JP2005121636A - X線回折分析器およびこのx線回折分析器の測定位置補正方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 試料の結晶構造分析時の測定精度を高くすることができるX線回折分析器およびこの分析器における測定位置補正方法を提供する。
【解決手段】 X線発生器と、第1ステージと、試料による回折X線を検出する検出器と、検出器が設けられる第2ステージと、第2ステージと検出器の間に設けられ、前記試料と前記検出器の間の間隔を調整可能に前記検出器を移動させる移動部とを含むX線回折分析器、およびこのX線回折分析器を用いて、既知の結晶構造を有する試料による回折X線を連続的または間歇的に検出して回折角2θを測定し、その回折角2θから試料の格子間隔と実測値の間の誤差を算出して試料と検出器の間の間隔D2の変化量を求め、その間隔D2の変化量に対応して検出器の位置を調整するX線回折分析器の測定位置補正方法。
【選択図】 図3
【解決手段】 X線発生器と、第1ステージと、試料による回折X線を検出する検出器と、検出器が設けられる第2ステージと、第2ステージと検出器の間に設けられ、前記試料と前記検出器の間の間隔を調整可能に前記検出器を移動させる移動部とを含むX線回折分析器、およびこのX線回折分析器を用いて、既知の結晶構造を有する試料による回折X線を連続的または間歇的に検出して回折角2θを測定し、その回折角2θから試料の格子間隔と実測値の間の誤差を算出して試料と検出器の間の間隔D2の変化量を求め、その間隔D2の変化量に対応して検出器の位置を調整するX線回折分析器の測定位置補正方法。
【選択図】 図3
Description
本発明は、微細結晶構造分析のためのX線回折分析器、およびこのX線回折分析器の測定位置補正方法に係り、さらに詳細には測定対象物の試料と検出器の間の距離および検出器の位置を正確に測定することによって微細結晶構造を精密に分析できるX線回折分析器およびこのX線回折分析器の測定位置補正方法に関する。
一般的に、X線回折分析器は、回折角度を測定するゴニオメータと、X線強度を測定する計数記録装置とを用いて物体の微細結晶構造を分析する。最近では、回折分析装置の発達に伴って、回折されたX線を測定するためにフィルムの代わりに電荷結合素子(Charge−Coupled Device:以下、CCD)のような二次元測定装置が主に利用される。
このCCDを利用したX線回折分析器は、フィルムを利用した分析器に比べて測定誤差を大幅に低減することができ、測定精度をほぼ100倍以上高くすることができる。従って、このCCDを利用したX線回折分析器を用いて分析を行う場合、試料の結晶構造分析の時間を短縮でき、方向性を有する物質の結晶構造と方位とを容易に測定できるという利点がある。
図1および図2のそれぞれは、従来のX線回折分析器を示した概略的な図面である。図に示すとおり、従来のX線回折分析器は、X線発生器11と、分析対象の試料13が装着される第1ステージ15と、前記第1ステージに回転可能に装着された第2ステージ17と、前記第2ステージ17に取り付けられ、入射された回折X線を検出する検出器19とを備える。
前記第1ステージ15は、回転可能に設けられ、その回転方向を調整することによって、前記X線発生器11に対する試料13の傾きを調整できる。前記第2ステージ17は、前記第1ステージ15に対して独立的に回転駆動される。この第2ステージ17を回転させることにより、前記検出器19の方向を調整できる。前記検出器19はCCDで構成される。
前記X線発生器11で発生したX線は前記試料13に照射される。照射されたX線は、前記試料13の結晶構造によって回折角2θで回折される。ここで、角θは試料13の結晶構造による固有な値である。この回折された光のピーク値を前記検出器19を介して検出することにより、前記試料13の結晶構造が分かる。前記検出器19は、前記試料13から所定間隔D1だけ離隔して配置され、その基準位置から回折光のピーク値が検出された位置までの距離R1を測定した後、この間隔D1と距離R1との関係から前記回折角2θを求めることにより試料13の結晶構造が分かる。
このように構成されたX線回折分析器は、測定精度が向上し、試料13の結晶構造分析に要する時間を短縮し、かつ方向性を有する物質の結晶構造と方位とを容易に測定できるという利点がある。
一方、試料13と検出器19の間の間隔D1が固定された構造を有するので、検出器19の分解能と精度が向上しても、試料13と検出器19の間の間隔D1の機構的な公差によって精度が半減される問題点がある。
本発明は、前記のような問題点を勘案して案出されたものであり、試料と測定装置の間の間隔を正確に合わせて高精度で測定できるように構造が改善されたX線回折分析器およびこの分析器の測定位置補正方法を提供することを目的とする。
前記目的を達成するために、本発明によるX線回折分析器は、X線発生器と、試料が設けられる第1ステージと、前記X線発生器から照射されて前記試料で回折されて入射される回折X線を検出する検出器と、前記検出器が設けられる第2ステージと、前記第2ステージと前記検出器の間に設けられ、前記試料と前記検出器の間の間隔を調整可能に前記検出器を移動させる移動部とを含むことを特徴とする。
