JP3337543B2 - 単結晶インゴットの端面測定装置 - Google Patents
単結晶インゴットの端面測定装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、単結晶インゴットの端
面と結晶格子面との間の偏差角度、すなわち結晶格子面
に対するインゴット端面の傾き角度をＸ線の回折を利用
して測定する単結晶インゴットの端面測定装置に関す
る。
面と結晶格子面との間の偏差角度、すなわち結晶格子面
に対するインゴット端面の傾き角度をＸ線の回折を利用
して測定する単結晶インゴットの端面測定装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】高集積回路（ＩＣ）を構成する半導体基
板は、通常、径の大きい半導体ウェハ、例えばＳｉ（シ
リコン）単結晶ウェハから切り出される。また、その単
結晶ウェハは、例えば円柱形状の単結晶インゴットを薄
い板厚に切断することによって形成される。この単結晶
インゴットは周知の通りその内部に結晶格子面を有して
おり、その結晶格子面は、例えば図４に模式的に符号Ｔ
で示すように、軸線Ｌ１を中心とする円柱形状の単結晶
インゴット１の内部に互いに平行に所定の格子面間隔ｄ
で連続して並んでいる。この単結晶インゴット１に関し
て留意しなければならないのは、単結晶インゴット１の
端面１ａと結晶格子面Ｔとの間の偏差角δの大きさを正
確に把握しなければならないということである。単結晶
インゴット１に対して行われる種々の加工は、端面１ａ
を基準として行われることが多いからである。
板は、通常、径の大きい半導体ウェハ、例えばＳｉ（シ
リコン）単結晶ウェハから切り出される。また、その単
結晶ウェハは、例えば円柱形状の単結晶インゴットを薄
い板厚に切断することによって形成される。この単結晶
インゴットは周知の通りその内部に結晶格子面を有して
おり、その結晶格子面は、例えば図４に模式的に符号Ｔ
で示すように、軸線Ｌ１を中心とする円柱形状の単結晶
インゴット１の内部に互いに平行に所定の格子面間隔ｄ
で連続して並んでいる。この単結晶インゴット１に関し
て留意しなければならないのは、単結晶インゴット１の
端面１ａと結晶格子面Ｔとの間の偏差角δの大きさを正
確に把握しなければならないということである。単結晶
インゴット１に対して行われる種々の加工は、端面１ａ
を基準として行われることが多いからである。
【０００３】上記の偏差角δを測定する方法の１つとし
て、Ｘ線の回折を利用したものが知られている。例え
ば、図６に示すように、円柱形状の単結晶インゴット１
をＶブロック２の上に載せて位置決めし、Ｘ線源３から
放射されるＸ線をインゴット端面１ａに照射し、そして
そこで回折した回折Ｘ線をＸ線カウンタ４によって検出
するようにした測定方法が知られている。この測定方法
では、Ｘ線源３の配設位置、Ｘ線カウンタ４の配設位置
及びＶブロック２の配設位置を標準試料を使って予め所
定位置に決めておき、偏差角δが未知である単結晶イン
ゴットをＶブロック２の上に載せ、さらにＶブロック２
を試料軸線ωを中心として矢印Ａのように回動させて回
折Ｘ線が発生する角度位置を見つけ出し、その見つけ出
した所の角度値を読み取ることにより偏差角δのズレ量
を測定する。
て、Ｘ線の回折を利用したものが知られている。例え
ば、図６に示すように、円柱形状の単結晶インゴット１
をＶブロック２の上に載せて位置決めし、Ｘ線源３から
放射されるＸ線をインゴット端面１ａに照射し、そして
そこで回折した回折Ｘ線をＸ線カウンタ４によって検出
するようにした測定方法が知られている。この測定方法
では、Ｘ線源３の配設位置、Ｘ線カウンタ４の配設位置
及びＶブロック２の配設位置を標準試料を使って予め所
定位置に決めておき、偏差角δが未知である単結晶イン
ゴットをＶブロック２の上に載せ、さらにＶブロック２
を試料軸線ωを中心として矢印Ａのように回動させて回
