JPH0132940B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0132940B2 JPH0132940B2 JP56137387A JP13738781A JPH0132940B2 JP H0132940 B2 JPH0132940 B2 JP H0132940B2 JP 56137387 A JP56137387 A JP 56137387A JP 13738781 A JP13738781 A JP 13738781A JP H0132940 B2 JPH0132940 B2 JP H0132940B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- spectroscopic crystal
- motor
- drives
- slit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 36
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 20
- 102100025490 Slit homolog 1 protein Human genes 0.000 description 3
- 101710123186 Slit homolog 1 protein Proteins 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 238000010297 mechanical methods and process Methods 0.000 description 2
- 238000000441 X-ray spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/20008—Constructional details of analysers, e.g. characterised by X-ray source, detector or optical system; Accessories therefor; Preparing specimens therefor
- G01N23/20025—Sample holders or supports therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
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- Information Retrieval, Db Structures And Fs Structures Therefor (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は彎曲結晶を用いた分光結晶直進型のＸ
線分光器に関する。
線分光器に関する。
彎曲結晶型Ｘ線分光器は従来、Ｘ線入射スリツ
トと分光結晶とＸ線検出スリツトの三者をローラ
ンド円の円周上に位置するように相互に機械的に
連結して三者連動的に駆動する構造になつてい
た。この構造によると機構に不可避の遊びと機構
要素の剛性からＸ線入射スリツト、分光結晶、Ｘ
線検出スリツト三者の位置関係の精度が決り充分
な波長測定精度、波長分解能を得ることが困難で
あつた。特にローランド円の直径を大きくすれば
理論上の分解能が向上するのでローランド円の大
きなＸ線分光器が造られるようになつてきたが、
ローランド円を大きくすると機構要素の寸法が長
くなり、剛性が低下するため却つて安定した測定
が困難になりローランド円を大きくする方向には
限界があつた。
トと分光結晶とＸ線検出スリツトの三者をローラ
ンド円の円周上に位置するように相互に機械的に
連結して三者連動的に駆動する構造になつてい
た。この構造によると機構に不可避の遊びと機構
要素の剛性からＸ線入射スリツト、分光結晶、Ｘ
線検出スリツト三者の位置関係の精度が決り充分
な波長測定精度、波長分解能を得ることが困難で
あつた。特にローランド円の直径を大きくすれば
理論上の分解能が向上するのでローランド円の大
きなＸ線分光器が造られるようになつてきたが、
ローランド円を大きくすると機構要素の寸法が長
くなり、剛性が低下するため却つて安定した測定
が困難になりローランド円を大きくする方向には
限界があつた。