また、前記目的を達成するために、本発明は、X線発生器と、試料が設けられる第1ステージと、前記X線発生器から照射されて前記試料で回折されて入射される回折X線を検出する検出器と、前記検出器が設けられる第2ステージと、前記第2ステージと前記検出器の間に設けられ、前記試料と前記検出器の間の間隔を調整可能に前記検出器を移動させる移動部とを含むX線回折分析器の測定位置補正方法において、前記第1ステージ上に既知の結晶構造を有する試料を配置する段階と、前記移動部を移動させながら、前記検出器によって前記試料で回折された回折X線を連続的または間歇的に検出して回折角2θを測定する段階と、測定された回折角2θから求めた試料の格子間隔と前記試料の格子間隔の間の誤差を算出し、前記誤差から前記試料と前記検出器の間の間隔D2の変化量を算出する段階と、算出された間隔D2の変化量に対応する幅だけ前記検出器を移動させる段階とを含むことを特徴とする。
本発明のX線回折分析器は、X線検出器と試料の間の間隔を調整できるため、その間隔を調整して測定位置を補正することにより、試料の結晶構造の分析時における測定精度を高くすることができることから、X線回折分析分野に広く適用できる。
図3および図4に示すとおり、本発明の実施形態によるX線回折分析器は、X線発生器21と、分析対象の試料23が設けられる第1ステージ25と、回折X線を検出する検出器29と、前記検出器29が設けられる第2ステージ27と、前記試料23と前記検出器29の間の間隔が調整可能なように前記検出器29を移動させる移動部30とを備える。
前記第1ステージ25は、矢印A方向に回転可能に設けられる。従って、前記第1ステージ25を回転させることにより、前記X線発生器21に対する試料23の傾きを調整できる。
一方、前記第1ステージ25は、前記回転駆動以外にも、X軸、Y軸およびZ軸方向の3軸駆動可能なX−、Y−、Z−ステージを含むように構成できる。このように、前記第1ステージ25を構成することにより、前記第1ステージ25に設けられた試料23の位置を自由に補正できる。ここで、前記3軸駆動ステージ自体の構成は当技術分野では公知なので、その詳細な説明は省略する。
前記第2ステージ27は、前記第1ステージ25に対して独立してB方向に回転駆動可能に設けられている。従って、前記第2ステージ25を回転させることによって、前記検出器29の方向を調整できる。前記検出器29は、二次元構造を有する測定装置であり、CCDで構成される。
前記移動部30は、前記第2ステージ27と前記検出器29の間に設けられ、図5に示すように、検出器29を試料23に対して半径方向に移動して、試料23に検出器29を近接させたり遠隔させることができる。
このように、移動部30を用いて試料23と検出器29間の間隔D2を補正することにより、前記試料23と前記検出器29の間の間隔D2の機械的公差によって測定精度が低下する問題点を解決できる。
前記移動部30は、前記検出器29の移動を精密制御できるものであり、例えば、線形ステッピングモータで構成されることが望ましい。一方、前記移動部30は、線形ステッピングモータの代わりに、回転駆動モータとリードスクリュとを利用した構成も可能である。
前記のように構成された、本発明の実施形態に係るX線回折分析器による結晶構造分析は次の通りに行われる。
前記X線発生器21で発生したX線は、前記試料23に照射される。この照射されたX線は、前記試料23の結晶構造によって所定の回折角2θで回折される。ここで、角θは試料23の結晶構造による固有な値であり、ブラッグの法則によって格子間距離を求めるために利用される。
前記回折角2θは、基準位置から回折光のピーク値が検出された位置までの距離R2を測定した後、試料23と検出器29の間の間隔D2の関係から求められる。
すなわち、前記の回折角2θ、距離R2および間隔D2は、下記の数式1と、この数式1を整理した下記の数式2とを満足する。
従って、前記のように設定された間隔D2と測定された距離R2とから回折角2θを求めることができる。
以下、前記実施形態によるX線回折分析器の測定位置補正方法を詳細に説明する。
まず、前記第1ステージ25上に、結晶構造が既知の試料、例えば、ゲルマニウム(Ge)単結晶を設ける。
まず、前記第1ステージ25上に、結晶構造が既知の試料、例えば、ゲルマニウム(Ge)単結晶を設ける。
次に、前記移動部30を移動させながら、回折角2θを測定する。図6Aおよび図6Bは、前記移動部30により検出器29を移動させながら、回折光のピーク値を検出した結果を示したものである。この検出された結果と、前記数式1および数式2とに基づいて回折角2θを算出できる。
ここで、回折角2θの測定は、移動部30の移動による回折X線の変化を連続的または間歇的に検出することによって行なわれる。
その後、測定された回折角2θから求めた試料の格子間隔と、実際の試料の格子間隔との間の誤差を算出する。この結果から、前記試料23と前記検出器29の間の間隔D2の所要変化量を算出できる。
また、前記のような測定を介して、前記検出器29の中心位置の誤差を検出できる。
最後に、算出された間隔D2の所要変化量に対応する距離だけ前記検出器29を移動させることにより、測定位置を補正できる。