折Ｘ線が発生する角度位置を見つけ出し、その見つけ出
した所の角度値を読み取ることにより偏差角δのズレ量
を測定する。
【０００４】ところで、単結晶インゴット１から単結晶
ウェハを切り出す際には、中心軸線Ｌ１を中心とする直
角２方向に関する偏差角δを求めて、切り出し用工具の
単結晶インゴットに対する固定角度位置をそれらの偏差
角δに基づいて個々に調整する必要がある。このため通
常は、まず、角度基準となる平坦面であるオリフラ面１
ｃを基準として軸線Ｌ１回りの０゜位置において上記の
ような操作によって偏差角δを求め、その後、単結晶イ
ンゴット１を軸線Ｌ１を中心として矢印Ｂ方向へ９０゜
回転させてそこに固定し、その状態で再度、偏差角δを
測定する。こうして単結晶インゴット１の端面１ａでの
直交する２方向の偏差角δを測定する。
ウェハを切り出す際には、中心軸線Ｌ１を中心とする直
角２方向に関する偏差角δを求めて、切り出し用工具の
単結晶インゴットに対する固定角度位置をそれらの偏差
角δに基づいて個々に調整する必要がある。このため通
常は、まず、角度基準となる平坦面であるオリフラ面１
ｃを基準として軸線Ｌ１回りの０゜位置において上記の
ような操作によって偏差角δを求め、その後、単結晶イ
ンゴット１を軸線Ｌ１を中心として矢印Ｂ方向へ９０゜
回転させてそこに固定し、その状態で再度、偏差角δを
測定する。こうして単結晶インゴット１の端面１ａでの
直交する２方向の偏差角δを測定する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の測定方法においては、単結晶インゴット１の円筒面を
Ｖブロック２の上に載せて位置決めしているので、円筒
面に対する結晶格子面の傾斜角度は正確に測定できるも
のの、端面１ａに対する結晶格子面の傾斜角度、すなわ
ち偏差角度を直接的に知ることはできなかった。
の測定方法においては、単結晶インゴット１の円筒面を
Ｖブロック２の上に載せて位置決めしているので、円筒
面に対する結晶格子面の傾斜角度は正確に測定できるも
のの、端面１ａに対する結晶格子面の傾斜角度、すなわ
ち偏差角度を直接的に知ることはできなかった。
【０００６】本発明はその問題点を解決するためになさ
れたものであって、単結晶インゴットの端面と結晶格子
面との間の偏差角を直接的に正確に測定できる単結晶イ
ンゴットの端面測定装置を提供することを目的とする。
れたものであって、単結晶インゴットの端面と結晶格子
面との間の偏差角を直接的に正確に測定できる単結晶イ
ンゴットの端面測定装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明に係る単結晶インゴットの端面測定装置は、
単結晶インゴットの端面と結晶格子面との偏差角度を測
定する単結晶インゴットの端面測定装置において、前記
単結晶インゴットの中心軸線に対して直角の方向へ延び
る試料軸線を中心として前記中心軸線に対して傾斜角が
変わる如く回転可能に設けた試料ガイド板と、前記試料
軸線を中心として回転可能に設けられていて、前記単結
晶インゴットの端面にＸ線を照射し、そこで回折する回
折Ｘ線を検出する１８０°−２θ光学系と、前記試料ガ
イド板又は前記１８０°−２θ光学系のいずれか一方に
エンコーダ回転軸が連結され、前記試料ガイド板又は前
記１８０°−２θ光学系の他方にケーシングが固定され
たエンコーダと、前記１８０°−２θ光学系を前記試料
軸線を中心として回動させる光学系駆動手段とを有する
ことを特徴とする。
め、本発明に係る単結晶インゴットの端面測定装置は、
単結晶インゴットの端面と結晶格子面との偏差角度を測
定する単結晶インゴットの端面測定装置において、前記
単結晶インゴットの中心軸線に対して直角の方向へ延び
る試料軸線を中心として前記中心軸線に対して傾斜角が
変わる如く回転可能に設けた試料ガイド板と、前記試料
軸線を中心として回転可能に設けられていて、前記単結
晶インゴットの端面にＸ線を照射し、そこで回折する回