本発明はＸ線入射スリツト、分光結晶、Ｘ線検
出スリツトの三者間の機構内な連結を廃し、分光
結晶とＸ線検出スリツトとを相互独立にかつ直線
的なガイドに沿つて駆動し、上記三者の位置関係
をコンピユータによつて与えられた半径のローラ
ンド円の円周上に位置するように制御するように
したＸ線分光器を提供することにより高精度、高
分解能のＸ線分光を可能にしようとするものであ
る。即ちＸ線入射スリツト、分光結晶、Ｘ線検出
スリツトの三者を連結する機構を廃したので機構
の要素間の遊び及び機構要素の剛性の不足による
測定精度、分解能の限界を克服したもので、機構
要素の剛性の問題がないから任意に大きな直径の
ローランド円を有するＸ線分光器を得ることが可
能となる。以下実施例によつて本発明を説明す
る。
出スリツトの三者間の機構内な連結を廃し、分光
結晶とＸ線検出スリツトとを相互独立にかつ直線
的なガイドに沿つて駆動し、上記三者の位置関係
をコンピユータによつて与えられた半径のローラ
ンド円の円周上に位置するように制御するように
したＸ線分光器を提供することにより高精度、高
分解能のＸ線分光を可能にしようとするものであ
る。即ちＸ線入射スリツト、分光結晶、Ｘ線検出
スリツトの三者を連結する機構を廃したので機構
の要素間の遊び及び機構要素の剛性の不足による
測定精度、分解能の限界を克服したもので、機構
要素の剛性の問題がないから任意に大きな直径の
ローランド円を有するＸ線分光器を得ることが可
能となる。以下実施例によつて本発明を説明す
る。
図面は本発明の一実施例を示す。１はＸ線入射
スリツトでその位置は分光器フレーム（不図示）
に固定されている。Ｘ線入射スリツト１を通つて
ｘ軸、ｙ軸を想定する。ｘ軸はＸ線の入射方向で
あり、分光結晶２がこのｘ軸に沿つて動くように
なつている。即ち４はｘ軸と平行に延びたガイド
で、このガイド上を結晶台５が摺動するようにな
つており、この台５上に図の紙面に垂直の方向に
立てた軸（ｘ軸を通る）を中心に回動可能に分光
用彎曲結晶２が取付けられる。７は台５を動かす
送りねじでパルスモータ８によつて回転せしめら
れ台５従つて分光結晶２がｘ軸に沿つて移動せし
められる。９は分光結晶２を図の紙面に垂直な軸
の周りに回動させるパルスモータで、分光結晶２
がその時どきのｘ軸上の位置に対応した方向即ち
その時どきのローランド円の中心にむかう向きを
採るように分光結晶の方向を制御する。１０はＸ
―Ｙ移動ステージでその上にＸ線検出スリツト１
１及びＸ線検出器１２が設置されている。１３は
ｘ軸と平行に延びた直線ガイドであり、このガイ
ド上を摺動するようにｙ軸と平行な方向に延びた
直線ガイド１４があつてＸ―Ｙ移動ステージ１０
はこの直線ガイド１４上を摺動する。１５，１６
は夫々ｘ軸方向、ｙ軸方向の送りねじ、１７，１
８はこれらのねじを回動させるパルスモータであ
る。
スリツトでその位置は分光器フレーム（不図示）
に固定されている。Ｘ線入射スリツト１を通つて
ｘ軸、ｙ軸を想定する。ｘ軸はＸ線の入射方向で
あり、分光結晶２がこのｘ軸に沿つて動くように
なつている。即ち４はｘ軸と平行に延びたガイド
で、このガイド上を結晶台５が摺動するようにな
つており、この台５上に図の紙面に垂直の方向に
立てた軸（ｘ軸を通る）を中心に回動可能に分光
用彎曲結晶２が取付けられる。７は台５を動かす
送りねじでパルスモータ８によつて回転せしめら
れ台５従つて分光結晶２がｘ軸に沿つて移動せし
められる。９は分光結晶２を図の紙面に垂直な軸
の周りに回動させるパルスモータで、分光結晶２
がその時どきのｘ軸上の位置に対応した方向即ち
その時どきのローランド円の中心にむかう向きを
採るように分光結晶の方向を制御する。１０はＸ
―Ｙ移動ステージでその上にＸ線検出スリツト１
１及びＸ線検出器１２が設置されている。１３は
ｘ軸と平行に延びた直線ガイドであり、このガイ
ド上を摺動するようにｙ軸と平行な方向に延びた
直線ガイド１４があつてＸ―Ｙ移動ステージ１０
はこの直線ガイド１４上を摺動する。１５，１６
は夫々ｘ軸方向、ｙ軸方向の送りねじ、１７，１
８はこれらのねじを回動させるパルスモータであ
る。
Ｘ線検出スリツト１１及びＸ線検出器１２は常
に分光結晶２の方を向いている必要がある。この
ためＸ―Ｙ移動ステージ１０上に図の紙面に垂直
方向の軸の周りに回転可能に台１０′を取付け、
この台に方向棒１９を貫通させ、この棒の一端を
台５において分光結晶２の回転軸に枢着してあ