また、本発明の測定位置補正方法は、前記検出器29の中心位置偏差を検出し、その中心位置偏差に基づいて前記検出器29の中心位置を補正する段階をさらに含むことが望ましい。すなわち、前記移動部30によって前記検出器29を移動させながら、前記検出器29によって前記試料23で回折された回折X線を検出する。この検出されたX線から、前記検出器29の中心位置偏差が測定される。
図7Aと図7Bのそれぞれは、結晶面が(333)、(466)、(755)の配位の結晶構造を有する試料について、試料23と検出器29の間のX軸方向およびY軸方向における間隔変化による回折光のピーク位置変化を示したグラフである。
図7Aおよび図7Bに示すとおり、試料23と検出器29の間の間隔D2が変化することにより、ピーク位置が線形的に放射状の変化を有することが分かる。従って、図7Aおよび図7Bに点線で示したように、各試料のピーク位置を示す直線(リード線)の延長線の交点が検出器29のX軸とY軸の中心になる。本実施形態においては、検出器29が1,200×1,200画素の解像度であるとき、検出器29の中心がX軸方向では664.8画素に、Y軸方向では671.7画素に位置していることを示す。ここで、前記点線で示したリード線が軸上で交差しない場合は、間隔D2を調整することにより、検出器29の中心位置を合わせることができる。
以下、表1を参照して、検出器の位置を補正した場合(実施例)と、検出器の位置を補正しなかった場合(比較例)とについて、それぞれの測定精度を比較する。
表1は、分析対象試料として、格子構造が(1,1,1)の結晶面を有し、格子間角度α,β,γがいずれも90度であるGe単結晶を使用した場合を例に示したものである。
比較例では、試料23と検出器29の間の間隔D2を40[mm]に固定した状態で距離R2を求めた後、前記数式1および数式2を利用して格子定数a,bおよびcおよび格子間角度α,β,γを求めた。
この比較例の場合、ゲルマニウムの格子間距離について測定された実測値は12.05×10-3[nm]の偏差を有し、格子間角度について測定された実測値は2.27度の偏差を有することが分かる。
一方、実施例では、試料23と検出器29の間の間隔D2を40.35[mm]に補正した状態で、前記数式1および数式2を利用して格子間距離a,bおよびc、ならびに格子間角度α,β,γを求めた。
この実施例の場合、ゲルマニウムの格子間距離について測定された実測値は1.04×10-3[nm]の偏差を有し、格子間角度について測定された実測値は0.15度の偏差を有することが分かる。すなわち、X線回折分析器の構成を実施形態の通り改善して補正を行うことにより、格子間距離および格子間角度の偏差が大幅に改善され、微細結晶構造の測定精度が向上することが分かる。
本発明のX線回折分析器およびこの分析器の測定位置補正方法は、例えば、物体の微細結晶構造分析器を利用するX線回折分析分野に効果的に適用可能である。
21 X線発生器
23 試料
25 第1ステージ
27 第2ステージ
29 検出器
30 移動ユニット
23 試料
25 第1ステージ
27 第2ステージ
29 検出器
30 移動ユニット
Claims (6)
- X線発生器と、
試料が設けられる第1ステージと、
前記X線発生器から照射されて前記試料で回折されて入射される回折X線を検出する検出器と、
前記検出器が設けられる第2ステージと、前記第2ステージと前記検出器の間に設けられ、前記試料と前記検出器の間の間隔を調整可能に前記検出器を移動させる移動部とを含むことを特徴とするX線回折分析器。 - 前記移動部は、
線形ステッピングモータであることを特徴とする請求項1に記載のX線回折分析器。 - 前記第1ステージは、
前記X線発生器に対する前記試料の傾斜角度を変えられるように、回転可能に設けられたことを特徴とする請求項1または2に記載のX線回折分析器。 - 前記第2ステージは、
前記検出器の設置方向を調整できるように、回転可能に設けられたことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のX線回折分析器。 - X線発生器と、
試料が設けられる第1ステージと、
前記X線発生器から照射されて前記試料で回折されて入射される回折X線を検出する検出器と、
前記検出器が設けられる第2ステージと、
前記第2ステージと前記検出器の間に設けられ、前記試料と前記検出器の間の間隔を調整可能に前記検出器を移動させる移動部とを含むX線回折分析器の測定位置補正方法において、
前記第1ステージ上に既知の結晶構造を有する試料を配置する段階と、
前記移動部を移動させながら、前記検出器によって前記試料で回折された回折X線を連続的または間歇的に検出して回折角2θを測定する段階と、
測定された回折角2θから求めた試料の格子間隔と前記試料の既知の格子間隔の間の誤差を算出し、前記誤差から前記試料と前記検出器の間の間隔D2の変化量を算出する段階と、
算出された間隔D2の変化量に対応する幅だけ前記検出器を移動させる段階とを含むことを特徴とするX線回折分析器の測定位置補正方法。 - 前記移動部によって前記検出器を移動させながら、前記検出器によって前記試料で回折された回折X線を検出し、前記検出器の中心位置偏差を検出する段階と、
検出された中心位置偏差から前記検出器の中心位置を補正する段階とを含むことを特徴とする請求項5に記載のX線回折分析器の測定位置補正方法。
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