折Ｘ線を検出する１８０°−２θ光学系と、前記試料ガ
イド板又は前記１８０°−２θ光学系のいずれか一方に
エンコーダ回転軸が連結され、前記試料ガイド板又は前
記１８０°−２θ光学系の他方にケーシングが固定され
たエンコーダと、前記１８０°−２θ光学系を前記試料
軸線を中心として回動させる光学系駆動手段とを有する
ことを特徴とする。
【０００８】
【作用】エンコーダは、エンコーダケーシングに対する
エンコーダ回転軸の回転角度に対応する電気信号を出力
し、その出力信号を適宜の読み取り回路によって読み取
ることによりエンコーダ回転軸の回転角度が検出され
る。エンコーダケーシング又はエンコーダ回転軸の一方
には単結晶インゴットの端面に面接触するガイド板が連
結され、一方、エンコーダケーシング又はエンコーダ回
転軸の他方には１８０゜−２θ光学系が連結される。よ
って、エンコーダは単結晶インゴットの端面と１８０゜
−２θ光学系との相対的な回転角度を直接的に読み取
る。これにより、インゴット端面と結晶格子面との間の
偏差角δが直接的に測定される。
エンコーダ回転軸の回転角度に対応する電気信号を出力
し、その出力信号を適宜の読み取り回路によって読み取
ることによりエンコーダ回転軸の回転角度が検出され
る。エンコーダケーシング又はエンコーダ回転軸の一方
には単結晶インゴットの端面に面接触するガイド板が連
結され、一方、エンコーダケーシング又はエンコーダ回
転軸の他方には１８０゜−２θ光学系が連結される。よ
って、エンコーダは単結晶インゴットの端面と１８０゜
−２θ光学系との相対的な回転角度を直接的に読み取
る。これにより、インゴット端面と結晶格子面との間の
偏差角δが直接的に測定される。
【０００９】
【実施例】図１は、本発明に係る単結晶インゴットの端
面測定装置の一実施例を示している。この端面測定装置
は、位置不動の機枠板５に固着された外筒６と、軸受７
によって外筒６に回転自在にしかし図の上下方向には移
動不能に支持された内筒８と、軸受９によって内筒８に
回転自在にしかし図の上下方向には移動不能に支持され
た中心回転軸１０とを有している。この構造により、内
筒８及び中心回転軸１０はいずれも、それぞれ独立して
同一の試料軸線ωを中心として回転できる。
面測定装置の一実施例を示している。この端面測定装置
は、位置不動の機枠板５に固着された外筒６と、軸受７
によって外筒６に回転自在にしかし図の上下方向には移
動不能に支持された内筒８と、軸受９によって内筒８に
回転自在にしかし図の上下方向には移動不能に支持され
た中心回転軸１０とを有している。この構造により、内
筒８及び中心回転軸１０はいずれも、それぞれ独立して
同一の試料軸線ωを中心として回転できる。
【００１０】内筒８には試料軸線ωに対して直角方向に
広がるＸ線源回転板１１が一体に形成され、そのＸ線源
回転板１１の上面に試料軸線ωを中心として回転可能な
検出器回転板１２が設けられている。Ｘ線源回転板１１
の上には、Ｘ線源３及びコリメータ１３を備えたＸ線源
ユニット１４が固着されている。また、検出器回転板１
２の上にはＸ線カウンタ１５が固着されている。Ｘ線源
ユニット１４、Ｘ線源回転板１１、Ｘ線カウンタ１５及
び検出器回転板１２は単結晶インゴット１の端面１ａに
Ｘ線を照射し、そこで回折する回折Ｘ線を検出するため
の１８０゜−２θ光学系を構成している。
広がるＸ線源回転板１１が一体に形成され、そのＸ線源
回転板１１の上面に試料軸線ωを中心として回転可能な
検出器回転板１２が設けられている。Ｘ線源回転板１１
の上には、Ｘ線源３及びコリメータ１３を備えたＸ線源
ユニット１４が固着されている。また、検出器回転板１
２の上にはＸ線カウンタ１５が固着されている。Ｘ線源
ユニット１４、Ｘ線源回転板１１、Ｘ線カウンタ１５及
び検出器回転板１２は単結晶インゴット１の端面１ａに
Ｘ線を照射し、そこで回折する回折Ｘ線を検出するため
の１８０゜−２θ光学系を構成している。
【００１１】中心回転軸１０の上端には試料軸線ωに対
