上記実施例Ｘ線分光装置の全体の縦
断側面図、第３図は従来のＸ線分光器の斜視図で
ある。 １……基板、２……入射スリツト、３……射出
スリツト、４……分光結晶、５……回転可能な台
座、８……真空容器、９……Ｘ線管、１０……試
料。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 複数個のＸ線分光器を試料の周囲に配置する型
   のＸ線分光装置において、各Ｘ線分光器を、互い
   に異なる一つのＸ線波長に対してブラツグの関係
   を満足させる位置関係で入射，出射両スリツト及
   び分光結晶の三者が各Ｘ線分光器毎の平面状の基
   板上に保持された構成とし、かつ分光結晶が同基
   板上のその位置で同基板に垂直な軸により回転調
   整可能であるようにしたことを特徴とするＸ線分
   光装置。