る。Ｘ線検出スリツト１１及び検出器１２は台１
０′上で方向棒１９の貫通方向に並べて固定して
あるので、Ｘ―Ｙ移動ステージ１０がどこにあつ
てもＸ線検出スリツト及び検出器１２は分光結晶
２の方を向いている。
に分光結晶２の方を向いている必要がある。この
ためＸ―Ｙ移動ステージ１０上に図の紙面に垂直
方向の軸の周りに回転可能に台１０′を取付け、
この台に方向棒１９を貫通させ、この棒の一端を
台５において分光結晶２の回転軸に枢着してあ
る。Ｘ線検出スリツト１１及び検出器１２は台１
０′上で方向棒１９の貫通方向に並べて固定して
あるので、Ｘ―Ｙ移動ステージ１０がどこにあつ
てもＸ線検出スリツト及び検出器１２は分光結晶
２の方を向いている。
図でＲは想定されたローランド円でＸ線入射ス
リツト１、分光結晶２、Ｘ線検出スリツト１０を
連ねるようになつている。分光結晶２をガイド４
に沿いｘ軸上を動かすとローランド円Ｒは位置を
変え、それに伴つてＸ線検出スリツト１０のある
べき位置も変り、分光結晶２のｘ軸上の位置に対
するＸ線検出スリツトの位置の座標（ｘ、ｙ）は
分光結晶２のｘ軸上の位置の関数であり、ローラ
ンド円の半径を決めると計算で求められる。同様
に分光結晶の方位角も分光結晶２の位置の関数
でローランド円の半径を決めると計算で求まる。
制御回路２０はマイクロコンピユータで上の計算
を行い、パルスモータ８，９，１７，１８に必要
個数のパルスを送つて分光結晶の位置及び方向と
Ｘ線検出スリツトの位置を制御する。
リツト１、分光結晶２、Ｘ線検出スリツト１０を
連ねるようになつている。分光結晶２をガイド４
に沿いｘ軸上を動かすとローランド円Ｒは位置を
変え、それに伴つてＸ線検出スリツト１０のある
べき位置も変り、分光結晶２のｘ軸上の位置に対
するＸ線検出スリツトの位置の座標（ｘ、ｙ）は
分光結晶２のｘ軸上の位置の関数であり、ローラ
ンド円の半径を決めると計算で求められる。同様
に分光結晶の方位角も分光結晶２の位置の関数
でローランド円の半径を決めると計算で求まる。
制御回路２０はマイクロコンピユータで上の計算
を行い、パルスモータ８，９，１７，１８に必要
個数のパルスを送つて分光結晶の位置及び方向と
Ｘ線検出スリツトの位置を制御する。
上述実施例ではＸ線検出スリツト１１及びＸ線
検出器１２の方向は機構的に規制されるようにし
てあるが、これも分光結晶２の方向制御と同様モ
ータを用い制御回路２０で制御するようにするこ
とも可能である。しかしＸ線検出スリツト１１の
方向精度は分光結晶２の方向精度程高くなくても
よいから上述実施例に示すような機構的方法で充
分である。反対に分光結晶２の方向規制を機構的
に行うようにすることも可能である。更にＸ線検
出スリツトの移動軌跡はＸ線入射スリツトを通り
分光結晶の直進方向に対し45゜の方向線の方向に
長く同方向線に関して左右対称の形であるから、
Ｘ―Ｙ移動ステージのＸ方向ガイドをこの方向線
方向に固定し、Ｘ方向ガイドと直交するＹ方向ガ
イドをＸ方向ガイドに沿つて摺動させるようにす
ると、Ｙ方向ガイドのスパンが比較的短かくてす
む利点があり、特にローランド円半径を大きくす
るときに適している。
検出器１２の方向は機構的に規制されるようにし
てあるが、これも分光結晶２の方向制御と同様モ
ータを用い制御回路２０で制御するようにするこ
とも可能である。しかしＸ線検出スリツト１１の
方向精度は分光結晶２の方向精度程高くなくても
よいから上述実施例に示すような機構的方法で充
分である。反対に分光結晶２の方向規制を機構的
に行うようにすることも可能である。更にＸ線検
出スリツトの移動軌跡はＸ線入射スリツトを通り
分光結晶の直進方向に対し45゜の方向線の方向に
長く同方向線に関して左右対称の形であるから、
Ｘ―Ｙ移動ステージのＸ方向ガイドをこの方向線
方向に固定し、Ｘ方向ガイドと直交するＹ方向ガ
イドをＸ方向ガイドに沿つて摺動させるようにす
ると、Ｙ方向ガイドのスパンが比較的短かくてす
む利点があり、特にローランド円半径を大きくす
るときに適している。
本発明彎曲結晶型Ｘ線分光器は上述したような
構成で、分光結晶とＸ線検出スリツトとを連動さ
せるのに機構的な方法を用いていないので機構の
遊び、機構要素の剛性に基く精度限界が克服さ
れ、同じ理由でローランド円の大きいＸ線分光器
の製作が容易となり、軽量でしかも高精度、高分
解能のＸ線分光器が得られ、Ｘ線検出スリツトの