して直角方向に延びる試料ガイド板１６が固着され、そ
の試料ガイド板１６の両端部にそれぞれ１個づつガイド
ローラ１７が設けられている。また、ガイド板１６の中
央部にＸ線通過用の窓２６が形成されている。さらに、
ガイド板１６の両端には引っ張りバネ２５がそれぞれ１
個づつ取り付けられ、これらのバネ２５のバネ力が釣り
合う中立位置にガイド板１６が保持される。
して直角方向に延びる試料ガイド板１６が固着され、そ
の試料ガイド板１６の両端部にそれぞれ１個づつガイド
ローラ１７が設けられている。また、ガイド板１６の中
央部にＸ線通過用の窓２６が形成されている。さらに、
ガイド板１６の両端には引っ張りバネ２５がそれぞれ１
個づつ取り付けられ、これらのバネ２５のバネ力が釣り
合う中立位置にガイド板１６が保持される。
【００１２】中心回転軸１０の下端には図２に示すよう
に、エンコーダ１８の回転軸１９が連結され、そのエン
コーダ１８のケーシング２０は、連結具２１を介して内
筒８の下端に固着されている。この構造により、内筒８
と中心回転軸１０とが試料軸線ωを中心として相対的に
回転移動するとき、その回転角度がエンコーダ１８によ
って検出される。内筒８の外周にはウオームホイール２
２が設けられ、そのウオームホイール２２に噛み合うウ
オーム２３には、図１に示すように、ツマミ２４が取り
付けられている。試料ガイド板１６の前方位置（図の右
側位置）には、測定対象である単結晶インゴット１を回
転可能に支持するための一対の支持ローラ２７が配設さ
れている。
に、エンコーダ１８の回転軸１９が連結され、そのエン
コーダ１８のケーシング２０は、連結具２１を介して内
筒８の下端に固着されている。この構造により、内筒８
と中心回転軸１０とが試料軸線ωを中心として相対的に
回転移動するとき、その回転角度がエンコーダ１８によ
って検出される。内筒８の外周にはウオームホイール２
２が設けられ、そのウオームホイール２２に噛み合うウ
オーム２３には、図１に示すように、ツマミ２４が取り
付けられている。試料ガイド板１６の前方位置（図の右
側位置）には、測定対象である単結晶インゴット１を回
転可能に支持するための一対の支持ローラ２７が配設さ
れている。
【００１３】以下、上記構成より成る端面測定装置につ
いてその動作を説明する。
いてその動作を説明する。
【００１４】測定しようとする単結晶インゴットの理論
的な結晶格子面の方位は既知であるから、その結晶格子
面に固有のＸ線回折角度を２θとしたとき、まず、Ｘ線
源３とＸ線カウンタ１５との成す角度を１８０゜−２θ
に設定し、この角度関係に固定する。そして、測定対象
である単結晶インゴット１を支持ローラ対２７の上に乗
せ、さらに単結晶インゴット１の端面１ａをガイド板１
６のガイドローラ１７に押しつけて接触させる。なおこ
のとき、図５に示すように、単結晶インゴット１のオリ
フラ面１ｃを適宜の治具を用いて常に一定の位置にセッ
トし、この位置を軸線Ｌ１回りの０゜位置とする。単結
晶インゴット１は支持ローラ２７の働きによって軸線Ｌ
１の回りに容易に回転するから、単結晶インゴット１に
関する上記の角度調整はきわめて容易に行える。しかし
ながら、単結晶インゴット１を支持するためにＶブロッ
クによって単結晶インゴット１の円筒面を支持すること
も可能である。
的な結晶格子面の方位は既知であるから、その結晶格子
面に固有のＸ線回折角度を２θとしたとき、まず、Ｘ線
源３とＸ線カウンタ１５との成す角度を１８０゜−２θ
に設定し、この角度関係に固定する。そして、測定対象
である単結晶インゴット１を支持ローラ対２７の上に乗
せ、さらに単結晶インゴット１の端面１ａをガイド板１
６のガイドローラ１７に押しつけて接触させる。なおこ
のとき、図５に示すように、単結晶インゴット１のオリ
フラ面１ｃを適宜の治具を用いて常に一定の位置にセッ
トし、この位置を軸線Ｌ１回りの０゜位置とする。単結
晶インゴット１は支持ローラ２７の働きによって軸線Ｌ
１の回りに容易に回転するから、単結晶インゴット１に
関する上記の角度調整はきわめて容易に行える。しかし
ながら、単結晶インゴット１を支持するためにＶブロッ
クによって単結晶インゴット１の円筒面を支持すること
も可能である。
【００１５】図３に示すように単結晶インゴット１の外
周円柱面１ｂと端面１ａとの直角度が正確に加工されて
いない場合には、ガイド板１６のガイドローラ１７をイ
ンゴット端面１ａに接触させるとき、ガイド板１６がバ
ネ２５のバネ力に抗して中立位置Ｃから回動する。この
とき、ガイド板１６と一体な中心回転軸１０（図１，図
２参照）も回転し、さらにそれに連結されたエンコーダ
回転軸１９も回転する。
周円柱面１ｂと端面１ａとの直角度が正確に加工されて
いない場合には、ガイド板１６のガイドローラ１７をイ
ンゴット端面１ａに接触させるとき、ガイド板１６がバ
ネ２５のバネ力に抗して中立位置Ｃから回動する。この
とき、ガイド板１６と一体な中心回転軸１０（図１，図
２参照）も回転し、さらにそれに連結されたエンコーダ
回転軸１９も回転する。
【００１６】その後、図１において、Ｘ線源３からＸ線
を放射し、そのＸ線をコリメータ１３によって微小径の
平行ビームに整形し、そのＸ線ビームをインゴット端面
１ａに照射する。そして、ツマミ２４を回してインゴッ
ト端面１ａから回折Ｘ線が発生する角度位置、すなわち
Ｘ線カウンタ１５が回折Ｘ線を検出する角度位置を探し
出し、そのときの角度をエンコーダ１８によって読み取
る。エンコーダ回転軸１９は、ガイド板１６がインゴッ
ト端面１ａに面接触していることにより、常にインゴッ
ト端面１ａを基準とする基準角度位置に設定されるか
ら、上記のようにエンコーダ１８によって読み取られた
角度は、インゴット端面１ａを基準とする結晶格子面Ｔ
の偏差角δを直接的に表しており、その読取り値はイン
ゴット１の円筒面１ｂと端面１ａとの間の直角度に影響
されることがない。
を放射し、そのＸ線をコリメータ１３によって微小径の
平行ビームに整形し、そのＸ線ビームをインゴット端面
１ａに照射する。そして、ツマミ２４を回してインゴッ
ト端面１ａから回折Ｘ線が発生する角度位置、すなわち
Ｘ線カウンタ１５が回折Ｘ線を検出する角度位置を探し
出し、そのときの角度をエンコーダ１８によって読み取
る。エンコーダ回転軸１９は、ガイド板１６がインゴッ
ト端面１ａに面接触していることにより、常にインゴッ
ト端面１ａを基準とする基準角度位置に設定されるか
ら、上記のようにエンコーダ１８によって読み取られた
角度は、インゴット端面１ａを基準とする結晶格子面Ｔ
の偏差角δを直接的に表しており、その読取り値はイン
ゴット１の円筒面１ｂと端面１ａとの間の直角度に影響
されることがない。
【００１７】以上により、単結晶インゴット１のオリフ
ラ面１ｃに関する０゜位置に対する偏差角δの測定が終
わる。その後、図５において、手動操作又はモータ等を
用いた自動操作により単結晶インゴット１を軸線Ｌ１を
中心として９０゜回転させてそこに静止させ、再び、１
８０゜−２θ光学系を用いて結晶格子面の偏差角δを測
定する。こうして、単結晶インゴット１の端面１ａでの
直交する２方向の偏差角δが測定される。なお、試料ガ
イド板１６に設けたガイドローラ１７は、単結晶インゴ
ット１を中心軸線Ｌ１を中心として回転させるときに、
単結晶インゴット１が滑らかに回転するように案内す
る。
ラ面１ｃに関する０゜位置に対する偏差角δの測定が終
わる。その後、図５において、手動操作又はモータ等を
用いた自動操作により単結晶インゴット１を軸線Ｌ１を
中心として９０゜回転させてそこに静止させ、再び、１
８０゜−２θ光学系を用いて結晶格子面の偏差角δを測
定する。こうして、単結晶インゴット１の端面１ａでの
直交する２方向の偏差角δが測定される。なお、試料ガ
イド板１６に設けたガイドローラ１７は、単結晶インゴ
ット１を中心軸線Ｌ１を中心として回転させるときに、
単結晶インゴット１が滑らかに回転するように案内す