位置のデータの算出の際設定する係数を変えるだ
けでローランド円の半径を変更できるので異る曲
率半径の分光結晶を用いてもＸ線分光器として即
応できると云う特徴を有する。
構成で、分光結晶とＸ線検出スリツトとを連動さ
せるのに機構的な方法を用いていないので機構の
遊び、機構要素の剛性に基く精度限界が克服さ
れ、同じ理由でローランド円の大きいＸ線分光器
の製作が容易となり、軽量でしかも高精度、高分
解能のＸ線分光器が得られ、Ｘ線検出スリツトの
位置のデータの算出の際設定する係数を変えるだ
けでローランド円の半径を変更できるので異る曲
率半径の分光結晶を用いてもＸ線分光器として即
応できると云う特徴を有する。
図面は本発明の一実施例Ｘ線分光器の平面図で
ある。 １……Ｘ線入射スリツト、２……彎曲分光結
晶、１１……Ｘ線検出スリツト、１２……Ｘ線検
出器、１０……Ｘ―Ｙ移動ステージ、８，９，１
７，１８……パルスモータ。
ある。 １……Ｘ線入射スリツト、２……彎曲分光結
晶、１１……Ｘ線検出スリツト、１２……Ｘ線検
出器、１０……Ｘ―Ｙ移動ステージ、８，９，１
７，１８……パルスモータ。
Claims (1)
- １ Ｘ線入射スリツトを通る一直線に沿つて分光
結晶を案内する直線ガイドと、このガイドに沿つ
て分光結晶を駆動するモータと、Ｘ―Ｙ移動ステ
ージ上に載置したＸ線検出スリツト及びＸ線検出
器と、上記ステージをＸ方向に駆動するモータと
同ステージをＹ方向に駆動するモータと、分光結
晶とＸ線検出スリツトが上記Ｘ線入射スリツトを
通る与えられた半径のローランド円の円周上に常
に位置しているように分光結晶駆動モータとＸ―
Ｙ移動ステージをＸ方向に駆動するモータとＹ方
向に駆動するモータの三者を制御する制御回路と
よりなる彎曲結晶型Ｘ線分光器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56137387A JPS5838845A (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | 彎曲結晶型ｘ線分光器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56137387A JPS5838845A (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | 彎曲結晶型ｘ線分光器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5838845A JPS5838845A (ja) | 1983-03-07 |
| JPH0132940B2 true JPH0132940B2 (ja) | 1989-07-11 |
Family
ID=15197492
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56137387A Granted JPS5838845A (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | 彎曲結晶型ｘ線分光器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5838845A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0714960Y2 (ja) * | 1988-01-30 | 1995-04-10 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線分光器 |
| JP2550382B2 (ja) * | 1988-02-24 | 1996-11-06 | 株式会社マックサイエンス | Ｘ線回折装置 |
| FI20041538A (fi) | 2004-11-29 | 2006-05-30 | Stresstech Oy | Goniometri |
-
1981
- 1981-08-31 JP JP56137387A patent/JPS5838845A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5838845A (ja) | 1983-03-07 |
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