る。
【００１８】以上、１つの実施例をあげて本発明を説明
したが、本発明はその実施例に限定されることなく、請
求の範囲に記載した技術的範囲内で種々に改変可能であ
る。例えば、ガイド板１６をエンコーダ回転軸１９に連
結するのに代えてエンコーダケーシング２０に連結し、
そしてエンコーダ回転軸１９に内筒８を連結することも
できる。また、単結晶インゴット１の外周円柱面を支持
する支持ローラ２７及び単結晶インゴット１の端面１ａ
に接触するガイドローラ１７は、いずれも単結晶インゴ
ット１の回転を円滑にするために設けられるものであ
り、これらのローラがなくても実用上支障がない場合に
は、支持ローラ２７に代えてＶブロックを用いることが
でき、さらにガイドローラ１７を用いることなくインゴ
ット端面１ａを試料ガイド板１６に直接面接触させるこ
ともできる。
したが、本発明はその実施例に限定されることなく、請
求の範囲に記載した技術的範囲内で種々に改変可能であ
る。例えば、ガイド板１６をエンコーダ回転軸１９に連
結するのに代えてエンコーダケーシング２０に連結し、
そしてエンコーダ回転軸１９に内筒８を連結することも
できる。また、単結晶インゴット１の外周円柱面を支持
する支持ローラ２７及び単結晶インゴット１の端面１ａ
に接触するガイドローラ１７は、いずれも単結晶インゴ
ット１の回転を円滑にするために設けられるものであ
り、これらのローラがなくても実用上支障がない場合に
は、支持ローラ２７に代えてＶブロックを用いることが
でき、さらにガイドローラ１７を用いることなくインゴ
ット端面１ａを試料ガイド板１６に直接面接触させるこ
ともできる。
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば、エンコーダ回転軸又は
エンコーダケーシングに連結したガイド板を常にインゴ
ット端面に面接触させた状態でエンコーダによってＸ線
回折角度を読み取るようにしたので、単結晶インゴット
の端面と結晶格子面との間の偏差角を直接的に正確に測
定できる。インゴット端面がインゴット円筒面に対して
正確に直角に加工できていない場合でも、常に正確にイ
ンゴット端面と結晶格子面との間の偏差角を測定でき
る。
エンコーダケーシングに連結したガイド板を常にインゴ
ット端面に面接触させた状態でエンコーダによってＸ線
回折角度を読み取るようにしたので、単結晶インゴット
の端面と結晶格子面との間の偏差角を直接的に正確に測
定できる。インゴット端面がインゴット円筒面に対して
正確に直角に加工できていない場合でも、常に正確にイ
ンゴット端面と結晶格子面との間の偏差角を測定でき
る。
【００２０】
【図１】本発明に係る単結晶インゴットの端面測定装置
の一実施例を示す斜視図である。
の一実施例を示す斜視図である。
【図２】図１の要部を示す側面図である。
【図３】図１に示す端面測定装置を上方から見た場合に
相当する平面図である。
相当する平面図である。
【図４】単結晶インゴット及びその内部の結晶格子面を
模式的に示す図である。
模式的に示す図である。
【図５】図１に示した端面測定装置の主要部を模式的に
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図６】従来の単結晶インゴットの端面測定装置の一例
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
１ 単結晶インゴット １ａ インゴット端面 １ｂ インゴット外周円筒面 １ｃ インゴットのオリフラ面 ３ Ｘ線源 １０ 中心回転軸 １１ Ｘ線源回転板 １２ 検出器回転板 １３ コリメータ １４ Ｘ線源ユニット １５ Ｘ線カウンタ １６ 試料ガイド板 １７ ガイドローラ １８ エンコーダ １９ エンコーダの回転軸 ２０ エンコーダのケーシング ２１ エンコーダ連結具 ２２ ウオームホイール ２３ ウオーム ２４ ツマミ ２７ 単結晶インゴットのための支持ローラ Ｌ１ 単結晶インゴットの中心軸線 Ｔ 結晶格子面 δ 偏差角 ω 試料軸線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 23/207 H01L 21/66 H01L 21/68
Claims (3)
- 【請求項１】 単結晶インゴットの端面と結晶格子面と
の偏差角度を測定する単結晶インゴットの端面測定装置
において、前記 単結晶インゴットの中心軸線に対して直角の方向へ
延びる試料軸線を中心として前記中心軸線に対して傾斜
角が変わる如く回転可能に設けた試料ガイド板と、前記 試料軸線を中心として回転可能に設けられていて、
前記単結晶インゴットの端面にＸ線を照射し、そこで回
折する回折Ｘ線を検出する１８０°−２θ光学系と、前記 試料ガイド板又は前記１８０°−２θ光学系のいず
れか一方にエンコーダ回転軸が連結され、前記試料ガイ
ド板又は前記１８０°−２θ光学系の他方にケーシング
が固定されたエンコーダと、前記 １８０°−２θ光学系を前記試料軸線を中心として
回動させる光学系駆動手段とを有することを特徴とする
単結晶インゴットの端面測定装置。 - 【請求項２】 単結晶インゴットの端面と接触してそれ
を案内するガイドローラを試料ガイド板に設けたことを
特徴とする請求項１記載の単結晶インゴットの端面測定
装置。 - 【請求項３】 単結晶インゴットをその端面が試料ガイ
ド板に接触する状態に支持すると共にその単結晶インゴ
ットを自らの中心軸線の回りに回転可能に支持する支持
ローラを設けたことを特徴とする請求項１記載の単結晶
インゴットの端面測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31735593A JP3337543B2 (ja) | 1993-11-24 | 1993-11-24 | 単結晶インゴットの端面測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31735593A JP3337543B2 (ja) | 1993-11-24 | 1993-11-24 | 単結晶インゴットの端面測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07146257A JPH07146257A (ja) | 1995-06-06 |
| JP3337543B2 true JP3337543B2 (ja) | 2002-10-21 |
Family
ID=18087313
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31735593A Expired - Fee Related JP3337543B2 (ja) | 1993-11-24 | 1993-11-24 | 単結晶インゴットの端面測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3337543B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6024814A (en) * | 1995-11-30 | 2000-02-15 | Nippei Toyama Corporation | Method for processing ingots |
| JP7166713B2 (ja) | 2018-06-21 | 2022-11-08 | 株式会社ディスコ | 結晶方位検出装置、及び結晶方位検出方法 |
-
1993
- 1993-11-24 JP JP31735593A patent/JP3337543B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07146257A (ja) | 1995-06-06 |
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